JPWO2013154089A1 - ガラス板の梱包方法および梱包体 - Google Patents
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Abstract
本発明は、複数枚のガラス板と、前記複数枚のガラス板の間に挿入されるガラス板用合紙とを交互に積層して梱包するガラス板の梱包方法であって、前記ガラス板の電子デバイス用部材形成面と、前記ガラス板用合紙のワイヤー面とが向き合うように積層するガラス板の梱包方法に関する。
Description
本発明は、ガラス板の梱包方法および梱包体に関する。
例えば、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ(FPD)では、大型のガラス板が広く用いられている。このような大型のガラス板は、保管、運搬等の際、複数枚のガラス板が積層された状態で梱包容器等に収容されて梱包体とされる。このような梱包体においては、ガラス板同士が接触してガラス板表面に傷が付くことを抑制する目的で、積層される各々のガラス板の間にはガラス板用合紙(以下、単に「合紙」ということがある。)が挿入される。
例えば、ガラス板の梱包方法としては、台座上に水平な板受け部が取り付けられたガラス板梱包容器を用い、前記板受け部上にガラス板と合紙とを交互に平置きの状態で積層して収容する梱包方法が知られている(特許文献1)。また、台座上に、ガラス板を載置する底受け板が該台座の上面に対して傾斜して備えられ、さらに該底受け板の下端側から該底受け板に対して90〜100°の角度で立ち上がる背受け板とを有するガラス板梱包容器を用い、背受け板側からガラス板と合紙とが交互に積層されるようにそれらを底受け板上に立てて載置し、そのガラス板積層体を傾斜させた状態で収容して梱包する梱包方法が知られている(特許文献2)。
このように、ガラス板の間に合紙を挿入すると、ガラス板同士の接触によってガラス板表面に傷が付くことを抑制できる。しかし、合紙から脱落した紙粉等のパーティクルがガラス板表面に付着する問題がある。
特許文献2の梱包方法は、ガラス板が斜めに立てられた状態で梱包されるので、特許文献1の平置きにされる梱包方法に比べて各々のガラス板にかかる面圧が小さく、ガラス板と合紙とが過度に密着し難い。そのため、平置きの状態で積層される場合に比べてガラス板表面に付着するパーティクル数が少なくなる。
特許文献2の梱包方法は、ガラス板が斜めに立てられた状態で梱包されるので、特許文献1の平置きにされる梱包方法に比べて各々のガラス板にかかる面圧が小さく、ガラス板と合紙とが過度に密着し難い。そのため、平置きの状態で積層される場合に比べてガラス板表面に付着するパーティクル数が少なくなる。
一方、FPD等に用いられるガラス板は、建築用の窓ガラス等とは異なり、電子デバイス用部材形成面(RGB層等の機能層を形成する面)を特に高い清浄度で保持することが要求される。そのため、特許文献2の梱包方法よりも、さらにガラス板の電子デバイス用部材形成面に付着するパーティクル数を低減することが可能な梱包方法が求められている。
本発明では、ガラス板とガラス板用合紙とを交互に積層して梱包する際に、ガラス板用合紙からガラス板の電子デバイス用部材形成面へのパーティクルの付着数を低減でき、ガラス板の電子デバイス用部材形成面を高い清浄度で保持できるガラス板の梱包方法、および該梱包方法を用いて梱包した梱包体の提供を目的とする。
本発明のガラス板の梱包方法は、複数枚のガラス板と、複数枚のガラス板の間に挿入されるガラス板用合紙とを交互に積層して梱包するガラス板の梱包方法であって、
前記ガラス板の電子デバイス用部材形成面と、前記ガラス板用合紙のワイヤー面とが向き合うように積層する方法である。
前記ガラス板の電子デバイス用部材形成面と、前記ガラス板用合紙のワイヤー面とが向き合うように積層する方法である。
また、本発明のガラス板の梱包方法において、3枚以上の前記ガラス板のそれぞれの間に、各々前記ガラス板用合紙が挿入されており、複数枚の前記ガラス板用合紙のワイヤー面の向きが全て同じ方向を向いていることが好ましい。
また、本発明のガラス板の梱包方法において、前記ガラス板がフロート法で製造されたガラス板であり、前記電子デバイス用部材形成面が研磨面であることが好ましい。
