JPWO2015076387A1 - ノイズ吸収シート - Google Patents

Abstract

磁界／電界、両方のノイズに対し、高いノイズ吸収効果を発揮し、且つ、そのノイズ吸収効果がより広帯域に有効なノイズ吸収シートを提供すること。少なくとも２種の層が積層されたノイズ吸収シートであって、磁性材料を含有する磁性体層と、構成繊維に金属が付着しているノイズ吸収布帛の層とが積層されており、前記ノイズ吸収布帛の少なくとも片面の表面抵抗率の常用対数値が０〜６の範囲にあることを特徴とするノイズ吸収シート。

Description

本発明は、電子機器における伝導ノイズ、放射ノイズを吸収し、特に高周波帯域における放射ノイズを効果的に吸収可能なノイズ吸収シートに関する。

パソコン、大画面テレビ等の電子機器、携帯電話、無線ＬＡＮ等の無線通信機器等の本格的な普及によって、取り扱われる情報量が顕著に増大している。このため、これらの電子機器及び無線通信機器は、より高容量化、高集積化、高速通信化され、増大する情報量をより早く処理し、より効率よく伝送する要求がますます増えてきている。これらの要求を満たすために、ＬＳＩのクロック周波数及び電子機器で使われる伝送周波数は、より高周波側にシフトし、かつ通信機器の利用周波数もより高くなっている。

利用周波数が高くなったことにより、電子機器から発生するノイズにより他の機器に動作不良が生じやすくなること、通信機器で利用される電波との干渉により、電子機器、通信等に不具合が生じやすくなること等が報告されている。
このため、電子部品、伝送線路等に対し、また通信システムに対し、電磁波の干渉を防ぐ目的で、いわゆるＥＭＣ対策として、電子機器から発生するノイズを吸収するノイズ吸収体の必要性が高まってきている。

さらに、ユビキタス社会に移行し、モバイル型のパソコンが増え、携帯電話も、より小型化及び高性能化してきている。従って、小型化及び軽量化可能なデバイス、素材等が望まれている。特に、Wi-FiやGPSなどに代表される無線通信のアンテナを搭載している機器が普及しており、これらの機器においては、その機器自身が発するノイズが、無線通信アンテナと干渉を起こし、通信状態を劣化させる問題、所謂自己干渉が生じており、より高いレベルでのノイズ対策が必要となってきている。

下記特許文献１には、軟磁性体が樹脂中に分散されたノイズ吸収シートが開示され、実用化されている。上記ノイズ吸収シートが性能を発現する原理は、樹脂中に分散させた軟磁性体が、電磁波を捕捉して磁性的に分極し、その際の磁性損失により電磁波が熱エネルギーに変換されるものである。上記軟磁性体はノイズ成分のうち、磁界成分にはより効果があるが、電界成分には顕著な吸収効果がない。

また、軟磁性体を用いたノイズ吸収シートは、軟磁性体の性質から、MHz帯域には効果を発揮するが、GHz帯域以上の高周波成分には、ノイズ吸収効果が小さい。高周波帯域の性能を高めるために、軟磁性体の組成及び構造を複雑化させた粉体をノイズ吸収シートに用いること、例えば、軟磁性体の原料としてレアメタル及び／又は微少元素を用い、より複雑な化合物とすることにより、磁性を制御することも試みられているが、コストの問題が生じうる。

さらに、軟磁性体が樹脂中に分散されたノイズ吸収シートは、特定の周波数のノイズを吸収するが、広帯域のノイズを吸収することは難しい。このため、種々の周波数に対して効果を発揮する粒子を混合し、シート化する検討もなされているが、シート化するためには、添加しうる粒子の量に限界があり、広帯域でノイズ吸収能を発揮することは難しかった。

一方、広帯域に効果のあるノイズ吸収シートとしては、金属を布帛上にコーティングしたノイズ吸収布帛が提案されている（下記特許文献２参照）。このノイズ吸収布帛は、ノイズ成分のうち電界ノイズの除去には高い効果を示すが、磁界成分に対してのノイズ吸収効果は、上記軟磁性体が樹脂中に分散されたノイズ吸収シートには及ばない。
また、電界ノイズ成分に効果を付与するために、軟磁性体が樹脂中に分散されたノイズ吸収シートに、金属箔や金属加工布帛などの所謂電磁波シールド体を複合したノイズ吸収シートも開発されている（下記特許文献３と４参照）が、電磁波シールド体は、その導電性が非常に高いために、反射成分が多くなりノイズ吸収性能が低くなってしまう。また、電磁波シールド体自身がアンテナとなり、ノイズの二次輻射を起こす可能性があり、電子機器に予期せぬ悪影響を与えることがある。

さらに、上電磁波シールド体の代わりに、金属やカーボンナノチューブが加工されたプラスチックフィルムからなる電磁波吸収フィルムを軟磁性体が樹脂中に分散された層と重ね合せることにより、上述した電磁波の反射を抑えるノイズ吸収シートも提案されている（下記特許文献５参照）が、この電磁波吸収フィルムは、その電磁波吸収性能を発現させるために、加工工程が複雑になる。また材料も高価なものであるために、製品のコストが非常に高くなってしまう。また、ノイズ吸収性能についても、プラスチックフィルム層と磁性体層のそれぞれのノイズ吸収性能を足し合わせたものであり、劇的なノイズ吸収効果の向上は見受けられない。

特開２０１２−２８５７６号公報 特開２０１１−１４６６９６号公報 特開平７−２１２０７９号公報 特開２００５−３２７８５３号公報 ＷＯ２０１３／０８１０４３号パンフレット

以上のように、従来のノイズ吸収シートは、ノイズ成分の種類また周波数成分に対して限定的に効果を発揮するもの、または、反射成分が多いために十分にノイズ吸収性能を有していないものであった。従って、本発明は、磁界／電界、両方のノイズに対し、高いノイズ吸収効果を発揮し、且つ、そのノイズ吸収効果がより広帯域に有効なノイズ吸収シートを提供することを課題とする。

本発明者等は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、磁界ノイズ成分に効果の高い磁性材料により構成されている層と電界ノイズ成分に効果の高い、布帛上に金属がコーティングされたノイズ吸収布帛層とを複合することにより、反射成分が小さくかつ、それぞれのシートの相乗効果により各ノイズ成分に対してより高いノイズ吸収効果を発揮することを見出し、上記課題を解決できるノイズ吸収シートを完成するに至った。
具体的には、本発明は以下の発明を提供する。

１．少なくとも２種の層が積層されたノイズ吸収シートであって、磁性材料を含有する磁性体層と、構成繊維に金属が付着しているノイズ吸収布帛の層とが積層されており、該ノイズ吸収布帛の少なくとも片面の表面抵抗率の常用対数値が０〜６の範囲にあることを特徴とするノイズ吸収シート。
２．前記布帛が合成長繊維から成る不織布である、上記１項に記載のノイズ吸収シート。
３．前記布帛が７．０μｍを超え５０μｍ以下の繊維径を有する繊維を含む、上記１又は２項に記載のノイズ吸収シート。
４．前記布帛が７．０μｍ以下の繊維径を有する繊維を含む、上記１〜３項のいずれか一項に記載のノイズ吸収シート。
５．前記布帛が７μｍを超え５０μｍ以下の繊維径を有する繊維と０．０１〜７．０μｍの繊維径を有する繊維とが混合された布帛である、上記４項に記載のノイズ吸収シート。
６．前記布帛が、第１層及び第２層の少なくとも２つの層を有する積層された布帛であり、該第１層が７μｍを超え５０μｍ以下の繊維径を有する繊維から成る不織布の層であり、そして該第２層が０．０１〜７．０μｍの繊維径を有する繊維から成る不織布の層である、上記５項に記載のノイズ吸収シート。
７．前記布帛が、第１層、第２層及び第３層の少なくとも３つの層をこの順番で有する積層された布帛であり、該第１層と該第３層が７μｍを超え５０μｍ以下の繊維径を有する繊維から成る不織布の層であり、そして該第２層が０．０１〜７．０μｍの繊維径を有する繊維から成る不織布の層である、上記６項に記載のノイズ吸収シート。
８．前記布帛の厚みが１０〜４００μｍであり且つ坪量が７〜３００ｇ／ｍ²である、上記１〜７項のいずれか一項に記載のノイズ吸収シート。
９．前記磁性体層の厚さが２０〜５００μｍである、上記１〜８項のいずれか一項に記載のノイズ吸収シート。
１０．前記磁性体層は、金属磁性粉体５５〜９０wt％とバインダー１０〜４５wt％とを含む、上記１〜９項のいずれか一項に記載のノイズ吸収シート。
１１．１ＧＨｚにおける反射減衰量（Ｓ１１）^２が０．２以下である、上記１〜１０項のいずれか一に記載のノイズ吸収シート。
１２．前記構成繊維に金属が付着しているノイズ吸収布帛の層の電界ノイズ吸収効果を
Ａe、前記磁性材料を含有する磁性体層の電界ノイズ吸収効果をＢe、そして前記ノイズ吸収シートの電界ノイズ吸収効果をＣeとした場合、Ａe + Ｂe ＞ Ｃeである、上記１〜１１項のいずれか一項に記載のノイズ吸収シート。
１３．前記構成繊維に金属が付着しているノイズ吸収布帛の層の磁界ノイズ吸収効果を
Ａｍ、前記磁性材料を含有する磁性体層の磁界ノイズ吸収効果をＢｍ、そして前記ノイズ吸収シートの磁界ノイズ吸収効果をＣｍとした場合、Ａｍ + Ｂｍ ＞ Ｃｍである、上記１〜１２項のいずれか一項に記載のノイズ吸収シート。

