JP2801974B2 - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
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- JP2801974B2 JP2801974B2 JP3107927A JP10792791A JP2801974B2 JP 2801974 B2 JP2801974 B2 JP 2801974B2 JP 3107927 A JP3107927 A JP 3107927A JP 10792791 A JP10792791 A JP 10792791A JP 2801974 B2 JP2801974 B2 JP 2801974B2
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- light
- microscope
- television camera
- infrared
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体チップの金パ
ッドメッキ処理の判定、或いは半導体のダイボンの位置
決め検査を行う際に使用される顕微鏡に関する。
ッドメッキ処理の判定、或いは半導体のダイボンの位置
決め検査を行う際に使用される顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は、本願出願人が先に提案した顕微
鏡を示す説明図である。この顕微鏡は、顕微鏡本体１の
像面に、白黒テレビカメラ（ＣＣＤ・撮像管）２の受光
面２１を配置し、顕微鏡本体１の光路に対し光を放射す
る光源３を配置している。この顕微鏡は、光源３からの
光を顕微鏡光学系の光軸を通させる、所謂明視野タイプ
のもので、光源３からの光をハーフミラー１１を介し
て、テーブル４上の半導体チップ（撮像対象物）５に照
射する。半導体チップ５に照射した反射光は、ハーフミ
ラー１１を介して、顕微鏡光学系からテレビカメラ２の
受光面２１に入射し、テレビカメラ２にビデオ信号（画
像信号）として取り込まれる。この画像信号が、画像処
理され、モニタテレビに映し出され、半導体チップ５の
検査判定、或いは半導体のワイヤボンディグの位置決め
検査が、例えば目視で実行される。
鏡を示す説明図である。この顕微鏡は、顕微鏡本体１の
像面に、白黒テレビカメラ（ＣＣＤ・撮像管）２の受光
面２１を配置し、顕微鏡本体１の光路に対し光を放射す
る光源３を配置している。この顕微鏡は、光源３からの
光を顕微鏡光学系の光軸を通させる、所謂明視野タイプ
のもので、光源３からの光をハーフミラー１１を介し
て、テーブル４上の半導体チップ（撮像対象物）５に照
射する。半導体チップ５に照射した反射光は、ハーフミ
ラー１１を介して、顕微鏡光学系からテレビカメラ２の
受光面２１に入射し、テレビカメラ２にビデオ信号（画
像信号）として取り込まれる。この画像信号が、画像処
理され、モニタテレビに映し出され、半導体チップ５の
検査判定、或いは半導体のワイヤボンディグの位置決め
検査が、例えば目視で実行される。
【０００３】この顕微鏡は、光源３として複数の赤外発
光ダイオード３１を使用している。従来の顕微鏡では、
光源として通常はタングステンランプ（ハロゲンラン
プ）が使用されていたが、赤外発光ダイオード３１を用
いることで、撮像対象物である半導体チップ５のチップ
部の反射光と金パッド部の反射光との強度に大きな差が
生じ、チップ部と金パッド部との境界が明瞭となり、金
パッド部の反射パターンを正確に認識するための最適範
囲が広がる結果、光源の明るさ及び２値化判定用レベル
の設定が容易となる。
光ダイオード３１を使用している。従来の顕微鏡では、
光源として通常はタングステンランプ（ハロゲンラン
プ）が使用されていたが、赤外発光ダイオード３１を用
いることで、撮像対象物である半導体チップ５のチップ
部の反射光と金パッド部の反射光との強度に大きな差が
生じ、チップ部と金パッド部との境界が明瞭となり、金
パッド部の反射パターンを正確に認識するための最適範
囲が広がる結果、光源の明るさ及び２値化判定用レベル
の設定が容易となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記、本願出願人が先
に提案した顕微鏡は、タングステンランプの光源に変え
て、複数の赤外発光素子を使用するもので、半導体チッ
プの金パッド部の反射パターンを正確に認識し得、且つ
撮像対象物に対し光の放射範囲が広く、像の中心部と周
辺部での反射光の明るさにむらが無くなる照射一様性の
効果がある。
に提案した顕微鏡は、タングステンランプの光源に変え
て、複数の赤外発光素子を使用するもので、半導体チッ
