JPWO2014203903A1 - 共振周波数調整モジュール - Google Patents
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Abstract
本発明は、角速度を検出するMEMSセンサを構成する共振周波数調整モジュールであって、可動電極と、この可動電極と対向しキャパシタを形成する固定電極と、上記可動電極を一方向に変位可能に支持する弾性体とを備え、上記可動電極及び固定電極のキャパシタを形成する対向面がそれぞれ変位方向に対して傾斜しており、可動電極と固定電極とに挟まれる領域において可動電極の移動によって体積が減少しない体積一定領域を有する。
Description
本発明は、MEMSセンサを構成する共振周波数調整モジュールに関する。
本願は、2013年6月19日に、日本に出願された特願2013−128999号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
本願は、2013年6月19日に、日本に出願された特願2013−128999号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
近年、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)と呼ばれる半導体製造技術を利用して形成した微細な機械要素を有する装置が開発されており、被測定体の角速度を検出するジャイロセンサや加速度センサとして実現されている。
例えば、上述のジャイロセンサは、X−Y方向に延在する基板上にX方向に振動可能に支持される振動駆動モジュール、この振動駆動モジュールに接続される移動体、この移動体にY方向に弾性変位可能に支持されY方向の変位量を検出する静電容量変化検出モジュール等を備えている。
このようなジャイロセンサは、振動駆動モジュールによって移動体及び移動体に支持されている静電容量変化検出モジュールの可動電極をX方向に常時往復移動させておき、ジャイロセンサがX−Y平面に垂直なZ方向の軸を中心に回転したときに可動電極に作用するコリオリ力を可動電極のY方向の変位として検出する。静電容量変化検出モジュールの可動電極は、ジャイロセンサの角速度(又は回転速度)により作用するコリオリ力だけでなく、ジャイロセンサのY方向の加速度によっても変位する。そこで、2つの静電容量変化検出モジュールの可動電極の変位の差分をとることでジャイロセンサに加えられたY方向の加速度を相殺し、ジャイロセンサのX−Y平面上の向きの変化のみを検出する(例えば特開2013−96952号公報参照)。
また、ジャイロセンサは、移動体をX方向に移動可能に支持する弾性体を備えている。そして、移動体及び静電容量変化検出モジュールのX方向の振動は、この弾性体のばね定数と質量とによって決まる共振周波数によって規制される。このため、弾性体のばね定数を調整し、共振周波数をコントロールできるように、電気的ばね構造を有する共振周波数調整モジュールが提案されている。
このような共振周波数調整モジュールとしては、図6に示すように、電圧差を調整可能な対向する一対の電極52、54を有する共振周波数調整モジュール51が提案されている(従来例1)。また、図7に示すように、一対の櫛歯状の電極62、64が互いに嵌り込むよう配設された共振周波数調整モジュール61も提案されている(従来例2)。
このような共振周波数調整モジュールとしては、図6に示すように、電圧差を調整可能な対向する一対の電極52、54を有する共振周波数調整モジュール51が提案されている(従来例1)。また、図7に示すように、一対の櫛歯状の電極62、64が互いに嵌り込むよう配設された共振周波数調整モジュール61も提案されている(従来例2)。
しかし、従来例1の共振周波数調整モジュール51では、一対の電極52、54が近接する方向に変位した際に、電極52、54間の空間(キャパシタ形成空間)の空気が圧縮されるが、この空気の圧縮による空気抵抗(damping)が大きく、Q値(Quality Factor)が減少して振幅が低下するという不都合がある。さらに、この共振周波数調整モジュール51には、変位が大きくなると電極52、54同士の距離が近くなり過ぎ、所謂Pull−inするという不都合がある。特に、従来例1の共振周波数調整モジュール51において、ばね定数の調整範囲を大きくするには静電容量を大きくする必要があり、このためには電極52、54を大きくする又は数を増やすことを要するが、この場合、上述のような空気抵抗によるQ値の減少が顕著となる。
