JPWO2013118296A1 - 太陽電池セルの検査装置および太陽電池セルの処理装置 - Google Patents

太陽電池セルの検査装置および太陽電池セルの処理装置 Download PDF

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Abstract

太陽電池セル100の検査装置1は、可視光を照射する可視光源11と、太陽電池セル100の反射防止膜において反射した反射画像を測定するCCDカメラ15と、太陽電池セル100に赤外光を照射する赤外光源13と、太陽電池セル100を透過した透過画像を測定するCCDカメラ16とを備える。この検査装置1においては、反射画像と透過画像とを比較し、反射画像において明点となった領域のうち、透過画像において暗点となった領域をパーティクルを含む領域である判定するとともに、反射画像において明点となった領域のうち、パーティクルを含む領域と判定された領域以外のピンホールを含む領域であると判定する。

Description

この発明は、反射防止膜が成膜された太陽電池セルの検査装置、および、この太陽電池セルの検査装置を使用した太陽電池セルの処理装置に関する。
太陽電池セルの生産工程においては、太陽電池セルの割れ、欠け、パターンや成膜の欠陥等を検査する外観検査と、太陽電池セルの内部に生じたクラックやボイド等を検査する内部検査とが実行される。
特許文献1には、レーザ光源により半導体ウエハに対してレーザ光を照射するとともに、半導体ウエハの表面において反射した光学像を撮像装置により撮像し、欠陥検出部により撮像された半導体ウエハの画像データから欠陥を抽出することにより、半導体ウエハの表面に存在する欠陥を検査する欠陥検査装置が開示されている。
また、特許文献2には、赤外線光源から半導体ウエハに対して赤外線を照射するとともに、半導体ウエハを透過した赤外線を赤外線カメラにより撮像する赤外線検査装置が開示されている。この赤外線検査装置においては、クラック等の異常部分と多結晶シリコン基板部分とで赤外線の透過状態が異なることを利用して、半導体ウエハ内部の微小クラックを検出する構成となっている。
特開2002−122552号公報 特開2006−351669号公報
太陽電池セルの製造プロセスにおいて、反射防止膜の成膜後に成膜状態の検査が実行される。そして、検査で良品と判断された太陽電池セルに対して、電極の印刷と焼成が実行される。ここで、反射防止膜としては、例えば、真空を利用したプラズマCVD装置等の成膜装置により成膜されたSiN(窒化シリコン)膜が使用される。この成膜装置においては、多数枚の太陽電池セルに対して成膜を実行すると、装置の内部にパーティクルが蓄積される。成膜工程においては、真空チャンバーの内部において、真空排気、ガス導入、成膜、ベントという工程を繰り返し実行することから、成膜前の太陽電池セルまたは成膜後の太陽電池セルにパーティクルが堆積する確率が増大する。
成膜前の太陽電池セルにパーティクルが堆積し、このままの状態で反射防止膜の成膜が実行された場合においては、太陽電池セルの表面に反射防止膜が成膜されない小さな領域がピンホールとして形成されることになる。一方、成膜後の太陽電池セルにパーティクルが堆積した場合には、反射防止膜の表面に載置された異物である、所謂、上乗りパーティクルとなる。
従来、反射防止膜を成膜した後の太陽電池セルは、上述した特許文献1と同様、外観検査装置において可視光による反射画像を測定することにより、上乗りパーティクルやピンホールを点欠陥として検出している。そして、点欠陥の個数や総面積が予め設定した設定値以上となった場合には、その太陽電池セルは欠陥製品であると認識し、生産ラインから除外するようにしている。
上述した点欠陥のうち、ピンホールは未成膜成分であることから修復は困難であるが、上乗りパーティクルは、パーティクル自体を反射防止膜上から除去することにより、その太陽電池セルは正常な製品として使用可能である。このような太陽電池セルを欠陥製品として生産ラインから除外した場合には、生産効率が低下するという問題が生ずる。