また、本発明のガラス板の梱包方法において、前記ガラス板がフロート法で製造されたガラス板であり、前記電子デバイス用部材形成面が研磨面であることが好ましい。
また、本発明の梱包体は、ガラス板梱包容器と、前記ガラス板梱包容器上に載せられたガラス板積層体とを有する梱包体であって、
前記ガラス板積層体は、複数枚のガラス板と、複数枚のガラス板の間に挿入されるガラス板用合紙とが交互に積層されており、かつ前記ガラス板の電子デバイス用部材形成面と、前記ガラス板用合紙のワイヤー面とが向き合っている。
前記ガラス板積層体は、複数枚のガラス板と、複数枚のガラス板の間に挿入されるガラス板用合紙とが交互に積層されており、かつ前記ガラス板の電子デバイス用部材形成面と、前記ガラス板用合紙のワイヤー面とが向き合っている。
本発明のガラス板の梱包方法によれば、ガラス板とガラス板用合紙とを交互に積層して梱包する際に、ガラス板用合紙からガラス板の電子デバイス用部材形成面へのパーティクルの付着数を低減でき、ガラス板の電子デバイス用部材形成面を高い清浄度で保持できる。
また、本発明の梱包体は、ガラス板とガラス板用合紙とが交互に積層されたガラス板積層体において、ガラス板用合紙からガラス板の電子デバイス用部材形成面へのパーティクルの付着数が低減され、ガラス板の電子デバイス用部材形成面が高い清浄度で保持される。
また、本発明の梱包体は、ガラス板とガラス板用合紙とが交互に積層されたガラス板積層体において、ガラス板用合紙からガラス板の電子デバイス用部材形成面へのパーティクルの付着数が低減され、ガラス板の電子デバイス用部材形成面が高い清浄度で保持される。
本発明のガラス板の梱包方法は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ(FPD)用、太陽電池用、照明用、薄膜2次電池用、または、表面に回路が形成された半導体ウェハ用のガラス板等、一方の面に電子デバイス用部材(機能性素子)が形成されて使用されるガラス板を梱包する方法である。前記電子デバイス用部材としては、例えば、薄膜トランジスタ(TFT)、RGB層を含むカラーフィルタ等が挙げられる。本発明においては、ガラス板における電子デバイス用部材を形成する側の面を電子デバイス用部材形成面という。また、ガラス板における電子デバイス用部材形成面と反対側の面を反対面という。
本発明のガラス板の梱包方法では、複数枚のガラス板と、前記複数枚のガラス板の間に挿入される合紙とを交互に積層してガラス板積層体とし、該ガラス板積層体をガラス板梱包容器等に収容して梱包する。合紙は、ガラス板同士が接触して傷付くことを避けるためにガラス板間に挿入され、これによりガラス板の品質が安定し、また運搬効率が向上する。
本発明のガラス板の梱包方法は、ガラス板と合紙とを積層する際、ガラス板の電子デバイス用部材形成面と合紙のワイヤー面とを向き合わせる。すなわち、ガラス板積層体において、ガラス板の電子デバイス用部材形成面と合紙のワイヤー面とを接触させる。これにより、合紙からガラス板の電子デバイス用部材形成面に付着する紙粉等のパーティクルの数を低減することができる。
合紙のワイヤー面とは、合紙の抄紙製造において、液状の合紙を、ワイヤーを通して水抜きする際にワイヤーに接している面をいう。また、合紙におけるワイヤー面と反対側の面をフェルト面という。
本発明のガラス板の梱包方法は、ガラス板と合紙とを積層する際、ガラス板の電子デバイス用部材形成面と合紙のワイヤー面とを向き合わせる。すなわち、ガラス板積層体において、ガラス板の電子デバイス用部材形成面と合紙のワイヤー面とを接触させる。これにより、合紙からガラス板の電子デバイス用部材形成面に付着する紙粉等のパーティクルの数を低減することができる。
合紙のワイヤー面とは、合紙の抄紙製造において、液状の合紙を、ワイヤーを通して水抜きする際にワイヤーに接している面をいう。また、合紙におけるワイヤー面と反対側の面をフェルト面という。
本発明者等は、ガラス板の電子デバイス用部材形成面に接触させる合紙の面によって、ガラス板の電子デバイス用部材形成面に付着するパーティクル数が異なる可能性があると考え、ガラス板の電子デバイス用部材形成面にフェルト面を接触させる場合と、ワイヤー面を接触させる場合のパーティクル数を詳細に調べた。その結果、ガラス板の電子デバイス用部材形成面に合紙のワイヤー面が接するように積層すると、ガラス板の電子デバイス用部材形成面に合紙のフェルト面が接するように積層した場合に比べてガラス板の電子デバイス用部材形成面に付着するパーティクル数が少なくなることが判明した。