また、従来例2の共振周波数調整モジュール61では、可動電極62の変位に影響せず所定のばね定数を得るべく、一方の櫛歯状の電極64が階段状に設けられており、Pull−inの不都合が生じ難い。しかしながら、この共振周波数調整モジュール61において、ばね定数及び静電容量を大きくするためには、電極62、64を大きくする、もしくは電極62、64の個数を増やすことを必要とする。これにより共振周波数調整モジュール61のサイズが大きくなってしまい、面積効率が悪い。
本発明は、上述のような事情に基づいてなされたものであり、小型化の要請に沿いつつ容易かつ確実に空気抵抗を低減できる共振周波数調整モジュールを提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、角速度を検出するMEMSセンサを構成する本発明の共振周波数調整モジュールは、第一の対向面を有する可動電極と、この可動電極の第一の対向面と対向し第一の対向面との間でキャパシタを形成する第二の対向面を有する固定電極と、上記可動電極を一方向に変位可能に支持する弾性体とを備え、上記可動電極の第一の対向面及び固定電極の第二の対向面がそれぞれ前記可動電極の変位方向に対して傾斜しており、可動電極と固定電極とに挟まれ、かつ可動電極の変位にかかわらず体積が一定である体積一定領域を有する。
この共振周波数調整モジュールにおいては、可動電極と固定電極のキャパシタを形成する対向面がそれぞれ変位方向に対して傾斜しており、この傾斜した対向面で可動電極と固定電極とに電位差による引張力が作用し、電位差を調整することで、所望のばね定数を得ることができる。また、この共振周波数調整モジュールは、可動電極と固定電極との対向面が傾斜し、さらに可動電極と固定電極とに挟まれる領域において可動電極の移動によって体積が減少しない領域(以下、体積一定領域ということがある)を有するので、可動電極が変位した際に対向面の間の空気は、上記傾斜した対向面に沿って上記体積一定領域へと流出することができる。そのため、この共振周波数調整モジュールは、空気の圧縮及び流動を小さくして空気抵抗を容易かつ確実に低減することができる。
以上説明したように、本発明の共振周波数調整モジュールによれば、低コストで高精度のジャイロセンサを得ることができる。
[第一実施形態]
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の共振周波数調整モジュールの実施形態を詳説する。
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の共振周波数調整モジュールの実施形態を詳説する。
<共振周波数調整モジュール>
図1の共振周波数調整モジュール1は、角速度を検出するMEMSセンサを構成する共振周波数調整モジュールである。この共振周波数調整モジュール1は、可動電極2と、この可動電極2を一方向に変位可能に支持する弾性体3と、上記可動電極2と対向してキャパシタを形成する固定電極4とを備えている。このため、可動電極2と固定電極4とに電位差を与えることで可動電極2と固定電極4とのキャパシタを形成する対向面間に引張力(クーロン力)が作用するため、この電位差を調節することでこの共振周波数調整モジュール1のばね定数を調節することができる。
図1の共振周波数調整モジュール1は、角速度を検出するMEMSセンサを構成する共振周波数調整モジュールである。この共振周波数調整モジュール1は、可動電極2と、この可動電極2を一方向に変位可能に支持する弾性体3と、上記可動電極2と対向してキャパシタを形成する固定電極4とを備えている。このため、可動電極2と固定電極4とに電位差を与えることで可動電極2と固定電極4とのキャパシタを形成する対向面間に引張力(クーロン力)が作用するため、この電位差を調節することでこの共振周波数調整モジュール1のばね定数を調節することができる。
この共振周波数調整モジュール1は、MEMSセンサの基板(不図示)に固定電極4が不動に固定され、移動体(不図示)に可動電極2が固定される。また、上記可動電極2は、弾性体3及び錘5を介して移動体に固定される。この弾性体3は可動電極2を固定電極4と対向する方向(X方向)に変位可能に支持する。上記錘5は、共振周波数調整モジュール1の変位部分の質量を概念的に表したものである。
固定電極4及び可動電極2の材質は特に限定されないが、例えばシリコンを用いることができる。
上記可動電極2及び固定電極4の対向面は、それぞれ変位方向(X方向)に対して傾斜しており、可動電極2と固定電極4とに挟まれる領域において可動電極2の移動によって体積が減少しない領域S(以下、体積一定領域ということがある)を有している。