本発明のノイズ吸収シートは、電磁波が反射されにくく且つノイズ吸収能に優れる。また広帯域のノイズに効果があり、磁界／電界の両方のノイズ成分に対して高いノイズ吸収効果を有する。また、柔軟性に優れ、薄膜化が可能でかつ、安価に製造できるノイズ吸収シートである。

本発明のノイズ吸収シートの断面を模式的に示す図である。 本発明で用いる磁性体層の断面を模式的に示す図である。 本発明で用いるノイズ吸収布帛層の断面を模式的に示す図である。 ノイズ吸収布帛層の導電度の勾配を説明する図である。 ノイズ吸収布帛層における金属クラスターを説明する図である。 繊維上の金属の粒子の積層状態の一態様を示す模式図である。 マイクロストリップライン法を説明するための図である。 ノイズレベルの測定方法を説明するための図である。 実施例１における磁界ノイズ測定結果である。 実施例１における電界ノイズ測定結果である。 実施例２における磁界ノイズ測定結果である。 実施例２における電界ノイズ測定結果である。 比較例１における磁界ノイズ測定結果である。 比較例１における電界ノイズ測定結果である。 比較例２における磁界ノイズ測定結果である。 比較例２における電界ノイズ測定結果である。 比較例３における磁界ノイズ測定結果である。 比較例３における電界ノイズ測定結果である。 実施例１におけるマイクロストリップライン法による測定結果である。 実施例２におけるマイクロストリップライン法による測定結果である。 比較例９におけるマイクロストリップライン法による測定結果である。 電界分布マッピング測定に用いた基板の図である。 ブランク状態（シート不添付）での電界分布マッピング測定結果である。 実施例１における電界分布マッピング測定結果である。 比較例９における電界分布マッピング測定結果である。

以下、本発明のノイズ吸収シートについて図面を用いて具体的に説明する。
図１は、本発明のノイズ吸収シートの断面を模式的に示す図である。図１のノイズ吸収シート（１）は、磁性材料を含有する磁性体層（２）と、構成繊維に金属が付着しているノイズ吸収布帛層（３）とを有する。
図２は、本発明のノイズ吸収シートを構成する、磁性材料を含有する磁性体層の断面を模式的に示す図である。図２の磁性体層は、磁性体粒子（４）とそれらを保持するためのバインダー（５）からなる。図２では、便宜上、磁性体粒子の断面を全て真円で描いているが、磁性体粒子の形状は特に限定されない。

図３は、本発明のノイズ吸収シートを構成する、ノイズ吸収布帛層の一態様の断面を拡大した模式図である。図３のノイズ吸収布帛層は、金属加工された布帛からなり、金属（６）が布帛を構成する繊維（７）の上に形成されている。なお、図３では、便宜上、繊維の断面を全て真円で描いている。

本発明において、ノイズ吸収布帛層は、金属加工された面の表面抵抗率（Ω／□）の常用対数値が０〜６の範囲内、好ましくは０〜４の範囲内にある。表面抵抗率の常用対数値とは、表面抵抗率をＸ（Ω／□）とした場合の、ｌｏｇ₁₀Ｘの値を意味する。上記表面抵抗率の常用対数値が０未満であると、導電度が大きすぎ、電磁波が、上記ノイズ吸収布帛の表面、より正確には、金属加工された面のところで大部分が反射され、ノイズ吸収能が劣る。導電度が小さく、電磁波の反射が大きい場合には、電磁波同士の干渉が起こり、ノイズ吸収性が阻害される。

一方、上記表面抵抗率の常用対数値が６超であると、電磁波がノイズ吸収布帛層を透過し、電磁波の吸収能（捕捉能）が劣る場合がある。上記表面抵抗率の常用対数値が０〜６の範囲内にある場合には、電磁波が本発明のノイズ吸収布帛層の内部に適度に進入し、進入した電磁波が金属加工された金属に捕捉され、電気に変換され、さらに電気抵抗により熱エネルギーに変換されるので、ノイズ吸収能が高くなる。上記ノイズ吸収布帛層の表面抵抗率の常用対数値は０．１〜３の範囲内にあることがさらに好ましい。
上記表面抵抗率は、三菱化学社製の低抵抗計Ｌｏｒｅｓｔａ―ＧＰ、型式ＭＣＰ−Ｔ６００を用い、４端子法で測定することができる。

ノイズ吸収布帛層は、金属加工された面よりも内部の方が、導電度が小さいことが好ましい。金属加工面の導電度よりも内部の導電度を小さくするための手段としては、ノイズ吸収布帛層の内部における金属及び布帛の総量に対する金属の比率を、金属加工された面における金属の比率よりも下げることが挙げられる。図４は、本発明のノイズ吸収布帛層の導電度の勾配を説明するための図である。図４に示したノイズ吸収布帛は、繊維（７）から形成される布帛と、金属加工された金属（６）とを含む。図４では、ノイズ吸収布帛の内部（図４では下方部分）における金属及び布帛の総量に対する金属の比率が、ノイズ吸収布帛の表面（図４では上方部分）における金属及び布帛の総量に対する金属の比率よりも低い。従って、図４に示したノイズ吸収布帛は、その表面よりも内部の方が、導電度が小さい。
なお、図４では、便宜上、繊維の断面を全て真円で表現している。また、本明細書において、「導電度」とは、導電性の度合いを意味する。

導電度の適度な勾配により、外部から進入した電磁波が、導電度の大きい部分で捕捉され、電流に変換されるが、特に内部ほど導電度が小さい、すなわち、電気抵抗値が大きいことから、電気抵抗により熱エネルギーに変換されやすくなる。これにより、効率よく電磁波を吸収し、ノイズを吸収することができる。
上記導電度の勾配は、例えば、後述の金属蒸着法により金属加工を行なうことで達成することができる。

ノイズ吸収布帛は、布帛の少なくとも一方の面に金属加工がなされているが、布帛の両面に金属加工がなされていてもよい。
布帛の両面に金属加工されたノイズ吸収布帛では、少なくとも一方の面において、金属加工された面における導電度よりも、内部における導電度が小さいことが好ましく、そして両方の面において、金属加工された面における導電度よりも、内部における導電度が小さいことがより好ましい。

本発明において、ノイズ吸収布帛層では、基材は繊維の集合体である布帛である。基材として布帛を採用することにより、より柔軟で、可とう性に富み、電子機器に組み込む場合に、より複雑な形状を採用することができ、電子機器の筐体の中の、集積度の高い電子部品のノイズが発生する箇所に配置することができる。
なお、本明細書において、単に「布帛」と称する場合には、金属加工されていない布帛を意味し、「ノイズ吸収布帛」と称する場合には、金属加工された布帛を意味する。

また、基材として繊維の集合体である布帛を採用することにより、金属加工された金属が、複数の金属クラスターを含むことができる。図５は、金属クラスターを説明するための図であり、布帛を構成する繊維（７）の上に金属クラスター（８）が形成されている。図６は、金属加工を後述する金属蒸着方法によって行なった場合の、繊維上の金属の粒子の積層状態の一態様を示す模式図である。図６に示すノイズ吸収布帛は、布帛と金属加工された金属とを含み、そして金属加工された金属は、複数の金属クラスター（８）から構成されている。金属クラスター（８）は、それぞれ、電気抵抗値が異なり、スイッチ効果を有する場合もあり、よりノイズ吸収能が高い。
なお、図６では、図４と同様に、繊維の断面を全て真円で表現している。
ノイズ吸収布帛の基材として繊維の集合体である布帛を選択することにより、その交絡点はより増加し、より性能を発揮することができるようになる。

また、布帛はその表面が平滑ではないので、金属蒸着法等により、一方向から金属加工した場合には、複数の金属クラスターが形成され、ミクロ的に見ると電気抵抗値が場所によって異なる。従って、外部から進入した電磁波が、一定の導電度及び電気抵抗値を有する金属クラスターにより捕捉され、電流に変換され、次いで電気抵抗により熱エネルギーに変換されることにより、そのノイズ吸収性が発揮される。この点が、従来のフィルムやシート等の平滑表面を有するものと大きく異なる点である。すなわち、フィルムやシート等の平滑表面に、金属蒸着法等により金属加工したものは、金属加工された面がより平滑になり、金属本来が有する大きな導電度が発揮されてしまい、すなわち、表面抵抗率の常用対数値が０未満になりやすく、電磁波の反射が生じやすくなる。また、フィルム、シート等は、その表面を不均一に加工すること自体が難しく、不均一に加工する場合には、コストの問題が生じうる。

本発明に用いられる布帛は、繊維の集合体であり、繊維同士の交絡点が多く、そしてその表面が不均一である（一方向から見た場合に曲率を有する）ことから、金属蒸着等により金属加工すると、より電気的に不均一な金属クラスターが形成され、一度捕捉された電磁波が、より効率よく電気抵抗により消費されるので、本発明で用いるノイズ吸収布帛は非常に高いノイズ吸収能を有することができる。