従来のガラス板の梱包方法では、間に合紙を挿入して複数枚のガラス板を積層する際、合紙の向きは無作為であり、ガラス板の電子デバイス用部材形成面には、合紙のフェルト面が接したりワイヤー面が接したりしていた。そのため、特に合紙のフェルト面が接触していたガラス板の電子デバイス用部材形成面には、合紙から多くのパーティクルが付着していたと考えられる。
これに対し、本発明のガラス板の梱包方法では、ガラス板の電子デバイス用部材形成面に接触させる合紙の面を、パーティクルを付着させ難いワイヤー面に統一することで、梱包時に合紙からガラス板の電子デバイス用部材形成面に付着するパーティクル数が低減され、電子デバイス用部材形成面を高い清浄度で保持することができる。なお、本発明の梱包方法では、ガラス板の反対面には、電子デバイス用部材形成面に比べて合紙のフェルト面から多くのパーティクルが付着することになる。しかし、反対面は偏光板等を設けることはあるものの、電子デバイス用部材は形成しないので実用上問題はない。
これに対し、本発明のガラス板の梱包方法では、ガラス板の電子デバイス用部材形成面に接触させる合紙の面を、パーティクルを付着させ難いワイヤー面に統一することで、梱包時に合紙からガラス板の電子デバイス用部材形成面に付着するパーティクル数が低減され、電子デバイス用部材形成面を高い清浄度で保持することができる。なお、本発明の梱包方法では、ガラス板の反対面には、電子デバイス用部材形成面に比べて合紙のフェルト面から多くのパーティクルが付着することになる。しかし、反対面は偏光板等を設けることはあるものの、電子デバイス用部材は形成しないので実用上問題はない。
本発明のガラス板の梱包方法は、FPD等に用いられる大型のガラス板に対して特に有効である。具体的には、大型のガラス板は重く、積層した際に各々のガラス板にかかる面圧が高くなるので、ガラス板と合紙とがより密着しやすく、電子デバイス用部材形成面にパーティクルが多く付着する可能性が高い。本発明の梱包方法は、このような大型のガラス板の積層においても電子デバイス用部材形成面に付着するパーティクル数を低減できるので非常に有用である。
大型のガラス板のサイズの具体例としては、例えば、板厚が0.1mm〜3.0mm、縦横それぞれの1辺の長さが1500mm〜3500mmのガラス板等が挙げられる。
大型のガラス板のサイズの具体例としては、例えば、板厚が0.1mm〜3.0mm、縦横それぞれの1辺の長さが1500mm〜3500mmのガラス板等が挙げられる。
ガラス板としては、フロート法で製造されたガラス板で、電子デバイス用部材形成面が研磨面であることが好ましい。フロート法によって溶融ガラスから板状に成形されたガラス板の一方の表面を、自転および/または公転する研磨具で研磨して、その表面の微小な凹凸やうねりを除去することによって、電子デバイス用のガラス板に要求される平坦度を満足させた、所定の厚さの薄板状に形成される。ガラス板の電子デバイス用部材形成面を研磨する方法としては、日本国特開2004−122351号または国際公開第2011/052529号に記載された研磨方法等の酸化セリウムまたはコロイダルシリカを砥粒としたスラリを用いた研磨が好ましい。
なお、ガラス板は、フュージョン法等の他の方法で製造されたガラス板でもよい。
なお、ガラス板は、フュージョン法等の他の方法で製造されたガラス板でもよい。
合紙は、クラフトパルプ(KP)、サルファイトパルプ(SP)、ソーダパルプ(AP)等の化学パルプ、セミケミカルパルプ(SCP)、ケミグランドウッドパルプ(CGP)等の半化学パルプ、砕木パルプ(GP)、サーモメカニカルパルプ(TMP、BCTMP)、リファイナーグランドウッドパルプ(RGP)等の機械パルプ、楮、三椏、麻、ケナフ等を原料とする非木材繊維パルプ、合成パルプ等、各種の原料からなる公知の合紙が利用可能である。さらに、合紙は、これらの混合物を原料するものでもよく、セルロース等を含有するものを原料としてもよい。
また、これらの原料は、古紙であっても、バージンパルプであっても、古紙とバージンパルプとの混合物であってもよい。中でも、バージンパルプが好ましい。