この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、異物とピンホールとを識別することにより生産効率を向上させることが可能な太陽電池セルの検査装置および太陽電池セルの処理装置を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、反射防止膜が成膜された太陽電池セルを検査する太陽電池セルの検査装置であって、前記太陽電池セルにおける前記反射防止膜側から可視光を照射する可視光照射手段と、前記可視光照射手段から照射され、前記太陽電池セルの反射防止膜において反射した反射画像を測定する反射画像測定手段と、前記太陽電池セルにおける前記反射防止膜とは逆側から赤外光を照射する赤外光照射手段と、前記赤外光照射手段から照射され、前記太陽電池セルを透過した透過画像を測定する透過画像測定手段と、前記反射画像測定手段により測定した反射画像と前記透過画像測定手段により測定した透過画像とを比較する比較手段と、前記反射画像において明点となった領域のうち、前記透過画像において暗点となった領域を前記反射防止膜上に存在する異物を含む領域であると判定するとともに、前記反射画像において明点となった領域のうち、前記異物を含む領域と判定された領域以外の領域を前記反射防止膜に形成されたピンホールを含む領域であると判定する判定手段とを備えたことを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記可視光照射手段と前記赤外光照射手段とは、太陽電池セルの両面に同時に可視光と赤外光とを照射するとともに、前記太陽電池セルの反射防止膜で反射した可視光と前記太陽電池セルを透過した赤外光とを受光し、前記太陽電池セルの反射防止膜で反射した可視光を前記反射画像測定手段に導くとともに、前記太陽電池セルを透過した赤外光を前記透過画像測定手段に導くビームスプリッタを備える。
請求項3に記載の発明は、反射防止膜が成膜された太陽電池セルを処理する太陽電池セルの処理装置であって、前記太陽電池セルにおける前記反射防止膜側から可視光を照射する可視光照射手段と、前記可視光照射手段から照射され、前記太陽電池セルの反射防止膜において反射した反射画像を測定する反射画像測定手段と、前記太陽電池セルにおける前記反射防止膜とは逆側から赤外光を照射する赤外光照射手段と、前記赤外光照射手段から照射され、前記太陽電池セルを透過した透過画像を測定する透過画像測定手段と、前記反射画像測定手段により測定した反射画像と前記透過画像測定手段により測定した透過画像とを比較する比較手段と、前記反射画像において明点となった領域のうち、前記透過画像において暗点となった領域を前記反射防止膜上に存在する異物を含む領域であると判定するとともに、前記反射画像において明点となった領域のうち、前記異物を含む領域と判定された領域以外の領域を前記反射防止膜に形成されたピンホールを含む領域であると判定する判定手段と、を有する検査装置と、前記検査装置の判定手段により前記反射防止膜上に存在する異物を含む領域であると判定された領域に対して、その領域の異物を除去する異物除去装置とを備えたことを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、前記異物除去装置は、前記検査装置における判定手段により前記反射防止膜上に存在する異物を含む領域であると判定された領域に対して、気体を噴出または吸引することにより異物を除去する異物除去部を備える。
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の発明において、前記異物除去装置は、前記異物除去部により異物を除去された後の太陽電池セルを検査することにより、当該太陽電池セルにおける反射防止膜状の異物の有無を検査する第2の検査装置を備える。
請求項6に記載の発明は、請求項5に記載の発明において、前記検査装置を含む領域に対して太陽電池セルを搬送する主搬送路と、前記検査装置における判定手段により前記反射防止膜上に異物を含む領域が存在すると判定された太陽電池セルを、前記主搬送路と前記異物除去装置との間で搬送する搬送機構とを備える。
請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の発明において、前記検査装置における判定手段により前記反射防止膜に形成されたピンホールを含む領域が存在すると判定された太陽電池セルを、前記主搬送路から排出する排出機構を備える。
請求項1に記載の発明によれば、太陽電池セルにおける欠陥のうち、反射防止膜上に存在する異物とピンホールとを識別することが可能となる。これにより、異物を除去することで使用可能な太陽電池セルを認識することができ、太陽電池セルの生産性を向上させることが可能となる。
請求項2に記載の発明によれば、太陽電池セルの反射防止膜で反射した可視光を反射画像測定手段に導くとともに、太陽電池セルを透過した赤外光を透過画像測定手段に導くビームスプリッタを備えることから、同時に赤外光と可視光で照明し、反射画像と透過画像とを同じ時間で測定することが可能となる。