本発明に用いられる布帛は不織布であることが好ましく、布帛を形成する繊維は合成長繊維であることが好ましい。
一般的に、織物、編物等の布帛は、繊維が布帛の縦、横等の方向に配向している比率が高い。この場合、布帛に金属加工することにより得られたノイズ吸収布帛は、金属も一定の方向に配向し、ノイズ吸収性に一定の方向性を有する。従って、ノイズが一定の方向に由来する場合には、一定方向に配向した繊維を有する布帛、例えば、織物及び編物が好ましい。一方、一般的な電子機器のように、ノイズが種々の方向に由来する場合には、繊維が一定方向に配向していない布帛、例えば、不織布が好ましい。
また、繊維が一定方向に配向していない方が、反射が抑制され、より高いノイズ吸収性を発揮できる。従って、本発明に用いられる布帛は不織布がより好ましい。

また、本発明のノイズ吸収シートは、電子機器に用いられる場合に、電子部品の形状、回路線路の形状等によって、複雑な形状に打ち抜かれ、電子部品や伝送線路に貼られるか、又は電子部品の筐体に貼られること等により使用されることが多い。ノイズ吸収シートに用いる布帛が織物、編物等では、複雑な形状に打ち抜かれた場合に、打ち抜かれた部分の端部から繊維片が発生する場合がある。上記繊維片は、金属加工された金属を伴う場合があり、短絡し、電子部品の誤操作につながる恐れがある。

本発明に用いられる布帛は、熱により形成された布帛であることがより好ましい。バインダーを添加して布帛を製造すると、バインダーが電子機器に移行し、誤作動させる場合がある。従って、布帛は、バインダーを用いず、熱により形成された合成長繊維不織布であることが好ましい。一方、布帛を作る工程の合理性の観点からも、熱による形成ができれば、コストをより低減することができるので望ましい。

本発明において、布帛を構成する繊維は、熱により布帛を形成することができる合成繊維が好ましい。また、パルプ、レーヨン繊維等のセルロース系繊維は、その親水性のために、水分を含みやすい場合がある。含まれた水分が再放出されると、電子機器の誤作動につながるため好ましくない。
本発明に用いられる布帛を構成する繊維の具体例としては、ポリプロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィン、ポリアルキレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ、ＰＢＴ、ＰＴＴ等）及びその誘導体、Ｎ６、Ｎ６６、Ｎ６１２等のポリアミド系樹脂及びその誘導体、ポリオキシメチレンエーテル系樹脂（ＰＯＭ等）、ＰＥＮ、ＰＰＳ、ＰＰＯ、ポリケトン樹脂及びＰＥＥＫ等のポリケトン系樹脂、ＴＰＩ等の熱可塑性ポリイミド樹脂等、並びにこれらの組み合わせから形成された繊維が挙げられる。

上記繊維は、本発明のノイズ吸収布帛が適用される環境に応じて、適宜選択することができるが、例えば、以下のように選択することができる。
Ｎ６、Ｎ６６、Ｎ６１２等のポリアミド系樹脂やその誘導体は、吸水率の高い樹脂であるので、他の樹脂と比較して、水分を極端に嫌う電子分内に適用することは避けることが望ましい。半田耐熱性が必要な場合や、電子部品等から出る熱による不具合が起こる可能性がある場合は、すなわち、耐熱性を必要とする電子機器では、ＰＥＴ系樹脂やＰＰＳ系樹脂、ＰＥＥＫ系樹脂から形成された繊維を用いることが好ましい。一方、誘電率、ｔａｎδ等の電気特性から判断すると、ポリオレフィン樹脂、ＰＥＴ系樹脂、ＰＰＳ系樹脂、ＰＰＯ系樹脂、ＰＥＥＫ系樹脂及びフッ素系樹脂が好ましい。
上記繊維は、難燃性を有する繊維であることが好ましい。電子部品の安全性の観点から、発火により燃えにくい繊維を採用すべきだからである。

上記繊維の繊維径は、本発明のノイズ吸収シートが適用される環境により異なるが、一般的には、５０μｍ以下であることが好ましい。均一な繊維間距離を有する布帛を得ることができ、電磁波のもれ、例えば、透過を少なくすることができるからである。また、繊維の強度が高く、金属加工の工程や、使用される環境等において、布帛又はノイズ吸収布帛が切れる可能性が低いので、安定した加工、使用等ができる。

本発明のノイズ吸収シートにおいて、布帛が７μｍ以下の繊維径を有する繊維（以下、「極細繊維」と称する場合がある）の層を含むことが好ましい。繊維径が７μｍ以下という極細繊維の層を含むことにより、単位体積当りの繊維の本数が増え、繊維の比表面積が大きくなることにより、その結果、金属層の比表面積も大きくなり、ノイズ吸収能がより高くなる。また、極細繊維の層を含むことにより、ノイズ吸収布帛が薄くなるので、軽いこと、薄いこと、短いこと、小さいことを目指す電子機器に好適となる。また、本発明のノイズ吸収シートが薄くなることにより、シートをしなやかに曲げることができ、同じく、電子機器への装着が簡易になり、よりノイズ吸収能を発揮しやすい。本発明に用いられる布帛は、７μｍ以下の繊維径を有する繊維の層を含むことが好ましく、そして４μｍ以下の繊維径を有する繊維の層を含むことがより好ましい。

上記極細繊維の繊維径は０．０１μｍ以上であることが好ましく、０．０５μｍ以上であることがより好ましい。
上記極細繊維は、例えば、メルトブロウン法、エレクトロスピニング法等により製造されることが好ましく、そしてメルトブロウン法により製造されることがより好ましい。
また、上述したように、本発明で用いるノイズ吸収布帛において、繊維が一定方向に配向することなく、ランダム配向性を有することが好ましい。

極細繊維から成る布帛の場合には、布帛の強度が低い傾向があるので、極細繊維よりも太い繊維径、すなわち、７μｍ超の繊維径を有する繊維（以下、「一般繊維」と称する場合がある）を含む布帛と併用することが好ましい場合もある。
本発明に用いられる布帛を構成する繊維の断面形状は、特に制限されないが、より不均一な表面を形成するために、異型糸、割繊糸等であることが好ましい。また、同様の目的で、クリンプ糸、撚糸等であることもできる。

本発明に用いられる布帛の引張強さは、特に制限されないが、金属加工の工程、ノイズ吸収布帛を使用する際の取り扱い性等から、１０Ｎ／３ｃｍ以上であることが望ましい。上記引張強さが、１０Ｎ以上／ｃｍであれば、真空蒸着、スパッタリング等の金属加工の工程で、布帛が切れる、皺がよる等が生じにくく、より効率よく金属加工することができ、さらに使用上も問題ないノイズ吸収布帛を製造することができる。上記引張強さは、２０Ｎ／３ｃｍ以上であることがより好ましい。
なお、上記引張強さは、試験片の幅を３ｃｍとした以外は、ＪＩＳ−Ｌ１９０６：２０００の５．３に従って測定した値を意味する。

本発明に用いられる布帛の厚みは１０〜４００μｍの範囲内にあることが好ましく、１５〜２００μｍの範囲内にあることがより好ましい。上記布帛の厚みが１０μｍ未満では、金属加工する際に、適度な強度及び腰を有せず、金属加工しにくい場合があり、そして金属加工する際に、金属が裏抜けし、装置を汚染する場合がある。さらに、打ち抜き加工されたノイズ吸収布帛の強度が弱い場合がある。また、上記布帛の厚みが４００μｍを超えると、金属加工する際に、腰が過度に強い場合がある。さらに、本発明のノイ吸収シートが厚すぎて狭い部分に挿入しにくく、曲げにくく、折りにくく、電子部品に装着しにくくなる場合がある。
上記布帛の厚みは、ＪＩＳ Ｌ−１９０６：２０００に規定の方法に従って、測定することができる。

本発明に用いられる布帛の坪量は７〜３００ｇ／ｍ²の範囲内にあることが好ましく、１５〜１５０ｇ／ｍ²の範囲内にあることがより好ましい。坪量が７ｇ／ｍ²未満では、金属加工する際に、金属が裏抜けし、装置を汚染する場合がある。さらに、本発明のノイズ吸収布帛の強度が弱く、加工、打ち抜き等の工程に用いにくくなる場合がある。坪量が３００ｇ／ｍ²超であると、本発明のノイズ吸収布帛が過度に重くなる場合がある。坪量が７〜３００ｇ／ｍ²の範囲内にある場合には、本発明のノイズ吸収布帛が布形状を保つことができ、取扱い性も良好である。
上記坪量は、ＪＩＳ Ｌ−１９０６：２０００に規定の方法に従って測定することができる。

本発明に用いられる布帛は、０．０５μｍ〜５．０ｍｍ の平均開孔径を有することが好ましい。平均開孔径が小さすぎない場合は、繊維同士の交絡点が適度に多くなり、スイッチング効果により、ノイズ吸収性能をと高くすることができる。また、平均開孔径が大きすぎない場合は、繊維間の隙間が大きすぎず、金属加工する際に、目的とする電気抵抗値が得やすい。さらに、平均開孔径は、０．０５μｍ〜 １．０ｍｍであることが好ましく、０．０５μｍ〜５００μｍであることがさらに好ましく、そして０．５μｍ〜２００μｍであることがさらに好ましく、０．５μｍ〜３０μｍの平均開孔径を有することが最も好ましい。上記平均開孔径は、パームポロメーター等により測定することができる。

