JP6366531B2 - 半導体ウエハの検査装置および半導体ウエハの自動検査方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係る実施の形態1の欠陥検査装置における検査ステージ上で使用されるウエハ搭載治具10の構成を示す断面図であり、図2は、ウエハ搭載治具10を上面側(検査ステージSTとは反対側)から見た平面図であり、図2におけるA−A線での断面図が図1に相当する。なお、図2において検査ステージSTは省略している。
以上説明した実施の形態1のウエハ搭載治具10に対して、その側壁の一部を切り欠くことでウエハWFの搭載および取り出しを容易にした構成を採用しても良い。
従来的なウエハの自動検査では、検査対象ウエハがセットされたカセットから、アーム状の治具で検査対象ウエハを真空吸着させて取り出し、それを検査ステージ上に搬送し、検査ステージ上に搭載する。そして、検査ステージ直上でウエハの一部あるいは全面を真空吸着させて、ウエハを検査する。この検査方法によって検出されたウエハの欠陥には、検査ステージ上のキズや異物等による疑似欠陥も含まれており、検出精度が低いという問題がある。
なお、上述したウエハ搭載治具10Aは、その側壁1Aの一部が上面側端面から下面側端面まで一定の幅で切り欠かれた切り欠き部NPとなった構成を採っていたが、側壁1Aの一部を完全に除去するのではなく、例えば、上面側端面からウエハWFの厚みプラス搬送アームを抜き差しできる高さ分だけ一定の幅で除去した構成としても良い。
実施の形態1のウエハ搭載治具10においては、ウエハ搭載治具10からウエハWFを取り出す場合には、例えば、ウエハWFの前面にエアーピンセットの真空吸着面を吸着させて取り出す方法を採るが、ウエハWFの裏面に気体を吹き付けて、ウエハWFを浮かせる機構を設けることで、ウエハWFの搭載および取り出しを容易にした構成を採用しても良い。
Claims (5)
- 光により半導体ウエハの欠陥検査を行う半導体ウエハの検査装置であって、
検査ステージと、
前記検査ステージ上に載置されるウエハ搭載治具と、を備え、
前記ウエハ搭載治具は、内部が中空となった円筒を本体とし、前記円筒の側壁において、前記検査ステージに接する側とは反対側となる上面側に、内周に沿って設けられた座繰り部を有し、
前記座繰り部は、検査対象となる半導体ウエハの直径より大きな直径を有して形成され、前記座繰り部の底面部に前記半導体ウエハの裏面が接するように前記半導体ウエハを搭載することで、前記半導体ウエハが前記検査ステージとの間に一定距離を保って保持され、
前記一定距離は、前記半導体ウエハの検査のための光の前記検査ステージ表面での反射量ができるだけ小さくなるように決定され、
前記半導体ウエハは、ワイドバンドギャップ半導体ウエハであって、検査のための光の一部を透過する性質を有している、半導体ウエハの検査装置。 - 前記ウエハ搭載治具は、
前記側壁の一部を上面側端面から下面側にかけて切り欠かれた切り欠き部NPを有する、請求項1記載の半導体ウエハの検査装置。 - 前記切り欠き部は、
前記側壁の上面側端面から下面側端面まで切り欠かれている、請求項2記載の半導体ウエハの検査装置。 - 前記ウエハ搭載治具は、
前記側壁の前記座繰り部の前記底面部に設けられた、複数の気体吹き出し孔を有し、
前記複数の気体吹き出し孔は、前記底面部の円周に沿って設けられ、それぞれは、前記側壁内部に設けられた気体流路に連通し、前記ウエハ搭載治具の外部から前記気体流路に供給される気体を吹き出す、請求項1記載の半導体ウエハの検査装置。 - 請求項2記載の半導体ウエハの検査装置を用いた半導体ウエハの自動検査方法であって、
前記半導体ウエハの検査装置は、
前記検査ステージ上に載置された前記ウエハ搭載治具に対して前記半導体ウエハの搭載および取り出しを行うアーム搬送機構をさらに備え、
(a)前記アーム搬送機構の搬送アームに、裏面側が接するように前記半導体ウエハを載置して、前記ウエハ搭載治具の上方まで搬送するステップと、
(b)前記切り欠き部内に差し入れられるように前記搬送アームを降下させ、前記半導体ウエハを前記座繰り部内に保持するステップと、
(c)前記搬送アームを前記切り欠き部を通して抜き出すステップと、
(d)前記半導体ウエハの上方から前記半導体ウエハの検査のための光を入射させ、その反射光を検出して、画像認識することで前記半導体ウエハの欠陥を検出するステップと、を備える半導体ウエハの自動検査方法。
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