請求項3に記載の発明によれば、反射防止膜上に存在する異物とピンホールとを識別することが可能となる。これにより、異物を除去することで使用可能な太陽電池セルを認識することができる。そして、異物除去装置により異物を除去することで、太陽電池セルの生産性を向上させることが可能となる。
請求項4に記載の発明によれば、異物を含む領域であると判定された領域に対して気体を噴出または吸引することにより、容易に異物を除去することが可能となる。
請求項5に記載の発明によれば、第2の検査装置により、異物除去部により異物の除去作業を実行した後の太陽電池セルを再検査することにより、異物の除去状態を確認することが可能となる。
請求項6に記載の発明によれば、反射防止膜上に異物を含む領域が存在すると判定された太陽電池セルを、主搬送路から異物除去装置に搬出し、異物を除去した後に、再度、主搬送路に搬入することが可能となる。
請求項7に記載の発明によれば、反射防止膜に形成されたピンホールを含む領域が存在すると判定された修復困難な太陽電池セルを、主搬送路から生産ラインの外部に排出することが可能となる。
この発明に係る太陽電池セル100の処理装置の斜視図である。 この発明に係る太陽電池セル100の処理装置において、検査装置1および第2の検査装置2を取り除いて見た平面図である。 検査装置1の概要図である。 支持部18に支持された複数の光源11の配置を示す平面図である。 検査装置1の主要な制御系を示すブロック図である。 第2の検査装置2の概要図である。 太陽電池セル100上にパーティクル104が存在したときの可視光の反射画像のピークP1を示す説明図である。 太陽電池セル100上にピンホール103が存在したときの可視光の反射画像のピークP2を示す説明図である。 太陽電池セル100上にパーティクル104が存在したときの赤外光の透過画像のピークP3を示す説明図である。 太陽電池セル100上にピンホール103が存在したときの赤外光の透過画像のピークP4を示す説明図である。 他の実施形態に係る検査装置1の概要図である。 さらに他の実施形態に係る検査装置1の概要図である。
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、この発明に係る太陽電池セル100の処理装置の斜視図である。また、図2は、この発明に係る太陽電池セル100の処理装置において、検査装置1および第2の検査装置2を取り除いて見た平面図である。
この発明に係る太陽電池セル100の処理装置は、前段の成膜工程においてその上面に反射防止膜が成膜された太陽電池セル100を処理するためのものであり、太陽電池セル100を、その反射防止膜を上方に向けた状態で、検査装置1を含む領域に対して搬送するための主搬送路を構成する搬送装置3を備える。また、この発明に係る太陽電池セル100の処理装置は、太陽電池セルからパーティクル(異物)を除去するための異物除去装置4と、この異物除去装置4の上方に配設された第2の検査装置2と、反射防止膜にピンホールが形成された太陽電池セル100を主搬送路から排出するための排出機構5と、反射防止膜にピンホールが形成された太陽電池セル100を主搬送路から異物除去装置4に搬出し、また、異物除去装置4においてパーティクルを除去された太陽電池セル100を主搬送路に搬入するための搬送機構6とを備える。
上記搬送装置3は、一対の搬送ベルト32を巻回した4個のプーリ31と、このプーリ31を回転駆動する図示しないモータから構成される。また、上記異物除去装置4は、太陽電池セル100の反射防止膜におけるパーティクルを含む領域に対して気体を噴出または吸引することによりパーティクルを除去する異物除去部41を備える。この異物除去部41は、支持部材42に対して移動可能に支持されており、搬送装置3による太陽電池セル100の搬送方向と直交する方向に往復移動する。また、支持部材42自体は、搬送装置3による太陽電池セル100の搬送方向と平行な方向に往復移動する。
図3は、検査装置1の概要図である。また、図4は、支持部18に支持された複数の光源11の配置を示す平面図である。なお、図4においては、反射型拡散板12の開口部17を実線で示している。
この検査装置1は、支持部18により支持された640nm程度の波長の可視光を出射する複数個の可視光源11と、この可視光源11から照射された可視光を反射して太陽電池セル100の上面に照射するための支持部18に連結されたドーム型の反射型拡散板12とから構成される可視光照射部を備える。可視光源11から出射された可視光は、反射型拡散板12により反射され、太陽電池セル100に対してその反射防止膜側から照射される。ここで、この可視光の波長は、反射防止膜における可視光の反射率が小さくなるように、反射防止膜の膜厚と屈折率に基づいて決定される。