本発明に用いられる布帛の製造方法は特に制限されず、本発明に用いられる布帛は一般的な織物、編物、不織布等を製造する方法により作成されうる。本発明に用いられる布帛が不織布である場合には、合成長繊維不織布の製造方法であるスパンボンド法、メルトブロウン法、フラッシュ紡糸法等が好ましい。また、本発明に用いられる布帛が不織布である場合には、短繊維を用いた抄紙法、乾式法等を用いることもできる。本発明に用いられる布帛が不織布である場合には、合成繊維を用いて不織布を製造する方法がより好ましく、強度が高く、加工がしやすくノイズ吸収布帛を製造することができる。

また、本発明に用いられる布帛として、極細繊維から成る不織布の層と一般繊維から成る不織布の層とを積層することにより形成された積層不織布が好ましい。上記極細繊維及び一般繊維は熱可塑性樹脂からなることが好ましく、極細繊維から成る不織布の層と一般繊維から成る不織布の層とを熱エンボスで一体化することにより、積層不織布の引張強さと曲げ柔軟性とを維持し、耐熱安定性を維持することができる。上記積層不織布として、スパンボンド不織布の層およびメルトブロウン不織布の層、またはスパンボンド不織布の層、メルトブロウン不織布の層及びスパンボンド不織布の層をそれぞれその順で積層し、次いでエンボスロール又は熱プレスロールで圧着することにより製造されたものが挙げられる。

上記積層不織布として、熱可塑性合成樹脂を用いて少なくとも１層以上のスパンボンド不織布の層をコンベア上に紡糸し、その上に熱可塑性合成樹脂を用いてメルトブロウン法で、繊維径０．０１〜７μｍの極細繊維の不織布の層を少なくとも１層以上吹き付ける。その後、エンボスロール又はフラットロールを用いて熱圧着することで一体化することにより製造された積層不織布が好ましい。
さらに、熱圧着前にメルトブロウン不織布の上に熱可塑性合成樹脂を用いた熱可塑性合成長繊維不織布を少なくとも１層以上積層し、次いで、エンボスロール又はフラットロールを用いて圧着することで一体化することにより製造された積層不織布がより好ましい。

上記積層不織布では、スパンボンド法による熱可塑性合成長繊維の不織布の層の上に、メルトブロウン法による極細繊維の不織布の層が直接吹き付けられているので、メルトブロウン法による極細繊維を、熱可塑性合成長繊維の不織布の層内に侵入させることができ、熱可塑性合成長繊維の不織布の層の繊維間隙を埋めることができる。このようにすれば、メルトブロウン法による極細繊維が熱可塑性合成長繊維の不織布内に侵入して固定されるため、積層不織布の構造自体の強度が向上するだけでなく、極細繊維の不織布の層の外力による移動が生じにくくなるので層間剥離しにくくなる。上記積層不織布の製法は、国際公開第２００４／９４１３６号パンフレット、国際公開第２０１０／１２６１０９号パンフレット等に開示されている。

スパンボンド不織布層、メルトブロウン不織布層を積層した積層不織布の場合には、３層の積層不織布及び２層の積層不織布ともに、スパンボンド不織布層の坪量が上下合わせて１．０〜２７０ｇ／ｍ²であり、メルトブロウン不織布層の坪量が０．３〜２７０ｇ／ｍ²であり、そして全体の坪量が７〜３００ｇ／ｍ²であることが好ましい。スパンボンド不織布層の坪量が上下合わせて３．０〜１００ｇ／ｍ²であり、メルトブロウン不織布層の坪量が０．５〜１２０ｇ／ｍ²であり、そして全体の坪量が１５〜１５０ｇ／ｍ²であることがより好ましい。

また、スパンボンド不織布層の繊維の繊維径は、好ましくは４μｍ〜５０μｍ、より好ましくは５〜４０μｍ、そしてさらに好ましくは６〜３５μｍである。下限は７μｍを超えていることが特に好ましい。
メルトブロウン不織布層の繊維の繊維径は、好ましくは７μｍ以下、より好ましくは４μｍ以下である。メルトブロウン不織布層の繊維径は、好ましくは０．０１μｍ以上、そしてより好ましくは０．０５μｍ以上である。

本発明で用いるノイズ吸収布帛のノイズ吸収能は、前述の従来技術とは明らかに思想が異なり、本発明で用いるノイズ吸収布帛は、透磁率は高くなくても、極言すれば、一般的な透磁率の値をほとんど有しなくとも、高いノイズ吸収能を発揮することができる。本発明で用いるノイズ吸収布帛は、導電度の勾配により、ノイズ吸収能を発揮する。上述のように、極細繊維を含む布帛の表面に、所望の金属加工をすることにより、金属加工された面の面積がより大きくなり、ノイズ吸収能が高くなる。

また、ノイズとなる電磁波は、大きく分けると、電界成分と磁界成分とに分けることができ（近傍界と遠方界とでは、その機構は若干異なるが）、本発明におけるノイズ吸収布帛層は、特に、電界成分に対して効果を発揮する。即ち、本発明におけるノイズ吸収布帛層は、導電性損失により、ノイズ吸収能を発揮すると考えられる。

また、本発明で用いる布帛には、適度な表面構造を与えるために、カレンダー処理を行うことがより好ましい。カレンダー加工をすることにより、布帛の表面に、適度な凸凹が形成されるので、金属加工後に、ノイズ吸収布帛が良好な導電性を有することができ、そして適度な表面抵抗値を有することができる。すなわち、繊維の集合体としての布帛が、フィルムほどには均一な表面を有さず、繊維形状を残したままフラット化されるため、金属加工後に、ノイズ吸収布帛が、前述したクラスター構造を有しやすくなり、ノイズ吸収能がより高くなる。

本発明において、「金属加工」又は「金属が付着された」は、金属を付着させることを意味し、具体的には、布帛上及び／又は布帛内、場合によっては、布帛を構成する繊維内に金属を付着させることができる任意の処理を意味し、例えば、物理的な金属蒸着法（蒸着：ＥＢ蒸着、イオンプレーティング；イオンスパッタリング：高周波法、マグネトロン法、対抗ターゲット型マグネトロン法等）、化学的なメッキ法（無電解メッキ、電解メッキ等）等が挙げられる。物理的な金属蒸着法は、金属の微細な粒子が、布帛上に、布帛の表面から吸着され、金属の付着状況を、蒸着条件によりコントロールすることができるので、本発明で用いるノイズ吸収布帛において、表面と内部との導電度の勾配を形成しやすくなる。また、個々の繊維は、その表面に曲率を有することから、粒子の発生源が単一の方向である物理的な金属蒸着法を採用すると、個々の繊維上に、金属の厚さに適度な斑を生じさせやすくなるので好ましい。

図６は、金属蒸着方法による、繊維上の金属の粒子の積層状態の一態様を示す模式図である。図６において、向かって上方から物理的な蒸着が行われた場合には、金属の粒子（金属クラスター（８））が、均一化されずに繊維（７）の上に形成される。この場合、金属加工された金属の、厚みの厚い部分と、厚みの薄い部分とでは、電磁波の捕捉性が異なり、また、電気抵抗の観点から観察すると斑を有することから、捕捉された電磁波が、電流となり、上記部分を流れる際に電気抵抗により熱エネルギーに変わり、ノイズ吸収能が高くなると予測される。
一方、上記金属加工のために、メッキ法を用いた場合には、布帛全体に金属がメッキされ、個々の繊維に、かなり均一に金属が積層されることから、導電度の斑を作りにくい。従って、上記金属加工としては、物理的な金属蒸着法がより好ましい。

上記金属蒸着方法としては、特に制限されず、任意の方法を選択することができる。例えば、金属加工すべき布帛を、一定の真空度を有する蒸着装置の中に置き、上記布帛を一定のスピードで送り、蒸着源で物理的に蒸着させればよい。例えば、ＥＢ蒸着法では、１ＥＶ程度のエネルギーで金属を微粒子化させ、これを布帛に物理的に吸着させる。イオンプレーティング法では、希ガスやＥＶ蒸着法より強いエネルギーで蒸着粒子を加速させて物理吸着させることができるので、布帛のより深い方向に金属を蒸着することができる。一方、スパッタリング法では、磁界の影響でよりエネルギー的に高い堆積を行うことができ、布帛の深さ方向ばかりではなく、場合によっては、繊維内に、金属を堆積させることができる。この場合、繊維内にも導電度の勾配ができるので、ノイズ吸収能が高くなる。まとめると、ＥＢ蒸着等のマイルドな蒸着方法では、布帛及び繊維へのダメージは少ないが、繊維表面への物理的な吸着強さは弱くなる。一方、スパッタリング等の強い蒸着方法では、布帛及び繊維へのダメージは大きいが、繊維表面への物理的な吸着強度は高くなる。蒸着方法は、本発明のノイズ吸収布帛の用途に応じ、適宜選択することができる。

本発明において、上記金属加工される金属は、導電性を有する金属であれば、特に制限されず、例えば、アルミニウム、タンタル、ニオブ、チタン、モリブデン、鉄、ニッケル、コバルト、クロム、銅、銀、金、プラチナ、鉛、錫、及びタングステン、ＳＵＳ等の合金、さらにこれらの酸化物及び窒化物等の化合物、並びにそれらの混合物を挙げることができる。

