JPH04336445A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
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- JPH04336445A JPH04336445A JP3107927A JP10792791A JPH04336445A JP H04336445 A JPH04336445 A JP H04336445A JP 3107927 A JP3107927 A JP 3107927A JP 10792791 A JP10792791 A JP 10792791A JP H04336445 A JPH04336445 A JP H04336445A
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- JP
- Japan
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- microscope
- light
- television camera
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 12
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- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 11
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体チップの金パ
ッドメッキ処理の判定、或いは半導体のダイボンの位置
決め検査を行う際に使用される顕微鏡に関する。
ッドメッキ処理の判定、或いは半導体のダイボンの位置
決め検査を行う際に使用される顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は、本願出願人が先に提案した顕微
鏡を示す説明図である。この顕微鏡は、顕微鏡本体１の
像面に、白黒テレビカメラ（ＣＣＤ・撮像管）２の受光
面２１を配置し、顕微鏡本体１の光路に対し光を放射す
る光源３を配置している。この顕微鏡は、光源３からの
光を顕微鏡光学系の光軸を通させる、所謂明視野タイプ
のもので、光源３からの光をハーフミラー１１を介して
、テーブル４上の半導体チップ（撮像対象物）５に照射
する。半導体チップ５に照射した反射光は、ハーフミラ
ー１１を介して、顕微鏡光学系からテレビカメラ２の受
光面２１に入射し、テレビカメラ２にビデオ信号（画像
信号）として取り込まれる。この画像信号が、画像処理
され、モニタテレビに映し出され、半導体チップ５の検
査判定、或いは半導体のワイヤボンディグの位置決め検
査が、例えば目視で実行される。
鏡を示す説明図である。この顕微鏡は、顕微鏡本体１の
像面に、白黒テレビカメラ（ＣＣＤ・撮像管）２の受光
面２１を配置し、顕微鏡本体１の光路に対し光を放射す
る光源３を配置している。この顕微鏡は、光源３からの
光を顕微鏡光学系の光軸を通させる、所謂明視野タイプ
のもので、光源３からの光をハーフミラー１１を介して
、テーブル４上の半導体チップ（撮像対象物）５に照射
する。半導体チップ５に照射した反射光は、ハーフミラ
ー１１を介して、顕微鏡光学系からテレビカメラ２の受
光面２１に入射し、テレビカメラ２にビデオ信号（画像
信号）として取り込まれる。この画像信号が、画像処理
され、モニタテレビに映し出され、半導体チップ５の検
査判定、或いは半導体のワイヤボンディグの位置決め検
査が、例えば目視で実行される。
【０００３】この顕微鏡は、光源３として複数の赤外発
光ダイオード３１を使用している。従来の顕微鏡では、
光源として通常はタングステンランプ（ハロゲンランプ
）が使用されていたが、赤外発光ダイオード３１を用い
ることで、撮像対象物である半導体チップ５のチップ部
の反射光と金パッド部の反射光との強度に大きな差が生
じ、チップ部と金パッド部との境界が明瞭となり、金パ
ッド部の反射パターンを正確に認識するための最適範囲
が広がる結果、光源の明るさ及び２値化判定用レベルの
設定が容易となる。
光ダイオード３１を使用している。従来の顕微鏡では、
光源として通常はタングステンランプ（ハロゲンランプ
）が使用されていたが、赤外発光ダイオード３１を用い
ることで、撮像対象物である半導体チップ５のチップ部
の反射光と金パッド部の反射光との強度に大きな差が生
じ、チップ部と金パッド部との境界が明瞭となり、金パ
ッド部の反射パターンを正確に認識するための最適範囲
が広がる結果、光源の明るさ及び２値化判定用レベルの
設定が容易となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記、本願出願人が先