また、この検査装置1は、940nm程度の波長の赤外光を出射する赤外光照射部としての赤外光源13を備える。この赤外光源13から出射された赤外光は、太陽電池セル100に対してその反射防止膜とは逆側から照射される。ここで、この赤外光の波長は、赤外光が太陽電池セル100を容易に透過可能となるように、太陽電池セル100の材質等に基づいて決定される。
さらに、この検査装置1は、平板形状のビームスプリッタ14と、反射画像測定手段としてのCCDカメラ15と、透過画像測定手段としてのCCDカメラ16とを備える。ビームスプリッタ14は、太陽電池セル100の反射防止膜で反射した可視光と、太陽電池セル100を透過した赤外光とを受光可能な位置に配置されている。また、このビームスプリッタ14は、可視光を反射するとともに、赤外光を透過する構成を有する。可視光源11を含む可視光照射部から出射された可視光は、太陽電池セル100における反射防止膜において反射された後、反射型拡散板12における矩形状の開口部17を通過し、ビームスプリッタ14においてさらに反射され、CCDカメラ15に入射する。一方、赤外光源13から出射された赤外光は、太陽電池セル100を透過した後、ビームスプリッタ14を通過して、CCDカメラ16に入射する。
図5は、検査装置1の主要な制御系を示すブロック図である。
この検査装置1は、論理演算を実行するCPUと、装置の制御に必要な動作プログラムが格納されたROMと、制御時にデータ等が一時的にストアされるRAMとを備え、検査装置1全体を制御する制御部7を備える。この制御部7は、上述した可視光源11、赤外光源13、CCDカメラ15およびCCDカメラ16と接続されている。また、この制御部7は、後述するように、可視光による反射画像と赤外光による透過画像とを比較する比較部71と、パーティクルとピンホールを判定するための判定部72とを備える。
図6は、第2の検査装置2の概要図である。
この第2の検査装置2は、上述した検査装置1と同様、支持部28により支持された640nm程度の波長の可視光を出射する複数個の可視光源21と、この可視光源21から照射された可視光を反射して太陽電池セル100の上面に照射するための支持部28に連結されたドーム型の反射型拡散板22とから構成される可視光照射部を備える。可視光源21から出射された可視光は、反射型拡散板22により反射され、太陽電池セル100に対してその反射防止膜側から照射される。
また、この第2の検査装置2は、反射画像測定手段としてのCCDカメラ26を備える。可視光源21を含む可視光照射部から出射された可視光は、太陽電池セル100における反射防止膜において反射された後、反射型拡散板22における矩形状の開口部27を通過して、CCDカメラ26に入射する。
以上のような構成を有する太陽電池セル100の処理装置においては、前段の成膜工程において反射防止膜が成膜された太陽電池セル100が、主搬送路を構成する搬送装置3により搬送される。この太陽電池セル100は、検査装置1の下方の位置まで搬送され、この位置において検査装置1により、後述するように、その表面のパーティクルおよびピンホールの有無を検査される。
検査装置1による検査の結果、パーティクルやピンホールが存在しないと判定された太陽電池セル100は、搬送装置3により搬送され、そのまま、後段の処理工程に送られる。また、検査装置1による検査の結果、ピンホールが形成されていると判定された太陽電池セル100は、排出機構5により、主搬送路を構成する搬送装置3から排出される。この排出機構5は、太陽電池セル100を吸着保持して、搬送装置3からその外部の排出部に排出するためのものである。排出部に排出された太陽電池セル100は、ピンホールを含む反射防止膜を除去され、再利用される。
一方、検査装置1による検査の結果、パーティクルが存在すると判定された太陽電池セル100は、搬送機構6により、主搬送路を構成する搬送装置3から異物除去装置4に搬出される。この搬送機構6は、太陽電池セル100を吸着保持して、搬送装置3から異物除去装置4に搬出し、あるいは、異物除去装置4から搬送装置3に搬入するためのものである。この異物除去装置4においては、検査装置1による判定結果に基づいて異物除去部41を移動させ、太陽電池セル100の反射防止膜におけるパーティクルを含む領域に対して気体を噴出または吸引することによりパーティクルを除去する。
異物除去装置4によりパーティクルを除去された太陽電池セル100は、後述するように、第2の検査装置2により、パーティクルの有無を再度検査される。そして、第2の検査装置2によりパーティクルが除去されたと判定された基板は、搬送機構6により、異物除去装置4から搬送装置3に搬入される。