合紙の大きさは、ガラス板よりも大きいことが好ましい。すなわち、ガラス板と合紙とを交互に積層したときに、合紙がガラス板からはみ出すことが好ましい。これにより、梱包の際にガラス板同士が接触することを安定して抑制できる。そのため、ガラス板の電子デバイス用部材形成面をより安定して保護することができる。また、合紙のはみ出した部分を押さえた状態で、該合紙からガラス板を分離することができるので、開梱作業が容易になる。
また、これらの原料は、古紙であっても、バージンパルプであっても、古紙とバージンパルプとの混合物であってもよい。中でも、バージンパルプが好ましい。
合紙の大きさは、ガラス板よりも大きいことが好ましい。すなわち、ガラス板と合紙とを交互に積層したときに、合紙がガラス板からはみ出すことが好ましい。これにより、梱包の際にガラス板同士が接触することを安定して抑制できる。そのため、ガラス板の電子デバイス用部材形成面をより安定して保護することができる。また、合紙のはみ出した部分を押さえた状態で、該合紙からガラス板を分離することができるので、開梱作業が容易になる。
合紙のワイヤー面の平滑度(JIS P 8119(1976年))は、20秒以下が好ましく、18秒以下がより好ましい。これにより、ガラス板の電子デバイス用部材形成面と合紙のワイヤー面との接触面積が減少し、合紙中の樹脂分がガラス板の電子デバイス用部材形成面に転写され難くなる。そのため、電子デバイス用部材形成面に紙肌模様、焼け、汚れ等が生じることを抑制でき、より高い清浄度で保持できる。
合紙のフェルト面の平滑度(JIS P 8119(1976年))は、ワイヤー面と同様に、ガラス板の反対面に紙肌模様、焼け、汚れ等が生じることを抑制できることから、20秒以下が好ましく、18秒以下がより好ましい。
合紙のフェルト面の平滑度(JIS P 8119(1976年))は、ワイヤー面と同様に、ガラス板の反対面に紙肌模様、焼け、汚れ等が生じることを抑制できることから、20秒以下が好ましく、18秒以下がより好ましい。
合紙の樹脂分(JIS P 8205(1976年))は、0.1質量%以下が好ましく、0.05質量%以下がより好ましい。合紙の樹脂分が前記上限値以下であれば、合紙からガラス板表面に付着するパーティクル数がより少なくなり、ガラス板の品質を保持することが容易になる。
このような合紙は、基本的に、公知の合紙の製紙方法を利用して製造できる。
このような合紙は、基本的に、公知の合紙の製紙方法を利用して製造できる。
ガラス板積層体におけるガラス板の電子デバイス用部材形成面と、合紙のワイヤー面の向きは、ガラス板の電子デバイス用部材形成面と合紙のワイヤー面とが向き合っていれば特に限定されない。本発明においては、3枚以上のガラス板のそれぞれの間に各々合紙を挿入する場合、すなわち2枚以上の合紙が挿入される場合、それら合紙のワイヤー面が全て同じ向きを向いていることが好ましい。つまり、電子デバイス用部材形成面が全て同じ向きとなるように積層したガラス板に対し、全ての電子デバイス用部材形成面にそれぞれワイヤー面が向き合うように全ての合紙を挿入することが好ましい。
例えば、ガラス板を平置きにする場合、ガラス板の電子デバイス用部材形成面が全て下向きになり、挿入する合紙のワイヤー面が全て上向きになるように積層するか、または、ガラス板の電子デバイス用部材形成面が全て上向きになり、挿入する合紙のワイヤー面が全て下向きとなるように積層することが好ましい。また、後述する梱包体のような縦置きにする場合、ガラス板の電子デバイス用部材形成面が全て背受け板側に向き、挿入する合紙のワイヤー面が全て背受け板の反対側に向くように積層するか、または、ガラス板の電子デバイス用部材形成面が全て背受け板の反対側に向き、挿入する合紙のワイヤー面が全て背受け板側に向くように積層することが好ましい。
例えば、ガラス板を平置きにする場合、ガラス板の電子デバイス用部材形成面が全て下向きになり、挿入する合紙のワイヤー面が全て上向きになるように積層するか、または、ガラス板の電子デバイス用部材形成面が全て上向きになり、挿入する合紙のワイヤー面が全て下向きとなるように積層することが好ましい。また、後述する梱包体のような縦置きにする場合、ガラス板の電子デバイス用部材形成面が全て背受け板側に向き、挿入する合紙のワイヤー面が全て背受け板の反対側に向くように積層するか、または、ガラス板の電子デバイス用部材形成面が全て背受け板の反対側に向き、挿入する合紙のワイヤー面が全て背受け板側に向くように積層することが好ましい。
