KR100709590B1

KR100709590B1 - 클러스터형 베벨에치장치

Info

Publication number: KR100709590B1
Application number: KR1020060000970A
Authority: KR
Inventors: 정성현
Original assignee: (주)소슬
Priority date: 2006-01-04
Filing date: 2006-01-04
Publication date: 2007-04-20

Abstract

본 발명은 클러스터형 베벨에치장치에 관한 것으로서, 이송챔버(40)에 박막증착챔버(50), 베벨에치챔버(70), 및 베벨에치검사장치(80)가 부착되며, 박막증착챔버(50)에서는 박막증착공정이 진행되며, 베벨에치챔버(70)에서는 박막증착챔버(50)에서 박막이 증착되어 이송챔버(40)로 이송되어온 웨이퍼(100)를 이어받아 상기 웨이퍼(100)의 가장자리를 식각하는 베벨에치공정이 진행되며, 베벨에치검사장치(80)에서는 베벨에치챔버(70)에서 베벨에치되어 이송챔버(40)로 이송되어온 웨이퍼(100)를 이어받아 상기 베벨에치의 불량유무가 검사되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 박막증착후에 웨이퍼(100)를 외부에 노출시킴이 없이 연속적으로 바로 베벨에치를 행할 수 있게 된다. 또한 웨이퍼(100)를 외부에 노출시킴이 없이 웨이퍼 가장자리의 크랙(A)존재여부와, 에치라인(101)과 웨이퍼 가장자리 끝단(102) 사이의 거리를 측정하여 베벨에치의 결과상태를 파악함으로써 베벨에치에 불량이 발생할 경우 후속공정으로의 투입을 중단하여 베벨에치 불량으로 인한 손실을 사전에 예방할 수 있게 된다.

베벨에치, 에치라인, 크랙, 카메라, 이송챔버

Description

클러스터형 베벨에치장치{Cluster-type bevel etch apparatus}

도 1은 본 발명에 따른 베벨에치장치를 설명하기 위한 도면;

도 2 내지 도 4는 도 1의 베벨에치검사장치(80)를 설명하기 위한 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 참조번호의 설명>

10: 웨이퍼 로더 20a, 20b: 이송장치

30: 버퍼챔버 40: 이송챔버

50: 박막증착챔버 60: 여분 챔버

70: 베벨에치챔버 80: 베벨에치검사장치

81: 크랙검출 카메라 82, 83: 에치폭 검출 카메라

100: 웨이퍼 101: 에치라인

102: 웨이퍼 가장자리 끝단 A: 크랙

본 발명은 베벨에치장치에 관한 것으로서, 특히 클러스터형 베벨에치장치에 관한 것이다.

웨이퍼에 박막을 증착하다보면 웨이퍼의 가장자리에는 박막이 불균일하게 증착되어 이 부분이 나중에 파티클 소스로 작용할 수 있기 때문에 이를 원천적으로 해결하기 위하여 증착공정 이후에 플라즈마를 이용하여 웨이퍼 가장자리를 식각하는 이른바 베벨에치(bevel etch)를 행한다.

이러한 베벨에치는 박막증착챔버와는 독립적으로 존재하는 플라즈마 챔버 내에서 이루어지기 때문에 박막증착챔버에서 웨이퍼를 반출하여 다시 베벨에치챔버로 이송하는 과정에서 웨이퍼가 대기중에 노출되는 문제가 생긴다. 또한 현재까지는 베벨에치후 에치된 영역에 대한 정보없이 후속공정진행이 이루어지기 때문에 베벨에치의 불량으로 인해 발생하는 문제를 해결할 수 없었다.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 웨이퍼를 대기중에 노출시킴이 없이 베벨에치를 할 수 있음과 동시에 상기 베벨에치의 불량유무를 판단할 수 있는 베벨에치장치를 제공하는 데 있다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 베벨에치장치는, 이송챔버에 박막증착챔버, 베벨에치챔버, 및 베벨에치검사장치가 부착되며, 상기 박막증 착챔버에서는 박막증착공정이 진행되며, 상기 베벨에치챔버에서는 상기 박막증착챔버에서 박막이 증착되어 상기 이송챔버로 이송되어온 웨이퍼를 이어받아 상기 웨이퍼의 가장자리를 식각하는 베벨에치공정이 진행되며, 상기 베벨에치검사장치에서는 상기 베벨에치챔버에서 베벨에치되어 상기 이송챔버로 이송되어온 웨이퍼를 이어받아 상기 베벨에치의 불량유무가 검사되는 것을 특징으로 한다.

