JPWO2015097897A1 - 半導体記憶装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ここで選択トランジスタSTTrX、STTrYの構造について説明する。STTrYに注目すると、X方向に延伸し2FピッチでY方向に並ぶゲートSTTGYの側壁にゲート絶縁膜を介してチャネル半導体層50pが形成されている。1つのチャネル半導体層50pに注目すると、そのY方向の両面がゲート絶縁膜を介してSTTGYと接している。また、1つのSTTGYに注目すると、そのY方向の両面がゲート絶縁膜を介してチャネル半導体層50pと接している。Y選択トランジスタSTTrYのチャネル半導体層50pのY方向の厚さが厚い(シリコンの場合10nm程度以上)場合には、チャネル半導体層にゲート絶縁膜を介して接する2つのSTTGYでそれぞれ独立な反転層が形成される。その結果、2つのゲートのどちらか一方、あるいは両方にオン電圧が印加されている場合にはチャネル半導体層50pはオン状態となり、プレート状電極BEPLATEと電極3(MLR)の間を導通させる。2つのゲートにともにオフ電圧が印加された場合にチャネル半導体層50pはオフ状態となりプレート状電極BEPLATEと電極3(MLR)の間を絶縁させる。この場合、1つのSTTGYにオン電圧を印加するとその両側にある2つのチャネル半導体層50pが必ずオン状態となるため、チャネル半導体層50pの1つだけをオン状態にする選択動作ができない。
半導体チャネル層50p、51pの膜厚を5nm程度にまで薄くする必要があるため、STTrX、STTrYの製造は、以下のように行う。また、STTrYについては、ゲートSTTGYに対して下側からコンタクトを形成する。
この段階で、Y選択トランジスタのゲートSTTGY(101p,102p,103p)はY方向にピッチ2Fで形成される。ただし、Y方向に連続する2本に注目すると、一方は101pからなり、他方は102pと103pの2層からなる。そしてどちらのゲートも下方でSTTGYCと接続される。チャネルシリコン層50pのY方向の幅(ゲート絶縁膜GOX1_YとGOX2_Yで挟まれた膜厚)は、最小加工寸法に依らない成膜膜厚で定めることができるので、極端紫外線リソグラフィ(EUV)のような高コストなリソグラフィ技術を用いなくても、例えば5nmとすることができる。
なお、チャネルシリコン層50pを102pと103pからなるゲートの下部で分離する必要が生じた場合でも、その分離幅は極力小さくして、N型ポリシリコン層40pとの接触面積を確保することが望ましい。
チャネルシリコン層50pの上部でもチャネルシリコン層50pと上部電極となる後述のN型ポリシリコン層41pとの接触抵抗を低減するため、チャネルポリシリコン層50pの一部を101pからなるゲート側に乗り上げる構造として、上部電極との接触面積を大きくすることが望ましい。
この段階で、STTGXはX方向にピッチ2Fで形成される。ただし、X方向に連続する2本に注目すると、一方は104pからなり、他方は105pからなり、形状は互いに異なる。チャネルシリコン層51pのX方向の幅(ゲート絶縁膜GOX1_X、GOX2_Xで挟まれた膜厚)は、最小加工寸法に依らない成膜膜厚で定めることができるので、極端紫外線リソグラフィ(EUV)のような高コストなリソグラフィ技術を用いなくても、例えば5nmとすることができる。
なお、チャネルシリコン層51pを105pからなるゲートの下部で分離する必要が生じた場合でも、その分離幅は極力小さくして、N型ポリシリコン層42pとの接触面積を確保することが望ましい。
図23に、本発明の選択トランジスタを用いたフラッシュメモリのデバイス構造の鳥瞰図、図24にXZ平面での断面図、図25に等価回路図を示す。図25には、読み出し動作の電圧条件が示されている。
フラッシュメモリアレイは両端で選択トランジスタを介して電極と接続されている。選択トランジスタの動作方法は、実施の形態1と同じである。
図24は、図23で省略した、ゲートとなる電極層321p、322p、323p、324p、と絶縁膜311、312、313、314、315が交互に積層された積層体、積層体に形成されたZ方向のメモリホールとメモリホール内のONO膜すなわちシリコン酸化膜(331)/シリコン窒化膜(332)/シリコン酸化膜(333)、チャネル半導体層308p、が示されている。