アルミニウム、タンタル等の、いわゆる、弁作用を有する金属、すなわち、酸化により、容易に表面のみに酸化皮膜が得られ、容易には金属内部に酸化層が伝播しない金属では、その表面に、導電度が若干小さい、薄い酸化皮膜が形成される。本発明で用いるノイズ吸収布帛において、金属加工すべき金属として、上記弁作用を有する金属を採用すると、その表面及び内部において、微視的な導電度の勾配が形成され、ノイズ吸収能を向上させることができるので好ましい。また、弁作用を有する金属を採用することにより、使用中に金属の酸化が進みすぎることなく、一定の表面抵抗値を維持しやすい。酸化しやすい金属では、当初は良好な表面抵抗値を示すが、使用環境（高湿度、高温環境等）により、より酸化が進行しやすく、表面抵抗値が高くなり、本来の性能を発揮できなくなる恐れがある。また、金、銀、銅等の、導電度が非常に大きく且つ金属加工した後も均一な導電度が得られやすい金属では、金属加工の制御が難しく、フィルム、シート等と同様に、導電度が大きくなる場合がある。
一方、本発明において、上記金属加工のために用いられる金属は、強磁性、常磁性又は軟磁性を有していても、又は有していなくともよい。ノイズ吸収布帛層は、マクロ的に磁性によるノイズの吸収を目的としたものではなく、導電性によるノイズの吸収を目的としている。

本発明において、金属加工された面の表面抵抗率の常用対数値が、０〜６の範囲内にあれば、上記金属の厚さは、特に制限されないが、一般的に、上記金属の厚さは、２〜４００ｎｍの範囲内にあることが好ましく、５〜２００ｎｍの範囲にあることがより好ましい。上記金属の厚さが２ｎｍ未満であると、導電度が上述の範囲から外れやすい場合がある。すなわち、金属加工する際に、金属が形成されない部分が残り、表面抵抗率の常用対数値が６超となる場合がある。一方、上記金属の厚さが４００ｎｍ超であると、上記金属の厚さが過度であり、電流が過度に流れる場合がある。すなわち、上記金属の厚さが過度であると、均一な層が形成され、繊維の間が埋まり、繊維同士の間隙がほとんどなくなり、スイッチング効果によるノイズ吸収能が低下しやすい。
なお、本明細書において、上記金属の厚さは、ＳＥＭ写真画像等により測定できる。

本発明で用いるノイズ吸収布帛において、上記金属加工された金属が、複数の金属クラスターを含む場合には、当該金属クラスターは、２〜２００ｎｍの長径の相加平均値を有することが好ましく、５〜１００ｎｍの長径の相加平均値を有することがより好ましい。上記金属加工された金属が、不連続な金属クラスターを有することにより、各金属クラスター間に導電度の勾配が生じやすくなる。金属クラスターの長径の相加平均値が２ｎｍ以上であれば、より効率よくノイズを吸収できる。また、金属クラスターの長径の相加平均値が２００ｎｍ以下であれば、上記金属加工された金属の均一化が過度に促進されず、良好な導電度の勾配を形成することができる。極細繊維を含むノイズ吸収布帛では、上記クラスター構造を作りやすいため、より高いノイズ吸収能を示すことができる。上記長径は、ＳＥＭ型電子顕微鏡の画像から測定することができる。

本発明に用いられる磁性体層は、磁気損失効果を有する金属磁性粉をバインダー中に分散させた磁性体層であれば、特に限定されないが、金属表面を酸化させた粉末を用いることが好ましい。磁性体層のノイズ吸収性能を向上させるには、層中に含有される磁性体の充てん量を増やす必要がある。但し、金属粉末の充てん量を増やすと、金属粉同士が接触することにより、複数の金属粉末が結合し、見かけ上大きな導電体を形成する。この場合、導電体の厚みが表皮深さよりも大きくなってしまい、渦電流が発生してしまい、ノイズ吸収性能を悪化させてしまうことになる。この点を解決するために、金属粉末の表面を酸化させ、表面抵抗を上げることにより、金属粉末同士が接触しても、金属同士の導通を妨げ、渦電流の発生を抑制することができる。
本発明に用いられる磁性体層の磁性体の含有率は、５５〜９０ｗｔ％であることが好ましく、より好ましくは７０〜９０ｗｔ％、さらに好ましくは８０ｗｔ％〜９０ｗｔ％である。磁性体の含有率が５５ｗｔ％〜９０ｗｔ％であれば、磁性体層のノイズ吸収性能を向上させることができ好適である。磁性体層の磁性体の含有率が５５ｗｔ％未満であれば、磁性粉末の量が少なく、磁性体層のノイズ吸収性能を得られないことがある。磁性体の含有率が９０ｗｔ％を超えると、金属粉同士が接触することにより、複数の金属粉末が結合し、見かけ上大きな導電体を形成し、導電体の厚みが表皮深さよりも大きくなってしまい、渦電流が発生してしまい、ノイズ吸収性能を悪化させてしまう。また、磁性体の含有率が９０ｗｔ％を超えると、バインダーが少なくなってしまい、磁性層の強度低下につながる。
また、本発明に用いられる磁性体層のバインダー含有率は、機械的強度、取り扱い性、絶縁性等を調整する為に適宜設定することができるが、１０〜４５ｗｔ％であることが好ましく、より好ましくは１０〜３０ｗｔ％、さらに好ましくは１０〜２０ｗｔ％である。バインダーの含有率が１０〜４５ｗｔ％であると、取り扱い性、柔軟性、機械的強度、絶縁性が適当になる。バインダーの含有率が１０ｗｔ％未満であれば、機械的強度に問題が生じる場合がある。逆に、バインダー量が４５ｗｔ％を超えると、磁性粉の充填量を高めることができず、高いノイズ吸収性能を得ることが難しくなる。本発明において、バインダーは磁性体の分散剤、難燃剤等、磁性層の形成に必要な剤を含んでもよい。
本発明において、金属加工された布帛と磁性層の積層順は特に限定しないが、実使用の際にノイズ源に近い側に磁性体層を設置し、磁性体層の上面に金属加工された布帛を設置することで、ノイズ吸収シートに外部からの衝撃が加わり磁性粉が脱落し、電子機器の基板上に設置したときショートする問題を起こり難くする観点で好ましい。

本発明において、磁性体層に用いる金属磁性粉の形状は特に限定されないが、扁平状の金属粉が好ましい。扁平状磁性粉末が層を成すように配向することで、仮に粒状の磁性粉末を用いた場合と比較して、磁性体粉末同士が重なり合い、隙間が小さくなりより効率よくノイズを吸収することが可能となる。本発明において、磁性体層に用いられる金属粉の組成は磁気損失、即ち、透磁率の虚数部（μ”）の大きい軟磁性粉末が好ましい。例えば、Ｆｅを主成分とする金属合金、Fe-Si系合金、Fe-Si-Al系合金、Fe-Ni系合金、Fe-Ni-Mo系合金、Fe-Ni-Mo-Cu系合金、Fe-Ni-Mo-Cu系合金等が一般的によく用いられる。さらに、磁性粉はＦｅに加え、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｚｎ、Ｍｏ、Ｖ、Ｂ等の元素を含んでもよい。
本発明の磁性体層の透磁率は０．１〜３００が好ましく、０．１〜２５０がより好ましい、０．１〜２００がさらに好ましい。

また、本発明において、磁性体層に用いられるバインダーは、例えば、エステル系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ゴム等が用いられるが、特にこの限りではない。用いる金属磁性粉の分散性が良いバインダーが好ましい。
本発明は、電界吸収効果の高いノイズ吸収布帛と磁界吸収効果の高い磁性層とを組み合わせることにより、より高いノイズ吸収効果を発現している。これは、ノイズ吸収布帛、磁性体層各々を単体で使用した際のノイズ吸収効果を足し合わせたものではなく、足し合わせた以上の効果を発揮するところがこれまでのノイズ吸収シートと大きく異なるところである。
つまりは、本発明のノイズ吸収シートは、構成繊維に金属が付着している布帛の電界ノイズ吸収効果をＡe、磁性材料を含有する磁性体層の電界ノイズ吸収効果をＢe、そして該ノイズ吸収シートの電界ノイズ吸収効果をＣeとした場合、Ａe + Ｂe ＞ Ｃeである。
更に、本発明のノイズ吸収シートは、構成繊維に金属が付着している布帛の磁界ノイズ吸収効果をＡm、磁性材料を含有する磁性体層の磁界ノイズ吸収効果をＢm、そして該ノイズ吸収シートの磁界ノイズ吸収効果をＣmとした場合、Ａm + Ｂm ＞ Ｃmであるノイズ吸収シートである。電界ノイズ吸収効果、及び磁界ノイズ吸収効果の測定は、以下の［実施例］（２）マイクロストリップライン（ＭＳＬ）放射ノイズ測定の欄に記載するように実施する。

ノイズ吸収布帛は、上述した通り、ノイズ吸収布帛を通過する電磁波を金属面で補足し、電流に変換され、電気抵抗により熱に変換されることによりノイズを減衰させる。但し、ノイズ吸収布帛は、電磁波を引き寄せる能力は有していない。よって、ノイズ吸収布帛を設置した面を通過する電磁波しか減衰させることができない。一方で、磁性体層は、その磁性粉末の透磁率（μ’）の効果により、電磁波をシートに引き付ける能力を有する。よって、ノイズ吸収布帛に磁性体を重ね合せることにより、ノイズ吸収布帛単体では、捕捉できなかった電磁波を捕捉可能とし、ノイズ吸収布帛は単体の時と比較して、より多くのノイズを熱に変換することができる。上記の理由により、本発明は、ノイズ吸収布帛、磁性体層各々を単体で使用した際のノイズ吸収効果を足し合わせた以上の効果を発揮することができる。