以下、本発明のガラス板の梱包方法の一例として、図1および図2に例示したガラス板梱包容器100を用いてガラス板を梱包して梱包体1とする梱包方法について説明する。
本実施形態のガラス板梱包容器100は、台座10と、台座10上に5°〜25°傾斜して設けられた平板状の2つの底受け板12と、底受け板12の下端側から底受け板12に対して90°〜100°の角度で立ち上がる柱状の4本の縦片14と、それら4本の縦片14で支持されるように底受け板12側に設けられた1枚の平板状の背受け板16と、各々の縦片14の背受け板16と反対側(図2の右側)に台座10から垂直に立ち上がるように設けられた4本の支柱18と、各々の縦片14と支柱18に架け渡された補強材20と、を有する。
本実施形態のガラス板梱包容器100は、台座10と、台座10上に5°〜25°傾斜して設けられた平板状の2つの底受け板12と、底受け板12の下端側から底受け板12に対して90°〜100°の角度で立ち上がる柱状の4本の縦片14と、それら4本の縦片14で支持されるように底受け板12側に設けられた1枚の平板状の背受け板16と、各々の縦片14の背受け板16と反対側(図2の右側)に台座10から垂直に立ち上がるように設けられた4本の支柱18と、各々の縦片14と支柱18に架け渡された補強材20と、を有する。
ガラス板梱包容器100を用いるガラス板32の梱包方法では、図3に示すように、ガラス板梱包容器100の底受け板12上に、ガラス板32の電子デバイス用部材形成面32aが背受け板16側を向くようにして、複数枚のガラス板32と、ガラス板32よりも大きいガラス板用合紙34(以下、単に「合紙34」という。)を交互に立てて積層し、ガラス板積層体30として載置する。このとき、合紙34はワイヤー面34aを背受け板16と反対側(図3の左側)に向け、ガラス板32の電子デバイス用部材形成面32aと合紙34のワイヤー面34aとを向かい合わせ、それらが接触するようにする。
ガラス板積層体30は、各々のガラス板32が自重によって背受け板16側に隣接するガラス板32に接するので、各ガラス板32間には隙間が生じない。
ガラス板梱包容器100の底受け板12上に載置したガラス板積層体30は、背受け板16の反対側(図3の左側)、および側面側(図1の左右側)から、ガラス板梱包容器100に設けられた押え部材(図示せず)等で押さえて固定する。
ガラス板積層体30は、各々のガラス板32が自重によって背受け板16側に隣接するガラス板32に接するので、各ガラス板32間には隙間が生じない。
ガラス板梱包容器100の底受け板12上に載置したガラス板積層体30は、背受け板16の反対側(図3の左側)、および側面側(図1の左右側)から、ガラス板梱包容器100に設けられた押え部材(図示せず)等で押さえて固定する。
ガラス板32と合紙34との積層は、クリーンルーム内で行うことが好ましい。これにより、ガラス板32の電子デバイス用部材形成面32aに雰囲気中の埃等が付着することを抑制できる。
例えば、クリーンルーム内において、電子デバイス用部材形成面32aを上向きにして平置きにしたガラス板32上に、ワイヤー面34aが電子デバイス用部材形成面32aに接するように合紙34を載せる。その後、ガラス板32と合紙34とを、合紙34の上からロボット等で吸着して持ち上げ、ガラス板32の電子デバイス用部材形成面32aが背受け板16側に向くように底受け板12上に載置する。これを繰り返すことで、ガラス板32と合紙34を交互に積層することができる。
例えば、クリーンルーム内において、電子デバイス用部材形成面32aを上向きにして平置きにしたガラス板32上に、ワイヤー面34aが電子デバイス用部材形成面32aに接するように合紙34を載せる。その後、ガラス板32と合紙34とを、合紙34の上からロボット等で吸着して持ち上げ、ガラス板32の電子デバイス用部材形成面32aが背受け板16側に向くように底受け板12上に載置する。これを繰り返すことで、ガラス板32と合紙34を交互に積層することができる。