チャネル半導体層351pは、Y方向にメモリホールのピッチと同じ2Fピッチで分離されている。Y方向に分離された351pは、X方向に延伸しY方向に2Fピッチで形成された上部電極BLに接続されている。
図26に、本発明の選択トランジスタを用いた縦型クロスポイントメモリのデバイス構造の鳥瞰図、図27にXZ平面での断面図、図28に等価回路図を示す。縦型クロスポイントメモリアレイは下部側で選択トランジスタを介して電極と接続されている。選択トランジスタの動作方法は、実施の形態1、2と同じである。
エッチバックの際に、アモルファスシリコン層203aで積層体側壁のゲート絶縁膜9が保護されているので、アモルファスシリコン層203aが無い場合と比較してゲート絶縁膜9の信頼性を確保できる。
次に、公知の技術によって、メモリセルのゲート電極GATE1、GATE2、GATE3、GATE4の加工を行う。層間絶縁膜を成膜後、STTGXに給電するためのコンタクトSTTGXC、STTGXCと接続されるSTTGXL、メモリセルのゲート電極GATE1、GATE2、GATE3、GATE4、読み出し用配線MLRへのコンタクトを形成し、周辺回路と接続する配線を形成して半導体記憶装置を完成させる。
完成した半導体記憶装置は、メモリセルのゲート絶縁膜9の信頼性が確保できるため、絶縁膜9を薄く形成できる。このためHOLEの直径を縮小し高集積化することができる。従って、ビットコストの低減が可能である。
8p、50p、51p:チャネル半導体層
9:ゲート絶縁膜
11、12、13、14、15:絶縁膜層
21p、22p、23p、24p:ゲートポリシリコン層
25p、40p、41p、42p:N型半導体層
71、72、73、74、75、76:絶縁膜層
81:絶縁膜層
91、92:絶縁膜層
101p、102p、103p、104p、105p:ゲートポリシリコン層
201a、202a、203a:保護アモルファスシリコン層
301p、302p、303p、304p:ゲート電極層
308p:チャネル半導体層
311、312、313、314、315:絶縁膜層
321p、322p、323p、324p:ゲート電極層
331、333:シリコン酸化膜層
332:シリコン窒化膜層
340p、341p、342p、343p:N型半導体層
350p、351p:チャネル半導体層
361、362、363、364:ゲート絶縁膜層
371、372、373、374、375、376:絶縁膜層
401p、402p:ゲート電極層
405p:P型半導体層
407:抵抗変化材料層
408p:導電膜層
411、412、413、414、415:絶縁膜層
421p、422p、423p、424p:N型半導体層
440p、441p:N型半導体層
450p:チャネル半導体層
461、462:ゲート絶縁膜層
471、472、473:絶縁膜層
1001:I/Oインタフェース
1002:メモリセルアレイ
1003、1004、1005、1006:電圧源
1007:電圧セレクタ
1008:配線セレクタ
1009:制御部
1010:読み取り部
1011:管理領域
GOX1_X、GOX2_X、GOX1_Y、GOX2_Y:ゲート絶縁膜
ILD:層間絶縁膜
BEPLATE:プレート状下部電極
MLR、MLRn−1、MLRn、MLRn+1:読出し動作用配線
MLRC:MLRに給電するためのコンタクト
MLRL:MLRに給電するための配線
TEPLATE:プレート状上部電極
F:最小加工寸法
ARRAY:相変化メモリチェインアレイ
PCMCHAIN:相変化メモリチェイン
SPCMCHAIN:選択相変化チェイン
USPCMCHAIN:非選択相変化チェイン
STTrX:X方向の選択を行う選択トランジスタ
STTrY:Y方向の選択を行う選択トランジスタ
STTrX1、STTrX2:X方向の選択を行う選択トランジスタ
STTrY1、STTrY2:Y方向の選択を行う選択トランジスタ
STTGX:X方向の選択を行う選択トランジスタのゲート
STTGY:Y方向の選択を行う選択トランジスタのゲート
STTGXC:STTGXへのコンタクト
STTGYC:STTGYへのコンタクト
STTGXL:STTGXへの給電用の配線
STTGYL:STTGYへの給電用の配線
STTGXLC:STTGXへのコンタクト