상기 베벨에치검사장치는, 상기 웨이퍼의 앞면 가장자리 부분을 이미지 촬영하도록 상기 웨이퍼 상부공간에 설치되는 크랙검출 카메라와, 상기 크랙검출 카메라의 이미지를 전송받아 상기 웨이퍼 앞면 가장자리의 크랙 존재여부를 판단하는 마이컴을 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 베벨에치검사장치는, 상기 웨이퍼의 앞면 가장자리 부분을 이미지 촬영하도록 상기 웨이퍼 상부공간에 설치되는 에치폭 검출 카메라와, 상기 에치폭 검출 카메라의 이미지를 전송받아 상기 웨이퍼 앞면 가장자리에 생긴 에치라인과 웨이퍼 가장자리 끝단과의 거리를 판단하는 마이컴을 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 베벨에치검사장치는, 상기 웨이퍼의 뒷면 가장자리 부분을 이미지 촬영하도록 상기 웨이퍼 하부공간에 설치되는 에치폭 검출 카메라와, 상기 에치폭 검출 카메라의 이미지를 전송받아 상기 웨이퍼 뒷면 가장자리에 생긴 에치라인과 웨이퍼 가장자리 끝단과의 거리를 판단하는 마이컴을 포함하여 이루어질 수 있다.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다.

도 1은 본 발명에 따른 베벨에치장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 베벨에치장치는 하나의 이송챔버(40)를 가운데 두고 이송챔버(40)의 측벽에 박막증착챔버(50), 베벨에치챔버(70), 베벨에치검사장치(80)가 부착되며, 경우에 따라서는 필요한 여분의 챔버(60)가 더 설치될 수 있다.

웨이퍼(100)는 이송장치(20a)의 도움을 받아 웨이퍼 로더(10)에서 버퍼챔버(30)로 이송되며, 버퍼챔버(30)의 웨이퍼(100)는 이송챔버의 이송장치(20b)에 의해 박막증착챔버(50)로 장입된다. 박막증착챔버(50)에서 산화막, 질화막, 실리사이드막, 실리콘막 등의 증착이 이루어지면, 이송챔버의 이송장치(20b)는 웨이퍼(100)를 박막증착챔버(50)에서 꺼내어 이를 베벨에치챔버(70)로 이송한다. 베벨에치는 베벨에치챔버(70)에서 플라즈마에 의하여 이루어진다. 박막증착챔버(50)에서 베벨에치챔버(70)로 이송되는 웨이퍼(100)는 대기중에 노출됨이 없이 이송챔버(40) 내에서의 이동만으로 이루어진다.

베벨에치챔버(70)에서 베벨에치된 웨이퍼(100)는 이송장치(20b)에 의해 이송챔버(40)로 다시 반출된 후 베벨에치검사장치(80)에 장입된다. 베벨에치검사장치(80)에서는 베벨에치챔버(70)에서의 베벨에치가 제대로 이루어졌는지의 여부가 검사된다.

베벨에치검사장치(80)에는 도 2에 도시된 바와 같은 하나의 크랙검출 카메라(81)와, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같은 두개의 에치폭 검출카메라(82,83)가 설치된다.

크랙검출 카메라(81)는 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이 웨이퍼(100)의 앞면 가장자리 부분을 이미지 촬영하도록 웨이퍼(100) 상부공간에 설치되며, 크랙컴출 카메라(81)에 의해 촬상된 이미지는 마이컴(미도시)으로 전송된다. 상기 마이컴에서는 도 2의 (b)에 도시된 바와 같은 웨이퍼(100) 앞면 가장자리의 크랙(A) 존재여부를 판단한다.