に提案した顕微鏡は、タングステンランプの光源に変え
て、複数の赤外発光素子を使用するもので、半導体チッ
プの金パッド部の反射パターンを正確に認識し得、且つ
撮像対象物に対し光の放射範囲が広く、像の中心部と周
辺部での反射光の明るさにむらが無くなる照射一様性の
効果がある。
に提案した顕微鏡は、タングステンランプの光源に変え
て、複数の赤外発光素子を使用するもので、半導体チッ
プの金パッド部の反射パターンを正確に認識し得、且つ
撮像対象物に対し光の放射範囲が広く、像の中心部と周
辺部での反射光の明るさにむらが無くなる照射一様性の
効果がある。
【０００５】しかしながら、複数の赤外発光素子にて光
源を構成するものであるため、撮像対象物に放射する光
源の光（赤外光）は、テレビカメラでしか見えない。こ
のため、撮像対象物のどの位置に、どの程度の大きさで
照明されているかが目視できず不明である。また、通電
状態が目で見えないため、電流を流しすぎ、赤外ＬＥＤ
の寿命を縮める虞れがある等、調整作業がしずらい許か
りでなく装置管理が困難である等の不利のあることが判
った。
源を構成するものであるため、撮像対象物に放射する光
源の光（赤外光）は、テレビカメラでしか見えない。こ
のため、撮像対象物のどの位置に、どの程度の大きさで
照明されているかが目視できず不明である。また、通電
状態が目で見えないため、電流を流しすぎ、赤外ＬＥＤ
の寿命を縮める虞れがある等、調整作業がしずらい許か
りでなく装置管理が困難である等の不利のあることが判
った。
【０００６】この発明は、以上のような課題を解消させ
、光源を可視ＬＥＤと赤外ＬＥＤとで構成することで、
撮像対象物に対する照明位置、照明の大きさが目視でき
、明るさ調整をする際に赤外ＬＥＤの寿命を縮める虞れ
がなく、画像認識性能の良い顕微鏡を提供することを目
的とする。
、光源を可視ＬＥＤと赤外ＬＥＤとで構成することで、
撮像対象物に対する照明位置、照明の大きさが目視でき
、明るさ調整をする際に赤外ＬＥＤの寿命を縮める虞れ
がなく、画像認識性能の良い顕微鏡を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用】この目的を達成
させるために、この発明の顕微鏡では、次のような構成
としている。顕微鏡は、顕微鏡本体の像面にテレビカメ
ラの受光面を配置し、撮像対象物に対し明視野乃至暗視
野照明を行い、テレビカメラのビデオ信号をモニタテレ
ビで目視或いは画像処理する顕微鏡であって、前記撮像
対象物を照明する光源は、可視発光素子と赤外発光素子
とから構成すると共に、上記テレビカメラには可視光カ
ットフィルタを配備したことを特徴としている。
させるために、この発明の顕微鏡では、次のような構成
としている。顕微鏡は、顕微鏡本体の像面にテレビカメ
ラの受光面を配置し、撮像対象物に対し明視野乃至暗視
野照明を行い、テレビカメラのビデオ信号をモニタテレ
ビで目視或いは画像処理する顕微鏡であって、前記撮像
対象物を照明する光源は、可視発光素子と赤外発光素子
とから構成すると共に、上記テレビカメラには可視光カ
ットフィルタを配備したことを特徴としている。
【０００８】このような構成を有する顕微鏡では、光源
が可視光ＬＥＤと赤外ＬＥＤとから構成されている。従
って、可視光の放射により撮像対象物に対する光の照射
位置、照射の大きさが目視できる。従って、光放射の位
置ずれが防止できると共に、明るさ調整をする際に、過
大な電流を長時間流し、赤外ＬＥＤの寿命を縮める虞れ
を解消できる。また、撮像対象物から反射する反射光は
、可視光カットフィルタによりカットされ、赤外光のみ
の画像信号がテレビカメラに入射する。従って、赤外Ｌ
ＥＤによる画像認識性能（撮像対象物である半導体チッ
プのチップ部の反射光と、金パッド部の反射光の強度に
大きな差が生じ、チップ部と金パッド部との境界が明瞭
になり、金パッド部の反射パターンを正確に認識するた
めの最適範囲が広がる結果、光源の明るさ及び２値化判
定用レベルの設定が容易となる画像認識性能）が保持さ
れる。
が可視光ＬＥＤと赤外ＬＥＤとから構成されている。従
って、可視光の放射により撮像対象物に対する光の照射
位置、照射の大きさが目視できる。従って、光放射の位
置ずれが防止できると共に、明るさ調整をする際に、過
大な電流を長時間流し、赤外ＬＥＤの寿命を縮める虞れ
を解消できる。また、撮像対象物から反射する反射光は
、可視光カットフィルタによりカットされ、赤外光のみ
の画像信号がテレビカメラに入射する。従って、赤外Ｌ
ＥＤによる画像認識性能（撮像対象物である半導体チッ
プのチップ部の反射光と、金パッド部の反射光の強度に
大きな差が生じ、チップ部と金パッド部との境界が明瞭
