JPWO2016009577A1 - 窒化物半導体層の成膜方法及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1実施形態に係る窒化物半導体層の成膜方法について図1乃至図5を用いて説明する。
本発明の第2実施形態に係る半導体装置及びその製造方法について図9を用いて説明する。
本発明は、上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
まず、図1に示すスパッタリング装置のロードロック室101へc面サファイア基板を導入し、不図示の排気機構を用いてロードロック室101を真空に排気した。
・基板:c面サファイア基板
・成膜方式:静止対向成膜
・成膜前の到達圧力:1.0×10−4Pa
・ターゲット:Al
・成膜時の基板温度:700℃
・成膜時の圧力:1.3Pa
・成膜時のスパッタリングガス:Ar+N2(N2流量/(N2流量+Ar流量):20%)
・成膜時の高周波電力:2500W
・バッファー層の膜厚:1.1μm
・基板とヒーターの基板対向面から距離:2mm
・基板:c面サファイア基板
・成膜方式:オフセット成膜
・成膜前の到達圧力:1.0×10−4Pa
・ターゲット:窒化物GaNx(Ga/(Ga+N)のモル比:53.0〜59.5%)
・成膜時の基板温度:850℃
・成膜時の圧力:0.13Pa
・成膜時のプロセスガス:Ar+N2(N2流量/(N2流量+Ar流量):5%)
・成膜時の高周波電力:1000W
本発明の比較例1として、特許文献1及び特許文献2に記載された技術を用いた場合のGaN層の平坦性および再現性について説明する。
本発明の比較例2として、特許文献3に記載された技術を用いた場合のGaN層の平坦性及び再現性について説明する。すなわち、窒化物GaNターゲットを用いて低温GaNバッファー層を形成後に、基板を1000℃〜1100℃の温度範囲に加熱することによりバッファー層を結晶化させ、その後、窒化物GaNターゲットを用い、スパッタリング法によってGaN層を成膜した場合のGaN層の平坦性および再現性について説明する。
本発明の比較例3として、特許文献4に記載された技術を用いた場合のGaN層の平坦性及び再現性について説明する。特に、Ga/(Ga+N)のモル比が59.5%より多く80%以下である窒化物GaNxターゲットを用い、スパッタリング法によってGaN膜を成膜した場合の、GaN膜の平坦性および再現性について説明する。なお、本比較例では、Ga/(Ga+N)のモル比が80%の窒化物GaNxターゲットを用いる他は、バッファー層とGaN層の成膜装置と成膜条件は、上記実施例と同様とした。
本発明の比較例4として、特許文献5に記載された技術を用いた場合のGaN層の平坦性及び再現性について説明する。すなわち、金属Gaと窒化物GaNのうち、いずれか一方の物質又は両方の物質をターゲットとし、スパッタリングガスにArを用い、前記ターゲットをスパッタリングして基板上にスパッタ粒子を供給する工程と、ラジカル銃からNを含むラジカルを基板に供給する工程とを、交互に繰り返すことによって、GaN層を成膜した場合の、GaN層の平坦性について説明する。なお、本比較例では、GaN層の成膜に用いるターゲットとして窒化物GaNターゲットを用いており、該窒化物GaNターゲットを、Arガスを用いてスパッタリングしている。また、本比較例において、図3に示すスパッタリング装置の、一方のスパッタリングカソード308に窒化物GaNターゲットを配置し、他方のスパッタリングカソード308をラジカル銃に置き換えたスパッタリング装置により、GaN層の成膜を行った。なお、特許文献5では、ターゲットの前面の空間に、ラジカル銃の前面の空間と分離するための分離容器を設け、反応性ガスとターゲットとの反応を抑制している。
本比較例においても、このような分離容器を設け、反応性ガスとターゲットとの反応を抑制させると共に、スパッタ粒子を基板に供給する工程と、ラジカル銃からNを含むラジカルを基板に供給する工程とを、交互に繰り返すようにした。その他のバッファー層及びGaN層の成膜条件は、上記実施例と同様とした。
101…ロードロック室
102…搬送室
103…前処理室
104…第1のスパッタリング室
105…第2のスパッタリング室
106…搬送ロボット
201,301…真空容器
203,308…スパッタリングカソード
204,307…ターゲット
207,310…スパッタリング用電源
209…ヒーター
211…基板載置機構
212、313…基板
305…加熱ステージ
Claims (12)
- 基板上に、AlN又はAlGaNよりなるバッファー層をエピタキシャル成長する工程と、
前記バッファー層上に、GaとGaNとを含む金属窒化物ターゲットを用い、窒素を含む反応性ガスの流量をプロセスガス全体の流量の20%未満として、スパッタリング法により、少なくともGaNを含む窒化物半導体層をエピタキシャル成長する工程と
を有することを特徴とする窒化物半導体層の成膜方法。 - 前記バッファー層は、前記窒化物半導体層との界面におけるa軸の格子定数がバルクの格子定数以上である
ことを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体層の成膜方法。 - 前記バッファー層は、+c極性を有する
ことを特徴とする請求項1又は2記載の窒化物半導体層の成膜方法。 - 前記バッファー層をエピタキシャル成長する工程では、前記基板を、前記基板から離間して配置されたヒーターからの輻射熱により、300℃以上、1200℃以下の温度に加熱する
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の窒化物半導体層の成膜方法。 - 前記バッファー層は、1μm以上の膜厚を有する
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の窒化物半導体層の成膜方法。 - 前記バッファー層は、スパッタリング法により形成する
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の窒化物半導体層の成膜方法。 - 前記窒化物半導体層をエピタキシャル成長する工程では、前記反応性ガスの前記流量を、前記プロセスガス全体の流量の10%未満とする
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の窒化物半導体層の成膜方法。 - 前記金属窒化物ターゲットは、Ga/(Ga+N)のモル比が、53.0%〜59.5%の範囲である
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の窒化物半導体層の成膜方法。 - 前記窒化物半導体層は、500℃以上、1000℃以下の温度で成膜する
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の窒化物半導体層の成膜方法。 - 前記窒化物半導体層は、GaN、AlGaN、InGaN又はAlGaInNである
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の窒化物半導体層の成膜方法。 - 前記基板は、c面サファイア基板である
ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の窒化物半導体層の成膜方法。 - 基板上に、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の窒化物半導体層の成膜方法により、前記バッファー層及び前記窒化物半導体層をエピタキシャル成長する工程を含む
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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