上記のことより、本発明に用いるノイズ吸収布帛はノイズ吸収性能を有していることが必要条件となる。即ち、電磁波遮蔽材、例えば、不織布や布帛に金属加工をすることにより高い導電性を付与した導電布や、フィルム面に金属蒸着を施した電磁波遮蔽シート、或いは金属板等の電磁波遮蔽材等と磁性シートを重ね合せて使用したとしても、高いノイズ吸収効果は得ることは難しい。また、電磁波遮蔽材と磁性体を複合すると、電磁波遮蔽材の反射能力が全面に現れることにより、磁性体単体のノイズ吸収能が十分に発揮できない懸念がある。

本発明において、ノイズ吸収布帛と磁性体層とを貼り合せる方法は特に限定されない。例えば、ノイズ吸収布帛を基材として、スクリーン印刷、ダイコート、バーコート、ロールコート、コンマコート等で磁性体層をコーティングすることができる。また、スクリーン印刷、ダイコート、バーコート、ロールコート、コンマコート等の一般的なコーティング方法にて事前にノイズ吸収布帛及び磁性体層を作製しておけば、両面粘着シートによる貼り合せ、ホットメルトやドライラミによる接着等で貼り合せることができる。これらはコスト、加工性を考慮して加工法を選択すればよい。
また、本発明において、磁性体層の厚さは特に限定されないが、２０〜５００μｍが好ましい。柔軟性と取り扱いの点で、磁性層の厚さは、より好ましくは２０μｍ〜３００μｍ、さらに好ましくは２０〜１００μｍである。磁性層の厚さは、磁性層断面のＳＥＭ写真画像にて求めることができる。

本発明のノイズ吸収シートには、その片面又は両面に、電子機器等に実用化するために、以下の処理を行うことができる。例えば、短絡を防止するために、絶縁処理することができる。具体的には、樹脂のコーティング、樹脂のラミネート、絶縁フィルムの張り合わせ等を行うことができる。また、電子機器に張り合わせるために粘着性を付与するための処理、電子機器の筐体にセットするためのビス、ねじ穴等の設置等を行うことができる。電子機器に張り合わせるために粘着性を付与するための処理は、電子機器への固定がより簡易になるので好ましい。

本発明のノイズ吸収シートは、下記に示すように、電子機器等に適用して、ノイズを吸収させることができる。例えば、ＬＳＩ等の電子部品に貼り付けることができ、ガラスエポキシ基盤、ＦＰＣ等の回路又はその裏面に貼り付けることができ、回路上の電送線路上、電子部品が回路に装着される部位等に貼り付けることができ、コネクター部分、コネクターから、他の装置、部品等とつなげるケーブル等に貼り付けることができ、電子部品・装置を入れる筐体、保持体等の裏又は表に貼り付けることができ、又は電源線、伝送線等のケーブルに巻きつけることができる。

また、使いやすさを考慮し、所望により、上記電子機器等に張り合わせるための粘着層（ホットメルト接着剤、一般的な粘着剤等）を、表又は裏に設けることができ、そして絶縁性が必要な場合に、上記電子機器等の表又は裏に、電気絶縁層（フィルムを貼り合わせる、ポリマーラミネート層を設けることができ、他の絶縁性材料と組み合わせる等により、電気絶縁層を形成することができる）を設けることができる。

以下、実施例を挙げて本発明をさらに説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。
本発明における測定方法及び評価方法は次の通りである。
（１）マイクロストリップライン（ＭＳＬ）伝導ノイズ測定
ＩＥＣ規格６２３３３−２に準じて、マイクロストリップライン法で測定した。図７に示すように、５０Ωのインピーダンスを有するマイクロストリップラインフィクチャー１０（マイクロウェブファクトリー社製）と、ネットワークアナライザー９（アジレント・テクノロジー社製 型式Ｎ５２３０Ｃ）とを用い、Ｓパラメーター法により測定した。ノイズ吸収布帛の試料１１の大きさは、５ｃｍ×５ｃｍであり、これをマイクロストリップラインフィクチャー７上に置いて測定した。なお、図６において、符号１２は、マイクロストリップラインを示す。
Ｓパラメーターの反射係数（Ｓ１１）と、透過係数（Ｓ２１）とを各周波数で測定し、下記式（１）：
ロス率（Ｐｌｏｓｓ／Ｐｉｎ）＝１−（Ｓ１１²＋Ｓ２１²）／１ 式（１）
からロス率を算出した。

（２）マイクロストリップライン（ＭＳＬ）放射ノイズ測定
図８に示すように、５０Ωのインピーダンスを有するマイクロストリップラインフィクチャー１０（マイクロウェブファクトリー社製）と、ネットワークアナライザー９（アジレント・テクノロジー社製 型式Ｎ５２３０Ｃ）とを用いて、マイクロストリップライン１２上に電磁波ノイズを発生させ、マイクロストリップライン垂直上向きの磁界及び電界ノイズを磁界及び電界用プローブ１３（ＢｅｅｈｉｖｅＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ社製、型番：１００Ｂ及び１００Ｄ−ＥＭＣプローブ）とスペクトラムアナライザ１４（ローデシュワルツ社製、型番：ＦＳＨ８）を用いて測定した。ノイズ吸収布帛の試料１１の大きさは、５ｃｍ×５ｃｍであり、これをマイクロストリップラインフィクチャー１０上に置いて測定した。
ノイズ吸収効果の算出は下記式（２）：
ノイズ吸収効果（ｄＢ）＝ノイズ吸収シート設置後のノイズレベル（ｄＢｍ）− ノイズ吸収シート設置前のノイズレベル（ｄＢｍ） 式（２）
の通りとした。

（３）表面抵抗率
三菱化学社製 低抵抗計Ｌｏｒｅｓｔａ―ＧＰ、型式ＭＣＰ−Ｔ６００を用い、４端子法で測定した。測定は、ｎ＝３とし、その平均値を用いた。
（４）布帛の坪量
布帛の坪量は、ＪＩＳ Ｌ−１９０６：２０００に規定の方法に従い、縦２０ｃｍ×横２５ｃｍの試料を、試料の幅１ｍ当たり３箇採取して質量を測定し、その平均値を単位面積当たりの質量に換算して求めた。
（５）布帛の厚み
ＪＩＳ Ｌ−１９０６：２０００に規定の方法に従い、幅１ｍ当たり１０箇所の厚みを測定し、その平均値を布帛の厚みとした。荷重は９．８ｋＰａで行った。

（６）布帛の繊維の径
電子顕微鏡写真から、任意に繊維をピックアップし、それらの直径を写真から読み取ることにより平均繊維径（μｍ）を求めた。値は、ｎ＝５０の相加平均値である。
（７）コーティング金属の厚み
ＳＥＭ型電子顕微鏡（日立ハイテクノロジーズ社製ＳＥＭ 型式Ｓ−４８００）を用い、ＳＥＭ写真画像により求めた。各値はｎ＝３０の相加平均値を採用した。

（８）布帛の平均開孔径（μｍ)
ＰＭＩ社のパームポロメーター（型式： ＣＦＰ−１２００ＡＥＸ）を用いた。浸液にPM I社製のシルウィックを用い、試料を浸液に浸して充分に脱気し、測定した。
本測定装置は、フィルターを、予め表面張力が既知の液体に浸し、フィルターの全ての細孔を液体の膜で、覆った状態からフィルターに圧力をかけ、液膜の破壊される圧力と液体の表面張力から計算された細孔の孔径を測定する。平均開孔径の算出には、下記式（３）：
ｄ=Ｃ× ｒ／Ｐ 式（３)
｛式中、ｄ（単位： μｍ）はフィルターの開孔径であり、ｒ（単位： Ｎ／ｍ）は液体の表面張力であり、Ｐ（単位： Ｐａ）はその孔径の液膜が破壊される圧力であり、そしてCは定数である。｝を用いた。
液体に浸したフィルターにかける圧力Ｐを、低圧から高圧に連続的に変化させた場合の流量（濡れ流量）を測定すると、初期の圧力では最も大きな細孔の液膜でも破壊されないので、流量は０である。圧力を上げていくと、最も大きな細孔の液膜が破壊され、流量が発生する（バブルポイント）。さらに圧力を上げていくと、各圧力に応じて流量は増加し、最も小さな細孔の液膜が破壊され、乾いた状態の流量（乾き流量）と一致する。
本測定装置では、ある圧力における濡れ流量を、同圧力での乾き流量で割った値を累積フィルター流量（単位：％）と称する。また、累積フィルター流量が５０％となる圧力で破壊される液膜の孔径を、平均流量孔径と称し、これを本発明に用いられる布鼎の平均開孔径とした。
本明細書において、最大孔径は、布鼎をフィルターとして測定し、累積フィルター流量が５０％の−２σの範囲、すなわち、累積フィルター流量が２．３％となる圧力で破壊される液膜の孔径とした。

（９）磁性シートの厚み
ＳＥＭ型電子顕微鏡（キーエンス社製ＳＥＭ 型式ＶＥ−８８００）を用い、ＳＥＭ写真画像により求めた。各値はｎ＝３０の相加平均値を採用した。

（１０）透磁率の測定方法
薄膜透磁率測定システム（凌和電子社製型式ＰＭＦ−３０００）を用いて測定した。試料を固定するために、ＰＥＴ樹脂シートに両面テープ（ニチバン製ＮＷ−５）で貼り付けて測定した。測定は、ｎ＝３とし、その平均値を用いた。