になり、金パッド部の反射パターンを正確に認識するた
めの最適範囲が広がる結果、光源の明るさ及び２値化判
定用レベルの設定が容易となる画像認識性能）が保持さ
れる。
【０００９】
【実施例】図１は、この発明に係る顕微鏡の具体的な一
実施例を示す説明図である。
実施例を示す説明図である。
【００１０】実施例では、明視野タイプの顕微鏡を示し
ている。この顕微鏡は、公知のように、顕微鏡本体（実
体顕微鏡或いは金属顕微鏡）１と、この顕微鏡本体１の
像面側に配置された白黒テレビカメラ（ＣＣＤ・撮像管
）２とから成る。つまり、テレビカメラ２の受光面２１
を、顕微鏡本体１の像面に配置している。また、光源３
は、顕微鏡本体１の光学系に対し光を放射するように、
顕微鏡本体１内に配備し、光源３からの光はハーフミラ
ー１１を介して、光軸を通しテーブル４上の撮像対象物
（半導体チップ）５に照射するようになっている。 また、半導体チップ５に照射した反射光は、ハーフミラ
ー１１を介して、顕微鏡光学系からテレビカメラ２の受
光面２１に入射し、テレビカメラ２にビデオ信号（画像
信号）として取り込まれる。この画像信号が、画像処理
され、モニタテレビに映し出される。
ている。この顕微鏡は、公知のように、顕微鏡本体（実
体顕微鏡或いは金属顕微鏡）１と、この顕微鏡本体１の
像面側に配置された白黒テレビカメラ（ＣＣＤ・撮像管
）２とから成る。つまり、テレビカメラ２の受光面２１
を、顕微鏡本体１の像面に配置している。また、光源３
は、顕微鏡本体１の光学系に対し光を放射するように、
顕微鏡本体１内に配備し、光源３からの光はハーフミラ
ー１１を介して、光軸を通しテーブル４上の撮像対象物
（半導体チップ）５に照射するようになっている。 また、半導体チップ５に照射した反射光は、ハーフミラ
ー１１を介して、顕微鏡光学系からテレビカメラ２の受
光面２１に入射し、テレビカメラ２にビデオ信号（画像
信号）として取り込まれる。この画像信号が、画像処理
され、モニタテレビに映し出される。
【００１１】この発明の特徴は、赤外発光素子３１と可
視光発光素子３２とで光源３を構成すると共に、テレビ
カメラ２に可視光カットフィルタ６を設けた点にある。 実施例では、図１で示すように、赤外ＬＥＤ３１を１個
と、可視光ＬＥＤ３２を１個で光源３を構成している。 この赤外ＬＥＤ３１と可視光ＬＥＤ３２は、直列に結線
してある。また、テレビカメラ２の受光面２１の手前側
には可視光カットフィルタ６が配備してある。図３で示
すように、この可視光カットフィルタ６は、赤外線透過
用の黒色ガラスフィルタが使用される。内部透過指数は
、次の式で表される。
視光発光素子３２とで光源３を構成すると共に、テレビ
カメラ２に可視光カットフィルタ６を設けた点にある。 実施例では、図１で示すように、赤外ＬＥＤ３１を１個
と、可視光ＬＥＤ３２を１個で光源３を構成している。 この赤外ＬＥＤ３１と可視光ＬＥＤ３２は、直列に結線
してある。また、テレビカメラ２の受光面２１の手前側
には可視光カットフィルタ６が配備してある。図３で示
すように、この可視光カットフィルタ６は、赤外線透過
用の黒色ガラスフィルタが使用される。内部透過指数は
、次の式で表される。
【００１２】Ｔ＝ｔ１ ｔ２ ｅ−ＢＣＸこの内部透過
指数で表されるように、この式よりカット領域が７００
ｎｍ位になるようにすることで、可視光が完全にカット
され、赤外光のみがテレビカメラ２の受光面２１に受光
される。
指数で表されるように、この式よりカット領域が７００
ｎｍ位になるようにすることで、可視光が完全にカット
され、赤外光のみがテレビカメラ２の受光面２１に受光
される。
【００１３】図２は、光源３の他の実施例を示す説明図
である。先の実施例では、光源３を１個の赤外ＬＥＤ３
１と１個の可視光ＬＥＤ３２とで構成した例を示したが
、この実施例では複数（例えば４個）の赤外ＬＥＤ３１
と、２個の可視光ＬＥＤ３２とから光源を構成した例を
示している。赤外ＬＥＤ３１が複数の場合、撮像対象物
５に対する光の放射範囲が広く、且つ撮像対象物に対す
る光の入射角度が様々となり、照射の一様性が得られる
。
である。先の実施例では、光源３を１個の赤外ＬＥＤ３
１と１個の可視光ＬＥＤ３２とで構成した例を示したが
、この実施例では複数（例えば４個）の赤外ＬＥＤ３１
と、２個の可視光ＬＥＤ３２とから光源を構成した例を
示している。赤外ＬＥＤ３１が複数の場合、撮像対象物
５に対する光の放射範囲が広く、且つ撮像対象物に対す
る光の入射角度が様々となり、照射の一様性が得られる
。
【００１４】このような構成を有する顕微鏡では、光源
３が可視光ＬＥＤ３２と赤外ＬＥＤ３１とから構成され
ている。従って、可視光の放射により撮像対象物５に対
する光の照射位置、照射の大きさが目視できる。従って
、光放射の位置ずれが防止できると共に、明るさ調整を
