JPWO2015189985A1 - 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム、及び記録媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態に係る形状測定装置1の外観を示す図である。図2は、本実施形態の形状測定装置の概略構成を示す模式図である。図3は、本実施形態の形状測定装置の制御装置の概略構成を示すブロック図である。
なお、本実施の形態における形状測定装置では、撮像素子20で取得される画像データに注目領域を設定することで、このような多重反射像やその他の原因で発生する偽像を照明光束Lの像として誤認識することを低減する効果を持つ。
ところで、注目領域設定ユニット32は、撮像装置9からデータが入力され、動作制御部40から各部の動作の情報、具体的に光学プローブ3と被測定物Mとの相対位置の情報が入力される。注目領域設定ユニット32は、記憶部31の注目領域の位置設定データ42から撮像装置9で撮影できる領域(または、撮像素子20で取得できる視野範囲)に対して、どの位置に注目領域を設定するかの位置情報を取得する。注目領域設定ユニット32は、基準注目領域の位置設定データ44から基準注目領域データを取得する。注目領域設定ユニット32は、ユーザーなどにより撮影範囲内で設定した注目領域の位置情報を記憶部31の注目領域の位置設定データ42に出力する。
測定範囲設定部36は、注目領域の位置設定データ42また入力装置6から入力される指示に基づいて、測定範囲を設定する。測定範囲設定部36は、設定した測定範囲を測定部39に出力する。
調光領域設定部37は、注目領域の位置設定データ42また入力装置6から入力される指示に基づいて、調光領域設定可能範囲及び調光領域を設定する。調光領域設定部37は、設定した調光領域を調光制御部38に出力する。
調光制御部38は、調光領域設定部37から調光領域が入力される。調光制御部38は、調光領域の画像データの情報に基づいて、調光条件、例えば光源装置8または撮像装置9の画像データ取得時の動作条件を決定する。調光制御部38は、決定した調光条件を光源装置8または撮像装置9に出力する。
測定部39は、測定範囲設定部36で設定された測定範囲が入力される。測定部39は、撮像装置9で取得した画像データ入力される。測定部39は、動作制御部40から各部の動作の情報、具体的に光学プローブ3と被測定物Mとの相対位置の情報が入力される。測定部39は、画像データを取得した光学プローブ3と被測定物Mとの相対位置について、画像データの測定範囲に含まれるライン状のパターンの像(本実施形態ではライン光の像ともいう。)を検出し、そのパターンの像に基づいて、被測定物Mの外形形状を測定する。動作制御部40は、プローブ移動装置2、光学プローブ3及び保持回転装置7の動作制御を実施する。動作制御部40は、動作制御の情報を注目領域設定部32及び測定部39に出力する。
基準注目領域内投影パターン像検出部90は、基準注目領域の位置設定データ44に基づいて、撮像素子22の画素範囲や画像データ上の基準注目領域を決定する基準注目領域設定部としての機能を備える。
基準注目領域内投影パターン像検出部90は、パターンの像がライン状の強度分布を有するライン光の像である場合、画像データの基準注目領域内において、ライン光の像の長さを測定する。
ライン状のパターンの像の長さは、例えば、次のような方法で測定することができる。たとえば、ライン状のパターンの長手方向を画像データの上下方向としたときに、ライン状のパターンの像を順次、上から下へ、または下から上へライン状パターンの像に対してほぼ直交する方向に沿って(以下、極大画素検索列と称す)、輝度値の変化が極大を示す画素があるかどうかを検出する。このようにして、画像データを上から下へまたは下から上へ順次検出していったときに、それぞれの極大画素検索列で検出された画素がどこまで連続して存在するかを評価することによって、長さを測定することができる。なお、極大画素検索列は、エピポーララインに沿った方向である。極大画素検索列が延在する方向が検出方向となる。このように極大画素がどれくらいの長さにわたって、連続して存在するかを評価するかによって、ライン状のパターンの像の長さの存在状態を判定する。