具体的には、上記可動電極2と固定電極4とは変位方向(X方向)に対向するように配置され、上記可動電極2は、基台2aと、この基台2aから固定電極4側に突設された複数(図示例では2つ)の台部2bと、この台部2bから固定電極4側に突設された平面視三角形状の複数の第一凸部2cとを有している。また、上記固定電極4は、基台4aと、この基台4aから可動電極2側に突設された複数の台部4b(図示例では3つ)と、この台部4bから可動電極2側に上記複数の第一凸部2cの頂点間にその頂点が位置するように突設された平面視三角形状の複数の第二凸部4cとを有している。この第一凸部2c及び第二凸部4cのX方向に対して傾斜した対向面はキャパシタを形成し、可動電極2のX方向の変位によってこのキャパシタの容量が変化する。また、可動電極2の複数の台部2b間の領域、及び固定電極4の複数の台部4b間の領域が、上記体積一定領域Sとして機能する。これにより、可動電極2が変位した際に第一凸部2c及び第二凸部4cの対向面の間の空気は、上記傾斜した対向面に沿って上記体積一定領域Sへと流出することができる。
上記第一凸部2c及び第二凸部4cの対向面は、上述のように変位方向(X方向)に対して傾斜し、互いに略平行に配設されている。ここで、この対向面の変位方向(X方向)に対する傾斜角αの下限としては、5度が好ましく、10度がより好ましい。一方、上記傾斜角αの上限としては、30度が好ましく、20度がより好ましい。上記傾斜角αが上記下限未満であると、可動電極2と固定電極4との間で変位方向(X方向)に作用する引張力が小さくなり、所望のばね定数を得るためには、可動電極2の個数や大きさを増加させることを要し、装置の小型化の要請に反するおそれがある。逆に、上記傾斜角αが上記上限を超えると、可動電極2が変位した際に対向面の間の空気が体積一定領域Sに流れ込み難くなるおそれがある。
上記のように、対向面の変位方向に対する傾斜角としては5度以上30度以下が好ましい。傾斜角が上記範囲内にあることで、所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、この共振周波数調整モジュールの空気の圧縮及び流動を容易かつ確実に小さくすることができる。
可動電極2の第一凸部2cと固定電極4の第二凸部4cとの対向面間距離は、ばね定数の調整に必要な静電容量に合わせて適宜設計することができるが、例えば0.5μm以上5μm以下とすることができる。
また、キャパシタを形成する第一凸部2cの一面とこの一面に対向する第二凸部4cの対向面との間の領域(以下、対向面間領域ともいう)の平面視面積をA1とし、この対向面間領域に隣接する1の体積一定領域Sの平面視面積をA2とした場合、A1に対するA2の比の下限としては、1倍が好ましく、2倍がより好ましい。上記比が上記下限未満の場合、可動電極2が変位した際に対向面の間の空気が体積一定領域Sに流れ込み難くなるおそれがある。一方、上記比の上限としては、10倍が好ましく、8倍がより好ましい。上記比が上記上限を超える場合、装置の小型化の要請に反するおそれがある。
<ジャイロセンサ>
共振周波数調整モジュール1は、上述のようにジャイロセンサ(MEMSセンサ)に用いられる。このジャイロセンサは、例えばX−Y方向に延在する基板上にX方向に移動可能に支持されX方向に並ぶ2つの移動体と、Y方向に検出用可動電極が変位可能なように移動体に支持された2つの静電容量変化検出モジュールと、移動体をX方向に往復移動させる振動駆動モジュールとを備える構成とすることができる。この共振周波数調整モジュール1においては、固定電極4が上記基板に固定され、可動電極2が上記移動体に固定される。
共振周波数調整モジュール1は、上述のようにジャイロセンサ(MEMSセンサ)に用いられる。このジャイロセンサは、例えばX−Y方向に延在する基板上にX方向に移動可能に支持されX方向に並ぶ2つの移動体と、Y方向に検出用可動電極が変位可能なように移動体に支持された2つの静電容量変化検出モジュールと、移動体をX方向に往復移動させる振動駆動モジュールとを備える構成とすることができる。この共振周波数調整モジュール1においては、固定電極4が上記基板に固定され、可動電極2が上記移動体に固定される。
この共振周波数調整モジュール1においては、可動電極2及び固定電極4の対向面がそれぞれ変位方向に対して傾斜しており、この傾斜した対向面で可動電極2と固定電極4とに引張力が作用し、電位差を調整することで、所望のばね定数を得ることができる。このため、移動体及び静電容量変化検出モジュールの共振周波数をコントロールすることができる。