STTGYLC:STTGYへのコンタクト
BELC:BEPLATEと周辺回路を接続するコンタクト
TELC:TEPLATEと周辺回路を接続するコンタクト
GATE1、GATE2、GATE3、GATE4:トランジスタのゲート電極
GL1、GL2、GL3、GL4:ゲートに給電する端子
STXm−1、STXm、STXm:選択トランジスタゲート
STYn−2、STYn−1、STYn、STYn+1、STYn+2:選択トランジスタゲート
SMC:選択メモリセル
USMC:非選択メモリセル
VREAD:読出し電圧
VSET:セット電圧
VRESET:リセット電圧
X、Y、Z:方向
VON:トランジスタのオン電圧
VOFF:トランジスタのオフ電圧
VHON:トランジスタのハーフオン電圧
HOLE:メモリホール
DSTTr、USTTr:選択トランジスタ
DSTm−2、DSTm−1、DSTm、DSTm:選択トランジスタゲート
USTm−2、USTm−1、USTm、USTm:選択トランジスタゲート
Vthc:閾値判定レベルの電位
Vpass:非選択セルのゲートへの印加電位
Vth:閾値電位
STTr:選択トランジスタ
BTL:電極配線
Claims (15)
- 半導体基板の上方に形成されたプレート状の下部電極と、前記下部電極の上方に形成された上部電極と、前記下部電極と前記上部電極の間に配置された、電気的に書き換え可能な複数のメモリセルが直列に接続された複数のメモリチェインと、前記メモリチェインの一端に接続された第1選択トランジスタとを有し、
前記複数のメモリチェインは、その長手方向を前記半導体基板の法線方向と合わせて、前記半導体基板面内の第1方向と、第1方向と前記半導体基板面内で直交する第2方向とに沿ってマトリックス状に配置され、
前記第1選択トランジスタは、前記第1方向のメモリチェインの配列ピッチと等ピッチで第1方向に並列に、前記第2方向に延伸して形成されている複数のゲートと、前記複数のゲートの間の対向する各側壁に接して形成されたゲート絶縁膜と、及び前記ゲート絶縁膜を介して前記複数のゲートの間に挟まれて形成された第1のチャネル半導体層とを有し、
前記第1のチャネル半導体層は、前記複数のゲートのうち1つおきのゲートにおいて、該ゲートの両隣りにゲート絶縁膜を介して形成されている両チャネル半導体層が、同時成膜工程の結果により該ゲートと前記下部電極または上部電極との間で接続されている、または同時成膜工程の結果の一部が該ゲートと前記下部電極または上部電極との間に残されていることを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記メモリセルが相変化メモリであることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1選択トランジスタのゲートは、前記第1選択トランジスタのゲートの下方側から形成されたコンタクト孔を介して給電されることを特徴とする請求項2に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1選択トランジスタのゲートは、2つ以上の材料層で形成されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体記憶装置。
- 前記下部電極と前記メモリチェインアレイの間に前記第1選択トランジスタに加えて、前記第1選択トランジスタと直列に接続される第2選択トランジスタを更に備え、
前記第2選択トランジスタは、前記第2方向のメモリチェインの配列ピッチと等ピッチで第2方向に並列に、前記第1方向に延伸して形成されている複数のゲートと、前記複数のゲートの間の対向する各側壁に接して形成されたゲート絶縁膜と、及び前記ゲート絶縁膜を介して前記複数のゲートの間に挟まれて形成された第2のチャネル半導体層とを有し、