する際に、可視光ＬＥＤ３２の明るさで流れる電流をモ
ニターできる。これにより、過大な電流を長時間流し、
赤外ＬＥＤ３１の寿命を縮める虞れを解消できる。 また、例えば撮像対象物（サンプル）５の高さ位置が変
わり、段取り変えで顕微鏡の高さを調整する場合等に、
調整が極めて容易となる。更に、撮像対象物５から反射
する反射光は、可視光カットフィルタ６によりカットさ
れ、赤外光のみの画像信号がテレビカメラ２に入射する
。従って、赤外ＬＥＤ３１による画像認識性能（撮像対
象物である半導体チップ５のチップ部の反射光と、金パ
ッド部の反射光の強度に大きな差が生じ、チップ部と金
パッド部との境界が明瞭になり、金パッド部の反射パタ
ーンを正確に認識するための最適範囲が広がる結果、光
源の明るさ及び２値化判定用レベルの設定が容易となる
画像認識性能）が保持される。
３が可視光ＬＥＤ３２と赤外ＬＥＤ３１とから構成され
ている。従って、可視光の放射により撮像対象物５に対
する光の照射位置、照射の大きさが目視できる。従って
、光放射の位置ずれが防止できると共に、明るさ調整を
する際に、可視光ＬＥＤ３２の明るさで流れる電流をモ
ニターできる。これにより、過大な電流を長時間流し、
赤外ＬＥＤ３１の寿命を縮める虞れを解消できる。 また、例えば撮像対象物（サンプル）５の高さ位置が変
わり、段取り変えで顕微鏡の高さを調整する場合等に、
調整が極めて容易となる。更に、撮像対象物５から反射
する反射光は、可視光カットフィルタ６によりカットさ
れ、赤外光のみの画像信号がテレビカメラ２に入射する
。従って、赤外ＬＥＤ３１による画像認識性能（撮像対
象物である半導体チップ５のチップ部の反射光と、金パ
ッド部の反射光の強度に大きな差が生じ、チップ部と金
パッド部との境界が明瞭になり、金パッド部の反射パタ
ーンを正確に認識するための最適範囲が広がる結果、光
源の明るさ及び２値化判定用レベルの設定が容易となる
画像認識性能）が保持される。
【００１５】
【発明の効果】この考案では、以上のように、顕微鏡の
撮像対象物に対し光を放射する光源を、赤外ＬＥＤと可
視光ＬＥＤとで構成させると共に、テレビカメラに可視
光カットフィルタを配備することとしたから、可視光の
放射により撮像対象物に対する光の照射位置、照射の大
きさが目視できる。従って、光放射の位置ずれが防止で
きると共に、明るさ調整をする際に、過大な電流を長時
間流し、赤外ＬＥＤの寿命を縮める虞れを解消できるか
ら、調整作業及び装置管理が容易となる。また、撮像対
象物から反射する反射光は、可視光カットフィルタによ
りカットされ、赤外光のみの画像信号がテレビカメラに
入射する。従って、赤外ＬＥＤによる画像認識性能が保
持される等、発明目的を達成した優れた効果を有する。
撮像対象物に対し光を放射する光源を、赤外ＬＥＤと可
視光ＬＥＤとで構成させると共に、テレビカメラに可視
光カットフィルタを配備することとしたから、可視光の
放射により撮像対象物に対する光の照射位置、照射の大
きさが目視できる。従って、光放射の位置ずれが防止で
きると共に、明るさ調整をする際に、過大な電流を長時
間流し、赤外ＬＥＤの寿命を縮める虞れを解消できるか
ら、調整作業及び装置管理が容易となる。また、撮像対
象物から反射する反射光は、可視光カットフィルタによ
りカットされ、赤外光のみの画像信号がテレビカメラに
入射する。従って、赤外ＬＥＤによる画像認識性能が保
持される等、発明目的を達成した優れた効果を有する。
【図１】実施例顕微鏡を示す説明図である。
【図２】実施例顕微鏡の光源を示す説明図である。
【図３】可視光カットフィルタの内部透過指数を示す説
明図である。
明図である。
【図４】従来の顕微鏡を示す説明図である。
１ 顕微鏡本体
２ テレビカメラ
３ 光源
６ 可視光カットフィルタ
３１ 赤外ＬＥＤ
３２ 可視光ＬＥＤ
Claims (1)
- 【請求項１】顕微鏡本体の像面にテレビカメラの受光面
を配置し、撮像対象物に対し明視野乃至暗視野照明を行
い、テレビカメラのビデオ信号をモニタテレビで目視或
いは画像処理する顕微鏡において、前記撮像対象物を照
明する光源は、可視発光素子と赤外発光素子とから構成
すると共に、上記テレビカメラには可視光カットフィル
タを配備したことを特徴とする顕微鏡。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3107927A JP2801974B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | 顕微鏡 |