また、この共振周波数調整モジュール1は、台部2b、4bの間が上記体積一定領域として機能するので、可動電極2が固定電極4に近接した際に、この対向面の間の空気は、上記傾斜した対向面に沿って上記体積一定領域へと流出することができる。そのため、この共振周波数調整モジュール1は、静電容量変化検出ユニットにおいて、空気の圧縮及び流動を小さくして空気抵抗を容易かつ確実に低減することができ、このため的確にノイズの発生を抑制することができる。
さらに、この共振周波数調整モジュール1は、従来の櫛歯状の電極を有するもの(従来例2)に比べて小型化を図ることができ、装置の小型化の要請にも的確に沿うことができる。
本実施形態の共振周波数調整モジュールにおいては、可動電極と固定電極とが変位方向に対向するように配置され、上記可動電極が、固定電極側に複数の台部及びこの台部から固定電極側に突設された平面視三角形状の複数の第一凸部を有し、上記固定電極が、可動電極側に1又は複数の台部及びこの台部から可動電極側に上記複数の第一凸部の頂点間にその頂点が位置するように突設された平面視三角形状の1又は複数の第二凸部を有する。
このような構成とすることで、この共振周波数調整モジュールは、第一凸部及び第二凸部との対向面で所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、台部間に体積一定領域を容易かつ確実に形成して空気の圧縮及び流動を小さくすることができる。
このような構成とすることで、この共振周波数調整モジュールは、第一凸部及び第二凸部との対向面で所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、台部間に体積一定領域を容易かつ確実に形成して空気の圧縮及び流動を小さくすることができる。
[第二実施形態]
次に、図2を参酌しつつ第二実施形態の共振周波数調整モジュール11について説明する。なお、第二実施形態の共振周波数調整モジュール11において、第一実施形態の共振周波数調整モジュール1と同一機能又は構造を有する点については同一符号を用い、説明を省略することがある。
次に、図2を参酌しつつ第二実施形態の共振周波数調整モジュール11について説明する。なお、第二実施形態の共振周波数調整モジュール11において、第一実施形態の共振周波数調整モジュール1と同一機能又は構造を有する点については同一符号を用い、説明を省略することがある。
図2の共振周波数調整モジュール11においては、可動電極12は、X方向に弾性体3によって変位可能に支持され、基台12aと、この基台12aから変位方向の一方に延出する複数(図示例では2つ)の延出部12bとを有している。そして、この延出部12bは、延出方向に平面視一定間隔で反対方向に(ジグザグに)折り曲がるように形成された対向面を有している。具体的には、上記延出部12bは、図2に示すように、基台12aから固定電極14側に延出し、略V字状に複数回(図示例では二回)屈曲した形状の平板状部材から構成されている。すなわち、可動電極12は、延出部12bの延出方向に一定間隔で並設された山折り部および谷折り部から形成された対向面を有する。なお、固定電極14は、MEMSセンサの基板等に固定されている。
また、固定電極14は、可動電極12の対向面と一定間隔で対向する面を有している。具体的には、固定電極14は、基台14aと、この基台14aから変位方向の他方に延出する複数(図示例では2つ)の延出部14bとを有し、この固定電極14の延出部14bは、上記可動電極12の延出部12bと略同形を有し、可動電極12の延出部12bと固定電極14の延出部14bとの各面が対向しキャパシタを形成している。これらの対向面は変位方向に対して傾斜している。ここで、上記可動電極12の延出部12bと固定電極14の延出部14bとの間の体積は、可動電極12が変位しても不変であり、このため延出部12b、14b間の領域が体積一定領域として機能する。つまり、例えば可動電極12が固定電極14側に近接した場合には、V字状の一方の面側の領域s1では可動電極12と固定電極14とが近接して体積が減少するものの、V字状の他方の面側の領域s2では可動電極12と固定電極14とが離反することになり体積が増加し、延出部12b、14b間全体として電極間の体積が不変となる。このため、可動電極12が変位した際に延出部12b、14b同士が近接する領域s1における空気は、延出部12b、14b同士が離反する領域s2に流出することができる。