プの金パッド部の反射パターンを正確に認識し得、且つ
撮像対象物に対し光の放射範囲が広く、像の中心部と周
辺部での反射光の明るさにむらが無くなる照射一様性の
効果がある。
【０００５】しかしながら、複数の赤外発光素子にて光
源を構成するものであるため、撮像対象物に放射する光
源の光（赤外光）は、テレビカメラでしか見えない。こ
のため、撮像対象物のどの位置に、どの程度の大きさで
照明されているかが目視できず不明である。また、通電
状態が目で見えないため、電流を流しすぎ、赤外ＬＥＤ
の寿命を縮める虞れがある等、調整作業がしずらい許か
りでなく装置管理が困難である等の不利のあることが判
った。
源を構成するものであるため、撮像対象物に放射する光
源の光（赤外光）は、テレビカメラでしか見えない。こ
のため、撮像対象物のどの位置に、どの程度の大きさで
照明されているかが目視できず不明である。また、通電
状態が目で見えないため、電流を流しすぎ、赤外ＬＥＤ
の寿命を縮める虞れがある等、調整作業がしずらい許か
りでなく装置管理が困難である等の不利のあることが判
った。
【０００６】この発明は、以上のような課題を解消さ
せ、光源を可視ＬＥＤと赤外ＬＥＤとで構成すること
で、撮像対象物に対する照明位置、照明の大きさが目視
でき、明るさ調整をする際に赤外ＬＥＤの寿命を縮める
虞れがなく、画像認識性能の良い顕微鏡を提供すること
を目的とする。
せ、光源を可視ＬＥＤと赤外ＬＥＤとで構成すること
で、撮像対象物に対する照明位置、照明の大きさが目視
でき、明るさ調整をする際に赤外ＬＥＤの寿命を縮める
虞れがなく、画像認識性能の良い顕微鏡を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用】この目的を達成
させるために、この発明の顕微鏡では、次のような構成
としている。顕微鏡は、顕微鏡本体の像面にテレビカメ
ラの受光面を配置し、撮像対象物に対し明視野又は暗視
野照明を行い、テレビカメラのビデオ信号をモニタテレ
ビで目視或いは画像処理する顕微鏡であって、前記撮像
対象物を照明する光源は、ほぼ同一の光軸上に配置され
た可視発光素子と赤外発光素子とから構成され、上記テ
レビカメラは、受光面の手前側に配置された可視光カッ
トフィルタを有することを特徴としている。
させるために、この発明の顕微鏡では、次のような構成
としている。顕微鏡は、顕微鏡本体の像面にテレビカメ
ラの受光面を配置し、撮像対象物に対し明視野又は暗視
野照明を行い、テレビカメラのビデオ信号をモニタテレ
ビで目視或いは画像処理する顕微鏡であって、前記撮像
対象物を照明する光源は、ほぼ同一の光軸上に配置され
た可視発光素子と赤外発光素子とから構成され、上記テ
レビカメラは、受光面の手前側に配置された可視光カッ
トフィルタを有することを特徴としている。
【０００８】このような構成を有する顕微鏡では、光源
が可視光ＬＥＤと赤外ＬＥＤとから構成されている。従
って、可視光の放射により撮像対象物に対する光の照射
位置、照射の大きさが目視できる。従って、光放射の位
置ずれが防止できると共に、明るさ調整をする際に、過
大な電流を長時間流し、赤外ＬＥＤの寿命を縮める虞れ
を解消できる。また、撮像対象物から反射する反射光
は、可視光カットフィルタによりカットされ、赤外光の
みの画像信号がテレビカメラに入射する。従って、赤外
ＬＥＤによる画像認識性能（撮像対象物である半導体チ
ップのチップ部の反射光と、金パッド部の反射光の強度
に大きな差が生じ、チップ部と金パッド部との境界が明
瞭になり、金パッド部の反射パターンを正確に認識する
ための最適範囲が広がる結果、光源の明るさ及び２値化
判定用レベルの設定が容易となる画像認識性能）が保持
される。
が可視光ＬＥＤと赤外ＬＥＤとから構成されている。従
って、可視光の放射により撮像対象物に対する光の照射
位置、照射の大きさが目視できる。従って、光放射の位
置ずれが防止できると共に、明るさ調整をする際に、過
大な電流を長時間流し、赤外ＬＥＤの寿命を縮める虞れ
を解消できる。また、撮像対象物から反射する反射光
は、可視光カットフィルタによりカットされ、赤外光の
みの画像信号がテレビカメラに入射する。従って、赤外
ＬＥＤによる画像認識性能（撮像対象物である半導体チ
ップのチップ部の反射光と、金パッド部の反射光の強度
に大きな差が生じ、チップ部と金パッド部との境界が明
瞭になり、金パッド部の反射パターンを正確に認識する
ための最適範囲が広がる結果、光源の明るさ及び２値化
判定用レベルの設定が容易となる画像認識性能）が保持
される。
【０００９】
【実施例】図１は、この発明に係る顕微鏡の具体的な一
実施例を示す説明図である。
実施例を示す説明図である。
【００１０】実施例では、明視野タイプの顕微鏡を示し
