JPWO2012157025A1 - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1の局面は、
横型の半導体装置であって、
半導体基板と、上記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、上記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
上記活性層は、第1導電型ソース領域を取り囲む第2導電型ウェル領域と、第1導電型ドレイン領域を取り囲む第1導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
上記活性層表面の一部領域に上記第2導電型ウェル領域の表面および上記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
上記第2導電型ウェル領域の一部が、上記ゲート絶縁膜に沿って上記ゲート絶縁膜の長さよりもキャリア移動方向に長く上記第1導電型ドリフト領域内に延伸されていることを特徴とする、半導体装置である。
より詳細には、第1導電型ソース領域から、第2導電型ウェル領域の延伸されている部分を経由してはキャリアが第1導電型ドレイン領域へ流れず(図10,12参照)、第2導電型ウェル領域の延伸されていない部分を経由してはキャリアが第1導電型ドレイン領域へ流れる(図10,11参照)。よって、第1導電型ソース領域と第1導電型ドレイン領域の間で、電流の流れる領域と流れない領域が生じるので、第1導電型ドレイン領域において単位面積当たりの電流量を低減することができる。これにより、第1導電型ドレイン領域における単位面積当たりの発熱量を低減することができ、第1導電型ドレイン領域が高温になるのを防止し、もって半導体装置の耐圧低下を防止することができる。
また、表面部半導体層がないので、表面部半導体層にコンタクト半導体領域を形成する必要がなく、半導体装置をコンパクト化することができる。
横型の半導体装置であって、
半導体基板と、上記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、上記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
上記活性層は、第1導電型エミッタ領域を取り囲む第2導電型ウェル領域と、第2導電型コレクタ領域を取り囲む第1導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
上記活性層表面の一部領域に上記第2導電型ウェル領域の表面および上記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
上記第2導電型ウェル領域の一部が、上記ゲート絶縁膜に沿って上記ゲート絶縁膜の長さよりもキャリア移動方向に長く上記第1導電型ドリフト領域内に延伸されていることを特徴とする、半導体装置である。
より詳細には、第1導電型エミッタ領域から、第2導電型ウェル領域の延伸されている部分を経由してはキャリアが第2導電型コレクタ領域へ流れず(図13,15参照)、第2導電型ウェル領域の延伸されていない部分を経由してはキャリアが第2導電型コレクタ領域へ流れる(図13,14参照)。よって、第1導電型エミッタ領域と第2導電型コレクタ領域の間で、電流の流れる領域と流れない領域が生じるので、第2導電型コレクタ領域において単位面積当たりの電流量を低減することができる。これにより、第2導電型コレクタ領域における単位面積当たりの発熱量を低減することができ、第2導電型コレクタ領域が高温になるのを防止し、もって半導体装置の耐圧低下を防止することができる。
また、表面部半導体層がないので、表面部半導体層にコンタクト半導体領域を形成する必要がなく、半導体装置をコンパクト化することができる。
横型の半導体装置であって、
半導体基板と、上記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、上記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
上記活性層は、第1導電型ソース領域を取り囲む第2導電型ウェル領域と、第1導電型ドレイン領域を取り囲む第1導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
上記活性層表面の一部領域に上記第2導電型ウェル領域の表面および上記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
上記第1導電型ドリフト領域の表面部に上記ゲート絶縁膜と接する表面部第2導電型層が積層され、
上記表面部第2導電型層の一部と上記第2導電型ウェル領域の一部とが接続されていることを特徴とする、半導体装置である。
より詳細には、第1導電型ソース領域から、表面部第2導電型層と第2導電型ウェル領域とが接続されている部分を経由してはキャリアが第1導電型ドレイン領域へ流れず(図1,3参照)、表面部第2導電型層と第2導電型ウェル領域とが接続されていない部分を経由してはキャリアが第1導電型ドレイン領域へ流れる(図1,2参照)。よって、第1導電型ソース領域と第1導電型ドレイン領域の間で、電流の流れる領域と流れない領域が生じるので、第1導電型ドレイン領域において単位面積当たりの電流量を低減することができる。これにより、第1導電型ドレイン領域における単位面積当たりの発熱量を低減することができ、第1導電型ドレイン領域が高温になるのを防止し、もって半導体装置の耐圧低下を防止することができる。
また、表面部第2導電型層の一部と第2導電型ウェル領域の一部とが接続されているので、表面部半導体層にコンタクト半導体領域を形成しなくても、表面部第2導電型層と第1導電型ソース領域を同電位とすることができ、半導体装置をコンパクト化することができる。
横型の半導体装置であって、
半導体基板と、上記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、上記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
上記活性層は、第1導電型エミッタ領域を取り囲む第2導電型ウェル領域と、第2導電型コレクタ領域を取り囲む第1導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
上記活性層表面の一部領域に上記第2導電型ウェル領域の表面および上記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
上記第1導電型ドリフト領域の表面部に上記ゲート絶縁膜と接する表面部第2導電型層が形成され、
上記表面部第2導電型層の一部と上記第2導電型ウェル領域の一部とが接続されていることを特徴とする、半導体装置である。
より詳細には、第1導電型エミッタ領域から、表面部第2導電型層と第2導電型ウェル領域とが接続されている部分を経由してはキャリアが第2導電型コレクタ領域へ流れず(図7,9参照)、表面部第2導電型層と第2導電型ウェル領域とが接続されていない部分を経由してはキャリアが第2導電型コレクタ領域へ流れる(図7,8参照)。よって、第1導電型エミッタ領域と第2導電型コレクタ領域の間で、電流の流れる領域と流れない領域が生じるので、第2導電型コレクタ領域において単位面積当たりの電流量を低減することができる。これにより、第2導電型コレクタ領域における単位面積当たりの発熱量を低減することができ、第2導電型コレクタ領域が高温になるのを防止し、もって半導体装置の耐圧低下を防止することができる。