なお、上記延出部12b、14bの対向面の変位方向(X方向)に対する傾斜角については、第一実施形態と同様に、下限としては5度が好ましく、10度がより好ましく、上限としては30度が好ましく、20度がより好ましい。
上記のように、傾斜角が5度以上30度以下にあることで、所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、共振周波数調整モジュールの空気の圧縮及び流動を容易かつ確実に小さくすることができる。
上記のように、傾斜角が5度以上30度以下にあることで、所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、共振周波数調整モジュールの空気の圧縮及び流動を容易かつ確実に小さくすることができる。
本実施形態における共振周波数調整モジュールにおいては、可動電極が変位方向の一方に延出する延出部を有し、この延出部が延出方向に平面視一定間隔で反対方向に折り曲がるように形成された対向面を有し、上記固定電極がこの対向面と一定間隔で対向する面を有している。
このような構成とすることで、この共振周波数調整モジュールは、可動電極と固定電極との延出部間の対向面で所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、延出部間に体積一定領域を容易かつ確実に形成して空気の圧縮及び流動を小さくすることができる。
このような構成とすることで、この共振周波数調整モジュールは、可動電極と固定電極との延出部間の対向面で所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、延出部間に体積一定領域を容易かつ確実に形成して空気の圧縮及び流動を小さくすることができる。
[第三実施形態]
次に、図3を参酌しつつ第三実施形態の共振周波数調整モジュール21について説明する。なお、第三実施形態の共振周波数調整モジュール21において、第一又は第二実施形態の共振周波数調整モジュール1、11と同一機能又は構造を有する点については同一符号を用い、説明を省略することがある。
次に、図3を参酌しつつ第三実施形態の共振周波数調整モジュール21について説明する。なお、第三実施形態の共振周波数調整モジュール21において、第一又は第二実施形態の共振周波数調整モジュール1、11と同一機能又は構造を有する点については同一符号を用い、説明を省略することがある。
図3の共振周波数調整モジュール21においては、第二実施形態と同様に、可動電極22は、X方向に弾性体3によって変位可能に支持され、基台22aと、この基台22aから変位方向の一方に延出する複数(図示例では4つ)の延出部22bとを有し、この延出部22bは、延出方向に平面視一定間隔で反対方向に(ジグザグに)折り曲がるように形成された対向面を有する。すなわち、可動電極22は、延出部22bの延出方向に一定間隔で並設された山折り部および谷折り部から形成された対向面を有する。また、固定電極24は、可動電極22の対向面と一定間隔で対向する面を有している。これらの変位方向に対して傾斜した対向面によってキャパシタが形成されている。なお、固定電極24は、MEMSセンサの基板等にビアによって固定されている。
図3の共振周波数調整モジュール21においては、固定電極24は、上記可動電極22の複数の延出部22bの間に配設される複数(図示例では3つ)の多角形状体を有し、この多角形状体は、可動電極22の対向面と対向するよう平面視で複数の菱形状又は菱形状の一部が連接された形状を有している。なお、図3の共振周波数調整モジュール1においては、この多角形状体と可動電極22の延出部22bとの間の体積は、可動電極22が変位しても不変であり、このため多角形状体と延出部22bとの間が体積一定領域として機能する。
なお、上記延出部22b及び固定電極24の対向面の変位方向(X方向)に対する傾斜角については、第一実施形態と同様に、下限としては5度が好ましく、10度がより好ましく、上限としては30度が好ましく、20度がより好ましい。
上記のように、傾斜角が5度以上30度以下にあることで、所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、共振周波数調整モジュールの空気の圧縮及び流動を容易かつ確実に小さくすることができる。
さらに、上記のような構成とすることで、この共振周波数調整モジュールは、可動電極と固定電極との延出部間の対向面で所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、延出部間に体積一定領域を容易かつ確実に形成して空気の圧縮及び流動を小さくすることができる。