合紙34は、ガラス板32よりも大きく、ガラス板積層体30において、ガラス板32の上側から合紙34がはみ出した状態になっている。開梱の際は、合紙34における上端側のはみ出した部分を押さえ、その合紙34からガラス板32を分離するようにして、ガラス板32と合紙34を順次取り出す。
また、本発明の梱包方法では、積層したガラス板32の側端側から合紙34がはみ出るようにしてもよい。この場合、側端側からはみ出した合紙34をガラス板32の側縁に沿って折り曲げ、ガラス板32の側面を覆うようにして梱包することで、合紙34によってガラス板32の側面も保護することができる。ガラス板32の側面に付着するパーティクル数を少なくするため、ガラス板32の側面を覆う合紙34の面は、ワイヤー面34aが好ましい。
以上説明した梱包方法により、ガラス板梱包容器100と、ガラス板梱包容器100上に載せられたガラス板積層体30とを有する梱包体1が得られる。
また、本発明の梱包方法では、積層したガラス板32の側端側から合紙34がはみ出るようにしてもよい。この場合、側端側からはみ出した合紙34をガラス板32の側縁に沿って折り曲げ、ガラス板32の側面を覆うようにして梱包することで、合紙34によってガラス板32の側面も保護することができる。ガラス板32の側面に付着するパーティクル数を少なくするため、ガラス板32の側面を覆う合紙34の面は、ワイヤー面34aが好ましい。
以上説明した梱包方法により、ガラス板梱包容器100と、ガラス板梱包容器100上に載せられたガラス板積層体30とを有する梱包体1が得られる。
以上説明した本発明のガラス板の梱包方法によれば、ガラス板と合紙とを交互に積層して梱包する際に、合紙からガラス板の電子デバイス用部材形成面に付着するパーティクルの数を低減することができ、ガラス板の電子デバイス用部材形成面の清浄度を高く保つことができる。
また、前記ガラス板梱包容器100を用いた場合のように、ガラス板を傾斜させた状態で積層する方法は、ガラス板を平置きにして積層する場合に比べて各々のガラス板にかかる面圧が小さくなり、ガラス板と合紙とが過度に密着し難くなる。そのため、合紙からガラス板の電子デバイス用部材形成面にパーティクルがより付着し難くなる点で好ましい。
なお、本発明のガラス板の梱包方法は、複数枚のガラス板を平置きにして積層する方法であってもよい。また、本発明の梱包体も前記梱包体1には限定されず、例えば、ガラス板の電子デバイス用部材形成面と合紙のワイヤー面とが向かい合わせに積層されていれば、台座上に水平な板受け部が取り付けられたガラス板梱包容器を用い、前記板受け部上にガラス板と合紙とを交互に平置きの状態で積層して梱包体としてもよい。
また、前記ガラス板梱包容器100を用いた場合のように、ガラス板を傾斜させた状態で積層する方法は、ガラス板を平置きにして積層する場合に比べて各々のガラス板にかかる面圧が小さくなり、ガラス板と合紙とが過度に密着し難くなる。そのため、合紙からガラス板の電子デバイス用部材形成面にパーティクルがより付着し難くなる点で好ましい。
なお、本発明のガラス板の梱包方法は、複数枚のガラス板を平置きにして積層する方法であってもよい。また、本発明の梱包体も前記梱包体1には限定されず、例えば、ガラス板の電子デバイス用部材形成面と合紙のワイヤー面とが向かい合わせに積層されていれば、台座上に水平な板受け部が取り付けられたガラス板梱包容器を用い、前記板受け部上にガラス板と合紙とを交互に平置きの状態で積層して梱包体としてもよい。
以下、実施例によって本発明を詳細に説明するが、本発明は以下の記載によっては限定されない。
[例1]
クリーンルーム内において、図4に示すように、アルミニウム板210(縦500mm×横400mm×板厚10mm)上に、緩衝材212として厚さ3mmの樹脂シート(PORON(登録商標)、株式会社ロジャースイノアック製)を設置した。
さらにその緩衝材212の上に、測定対象のガラス板と同形状の擬似板214(非測定対象のガラス板(旭硝子株式会社製AN100)。縦470mm×横370mm×厚さ0.7mm)を設置し、該擬似板214上に、合紙216の20枚(参照用の合紙D(縦500mm×横400mm)10枚と評価対象の合紙A(縦500mm×横400mm)10枚)と、測定対象のガラス板218(旭硝子株式会社製AN100。縦470mm×横370mm×厚さ0.7mm)20枚とを、前記擬似板214に合紙216が接触するように交互に積層した。