また、このように検出された明るさが極大を示す画素位置を検索する必要があるため、撮像素子20の画素の配列方向をエピポーララインの方向に略一致するようにしてもよい。
また、他にも測定に関する設定を示す設定情報、測定の経過を示す経過情報、測定の結果を示す形状情報等を含む。本実施形態の表示装置5は、測定情報を示す画像データを制御装置4から供給され、この画像データに従って測定情報を示す画像を表示する。
注目領域の取り消し判定の判断材料として画像データ上における注目領域の面積としたが、これだけに限られない。たとえば、画像データ上に有効撮影範囲などの範囲情報を設定しておき、有効撮影範囲と注目領域との両方合致した領域の面積などで判定してもよい。特に画像データの周縁領域の像は、結像光学系による諸収差の影響を受けやすいため、パターンの像の短手方向の強度分布が収差の影響を受けて崩れる。これが測定精度に影響を与えるので、このような周縁領域を避け、画像データの中央領域のみ有効撮影範囲を設定するようにしてもよい。
制御部30は、注目領域決定部86により距離が閾値以内である(ステップS141でYes)と判定した場合、つまり、ライン光の像が注目領域の縁に近い場合、ライン光の像の位置に基づいて、注目領域の位置を移動させる。
2 プローブ移動装置
3 光学プローブ
4 制御装置
5 表示装置
6 入力装置
7 保持回転装置
8 光源装置
9 撮像装置
10 駆動部
11 位置検出部
12 光源
13 照明光学系
20 撮像素子
20a 受光面
21 結像光学系
21a 物体面
30 制御部
31 記憶部
32,32A 注目領域設定ユニット
34 注目領域設定部
36 測定範囲設定部
37 調光領域設定部
38 調光制御部
39 測定部
40 動作制御部
42 注目領域の位置設定データ
44 基準注目領域の位置設定データ
46 条件テーブル
48 形状測定プログラム
49 緒元データ
50X,50Y,50Z 移動部
51X,51Y,51Z ガイド部
52 保持体
53 第1回転部
53a 回転軸線
54 第2回転部
55 保持部材
55A 第1保持部
55B 第2保持部
62,63,64,65,66,68 矢印
71 テーブル
72 回転駆動部
73a,73b 基準球
80 画像データ取得部
82 移動情報取得部
84 投影パターン像検出部
86 注目領域決定部
88 第2の注目領域生成部
89 注目領域取消判定部
90 基準注目領域内投影パターン像検出部
92 新規注目領域生成判定部
94 第2の注目領域決定部
100 画面
102,102a,102b,102c 画像ウインドウ
104,106 ウインドウ
112 測定条件欄
114,128,130 ボタン
120 チェックボックス
122 調光領域選択点
124 測定範囲選択点(点群抽出範囲)
126 範囲欄
140 被測定物
142a,142b,142c ライン光
144 輝線
150a,150b 測定領域
152 調光領域設定可能範囲
154 調光領域
172 検出用注目領域生成部
174 距離測定部
176 注目領域位置決定部
178 距離測定領域設定部
179 重ね合わせ画像生成部
182 注目領域テンプレートデータ
184 読み出しアドレスデータ
186 画像データ
200 構造物製造システム
201 形状測定装置
202 設計装置
203 成形装置
204 制御装置
205 リペア装置
210 座標記憶部
211 検査部
300 形状測定システム
302 プログラム作成装置
AX 回転軸中心
B ベース
M 被測定物
L 照明光束
Claims (29)
- パターンを測定対象に投影する投影部と、
前記投影部によりパターンが投影された測定対象を撮像する撮像部と、
前記投影部と前記測定対象とを相対移動させて、前記測定対象への前記パターンの前記測定対象上における投影位置を移動可能な移動部と、
前記測定対象の測定に利用される情報を取得するための注目領域を前記パターンの像を含むように前記撮像部で撮像される領域の少なくとも一部に設定する注目領域設定部と、
を備える形状測定装置。 - 前記注目領域設定部は、前記撮像部で取得された前記パターンの像を含む画像に基づき、前記注目領域を設定する請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記注目領域設定部は、前記パターンが前記測定対象に投影された時の位置情報に基づいて、前記注目領域を設定する請求項1に記載の形状測定装置。