上記のように、傾斜角が5度以上30度以下にあることで、所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、共振周波数調整モジュールの空気の圧縮及び流動を容易かつ確実に小さくすることができる。
さらに、上記のような構成とすることで、この共振周波数調整モジュールは、可動電極と固定電極との延出部間の対向面で所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、延出部間に体積一定領域を容易かつ確実に形成して空気の圧縮及び流動を小さくすることができる。
[第四実施形態]
次に、図4を参酌しつつ第四実施形態の共振周波数調整モジュール31について説明する。なお、第四実施形態の共振周波数調整モジュール31において、第一、第二又は第三実施形態の共振周波数調整モジュール1、11、21と同一機能又は構造を有する点については同一符号を用い、説明を省略することがある。
次に、図4を参酌しつつ第四実施形態の共振周波数調整モジュール31について説明する。なお、第四実施形態の共振周波数調整モジュール31において、第一、第二又は第三実施形態の共振周波数調整モジュール1、11、21と同一機能又は構造を有する点については同一符号を用い、説明を省略することがある。
図4の共振周波数調整モジュール31においては、第二及び第三実施形態と同様に、可動電極32は、X方向に弾性体3によって変位可能に支持され、基台32aと、この基台32aから変位方向の一方に延出する複数(図示例では合計3つ)の延出部32b、32cとを有する。これらの延出部32b、32cは、延出方向に平面視一定間隔で反対方向に(ジグザグに)折り曲がるように形成された対向面を有する。すなわち、可動電極32は、延出部32bの延出方向に一定間隔で並設された山折り部および谷折り部から形成された対向面を有する。また、固定電極34は、可動電極32の対向面と一定間隔で対向する面を有しキャパシタを形成している。これらの対向面は変位方向に対して傾斜している。なお、固定電極34は、MEMSセンサの基板等にビアによって固定されている。
図4の共振周波数調整モジュール31においては、固定電極34は、第三実施形態と同様に、上記可動電極32の複数の延出部32b、32c間に配設される複数(図示例では2つ)の多角形状体を有している。
上記可動電極32の延出部32b、32cは、上記固定電極34の対向面に対向するような平面視多角形状を有している。具体的には、端部(図4の上方及び下方)に位置する延出部32bは、一方の面(例えば上方の延出部の上面)が平滑面であり、他方の面が上記多角形状体の対向面に沿うよう多角形状に形成されている。また、中央に位置する延出部32cは、各面が上記多角形状体の対向面に沿うよう多角形状を有している。なお、図4の共振周波数調整モジュール31においては、固定電極34の多角形状体と可動電極32の延出部32b、32cとの間の体積は、可動電極32が変位しても不変であり、このため多角形状体と延出部32b、32cとの間が体積一定領域として機能する。
なお、上記延出部32b、32c及び固定電極34の対向面の変位方向(X方向)に対する傾斜角については、第一実施形態と同様に、下限としては5度が好ましく、10度がより好ましく、上限としては30度が好ましく、20度がより好ましい。
上記のように、傾斜角が5度以上30度以下にあることで、所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、共振周波数調整モジュールの空気の圧縮及び流動を容易かつ確実に小さくすることができる。
さらに、上記のような構成とすることで、この共振周波数調整モジュールは、可動電極と固定電極との延出部間の対向面で所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、延出部間に体積一定領域を容易かつ確実に形成して空気の圧縮及び流動を小さくすることができる。
上記のように、傾斜角が5度以上30度以下にあることで、所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、共振周波数調整モジュールの空気の圧縮及び流動を容易かつ確実に小さくすることができる。
さらに、上記のような構成とすることで、この共振周波数調整モジュールは、可動電極と固定電極との延出部間の対向面で所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、延出部間に体積一定領域を容易かつ確実に形成して空気の圧縮及び流動を小さくすることができる。