（１１）磁性シートの磁性体とバインダーの含有率
磁性シートを８ｃｍ角で切り出し、重量を測定した。その後、磁性シートのバインダー成分を溶解するのに適切な薬剤（硝酸、塩酸、水酸化ナトリウム、ヘキサン、トルエン、ノルマルヘキサンノン、酢酸エチル、メチルアルコール、エチルアルコール等）を用いて、バインダーを除去し、薬剤溶解後に残った磁性体の重量（ｇ）を測定した。バインダーの重量は薬剤溶解前の磁性シート重量（ｇ）から磁性体粉末の重量を除して算出した。磁性体とバインダーの重量（ｇ）より、磁性シートの磁性体とバインダーの含有率（％）を算出した。

（１２）ノイズ吸収性可視化装置による電界強度測定
（株）ノイズ研究所製のプリント基板電磁波解析システム（型式：ＥＳＶ−３０００）を用いて測定した。測定におけるプリント基盤はノイズ研究所製のデモ基板を用いた。測定プローブはノイズ研究所製電界プローブを用いた。測定周波数は２５０〜７００ＭＨｚとし、各測定ポイントにおける、その周波数範囲内でのピーク電界強度の値をマッピングした。試料の大きさは１３ｃｍ×１８ｃｍであり、試料をデモ基板に貼付ける前と後との電界強度の差異から、電界強度減衰量を観測した。

［実施例１］
下に示す製法で作製された旭化成せんい製のポリエステル樹脂によるスパンボンド不織布（品名：プレシゼ、品番：ＡＳ０３０）を布帛として用い、金属加工を行ない、市販の磁性シートと貼り合せ、ノイズ吸収性能を測定した。
汎用的なポリエチレンテレフタレートをスパンボンド法により、紡糸温度３００℃でフィラメントの長繊維群を移動捕集面に向けて押し出し、紡糸速度３５００ｍ／分で紡糸し、コロナ帯電で３μＣ／ｇ程度帯電させて充分に開繊させて、平均繊径１１μｍフィラメントからなる５ｃｍ変動率１５％以下の均一性を有する未結合長繊維ウェブ（以下、「ウェブ層Ａ」と称する場合がある）を、坪量が約７．５ｇ／ｍ²で、捕集ネット面上に形成させた。
次に、ポリエチレンテレフタレート（溶融粘度ηｓｐ／ｃが０．５０）を、紡糸温度３００℃、加熱エア温度３２０℃、吐出エア１０００Ｎｍ³／ｈｒ／ｍの条件下で、メルトブロウン法にて紡糸して、平均繊維径１．７μｍの極細繊維を、坪量が約５ｇ／ｍ²のランダムウェブ（以下、「ウェブ層Ｂ」と称する場合がある）として、ウェブ層Ａに向けて直に噴出させた。メルトブロウンノズルからウェブ層Ａの上面までの距離は、１００ｍｍとし、メルトブロウンノズル直下の捕集面における吸引を０．２ｋＰａ、そして風速を約７ｍ／ｓｅｃに設定した。
ウェブ層Ｂの、ウェブ層Ａと反対側の面に、ポリエチレンテレフタレートの長繊維ウェブを、最初に調製したウェブ層Ａと同様に開繊して、ウェブ層Ａ／ウェブ層Ｂ／ウェブ層Ａの３層の積層ウェブを調製した。
次いで、上記３層の積層ウェブを、２つのフラットロールの間に通して熱圧着させ、不織布層Ａ／不織布層Ｂ／不織布層Ａの３層の積層不織布を得た。

得られた３層積層スパンボンド不織布（品名：プレシゼ、品番：ＡＳ０３０）の最初に形成されたウェブ層Ａに由来する不織布層Ａの上に、金属を蒸着加工することにより、ノイズ吸収布帛を形成した。
蒸着は、真空蒸着装置とし、熱源としてのニラコ製スタンダートボード（型式：ＳＦ−１０６ タングステン）を用いて実施した。真空度５×１０^-5ｔｏｒｒで、印加電圧５Ｖ、蒸着時間１８０秒を基本条件とした。
なお、実施例２以降の金属加工においても、上記条件を金属加工の基本条件とし、金属加工される金属の量を変化させるために、真空度、蒸着源への熱量（場合によっては、熱源への電気量）、及び蒸着時間を制御し、本発明の範囲に含まれる表面抵抗率の常用対数値を有するように調整した。一般的に、金属加工される金属が決まっている場合には、例えば、蒸着時間を変化させることにより、金属加工された金属の量を簡便に調整することができる。例えば、金属加工される金属の量を少なくする場合は、蒸着時間を低減させることができ、そして金属加工される金属の量を増す場合には、蒸着時間を増加させることができる。また、実施例１〜１０のノイズ吸収布帛の透磁率に関して、μ’の平均値が、０．５〜６ＧＨｚの範囲において、おおよそ１．０であり、そしてμ”の平均値が、０．５〜６ＧＨｚの範囲で、おおよそ０．０であった。
磁性シートとしては、大同特殊鋼製磁性シート（厚さ１００μｍ）を用いた。尚、ノイズ吸収布帛と磁性シートとの貼合せには３Ｍ製両面粘着テープ（品番：９５１１）を用いた。
得られたノイズ吸収シートの特性および評価結果を以下の表１に示す。また、磁界ノイズおよび電界ノイズの測定結果をそれぞれ図９および図１０に、マイクロストリップライン法による測定結果を図１９に、電界分布マッピング結果を図２４示す。尚、図２２はノイズ吸収性可視化装置の電界分布マッピング測定に用いた基板を示し、図２３はシート貼付けなし（ブランク状態）でのノイズ吸収性可視化装置の電界分布マッピング結果を示している。これらの結果から、磁界ノイズおよび電界ノイズともによく吸収していることが分かる。
以下の表３に、構成繊維に金属が付着している布帛の電界ノイズ吸収効果をＡe、磁性材料を含有する磁性体層の電界ノイズ吸収効果をＢe、該ノイズ吸収シートの電界ノイズ吸収効果Ｃe、及び、構成繊維に金属が付着している布帛の磁界ノイズ吸収効果をＡｍ、磁性材料を含有する磁性体層の磁界ノイズ吸収効果をＢｍ、該ノイズ吸収シートの磁界ノイズ吸収効果Ｃｍの評価結果を示す。これを見ると、磁界ノイズ及び電界ノイズが良く吸収されていることが明らかである。

［実施例２〜２４］
上記実施例１を基本条件とし、ノイズ吸収布帛、磁性シートの構成・特性を変更した。変更点は以下の表１と表２の通りである。
実施例２では、実施例１の市販磁性シートとして、Ｄｏｏｓｕｎｇ製磁性シートを用いた。
実施例３では、実施例１の市販磁性シートとして、ＮＥＣトーキン製磁性シート（厚さ１００μｍ）を用いた。
実施例４では、実施例１の市販磁性シートとして、３Ｍ製磁性シート（厚さ５０μｍ）を用いた。
実施例５では、蒸着時間を変え、金属の厚みを変化させた以外は実施例１に従った。
実施例６は、金属をＡｇに変えた以外は、実施例１に従った。
実施例７は、ノイズ吸収布帛の基材をＡＳ０２２（素材：ポリエステル、旭化成せんい製）に変えた以外は、実施例１に従った。
実施例８は、ノイズ吸収布帛の基材をＥ０５０５０（素材：ポリエステル、旭化成せんい製）に変えた以外は、実施例１に従った。
実施例９は、ノイズ吸収布帛の基材をＥ０５０５０（素材：ポリエステル、旭化成せんい製）に変え、金属付着量を変えた以外は、実施例１に従った。
実施例１０は、ノイズ吸収布帛の基材をＮ０５０５０（素材：ナイロン６、旭化成せんい製）に変えた以外は、実施例１に従った。
実施例１１は、ノイズ吸収の基材としてエステル糸のタフタを使用した以外は、実施例１に従った。
実施例１２は、実施例１の市販磁性シートとして、大同特殊鋼製磁性シート（厚さ５０μｍ）を用いた。
実施例１３は、実施例１の市販磁性シートとして、大同特殊鋼製磁性シート（厚さ３００μｍ）を用いた。
実施例１４は、実施例１の市販磁性シートとして、大同特殊鋼製磁性シート（１ＭＨｚ透磁率８０）を用いた。
実施例１５は、実施例１の市販磁性シートとして、大同特殊鋼製磁性シート（１ＭＨｚ透磁率１７０）を用いた。
実施例１６は、実施例１の市販磁性シートとして、３Ｍ製磁性シート（厚さ２５μｍ）を用いた。
実施例１７〜１９では、一般的に入手可能なＦｅを主成分とする磁性体をバインダーに分散させたスラリーを用いて、一般的なコーティング方法で作製した以下の表２に記載の構成、特性を持つ磁性シートを用いた。
実施例２０と２１では、一般的に入手可能なＦｅを主成分とする磁性体をバインダーに分散させたスラリーを用いて、一般的なコーティング方法で作製した以下の表２に記載の構成、特性を持つ磁性シートを用いた。
実施例２２では、一般的に入手可能なＦｅを主成分とする磁性体をバインダーに分散させたスラリーを用いて、一般的なコーティング方法で作製した以下の表２に記載の構成、特性を持つ磁性シートを用いた。
実施例２３では、一般的に入手可能なＦｅを主成分とする磁性体をバインダーに分散させたスラリーを用いて、一般的なコーティング方法で作製した以下の表２に記載の構成、特性を持つ磁性シートを用いた。
実施例２４では、一般的に入手可能なＦｅを主成分とする磁性体をバインダーに分散させたスラリーを用いて、一般的なコーティング方法で作製した以下の表２に記載の構成、特性を持つ磁性シートを用いた。