前記第2選択トランジスタの第2チャネル半導体層は、前記第2方向の両側でゲート絶縁膜を介して前記第2選択トランジスタのゲートと対向して存在し、前記第2選択トランジスタのゲートは前記第2方向の両側で前記ゲート絶縁膜を介して前記第2のチャネル半導体層と対向して存在し、前記第2選択トランジスタのゲートは第2方向に1つおきに形状が異なることを特徴とする請求項2に記載の半導体記憶装置。 - 前記第1選択トランジスタと前記第2選択トランジスタの間に、前記第2方向に延伸し、前記第1選択トランジスタの第1チャネル半導体層および前記第2選択トランジスタの第2チャネル半導体層と電気的に接続された金属配線を更に備えていることを特徴とする請求項5に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1選択トランジスタの第1チャネル半導体層は、単層の半導体層で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1チャネル半導体層の上部に形成されるソース/ドレイン拡散層は、前記第1選択トランジスタのゲートの1つおきの上方に、前記第1チャネル半導体層と接して形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記メモリセルがフラッシュメモリであることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記メモリセルが縦型クロスポイントメモリであることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1選択トランジスタの前記第1のチャネル半導体層の前記第1方向の厚みは、5nm以下とすることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかの請求項に記載の半導体記憶装置。
- 前記第2選択トランジスタの前記第2のチャネル半導体層の前記第2方向の厚みは、5nm以下とすることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の半導体記憶装置。
- (a)半導体基板上に層間絶縁膜を介して下部電極となる金属膜を形成する工程と、
(b)前記下部電極上に第1絶縁膜を形成する工程と、
(c)前記第1絶縁膜上に第1ゲート電極層と第2絶縁膜層を形成する工程と、
(d)前記第2絶縁膜、前記第1ゲート電極層、及び前記第1絶縁膜層を、メモリチェインアレイの前記半導体基板面内の第2方向の配列ピッチの2倍のピッチで所定の幅で並列に、前記半導体基板面内の第1方向に延伸するようにパターニングする工程と、
(e)前記工程(d)で形成されたスペースが完全には埋め込まれないように第1ゲート絶縁膜層を形成する工程と、
(f)前記工程(e)で形成されたパタンの上表面と、及びスペース部の下部電極上の前記第1ゲート絶縁膜層を除去する工程と、
(g)前記工程(f)で形成されたスペースが完全には埋め込まれないように第1チャネル半導体を成膜する工程と、
(h)前記工程(g)で形成されたスペースが完全には埋め込まれないように第2ゲート絶縁膜を成膜する工程と、
(i)第2ゲート電極層を成膜する工程と、
(j)前記工程(i)で形成した前記第2ゲート電極層をエッチバックにより前記工程(d)で形成された溝ごとに分離する工程と、
を含むことを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。 - 請求項13に記載の半導体記憶装置の製造方法において、
前記工程(b)と前記工程(c)の間に、
(b1)前記第1絶縁膜にコンタクト孔を形成する工程と、
前記工程(i)と前記工程(j)の間に、
(i1)前記工程(d)で形成されたスペース部に存在する前記コンタクト孔を覆う前記第1ゲート絶縁膜と前記第2ゲート電極層を、コンタクト孔上で除去する工程と、
(i2)第3ゲート電極層を形成する工程と、
(i3)前記工程(i2)で形成した前記第3ゲート電極層をエッチバックにより前記工程(d)で形成された溝ごとに分離する工程と、
を更に含むことを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。 - 請求項13に記載の半導体記憶装置の製造方法において、
前記工程(e)と前記工程(f)の間に、
(e1)第1ダミー層を形成する工程と、
前記工程(f)と前記工程(g)の間に、
(f1)前記工程(e1)で形成した前記第1ダミー層を除去する工程と、
を更に含むことを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。
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