[第五実施形態]
次に、図5を参酌しつつ第五実施形態の共振周波数調整モジュール41について説明する。なお、第五実施形態の共振周波数調整モジュール41において、第一、第二、第三または第四実施形態の共振周波数調整モジュール1、11、21、31と同一機能又は構造を有する点については同一符号を用い、説明を省略することがある。
次に、図5を参酌しつつ第五実施形態の共振周波数調整モジュール41について説明する。なお、第五実施形態の共振周波数調整モジュール41において、第一、第二、第三または第四実施形態の共振周波数調整モジュール1、11、21、31と同一機能又は構造を有する点については同一符号を用い、説明を省略することがある。
図5の共振周波数調整モジュール41において、第二〜第四実施形態と同様に、可動電極42は、X方向に弾性体3によって変位可能に支持され、基台42aと、この基台42aから変位方向の一方に延出する複数(図示例では合計3つ)の延出部42b、42cとを有する。これらの延出部42b、42cは、延出方向に一定間隔で形成され固定電極44と対向する複数の凸状歯42rおよび42lを有する。固定電極44は、可動電極42の凸状歯が形成された面と対向する対向面に一定間隔で凸状歯44rおよび44lを有し、固定電極44と可動電極42との間でキャパシタを形成している。可動電極42および固定電極44に形成された凸状歯42r−44rおよび42l−44lの対向面は、互いに平行でありかつ可動電極42の変位方向に対して傾斜している。各凸状歯42r−44rおよび42l−44lは、中心線Cに関して対称に配置されている。したがって、同一対向面における凸状歯42r−44rの傾斜は、凸状歯42l−44lの傾斜と対称線Cに関して対称である。固定電極44は、MEMSセンサの基板等にビア45によって固定されている。
図5の共振周波数調整モジュール41において、固定電極44の凸状歯44rおよび44lと、可動電極42の凸状歯42rおよび44lの変位方向における幅はほぼ等しい。また、固定電極44の凸状歯44rおよび44lの形成間隔は、可動電極42の凸状歯42rおよび42lの形成間隔よりも狭い。静止状態において、凸状歯44rの変位方向のほぼ中央に凸状歯42rの左端部が対向するのに対し、凸状歯44lの変位方向のほぼ中央に凸状歯42lの右端部が対向する。すなわち、凸状歯44rおよび42rの変位方向における対向位置と、凸状歯44lおよび42lの変位方向における対向位置とは位相がずれている。
可動電極42がX方向に変位した場合に、凸状歯44rおよび42rの対向面積および凸状歯44lおよび42lの対向面積の合計はほぼ一定である。すなわち、可動電極42が図5の右側に変位した場合には、凸状歯44rおよび42rの対向面積は減少するのに対して、凸状歯44lおよび42lの対向面積はその分増加する。逆に、可動電極42が図5の左側に変位した場合には、凸状歯44rおよび42rの対向面積は増加するのに対して、凸状歯44lおよび42lの対向面積はその分減少する。したがって、可動電極42がX方向に変位した場合にも、可動電極42の凸状歯と固定電極44の凸状歯との対向面積、すなわち電極間の体積は全体として一定となる。これにより、可動電極42と固定電極44との間の電極間は、体積不変(一定)領域を有することになる。
可動電極42の凸状歯と固定電極44の凸状歯との対向面の変位方向(X方向)に対する傾斜角は、下限としては5度が好ましく、10度がより好ましく、上限としては30度が好ましく、20度がより好ましい。
上記のように、傾斜角が5度以上30度以下にあることで、所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、共振周波数調整モジュールの空気の圧縮及び流動を容易かつ確実に小さくすることができる。
さらに、上記のような構成とすることで、この共振周波数調整モジュールは、可動電極と固定電極との延出部間の対向面で所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、延出部間に体積一定領域を容易かつ確実に形成して空気の圧縮及び流動を小さくすることができる。
上記のように、傾斜角が5度以上30度以下にあることで、所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、共振周波数調整モジュールの空気の圧縮及び流動を容易かつ確実に小さくすることができる。