| KR1019920007760A KR960014969B1 (ko) | 1991-05-14 | 1992-05-08 | 현미경 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3107927A JP2801974B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | 顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04336445A true JPH04336445A (ja) | 1992-11-24 |
| JP2801974B2 JP2801974B2 (ja) | 1998-09-21 |
Family
ID=14471583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3107927A Expired - Fee Related JP2801974B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | 顕微鏡 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2801974B2 (ja) |
| KR (1) | KR960014969B1 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6055095A (en) * | 1999-07-30 | 2000-04-25 | Intel Corporation | Microscope with infrared imaging |
| US6108127A (en) * | 1997-05-15 | 2000-08-22 | 3M Innovative Properties Company | High resolution confocal microscope |
| JP2007187945A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点顕微鏡 |
| US7315414B2 (en) | 2004-03-31 | 2008-01-01 | Swift Instruments, Inc. | Microscope with adjustable stage |
| JP2008076489A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Olympus Corp | 照明光学系及びこの照明光学系を有する光学装置 |
| CN104115004A (zh) * | 2012-02-10 | 2014-10-22 | 株式会社岛津制作所 | 太阳能电池单体的检查装置以及太阳能电池单体的处理装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100936645B1 (ko) * | 2008-05-01 | 2010-01-14 | 김영범 | 라만 현미경 |
| KR101951034B1 (ko) * | 2014-05-16 | 2019-02-22 | 한국전자통신연구원 | 순차통계 일정 오경보율 검파의 처리 속도 향상방법 |
Citations (4)
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| JPS6329537A (ja) * | 1986-07-23 | 1988-02-08 | Hitachi Ltd | 検査装置 |
| JPS6398619A (ja) * | 1986-10-16 | 1988-04-30 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡用照明装置 |
| JPS63237428A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-03 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子のパタ−ン認識装置 |
-
1991
- 1991-05-14 JP JP3107927A patent/JP2801974B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-05-08 KR KR1019920007760A patent/KR960014969B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
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| KR960014969B1 (ko) | 1996-10-23 |
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