ている。この顕微鏡は、公知のように、顕微鏡本体（実
体顕微鏡或いは金属顕微鏡）１と、この顕微鏡本体１の
像面側に配置された白黒テレビカメラ（ＣＣＤ・撮像
管）２とから成る。つまり、テレビカメラ２の受光面２
１を、顕微鏡本体１の像面に配置している。また、光源
３は、顕微鏡本体１の光学系に対し光を放射するよう
に、顕微鏡本体１内に配備し、光源３からの光はハーフ
ミラー１１を介して、光軸を通しテーブル４上の撮像対
象物（半導体チップ）５に照射するようになっている。
また、半導体チップ５に照射した反射光は、ハーフミラ
ー１１を介して、顕微鏡光学系からテレビカメラ２の受
光面２１に入射し、テレビカメラ２にビデオ信号（画像
信号）として取り込まれる。この画像信号が、画像処理
され、モニタテレビに映し出される。
ている。この顕微鏡は、公知のように、顕微鏡本体（実
体顕微鏡或いは金属顕微鏡）１と、この顕微鏡本体１の
像面側に配置された白黒テレビカメラ（ＣＣＤ・撮像
管）２とから成る。つまり、テレビカメラ２の受光面２
１を、顕微鏡本体１の像面に配置している。また、光源
３は、顕微鏡本体１の光学系に対し光を放射するよう
に、顕微鏡本体１内に配備し、光源３からの光はハーフ
ミラー１１を介して、光軸を通しテーブル４上の撮像対
象物（半導体チップ）５に照射するようになっている。
また、半導体チップ５に照射した反射光は、ハーフミラ
ー１１を介して、顕微鏡光学系からテレビカメラ２の受
光面２１に入射し、テレビカメラ２にビデオ信号（画像
信号）として取り込まれる。この画像信号が、画像処理
され、モニタテレビに映し出される。
【００１１】この発明の特徴は、赤外発光素子３１と可
視光発光素子３２とで光源３を構成すると共に、テレビ
カメラ２に可視光カットフィルタ６を設けた点にある。
実施例では、図１で示すように、赤外ＬＥＤ３１を１個
と、可視光ＬＥＤ３２を１個で光源３を構成している。
この赤外ＬＥＤ３１と可視光ＬＥＤ３２は、直列に結線
してある。また、テレビカメラ２の受光面２１の手前側
には可視光カットフィルタ６が配備してある。図３で示
すように、この可視光カットフィルタ６は、赤外線透過
用の黒色ガラスフィルタが使用される。内部透過指数
は、次の式で表される。
視光発光素子３２とで光源３を構成すると共に、テレビ
カメラ２に可視光カットフィルタ６を設けた点にある。
実施例では、図１で示すように、赤外ＬＥＤ３１を１個
と、可視光ＬＥＤ３２を１個で光源３を構成している。
この赤外ＬＥＤ３１と可視光ＬＥＤ３２は、直列に結線
してある。また、テレビカメラ２の受光面２１の手前側
には可視光カットフィルタ６が配備してある。図３で示
すように、この可視光カットフィルタ６は、赤外線透過
用の黒色ガラスフィルタが使用される。内部透過指数
は、次の式で表される。
【００１２】Ｔ＝ｔ1 ｔ2 ｅ-BCX この内部透過指数で表されるように、この式よりカット
領域が７００ｎｍ位になるようにすることで、可視光が
完全にカットされ、赤外光のみがテレビカメラ２の受光
面２１に受光される。
領域が７００ｎｍ位になるようにすることで、可視光が
完全にカットされ、赤外光のみがテレビカメラ２の受光
面２１に受光される。
【００１３】図２は、光源３の他の実施例を示す説明図
である。先の実施例では、光源３を１個の赤外ＬＥＤ３
１と１個の可視光ＬＥＤ３２とで構成した例を示した
が、この実施例では複数（例えば４個）の赤外ＬＥＤ３
１と、２個の可視光ＬＥＤ３２とから光源を構成した例
を示している。赤外ＬＥＤ３１が複数の場合、撮像対象
物５に対する光の放射範囲が広く、且つ撮像対象物に対
する光の入射角度が様々となり、照射の一様性が得られ
る。
である。先の実施例では、光源３を１個の赤外ＬＥＤ３
１と１個の可視光ＬＥＤ３２とで構成した例を示した
が、この実施例では複数（例えば４個）の赤外ＬＥＤ３
１と、２個の可視光ＬＥＤ３２とから光源を構成した例
を示している。赤外ＬＥＤ３１が複数の場合、撮像対象
物５に対する光の放射範囲が広く、且つ撮像対象物に対
する光の入射角度が様々となり、照射の一様性が得られ
る。
【００１４】このような構成を有する顕微鏡では、光源
３が可視光ＬＥＤ３２と赤外ＬＥＤ３１とから構成され
ている。従って、可視光の放射により撮像対象物５に対
する光の照射位置、照射の大きさが目視できる。従っ
て、光放射の位置ずれが防止できると共に、明るさ調整
をする際に、可視光ＬＥＤ３２の明るさで流れる電流を
モニターできる。これにより、過大な電流を長時間流
し、赤外ＬＥＤ３１の寿命を縮める虞れを解消できる。
また、例えば撮像対象物（サンプル）５の高さ位置が変
わり、段取り変えで顕微鏡の高さを調整する場合等に、
調整が極めて容易となる。更に、撮像対象物５から反射
