JPWO2013080565A1 - シンチレータアレイとそれを用いたx線検出器およびx線検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ボイドの存在割合[%]=(ボイドの合計長さ/反射層部の厚さ)×100
(Gd1−α−β−γTbαLuβCeγ)3(Al1−xGax)aOb …(1)
ここで、αおよびβは0<α≦0.5、0<β≦0.5、α+β≦0.85を満足する数(原子比)、γは0.0001≦γ≦0.1を満足する数(原子比)、xは0<x<1を満足する数(原子比)、aは4.8≦a≦5.2を満足する数(原子比)、bは11.6≦b≦12.4を満足する数(原子比)である。
Gd2O2S:Pra …(2)
ここで、aは酸硫化ガドリニウム(Gd2O2S)1モルに対するプラセオジム(Pr)の付活量であり、0.0001〜0.005モルの範囲であることが好ましい。
反射粒子として平均粒子径が0.2μmの酸化チタン(TiO2)粉末を用意した。酸化チタン粉末は0.22μmにピークが存在する粒度分布を有している。酸化チタン粉末を超音波振動機にかけて凝集体を粉砕した後、透明樹脂としてのエポキシ樹脂と混合した。酸化チタン粉末とエポキシ樹脂との混合工程は、三本ロール混合機を用いて実施した。三本ロール混合機による混合時間は20時間とした。酸化チタン粉末とエポキシ樹脂との混合物(樹脂混合物)の粘度は2Pa・sとした。
表1に示す平均粒子径および材質を有する反射粒子を使用する以外は、実施例1と同様の方法を適用してシンチレータアレイを作製した。
透明樹脂に反射粒子を混合しない以外は、実施例1と同様の方法を適用してシンチレータアレイを作製した。比較例1は反射粒子を含まない透明樹脂層を備えるものである。
平均粒子径が3μmのTiO2粉末を反射粒子として使用する以外は、実施例1と同様の方法を適用してシンチレータアレイを作製した。
酸化チタン粉末とエポキシ樹脂との混合比や混合条件を変更する以外は、実施例1と同様の方法を適用してシンチレータアレイを作製した。比較例3は反射層部の単位面積当たりに存在する反射粒子の個数を本発明の範囲外としたものである。
反射粒子として平均粒子径が0.25μmの酸化チタン(TiO2)粉末を用意した。酸化チタン粉末は0.28μmにピークが存在する粒度分布を有している。酸化チタン粉末を超音波振動機にかけて凝集体を粉砕した後、透明樹脂としてのエポキシ樹脂と混合した。酸化チタン粉末とエポキシ樹脂との混合工程は、三本ロール混合機を用いて実施した。三本ロール混合機による混合時間は25時間とした。酸化チタン粉末とエポキシ樹脂との混合物(樹脂混合物)の粘度は1.8Pa・sとした。
表3に示す平均粒子径を有する反射粒子を使用する以外は、実施例6と同様の方法を適用してシンチレータアレイを作製した。
透明樹脂に反射粒子を混合しない以外は、実施例6と同様の方法を適用してシンチレータアレイを作製した。比較例6は反射粒子を含まない透明樹脂層を備えるものである。
平均粒子径が3μmのTiO2粉末を反射粒子として使用する以外は、実施例6と同様の方法を適用してシンチレータアレイを作製した。
実施例1〜10のシンチレータアレイの一方の面に、反射層部と同じ反射粒子の分散状態を有する表面反射層を形成して光出力を求めた。その結果を表5に示す。光出力は、実施例1A〜5Aについて比較例1を100としたときの相対値、実施例6〜10については比較例4を100としたときの相対値である。実施例1A〜5Aは表面反射層の厚さを100μmとし、実施例6A〜10Aは表面反射層の厚さを150μmとした。
シンチレータブロック素体として、縦100mm×横40mm×厚さ1.2mmの酸硫化ガドリニウム(Gd2O2S:Pr)の焼結体を用意した。シンチレータブロック素体に表6に示すブロックサイズおよび溝部形状となるようにワイヤソー加工を行った。
実施例11〜15のシンチレータアレイの一方の面に、反射層部と同じ反射粒子の分散状態を有する表面反射層を形成して光出力を求めた。その結果を表10に示す。光出力は比較例1を100としたときの相対値である。実施例1A〜5Aは表面反射層の厚さを100μmとし、実施例6A〜10Aは表面反射層の厚さを150μmとした。
Claims (15)
- 複数のシンチレータブロックと、
前記複数のシンチレータブロックを一体化するように、隣接する前記シンチレータブロック間に介在された反射層部であって、透明樹脂と、前記透明樹脂内に分散され、酸化チタン粒子および酸化タンタル粒子から選ばれる少なくとも1種を含み、かつ2μm以下の平均粒子径を有する反射粒子とを備える反射層部とを具備し、
前記反射層部の5μm×5μmの単位面積当たりに存在する前記反射粒子の個数が100個以上250個以下の範囲であることを特徴とするシンチレータアレイ。 - 前記反射層部の10μm×10μmの単位面積当たりにおける前記反射粒子の凝集体の面積比が40%以下(0%を含む)である、請求項1に記載のシンチレータアレイ。
- 前記反射層部は前記隣接するシンチレータブロックにそれぞれ直接接着されている、請求項1に記載のシンチレータアレイ。
- 前記反射層部の厚さ方向の断面におけるボイドの存在割合が1%以下である、請求項1に記載のシンチレータアレイ。
- 前記シンチレータブロックは算術平均粗さRaで5μm以下の表面粗さを有する、請求項1に記載のシンチレータアレイ。
- 前記シンチレータブロックは端部にR形状部を有し、前記R形状部は前記シンチレータブロックの幅W1に対する前記R形状部の幅W2の比が0.02以下である形状を有する、請求項1に記載のシンチレータアレイ。
- 前記R形状部は前記シンチレータブロックの厚さT1に対する前記R形状部の厚さT2の比が0.02以下である形状を有する、請求項6に記載のシンチレータアレイ。
- 前記シンチレータブロックは、酸硫化ガドリニウム焼結体およびアルミニウムガーネット焼結体から選ばれる少なくとも1種を備える、請求項1に記載のシンチレータアレイ。
- 前記反射粒子の平均粒子径は1μm以下である、請求項1に記載のシンチレータアレイ。
- 前記透明樹脂はエポキシ樹脂を備える、請求項1に記載のシンチレータアレイ。
- 波長が510nmの光に対する前記反射層部の反射率が93%以上である、請求項1に記載のシンチレータアレイ。
- 波長が670nmの光に対する前記反射層部の反射率が90%以上である、請求項1に記載のシンチレータアレイ。
- さらに、前記シンチレータアレイの少なくとも一方の面に設けられた表面反射層を具備する、請求項1に記載のシンチレータアレイ。
- 請求項1に記載のシンチレータアレイを具備することを特徴とするX線検出器。
- 請求項14に記載のX線検出器を具備することを特徴とするX線検査装置。
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