次に、上述した検査装置1による検査工程について説明する。図3に示すように、搬送装置3により検査装置1に搬送された太陽電池セル100に対しては、可視光源11を含む可視光照射部から出射された可視光が、太陽電池セル100における反射防止膜に照射される。そして、この可視光は、反射防止膜において反射された後、ビームスプリッタ14においてさらに反射され、CCDカメラ15に入射する。CCDカメラ15により測定した可視光による反射画像は、図5に示す制御部7に送られる。また、この太陽電池セル100に対しては、同時に、赤外光源13から出射された赤外光が、太陽電池セル100に照射される。そして、この赤外光は、太陽電池セル100を透過した後、ビームスプリッタ14を通過して、CCDカメラ16に入射する。CCDカメラ16により測定された透過画像は、図5に示す制御部7に送られる。そして、制御部7における比較部71が、CCDカメラ15により測定した反射画像とCCDカメラ16により測定した透過画像とを比較する。
図7は、太陽電池セル100上にパーティクル104が存在したときの可視光の反射画像のピークP1を示す説明図である。図8は、太陽電池セル100上にピンホール103が存在したときの可視光の反射画像のピークP2を示す説明図である。図9は、太陽電池セル100上にパーティクル104が存在したときの赤外光の透過画像のピークP3を示す説明図である。図10は、太陽電池セル100上にピンホール103が存在したときの赤外光の透過画像のピークP4を示す説明図である。なお、これらの図においては、太陽電池セル100を構成する反射防止膜101と多結晶基板102とを模式的に示している。
図7に示すように、太陽電池セル100上にパーティクル104が存在した場合には、太陽電池セル100に照射された可視光は、反射防止膜101においてはほとんど反射しない。これに対して、パーティクル104に照射された可視光は、パーティクル104の表面で反射する。このため、CCDカメラ15により測定された反射画像においては、図7に示すように、パーティクル104を示す輝度の高いピークP1が明点として認識される。
図8に示すように、太陽電池セル100上にピンホール103が存在した場合には、太陽電池セル100に照射された可視光は、反射防止膜101においてはほとんど反射しない。これに対して、ピンホール103に照射された可視光は、多結晶基板102の表面で反射する。このため、CCDカメラ15により測定された反射画像においては、図8に示すように、ピンホール103を示す輝度の高いピークP2が明点として認識される。
図9に示すように、太陽電池セル100上にパーティクル104が存在した場合には、太陽電池セル100を透過した赤外光は、パーティクル104によりその一部が遮られる。CCDカメラ16により測定された透過画像においては、図9に示すように、パーティクル104を示す輝度の低いピークP3が暗点として認識される。
図10に示すように、太陽電池セル100上にピンホール103が存在した場合には、太陽電池セル100を透過した赤外光は、ピンホール103部分において反射防止膜101部分より透過率が高くなることから、CCDカメラ16により測定された透過画像においては、図10に示すように、ピンホール103を示す輝度の高い小さなピークP4が明点として認識される。但し、太陽電池セル100において、反射防止膜101の厚みが多結晶基板102より十分に小さい場合には、このピークP4は、極めて小さなものとなり、明点として認識できない場合もある。
このため、CCDカメラ15により測定した反射画像とCCDカメラ16により測定した透過画像とを比較部71で比較した結果を利用して、太陽電池セル100上に存在する欠陥がピンホール103であるのかパーティクル104であるのかを認識することができる。すなわち、CCDカメラ15により測定した反射画像において明点となった領域は、何らかの欠陥がある領域であると認識することができる。そして、CCDカメラ15により測定した反射画像において明点となった領域のうち、CCDカメラ16により測定した透過画像において暗点となった領域は、反射防止膜101上に存在するパーティクル104を含む領域であると判定することができる。また、CCDカメラ15により測定した反射画像において明点となった領域のうち、パーティクルを含む領域と判定された領域以外の領域は、CCDカメラ16により測定した透過画像に明点があるか否かにかかわらず、反射防止膜101に形成されたピンホール103を含む領域であると判定することができる。この判定は、図5に示す制御部7における判定部72により実行される。