する反射光は、可視光カットフィルタ６によりカットさ
れ、赤外光のみの画像信号がテレビカメラ２に入射す
る。従って、赤外ＬＥＤ３１による画像認識性能（撮像
対象物である半導体チップ５のチップ部の反射光と、金
パッド部の反射光の強度に大きな差が生じ、チップ部と
金パッド部との境界が明瞭になり、金パッド部の反射パ
ターンを正確に認識するための最適範囲が広がる結果、
光源の明るさ及び２値化判定用レベルの設定が容易とな
る画像認識性能）が保持される。
３が可視光ＬＥＤ３２と赤外ＬＥＤ３１とから構成され
ている。従って、可視光の放射により撮像対象物５に対
する光の照射位置、照射の大きさが目視できる。従っ
て、光放射の位置ずれが防止できると共に、明るさ調整
をする際に、可視光ＬＥＤ３２の明るさで流れる電流を
モニターできる。これにより、過大な電流を長時間流
し、赤外ＬＥＤ３１の寿命を縮める虞れを解消できる。
また、例えば撮像対象物（サンプル）５の高さ位置が変
わり、段取り変えで顕微鏡の高さを調整する場合等に、
調整が極めて容易となる。更に、撮像対象物５から反射
する反射光は、可視光カットフィルタ６によりカットさ
れ、赤外光のみの画像信号がテレビカメラ２に入射す
る。従って、赤外ＬＥＤ３１による画像認識性能（撮像
対象物である半導体チップ５のチップ部の反射光と、金
パッド部の反射光の強度に大きな差が生じ、チップ部と
金パッド部との境界が明瞭になり、金パッド部の反射パ
ターンを正確に認識するための最適範囲が広がる結果、
光源の明るさ及び２値化判定用レベルの設定が容易とな
る画像認識性能）が保持される。
【００１５】
【発明の効果】この発明では、以上のように、顕微鏡の
撮像対象物に対し光を照射する光源を、ほぼ同一の光軸
上に配置された可視発光素子と赤外発光素子とで構成
し、テレビカメラの受光面の手前側に可視光カットフィ
ルタを配置することとしたから、可視光の放射により撮
像対象物に対する光の照射位置、照射の大きさが目視で
きる。従って、光放射の位置ずれが防止できると共に、
明るさ調整をする際に、過大な電流を長時間流し、赤外
発光素子の寿命を縮める恐れを解消できるから、調整作
業及び装置管理が容易となる。また、撮像対象物から反
射する反射光は、可視光カットフィルタによりカットさ
れ、赤外光のみの画像信号がテレビカメラに入射する。
従って、赤外発光素子による画像認識性能が保持される
等、発明目的を達成した優れた効果を有する。
撮像対象物に対し光を照射する光源を、ほぼ同一の光軸
上に配置された可視発光素子と赤外発光素子とで構成
し、テレビカメラの受光面の手前側に可視光カットフィ
ルタを配置することとしたから、可視光の放射により撮
像対象物に対する光の照射位置、照射の大きさが目視で
きる。従って、光放射の位置ずれが防止できると共に、
明るさ調整をする際に、過大な電流を長時間流し、赤外
発光素子の寿命を縮める恐れを解消できるから、調整作
業及び装置管理が容易となる。また、撮像対象物から反
射する反射光は、可視光カットフィルタによりカットさ
れ、赤外光のみの画像信号がテレビカメラに入射する。
従って、赤外発光素子による画像認識性能が保持される
等、発明目的を達成した優れた効果を有する。
【図１】実施例顕微鏡を示す説明図である。
【図２】実施例顕微鏡の光源を示す説明図である。
【図３】可視光カットフィルタの内部透過指数を示す説
明図である。
明図である。
【図４】従来の顕微鏡を示す説明図である。
１ 顕微鏡本体 ２ テレビカメラ ３ 光源 ６ 可視光カットフィルタ ３１ 赤外ＬＥＤ ３２ 可視光ＬＥＤ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/66 G01R 31/26 G02B 21/06 G02B 21/18
Claims (1)
- 【請求項１】顕微鏡本体の像面にテレビカメラの受光面
を配置し、撮像対象物に対し明視野又は暗視野照明を行
い、テレビカメラのビデオ信号をモニタテレビで目視或
いは画像処理する顕微鏡において、 前記撮像対象物を照明する光源は、ほぼ同一の光軸上に
配置された可視発光素子と赤外発光素子とから構成さ
れ、上記テレビカメラは、受光面の手前側に配置された
可視光カットフィルタを有することを特徴とする顕微
鏡。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3107927A JP2801974B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | 顕微鏡 |