- 請求項1から3のいずれか一項に記載の形状測定装置において、
前記注目領域設定部は、前記投影部と前記前記測定対象との相対移動条件を含む移動情報に基づいて前記注目領域を設定する形状測定装置。 - 請求項4に記載の形状測定装置において、
前記移動情報は、前記測定対象に対する前記パターンの投影位置の移動方向を含み、
前記注目領域設定部は、前記移動方向に基づいて前記注目領域を設定する形状測定装置。 - 請求項4または請求項5に記載の形状測定装置において、
前記注目領域設定部は、前記相対移動を行う前の前記パターンの像と、前記相対移動条件により算出される前記撮像部の撮像面におけるパターンの像の移動距離と、に基づいて、前記注目領域を設定する形状測定装置。 - 請求項6に記載の形状測定装置において、
更に、前記注目領域を前記パターンの投影位置の移動に基づかずに、前記撮像部で撮像される領域内の少なくとも一部に前記測定対象の測定に利用される情報を取得するための基準注目領域を設定する基準注目領域設定部を有する形状測定装置。 - 請求項7に記載の形状測定装置において、
前記注目領域設定部は、前記基準注目領域と前記移動情報に基づいて、前記注目領域を設定する形状測定装置。 - 請求項7または8に記載の形状測定装置において、
前記注目領域設定部は、前記基準注目領域を設定した位置に新たに第2の注目領域を生成する第2の注目領域生成部を備える形状測定装置。 - 請求項9に記載の形状測定装置において、
前記第2の注目領域生成部は、前記基準注目領域の内側に形成される像の特徴量に基づいて、前記第2の注目領域を新たに生成するか否かを判定する新規注目領域生成判定部を有する形状測定装置。 - 請求項10に記載の形状測定装置において、
前記投影部は、前記測定対象に投影されるパターンとして、ライン状の光強度分布を持つ光束を投影することでライン光を投影し、
前記新規注目領域生成判定部は、前記基準注目領域に内のライン光のパターンの像について、前記ライン光のパターンの像の検出方向に沿って検出されるピーク値を持つ画素を、前記ライン光のパターンの像の前記検出方向に交差する方向の各位置で検出し、前記ピーク画素の個数が設定された値以上である場合、前記注目領域を新たに生成するように制御する形状測定装置。 - 請求項10に記載の形状測定装置において、
前記新規注目領域生成判定部は、前記基準注目領域内の前記ライン光のパターンの像の長さが設定された長さ以上である場合、前記注目領域を新たに生成するように制御する形状測定装置。 - 請求項9に記載の形状測定装置において、
前記注目領域設定部は、前記第2の注目領域の内側に形成される像の特徴に基づいて、前記第2の注目領域を取り消すか否かを判定する注目領域取消判定部を有する形状測定装置。 - 請求項4に記載の形状測定装置において、
前記注目領域設定部は、更に前記注目領域を、前記パターンの投影位置の相対移動に基づいて生ずるパターンの像の移動距離または移動方向に基づいて、前記注目領域を再設定する形状測定装置。 - 請求項14に記載の形状測定装置において、
前記注目領域設定部は、前記相対移動の前後の複数の画像から前記パターンの像の移動距離または移動方向を算出する形状測定装置。 - 請求項14に記載の形状測定装置において、
前記注目領域設定部は、前記初期注目領域の外縁から前記パターンの像までの距離に基づき、前記注目領域を移動する形状測定装置。 - 請求項16に記載の形状測定装置において、
更に前記初期注目領域の外縁から前記パターンの像まで距離を測定する場所を特定する距離測定領域を設定する距離測定領域設定部を備える形状測定装置。 - 請求項14に記載の形状測定装置において、
更に前記相対移動しながら撮影することで取得された複数の画像データの前記パターンの像を重ね合わせた画像を生成する重ね合わせ画像生成部を備え、
前記注目領域設定部は、前記重ね合わせ画像生成部で生成された前記パターンの像を重ね合わせた画像に基づいて前記パターンの像の移動距離または移動方向を算出する形状測定装置。 - 請求項14に記載の形状測定装置において、