以上のように、この検査装置1によれば、太陽電池セル100における欠陥のうち、反射防止膜101上に存在するピンホール103とパーティクル104とを識別することが可能となる。そして、ピンホール103が形成されていると判定された太陽電池セル100は、排出機構5により排出部に排出される。また、パーティクル104が存在すると判定された太陽電池セル100は、搬送機構6により異物除去装置4に搬出される。これにより、異物除去装置4においてパーティクルを除去することで使用可能な太陽電池セル100を認識することができ、太陽電池セル100の生産性を向上させることが可能となる。
次に、上述した第2の検査装置2による検査工程について説明する。図6に示すように、搬送機構6により異物除去装置4に搬送された太陽電池セル100に対しては、可視光源21を含む可視光照射部から出射された可視光が、太陽電池セル100における反射防止膜101に照射される。そして、この可視光は、反射防止膜101において反射された後、CCDカメラ26に入射する。
太陽電池セル100上にパーティクル104が存在した場合には、太陽電池セル100に照射された可視光は、反射防止膜101においてはほとんど反射しない。これに対して、パーティクル104に照射された可視光は、パーティクル104の表面で反射する。このため、CCDカメラ26により測定された反射画像においては、上述した図7に示す場合と同様に、パーティクル104を示す輝度の高いピークP1が明点として認識される。このため、この明点の有無により、パーティクル104の有無を判定することが可能となる。
パーティクル104が存在すると判定された太陽電池セル100は、再度、異物除去装置4を使用してパーティクル104を除去する動作を実行される。一方、パーティクルが存在しないと判定された太陽電池セル100は、搬送機構6により搬送装置3に搬入される。
なお、反射防止膜101にピンホール103が形成された太陽電池セル100は、排出機構5により排出部に排出されていることから、CCDカメラ26により測定された反射画像に、ピンホール103を示す明点が存在することはない。ここで、この実施形態に係る第2の検査装置2においては、反射画像によりパーティクル104を検出しているが、図9に示す場合と同様、透過画像を利用してパーティクル104を検出するようにしてもよい。
次に、上述した検査装置1の他の実施形態について説明する。図11は、他の実施形態に係る検査装置1の概要図である。なお、図3に示す実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
この実施形態においては、プーリ34に巻回されて移動するベルト35を一対設け、これらのベルト35の間に、ベルト35により搬送される太陽電池セル100の搬送方向と直交する方向に延びる長尺の赤外光源19を配設している。この実施形態においては、一対のベルト35により太陽電池セル100を搬送しながら、一対のベルト35の間の領域を利用して太陽電池セル100に赤外光を照射することにより、太陽電池セル100の全域にわたる赤外線透視画像を得ることが可能となる。
次に、上述した検査装置1のさらに他の実施形態について説明する。図12は、さらに他の実施形態に係る検査装置1の概要図である。なお、図3に示す実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
この実施形態においては、図3に示す第1実施形態におけるビームスプリッタ14とCCDカメラ15とを省略し、単一のCCDカメラ16により可視光による反射画像と赤外光による透過画像とを取得する構成を有する。図3に示す第1実施形態においては、可視光による反射画像と赤外線による透過画像とを同じ時間に撮像することが可能であり、太陽電池セル100上のパーティクルが時間的に移動してもパーティクルをピンホールと誤って判定することがない。これに対して、図12に示す実施形態においては、単一のCCDカメラ16で可視光による反射画像と赤外光による透過画像とを取得するものであり、装置の構成部品が少なく安価なシステムである。この実施形態においては、可視光と赤外光との照射時間をずらすことにより、時分割で可視光による反射画像と赤外光による透過画像とを取得して、これらの画像を比較することでパーティクルとピンホールとを区別することが可能となる。
1 検査装置
2 第2の検査装置
3 搬送装置
4 異物除去装置
5 排出機構
6 搬送機構
7 制御部
11 可視光源
12 反射型拡散板
13 赤外光源
14 ビームスプリッタ
15 CCDカメラ
16 CCDカメラ
17 開口部
18 支持部
21 可視光源
22 反射型拡散板
26 CCDカメラ
27 開口部
28 支持部
31 プーリ
32 ベルト
34 プーリ