| KR1019920007760A KR960014969B1 (ko) | 1991-05-14 | 1992-05-08 | 현미경 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3107927A JP2801974B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | 顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04336445A JPH04336445A (ja) | 1992-11-24 |
| JP2801974B2 true JP2801974B2 (ja) | 1998-09-21 |
Family
ID=14471583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3107927A Expired - Fee Related JP2801974B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | 顕微鏡 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2801974B2 (ja) |
| KR (1) | KR960014969B1 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6108127A (en) * | 1997-05-15 | 2000-08-22 | 3M Innovative Properties Company | High resolution confocal microscope |
| US6055095A (en) * | 1999-07-30 | 2000-04-25 | Intel Corporation | Microscope with infrared imaging |
| US7315414B2 (en) | 2004-03-31 | 2008-01-01 | Swift Instruments, Inc. | Microscope with adjustable stage |
| JP4867354B2 (ja) * | 2006-01-16 | 2012-02-01 | 横河電機株式会社 | 共焦点顕微鏡 |
| JP2008076489A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Olympus Corp | 照明光学系及びこの照明光学系を有する光学装置 |
| KR100936645B1 (ko) * | 2008-05-01 | 2010-01-14 | 김영범 | 라만 현미경 |
| WO2013118296A1 (ja) * | 2012-02-10 | 2013-08-15 | 株式会社島津製作所 | 太陽電池セルの検査装置および太陽電池セルの処理装置 |
| KR101951034B1 (ko) * | 2014-05-16 | 2019-02-22 | 한국전자통신연구원 | 순차통계 일정 오경보율 검파의 처리 속도 향상방법 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62208017A (ja) * | 1986-03-10 | 1987-09-12 | Hitachi Ltd | 赤外線共焦点顕微鏡 |
| JPS6329537A (ja) * | 1986-07-23 | 1988-02-08 | Hitachi Ltd | 検査装置 |
| JPH07122694B2 (ja) * | 1986-10-16 | 1995-12-25 | オリンパス光学工業株式会社 | 顕微鏡用照明装置 |
| JPS63237428A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-03 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子のパタ−ン認識装置 |
-
1991
- 1991-05-14 JP JP3107927A patent/JP2801974B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-05-08 KR KR1019920007760A patent/KR960014969B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR920022016A (ko) | 1992-12-19 |
| KR960014969B1 (ko) | 1996-10-23 |
| JPH04336445A (ja) | 1992-11-24 |
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