JP5317675B2 - 放射線検出器およびその製造方法 - Google Patents
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Description
12 基板としてのアレイ基板
13 シンチレータ層
14 反射層
21 光電変換素子としてのフォトダイオード
Claims (7)
- 光電変換素子を備えた基板と、
前記光電変換素子上に形成されたシンチレータ層と、
前記シンチレータ層上に、バインダ材中に光散乱性粒子を含有したペースト材料の塗布により形成され、その形成領域の端部形状が波状形状をしている反射層と
を具備していることを特徴とする放射線検出器。 - 前記反射層の形成領域がシンチレータ層の形成領域の内側にある
ことを特徴とする請求項1記載の放射線検出器。 - 前記反射層の形成領域の端部膜厚が中央部膜厚と比較して薄くなっている
ことを特徴とする請求項1または2記載の放射線検出器。 - 前記反射層の表面が所定の周期の凹凸状に形成されている
ことを特徴とする請求項1ないし3いずれか記載の放射線検出器。 - 前記シンチレータ層が複数の柱状構造によって形成され、前記反射層が前記シンチレータ層上に加えて前記シンチレータ層の柱状構造間にも20〜150μmの深さまで侵入している
ことを特徴とする請求項1ないし4いずれか記載の放射線検出器。 - 基板上に光電変換素子を形成する工程と、
前記光電変換素子上にシンチレータ層を形成する工程と、
バインダ材中に光散乱性粒子を含有したペースト材料を吐出するディスペンサのニードルを、塗布ラインに沿った方向への移動とこの塗布ラインに沿った方向の端部で塗布ラインを1ライン分ずらして塗布ラインに沿った反対方向への移動とを繰り返すことにより、形成領域の端部形状が波状形状となるように前記シンチレータ層上に反射層を形成する工程と
を具備していることを特徴とする放射線検出器の製造方法。 - 前記反射層を形成する工程は、粘度500〜2000mPa・sのペースト材料を使用する
ことを特徴とする請求項6記載の放射線検出器の製造方法。
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