35 ベルト
41 異物除去部
42 支持部材
71 比較部
72 判定部
100 太陽電池セル
101 反射防止膜
102 多結晶基板
103 ピンホール
104 パーティクル

Claims (7)

  1. 反射防止膜が成膜された太陽電池セルを検査する太陽電池セルの検査装置であって、
    前記太陽電池セルにおける前記反射防止膜側から可視光を照射する可視光照射手段と、
    前記可視光照射手段から照射され、前記太陽電池セルの反射防止膜において反射した反射画像を測定する反射画像測定手段と、
    前記太陽電池セルにおける前記反射防止膜とは逆側から赤外光を照射する赤外光照射手段と、
    前記赤外光照射手段から照射され、前記太陽電池セルを透過した透過画像を測定する透過画像測定手段と、
    前記反射画像測定手段により測定した反射画像と前記透過画像測定手段により測定した透過画像とを比較する比較手段と、
    前記反射画像において明点となった領域のうち、前記透過画像において暗点となった領域を前記反射防止膜上に存在する異物を含む領域であると判定するとともに、前記反射画像において明点となった領域のうち、前記異物を含む領域と判定された領域以外の領域を前記反射防止膜に形成されたピンホールを含む領域であると判定する判定手段と、
    を備えたことを特徴とする太陽電池セルの検査装置。
  2. 請求項1に記載の太陽電池セルの検査装置において、
    前記可視光照射手段と前記赤外光照射手段とは、太陽電池セルの両面に同時に可視光と赤外光とを照射するとともに、
    前記太陽電池セルの反射防止膜で反射した可視光と前記太陽電池セルを透過した赤外光とを受光し、前記太陽電池セルの反射防止膜で反射した可視光を前記反射画像測定手段に導くとともに、前記太陽電池セルを透過した赤外光を前記透過画像測定手段に導くビームスプリッタを備える太陽電池セルの検査装置。
  3. 反射防止膜が成膜された太陽電池セルを処理する太陽電池セルの処理装置であって、
    前記太陽電池セルにおける前記反射防止膜側から可視光を照射する可視光照射手段と、
    前記可視光照射手段から照射され、前記太陽電池セルの反射防止膜において反射した反射画像を測定する反射画像測定手段と、
    前記太陽電池セルにおける前記反射防止膜とは逆側から赤外光を照射する赤外光照射手段と、
    前記赤外光照射手段から照射され、前記太陽電池セルを透過した透過画像を測定する透過画像測定手段と、
    前記反射画像測定手段により測定した反射画像と前記透過画像測定手段により測定した透過画像とを比較する比較手段と、
    前記反射画像において明点となった領域のうち、前記透過画像において暗点となった領域を前記反射防止膜上に存在する異物を含む領域であると判定するとともに、前記反射画像において明点となった領域のうち、前記異物を含む領域と判定された領域以外の領域を前記反射防止膜に形成されたピンホールを含む領域であると判定する判定手段と、を有する検査装置と、
    前記検査装置の判定手段により前記反射防止膜上に存在する異物を含む領域であると判定された領域に対して、その領域の異物を除去する異物除去装置と、
    を備えたことを特徴とする太陽電池セルの処理装置。
  4. 請求項3に記載の太陽電池セルの処理装置において、
    前記異物除去装置は、前記検査装置における判定手段により前記反射防止膜上に存在する異物を含む領域であると判定された領域に対して、気体を噴出または吸引することにより異物を除去する異物除去部を備える太陽電池セルの処理装置。
  5. 請求項4に記載の太陽電池セルの処理装置において、
    前記異物除去装置は、前記異物除去部により異物を除去された後の太陽電池セルを検査することにより、当該太陽電池セルにおける反射防止膜状の異物の有無を検査する第2の検査装置を備える太陽電池セルの処理装置。
  6. 請求項5に記載の太陽電池セルの処理装置において、
    前記検査装置を含む領域に対して太陽電池セルを搬送する主搬送路と、前記検査装置における判定手段により前記反射防止膜上に異物を含む領域が存在すると判定された太陽電池セルを、前記主搬送路と前記異物除去装置との間で搬送する搬送機構と、を備える太陽電池セルの処理装置。
  7. 請求項6に記載の太陽電池セルの処理装置において、
    前記検査装置における判定手段により前記反射防止膜に形成されたピンホールを含む領域が存在すると判定された太陽電池セルを、前記主搬送路から排出する排出機構を備える太陽電池セルの処理装置。
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