合紙216とガラス板218との積層は、ガラス板218の電子デバイス用部材形成面(研磨面)を全て下向きとし、その電子デバイス用部材形成面に接する合紙216の面は下から以下の順になるようにした。なお、(1)は下から1番目の合紙を意味し、以下同様である。
(1)合紙Dのフェルト面。
(2)合紙Dのワイヤー面。
(3)合紙Aのフェルト面。
(4)合紙Aのワイヤー面。
(5)〜(8)、(9)〜(12)、(13)〜(16)、および(17)〜(20)は、それぞれ(1)〜(4)と同じ順序。
さらに、一番上のガラス板218上に擬似合紙220として合紙Aを設置し、該合紙A上に前記擬似板214と同じ擬似板222を設置して、ガラス板積層体201とした。
その後、ガラス板積層体201の擬似板222上に、緩衝材224として厚さ3mmの樹脂シート(PORON(登録商標)、株式会社ロジャースイノアック製)を設置した。
[例1]
クリーンルーム内において、図4に示すように、アルミニウム板210(縦500mm×横400mm×板厚10mm)上に、緩衝材212として厚さ3mmの樹脂シート(PORON(登録商標)、株式会社ロジャースイノアック製)を設置した。
さらにその緩衝材212の上に、測定対象のガラス板と同形状の擬似板214(非測定対象のガラス板(旭硝子株式会社製AN100)。縦470mm×横370mm×厚さ0.7mm)を設置し、該擬似板214上に、合紙216の20枚(参照用の合紙D(縦500mm×横400mm)10枚と評価対象の合紙A(縦500mm×横400mm)10枚)と、測定対象のガラス板218(旭硝子株式会社製AN100。縦470mm×横370mm×厚さ0.7mm)20枚とを、前記擬似板214に合紙216が接触するように交互に積層した。
合紙216とガラス板218との積層は、ガラス板218の電子デバイス用部材形成面(研磨面)を全て下向きとし、その電子デバイス用部材形成面に接する合紙216の面は下から以下の順になるようにした。なお、(1)は下から1番目の合紙を意味し、以下同様である。
(1)合紙Dのフェルト面。
(2)合紙Dのワイヤー面。
(3)合紙Aのフェルト面。
(4)合紙Aのワイヤー面。
(5)〜(8)、(9)〜(12)、(13)〜(16)、および(17)〜(20)は、それぞれ(1)〜(4)と同じ順序。
さらに、一番上のガラス板218上に擬似合紙220として合紙Aを設置し、該合紙A上に前記擬似板214と同じ擬似板222を設置して、ガラス板積層体201とした。
その後、ガラス板積層体201の擬似板222上に、緩衝材224として厚さ3mmの樹脂シート(PORON(登録商標)、株式会社ロジャースイノアック製)を設置した。
恒温恒湿槽の底に、厚さ1mmの樹脂シート(PORON(登録商標)、株式会社ロジャースイノアック製)を3枚重ねて敷き、さらにその上に厚さ5mmの樹脂シート(PORON(登録商標)、株式会社ロジャースイノアック製)を敷いた。その後、該樹脂シート上に、前記積層方法で得たアルミニウム板210/緩衝材212/ガラス板積層体201/緩衝材224からなる積層体を、アルミニウム板210が下になるようにして設置し、該積層体の緩衝材224上にさらにアルミニウム板(縦500mm×横400mm×厚さ10mm)を設置した。その後、前記積層体上のアルミニウム板上に、35.8kgの錘を設置し、温度40℃、湿度25%で24時間静置した。
その後、前記積層体を分解してガラス板積層体201を取り出し、20枚のそれぞれのガラス板218の表面を洗浄機で洗浄した。洗浄は、ガラス板218の両面にシャワーが当たるようにして、高圧純水シャワー(5秒)、純水超音波シャワー(10秒)、高圧純水シャワー(5秒)の条件で行い、その後にエアブローにより乾燥した。洗浄後、パーティクル数測定機(FPD用異物検査装置HS−730、東レエンジニアリング社製)によって、各ガラス板218の電子デバイス用部材形成面に付着した大きさが1μm以上のパーティクル数を測定し、市販の合紙Aのフェルト面と接触させた電子デバイス用部材形成面におけるパーティクル数の平均値と、合紙Aのワイヤー面と接触させた電子デバイス用部材形成面におけるパーティクル数の平均値とを各々算出した。