さらに、上記のような構成とすることで、この共振周波数調整モジュールは、可動電極と固定電極との延出部間の対向面で所望のばね定数を容易かつ確実に得ることができるとともに、延出部間に体積一定領域を容易かつ確実に形成して空気の圧縮及び流動を小さくすることができる。
<その他の実施形態>
本発明の共振周波数調整モジュールは、上記実施形態に限定されるものではない。つまり、可動電極及び固定電極の対向面がそれぞれ変位方向に対して傾斜しているものであれば、本発明は特に限定されるものではなく、上記実施形態のような第一凸部、第二凸部、延出部等は本発明の必須の構成要件ではない。
本発明の共振周波数調整モジュールは、上記実施形態に限定されるものではない。つまり、可動電極及び固定電極の対向面がそれぞれ変位方向に対して傾斜しているものであれば、本発明は特に限定されるものではなく、上記実施形態のような第一凸部、第二凸部、延出部等は本発明の必須の構成要件ではない。
また、第一凸部、第二凸部、延出部等の数は上記実施形態の数に限定されず、任意の数とすることができる。
さらに、可動電極及び固定電極が第一凸部及び第二凸部を有する場合においても、上記第一実施形態の構成に限定されるものではなく、種々の形状の第一凸部及び第二凸部を採用することができる。さらに、可動電極が上記延出部を有する場合においても、上記第二乃至第四実施形態の構成に限定されるものではなく、種々の形状の可動電極を作用可能である。
以上説明したように、本発明の共振周波数調整モジュールは、小型化の要請に沿いつつ容易かつ確実に空気抵抗を低減できるため、ジャイロセンサの構成要素として携帯端末等に好適に用いることができる。
1、11、21、31、41 共振周波数調整モジュール
2、12、22、32、42 可動電極
2a、12a、22a、32a、42a 基台
2b 台部
2c 第一凸部
3 弾性体
4、14、24、34,44 固定電極
4a、14a 基台
4b 台部
4c 第二凸部
5 錘
12b、14b、22b、32b、32c,42c 延出部
2、12、22、32、42 可動電極
2a、12a、22a、32a、42a 基台
2b 台部
2c 第一凸部
3 弾性体
4、14、24、34,44 固定電極
4a、14a 基台
4b 台部
4c 第二凸部
5 錘
12b、14b、22b、32b、32c,42c 延出部
Claims (5)
- 角速度を検出するMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)センサを構成する共振周波数調整モジュールであって、
第一の対向面を有する可動電極と、
前記可動電極の第一の対向面と対向し前記第一の対向面との間でキャパシタを形成する第二の対向面を有する固定電極と、
前記可動電極を一方向に変位可能に支持する弾性体とを備え、
前記可動電極の第一の対向面及び前記固定電極の第二の対向面がそれぞれ前記可動電極の変位方向に対して傾斜しており、前記可動電極と前記固定電極とに挟まれ前記可動電極の変位にかかわらず体積が一定である体積一定領域を有する共振周波数調整モジュール。 - 前記第一および第二の対向面の傾斜角が5度以上30度以下である請求項1に記載の共振周波数調整モジュール。
- 前記可動電極と前記固定電極とが前記変位方向において対向するように配置され、
前記可動電極が、前記固定電極側に複数の第一台部及び前記第一台部から前記固定電極側に突設された平面視三角形状の複数の第一凸部を有し、
前記固定電極が、前記可動電極側に1又は複数の第二台部及び前記第二台部から前記可動電極側に前記複数の第一凸部の頂点間に頂点が位置するように突設された平面視三角形状の1又は複数の第二凸部を有する請求項1又は請求項2に記載の共振周波数調整モジュール。 - 前記可動電極が前記変位方向の一方に延出する延出部を有し、前記第一の対向面が前記延出部の延出方向に一定間隔で並設された山折り部および谷折り部から形成され、前記固定電極の前記第二の対向面は、前記第一の対向面と一定間隔で対向する形状の面を有する請求項1又は請求項2に記載の共振周波数調整モジュール。
- 前記可動電極が前記変位方向の一方に延出する延出部を有し、前記第一の対向面が前記延出部の延出方向に一定間隔で並設された複数の第一の凸状歯から形成され、前記固定電極の前記第二の対向面は、前記第一の対向面の前記第一の凸状歯と一定間隔で対向する複数の第二の凸状歯を有する請求項1又は請求項2に記載の共振周波数調整モジュール。
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