前記注目領域設定部は、前記移動部から得られた前記測定対象に対する前記投影部の相対移動方向と、前記測定対象の緒元データに基づいて、前記パターンの像の移動距離または移動方向を算出する形状測定装置。 - 請求項1から19のいずれか一項に記載の形状測定装置において、
更に、前記投影部の前記ライン光の投影方向と、前記撮像部の撮像方向とがそれぞれ異なるように前記投影部と前記撮像部とを保持する筐体とを有するプローブを備える形状測定装置。 - 請求項1から20のいずれか一項の形状測定装置において、
前記注目領域は、点群生成領域であり、
更に、前記画像データの前記点群生成領域内に位置する前記パターンの像の位置に基づいて、前記測定対象の形状を測定する測定部を備える形状測定装置。 - 請求項1から21のいずれか一項の形状測定装置において、
前記注目領域は、調光領域であり、
更に、前記画像データの前記調光領域で検出された撮影された像の明るさに応じて、前記投影部からの投光量、前記撮像部で受光する受光量、前記撮像部で前記画像データを取得するときの露光量または前記撮像部の入出力特性を制御する調光制御部を備える形状測定装置。 - パターンを測定対象に投影する投影部と、
前記投影部によりパターンが投影された測定対象を撮像する撮像部と、
前記投影部と前記測定対象とを相対移動させて、前記測定対象への前記パターンの前記測定対象上における投影位置を移動可能な移動部と、
前記撮像部で撮像された前記測定対象へ投影されたパターンの像の存在状態を検出する基準注目領域を設定可能とし、前記基準注目領域内のパターンの像の存在状態に応じて、前記測定に利用される情報を取得する領域を設定する注目領域を生成する注目領域生成部と、
を備える形状測定装置。 - 更に、前記注目領域生成部で生成された生成された前記注目領域を、前記測定対象上における前記パターンの投影位置の移動に基づいて、変化させる注目領域設定部を有する請求項23に記載の形状測定装置。
- 構造物の形状に関する設計情報に基づいて前記構造物を成形する成形装置と、
前記成形装置によって成形された前記構造物の形状を測定する請求項1から24のいずれか一項に記載の形状測定装置と、
前記形状測定装置によって測定された前記構造物の形状を示す形状情報と前記設計情報とを比較する制御装置と、を備える構造物製造システム。 - 測定対象へパターンを投影し、前記パターンの投影方向とは異なる方向から前記測定対象に投影された前記パターンの像を撮像して画像データを取得し、前記画像データの前記パターンの像に基づいて、前記測定対象の形状を測定する形状測定方法であって、
前記パターンの投影位置が前記測定対象に対して相対移動することと、
前記測定対象の測定に利用される情報を取得するための注目領域を前記パターンの像を含むように前記撮像部で撮像される領域の少なくとも一部に設定することと、
前記画像データの前記注目領域内に位置する前記パターンの像の位置に基づいて前記測定対象の形状を測定することと、
を備える形状測定方法。 - 構造物の形状に関する設計情報に基づいて前記構造物を成形することと、
前記成形された前記構造物の形状を請求項26の形状測定方法によって測定することと、
前記測定された前記構造物の形状を示す形状情報と前記設計情報とを比較することと、
を含む構造物製造方法。 - 測定対象へパターンを投影し、前記パターンの投影方向とは異なる方向から前記測定対象に投影された前記パターンの像を撮像して画像データを取得し、前記画像データの前記パターンの像に基づいて、前記測定対象の形状を測定する形状測定プログラムであって、
コンピュータに
前記パターンの投影位置が前記測定対象に対して相対移動することと、
前記測定対象の測定に利用される情報を取得するための注目領域を前記パターンの像を含むように前記撮像部で撮像される領域の少なくとも一部に設定することと、
前記画像データの前記注目領域内に位置する前記パターンの像の位置に基づいて前記測定対象の形状を測定することと、
を実行させる形状測定プログラム。 - 請求項28に記載の形状測定プログラムを記録し、コンピュータが読み取り可能な記録媒体。
Applications Claiming Priority (1)
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