에치폭 검출 카메라(82)는 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 웨이퍼(100)의 앞면 가장자리 부분을 이미지 촬영하도록 웨이퍼(100) 상부공간에 설치되며, 에치폭 검출 카메라(82)에 의해 촬상된 이미지는 상기 마이컴으로 전송된다. 베벨에치 후에는 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 웨이퍼(100)에 에치된 부분(B)과 그렇지 않은 부분(F) 사이의 에치라인(101)이 존재하는데, 상기 마이컴에서는 웨이퍼(100) 앞면 가장자리에 생긴 에치라인(101)과 웨이퍼 가장자리 끝단(102)과의 거리를 판단한다.

에치폭 검출 카메라(83)는 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 웨이퍼(100)의 뒷면 가장자리 부분을 이미지 촬영하도록 웨이퍼(100)의 하부공간에 설치되며, 에치폭 검출 카메라(83)에 의해 촬상된 이미지는 상기 마이컴으로 전송된다. 상기 마이컴에서는 도 3의 (c)에 도시된 바와 같이 웨이퍼(100) 뒷면 가장자리에 생긴 에치라인(101)과 웨이퍼 가장자리 끝단(102)과의 거리를 판단한다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 박막증착후에 웨이퍼를 외부에 노출시 킴이 없이 연속적으로 바로 베벨에치를 행할 수 있게 된다. 또한 웨이퍼를 외부에 노출시킴이 없이 웨이퍼 가장자리의 크랙존재여부와, 에치라인과 웨이퍼 가장자리 끝단 사이의 거리를 측정하여 베벨에치의 결과상태를 파악함으로써 베벨에치에 불량이 발생할 경우 후속공정으로의 투입을 중단하여 베벨에치 불량으로 인한 손실을 사전에 예방할 수 있게 된다.

Claims

웨이퍼(100)가 이송되는 이송챔버(40)와,

상기 이송챔버(40)로부터 이송된 상기 웨이퍼(100)에 박막을 증착하는 박막증착챔버(50)와,

상기 박막증착챔버(50)에서 박막이 증착된 상기 웨이퍼(100)의 가장자리를 베벨에치 방식으로 식각하는 베벨에치챔버(70)와,

상기 베벨에치챔버(70)에서 이루어진 상기 웨이퍼(100)의 베벨에치 상태를 검사하는 베벨에치검사장치(80)를 포함하며,

상기 웨이퍼(100)가 상기 박막증착챔버(50), 상기 베벨에치챔버(70) 및 상기 베벨에치검사장치(80)로 이송될 때, 각각 상기 이송챔버(40)를 경유하여 이송되는 것을 특징으로 하는 베벨에치장치.
제1항에 있어서, 상기 베벨에치검사장치(80)는,

상기 웨이퍼(100)의 앞면 가장자리 부분을 이미지 촬영하도록 상기 웨이퍼(100) 상부공간에 설치되는 크랙검출 카메라(81)와,

상기 크랙검출 카메라(81)의 이미지를 전송받아 상기 웨이퍼(100) 앞면 가장자리의 크랙(A) 존재여부를 판단하는 마이컴을 구비하는 것을 특징으로 하는 베벨에치장치.
제1항에 있어서, 상기 베벨에치검사장치(80)는,

상기 웨이퍼(100)의 앞면 가장자리 부분을 이미지 촬영하도록 상기 웨이퍼(100) 상부공간에 설치되는 에치폭 검출 카메라(82)와,

상기 에치폭 검출 카메라(82)의 이미지를 전송받아 상기 웨이퍼(100) 앞면 가장자리에 생긴 에치라인(101)과 웨이퍼 가장자리 끝단(102)과의 거리를 판단하는 마이컴을 구비하는 것을 특징으로 하는 베벨에치장치.
제1항에 있어서, 상기 베벨에치검사장치(80)는,

상기 웨이퍼(100)의 뒷면 가장자리 부분을 이미지 촬영하도록 상기 웨이퍼(100) 하부공간에 설치되는 에치폭 검출 카메라(83)와,

상기 에치폭 검출 카메라(83)의 이미지를 전송받아 상기 웨이퍼(100) 뒷면 가장자리에 생긴 에치라인(101)과 웨이퍼 가장자리 끝단(102)과의 거리를 판단하는 마이컴을 구비하는 것을 특징으로 하는 베벨에치장치.