各実施例で得られたノイズ吸収シートの特性、及び評価結果を、以下の表１と表２に示す。また、実施例２の磁界ノイズおよび電界ノイズの測定結果をそれぞれ図１１および図１２に、マイクロストリップライン法による測定結果を図２０に示す。これらの結果から、各実施例とも、磁界ノイズおよび電界ノイズともによく吸収していることが分かる。

［比較例１〜１０］
上記実施例１を基本条件とし、各比較例における変更点を以下に示した。比較例１は、実施例１におけるノイズ吸収布帛のみを用いて測定を行った。
比較例２は、大同特殊鋼製磁性シート（厚さ１００μｍ）のみを用いて測定を行った。
比較例３は、Ｄｏｏｓｕｎｇ製磁性シート（厚さ１００μｍ）のみを用いて測定を行った。
比較例４は、ＮＥＣトーキン製磁性シート（厚さ１００μｍ）のみを用いて測定を行った。
比較例５は、３Ｍ製磁性シート（厚さ５０μｍ）のみを用いて測定を行った。
比較例６は、実施例８におけるノイズ吸収布帛のみを用いて測定を行った。
比較例７は、実施例７におけるノイズ吸収布帛のみを用いて測定を行った。
比較例８は、蒸着時間を変え、金属の厚みを変化させた以外は実施例８に従った。
比較例９は、ノイズ吸収布帛の代わりに電磁波シールド用シールド布帛（Ｃｕ−Ｎｉメッキ品）を用いた以外は、実施例１に従った。
比較例１０は、金属をＡｇに変え、蒸着時間を変えることで蒸着金属量を変化させた以外は実施例１に従った。
比較例１１は、ノイズ吸収布帛の代わりに、金属加工フィルムを用いた以外は、実施例１に従った。
比較例１２は、大同特殊鋼製磁性シート（厚さ５０μｍ）のみを用いて測定を行った。
比較例１３は、大同特殊鋼製磁性シート（厚さ３００μｍ）のみを用いて測定を行った。
比較例１４は、大同特殊鋼製磁性シート（１ＭＨｚ透磁率８０）のみを用いて測定を行った。
比較例１５は、大同特殊鋼製磁性シート（１ＭＨｚ透磁率１７０）のみを用いて測定を行った。
比較例１６は、３Ｍ製磁性シート（厚さ２５μｍ）のみを用いて測定を行った。
比較例１７〜１９では、一般的に入手可能なＦｅを主成分とする磁性体をバインダーに分散させたスラリーを用いて、一般的なコーティング方法で作製した以下の表５に記載の構成、特性を持つ磁性シートのみを用いて測定を行った。
比較例２０と２１では、一般的に入手可能なＦｅを主成分とする磁性体をバインダーに分散させたスラリーを用いて、一般的なコーティング方法で作製した以下の表５に記載の構成、特性を持つ磁性シートを用いた。
比較例２２では、一般的に入手可能なＦｅを主成分とする磁性体をバインダーに分散させたスラリーを用いて、一般的なコーティング方法で作製した以下の表５に記載の構成、特性を持つ磁性シートのみを用いて測定を行った。
比較例２３では、一般的に入手可能なＦｅを主成分とする磁性体をバインダーに分散させたスラリーを用いて、一般的なコーティング方法で作製した以下の表５に記載の構成、特性を持つ磁性シートのみを用いて測定を行った。
比較例２４では、一般的に入手可能なＦｅを主成分とする磁性体をバインダーに分散させたスラリーを用いて、一般的なコーティング方法で作製した以下の表５に記載の構成、特性を持つ磁性シートのみを用いて測定を行った。
比較例２５は、実施例６におけるノイズ吸収布帛のみを用いて測定を行った。
比較例２６は、実施例９におけるノイズ吸収布帛のみを用いて測定を行った。
比較例２７は、実施例１０におけるノイズ吸収布帛のみを用いて測定を行った。
比較例２８は、実施例１１におけるノイズ吸収布帛のみを用いて測定を行った。

各比較例において用いたノイズ吸収シートの特性および評価結果を以下の表４〜６に示す。また、比較例１の磁界ノイズおよび電界ノイズの測定結果をそれぞれ図１３および図１４に、比較例２の磁界ノイズおよび電界ノイズの測定結果をそれぞれ図１５および図１６に、比較例３の磁界ノイズおよび電界ノイズの測定結果をそれぞれ図１７および図１８に示す。
さらに、比較例９のマイクロストリップライン法による測定結果を図２１に、電界分布マッピング結果を図２５に示す。図２１の結果から、ノイズ吸収布帛の表面抵抗値の常用対数値が０未満であると、反射（S11）成分が大きくノイズ吸収能（P-loss/P-in）が阻害されている。また、図２５よりノイズ吸収布帛の表面抵抗値の常用対数値が０未満であると、上述した通りノイズ吸収能が小さく、布帛内部でノイズが消費されないために、シート端部でノイズが二次輻射していること（シート端部が赤色に分布していること）がわかる。これは、電子機器内部で予期しないノイズを発生せていることになり、このことからも、表面抵抗値の常用対数値が０未満である基材は本発明に適さない。

本発明のノイズ吸収シートは、電磁波が反射されにくく且つノイズ吸収能に優れ、また広帯域のノイズに効果があり、磁界／電界の両方のノイズ成分に対して高いノイズ吸収効果を有するので、産業上の利用価値は極めて大きい。

１ ノイズ吸収シート
２ 磁性体層
３ ノイズ吸収布帛
４ 磁性体粒子
５ バインダー
６ 金属
７ 繊維
８ 金属クラスター
９ ネットワークアナライザー
１０ マイクロストリップラインフィクチャー
１１ 試料
１２ マイクロストリップライン
１３ 磁界及び電界用プローブ
１４ スペクトラムアナライザ

Claims (13)

1. 少なくとも２種の層が積層されたノイズ吸収シートであって、磁性材料を含有する磁性体層と、構成繊維に金属が付着しているノイズ吸収布帛の層とが積層されており、該ノイズ吸収布帛の少なくとも片面の表面抵抗率の常用対数値が０〜６の範囲にあることを特徴とするノイズ吸収シート。
2. 前記布帛が合成長繊維から成る不織布である、請求項１に記載のノイズ吸収シート。
3. 前記布帛が７．０μｍを超え５０μｍ以下の繊維径を有する繊維を含む、請求項１又は２に記載のノイズ吸収シート。
4. 前記布帛が７．０μｍ以下の繊維径を有する繊維を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載のノイズ吸収シート。
5. 前記布帛が７μｍを超え５０μｍ以下の繊維径を有する繊維と０．０１〜７．０μｍの繊維径を有する繊維とが混合された布帛である、請求項４に記載のノイズ吸収シート。
6. 前記布帛が、第１層及び第２層の少なくとも２つの層を有する積層された布帛であり、該第１層が７μｍを超え５０μｍ以下の繊維径を有する繊維から成る不織布の層であり、そして該第２層が０．０１〜７．０μｍの繊維径を有する繊維から成る不織布の層である、請求項５に記載のノイズ吸収シート。
7. 前記布帛が、第１層、第２層及び第３層の少なくとも３つの層を、その順番で有する積層された布帛であり、該第１層と該第３層が７μｍを超え５０μｍ以下の繊維径を有する繊維から成る不織布の層であり、そして該第２層が０．０１〜７．０μｍの繊維径を有する繊維から成る不織布の層である、請求項６に記載のノイズ吸収シート。
8. 前記布帛の厚みが１０〜４００μｍであり且つ坪量が７〜３００ｇ／ｍ²である、請求項１〜７のいずれか一項に記載のノイズ吸収シート。
9. 前記磁性体層の厚さが２０〜５００μｍである、請求項１〜８のいずれか一項に記載のノイズ吸収シート。
10. 前記磁性体層は、金属磁性粉体５５〜９０wt％とバインダー１０〜４５wt％とを含む、請求項１〜９のいずれか一項に記載のノイズ吸収シート。
11. １ＧＨｚにおける反射減衰量（Ｓ１１）^２が０．２以下である、請求項１〜１０のいずれか一項に記載のノイズ吸収シート。
12. 前記構成繊維に金属が付着しているノイズ吸収布帛の層の電界ノイズ吸収効果をＡe、
    前記磁性材料を含有する磁性体層の電界ノイズ吸収効果をＢe、そして前記ノイズ吸収シートの電界ノイズ吸収効果をＣeとした場合、Ａe + Ｂe ＞ Ｃeである、請求項１〜１１のいずれか一項に記載のノイズ吸収シート。
13. 前記構成繊維に金属が付着しているノイズ吸収布帛の層の磁界ノイズ吸収効果をＡｍ、
    前記磁性材料を含有する磁性体層の磁界ノイズ吸収効果をＢｍ、そして前記ノイズ吸収シートの磁界ノイズ吸収効果をＣｍとした場合、Ａｍ + Ｂｍ ＞ Ｃｍである、請求項１〜１２のいずれか一項に記載のノイズ吸収シート。