また、前記各々の平均値から、積層する前のそれぞれのガラス板の電子デバイス用部材形成面について測定したパーティクル数の平均値を差し引いて、合紙起因のパーティクル数を算出した。その後、合紙Aのフェルト面と接触させた電子デバイス用部材形成面における差し引き後のパーティクル数を「1」として正規化したときの、合紙Aのワイヤー面と接触させた電子デバイス用部材形成面における差し引き後のパーティクル数を算出して評価した。
また、前記各々の平均値から、積層する前のそれぞれのガラス板の電子デバイス用部材形成面について測定したパーティクル数の平均値を差し引いて、合紙起因のパーティクル数を算出した。その後、合紙Aのフェルト面と接触させた電子デバイス用部材形成面における差し引き後のパーティクル数を「1」として正規化したときの、合紙Aのワイヤー面と接触させた電子デバイス用部材形成面における差し引き後のパーティクル数を算出して評価した。
[例2]
測定対象の合紙Aを、市販の合紙Bに変更した以外は、同様の方法で合紙Bのワイヤー面と接触させた電子デバイス用部材形成面におけるパーティクル数を評価した。
測定対象の合紙Aを、市販の合紙Bに変更した以外は、同様の方法で合紙Bのワイヤー面と接触させた電子デバイス用部材形成面におけるパーティクル数を評価した。
[例3]
測定対象の合紙Aを、市販の合紙Cに変更した以外は、同様の方法で合紙Cのワイヤー面と接触させた電子デバイス用部材形成面におけるパーティクル数を評価した。
例1〜3については、それぞれにおける参照用の合紙Dに接触させたガラス板についてのパーティクル数の測定結果を確認したところ、誤差は充分に小さかった。例1〜3の評価結果を図5に示す。
測定対象の合紙Aを、市販の合紙Cに変更した以外は、同様の方法で合紙Cのワイヤー面と接触させた電子デバイス用部材形成面におけるパーティクル数を評価した。
例1〜3については、それぞれにおける参照用の合紙Dに接触させたガラス板についてのパーティクル数の測定結果を確認したところ、誤差は充分に小さかった。例1〜3の評価結果を図5に示す。
合紙A〜Cのいずれも、フェルト面よりもワイヤー面の方が、合紙からガラス板の電子デバイス用部材形成面に付着するパーティクル数が少なかった。
本発明を詳細に、また特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の範囲と精神を逸脱することなく、様々な修正や変更を加えることができることは、当業者にとって明らかである。
本出願は、2012年4月13日出願の日本国特許出願2012−092122に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
本出願は、2012年4月13日出願の日本国特許出願2012−092122に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
1・・・梱包体、10・・・台座、12・・・底受け板、14・・・縦片、16・・・背受け板、18・・・支柱、20・・・補強材、30・・・ガラス板積層体、32・・・ガラス板、32a・・・電子デバイス用部材形成面、34・・・ガラス板用合紙、34a・・・ワイヤー面、100・・・ガラス板梱包容器。
Claims (4)
- 複数枚のガラス板と、前記複数枚のガラス板の間に挿入されるガラス板用合紙とを交互に積層して梱包するガラス板の梱包方法であって、
前記ガラス板の電子デバイス用部材形成面と、前記ガラス板用合紙のワイヤー面とが向き合うように積層するガラス板の梱包方法。 - 3枚以上の前記ガラス板のそれぞれの間に、各々前記ガラス板用合紙が挿入されており、
複数枚の前記ガラス板用合紙のワイヤー面の向きが全て同じ方向を向いている請求項1に記載のガラス板の梱包方法。 - 前記ガラス板がフロート法で製造されたガラス板であり、前記電子デバイス用部材形成面が研磨面である請求項1または2に記載のガラス板の梱包方法。
- ガラス板梱包容器と、前記ガラス板梱包容器上に載せられたガラス板積層体とを有する梱包体であって、
前記ガラス板積層体は、複数枚のガラス板と、前記複数枚のガラス板の間に挿入されるガラス板用合紙とが交互に積層されており、かつ前記ガラス板の電子デバイス用部材形成面と、前記ガラス板用合紙のワイヤー面とが向き合っている梱包体。
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