また、表面部第2導電型層の一部と第2導電型ウェル領域の一部とが接続されているので、表面部半導体層にコンタクト半導体領域を形成しなくても、表面部第2導電型層と第1導電型エミッタ領域を同電位とすることができ、半導体装置をコンパクト化することができる。
横型の半導体装置であって、
半導体基板と、上記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、上記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
上記活性層は、第2導電型ソース領域を取り囲む第1導電型ウェル領域と、第2導電型ドレイン領域を取り囲む第2導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
上記活性層表面の一部領域に上記第1導電型ウェル領域の表面および上記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
上記第1導電型ドリフト領域の表面部に上記ゲート絶縁膜と接する表面部第2導電型層が形成され、
上記表面部第2導電型層の一部と上記第2導電型ウェル領域の一部とが接続されていることを特徴とする、半導体装置である。
より詳細には、第2導電型ソース領域から、表面部第2導電型層と第2導電型ウェル領域とが接続されていない部分を経由してはキャリアが第2導電型ドレイン領域へ流れず(図19,20参照)、表面部第2導電型層と第1導電型ウェル領域とが接続されている部分を経由してはキャリアが第2導電型ドレイン領域へ流れる(図19,21参照)。よって、第2導電型ソース領域と第2導電型ドレイン領域の間で、電流の流れる領域と流れない領域が生じるので、第2導電型ドレイン領域において単位面積当たりの電流量を低減することができる。これにより、第2導電型ドレイン領域における単位面積当たりの発熱量を低減することができ、第2導電型ドレイン領域が高温になるのを防止し、もって半導体装置の耐圧低下を防止することができる。
また、表面部第2導電型層の一部と第2導電型ウェル領域の一部とが接続されているので、表面部半導体層にコンタクト半導体領域を形成しなくても、表面部第2導電型層と第2導電型ドレイン領域を同電位とすることができ、半導体装置をコンパクト化することができる。
上記表面部第2導電型層の一部が、上記ゲート絶縁膜に沿って上記第2導電型ウェル領域に向けて延伸されていることを特徴とする。
より詳細には、表面部第2導電型層の一部が、ゲート絶縁膜に沿って第2導電型ウェル領域に向けて延伸されているので(図1,3参照)、第2導電型ウェル領域の一部が、ゲート絶縁膜に沿って表面部第2導電型層に向けて延伸されている場合(図4,6参照)に比べて、表面部第2導電型層と第2導電型ウェル領域の境界位置がドレイン領域またはコレクタ領域から遠くなる。よって、空乏層の長さを大きくして、半導体装置の耐圧をより一層向上させることができる。
本発明の第1実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図2は、図1に示される半導体装置のA−A線断面図である。図3は、図1に示される半導体装置のB−B線断面図である。なお、図1においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。
半導体装置1は、第2導電型(p型)の不純物を高濃度に含む単結晶シリコンの半導体基板2と、その半導体基板2上に形成されている酸化シリコン(SiO2)の埋込み酸化膜3と、その埋込み酸化膜3上に形成されている単結晶シリコンの活性層4とを備えている。
本発明の第2実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図4は、本発明の第2実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図5は、図4に示される半導体装置のA−A線断面図である。図5は、図1に示される半導体装置のB−B線断面図である。なお、図4においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第2実施形態において、第1実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
本発明の第3実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図7は、本発明の第3実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図8は、図7に示される半導体装置のA−A線断面図である。図9は、図7に示される半導体装置のB−B線断面図である。なお、図7においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第3実施形態において、第1実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
本発明の第4実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図10は、本発明の第4実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図11は、図10に示される半導体装置のA−A線断面図である。図12は、図10に示される半導体装置のB−B線断面図である。なお、図10においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第4実施形態において、第1実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
本発明の第5実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図13は、本発明の第5実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図14は、図13に示される半導体装置のA−A線断面図である。図15は、図13に示される半導体装置のB−B線断面図である。なお、図13においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第5実施形態において、第4実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
より具体的には、図13に示されるように、平面視で、p型ウェル半導体領域6のn型ウェル半導体領域5側が凹凸を繰り返すような形に形成されている。図13,15に示される例では、凸部(延伸部)61の先端は、n型ウェル半導体領域5に接続されている。図13,14に示されるように、凹部62は、n型ウェル半導体領域5から離間しており、ゲート絶縁膜14とフィールド酸化膜16の境界部の直下まで達していない。
本発明の第6実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図16は、本発明の第6実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図17は、図16に示される半導体装置のA−A線断面図である。図18は、図16に示される半導体装置のB−B線断面図である。なお、図16においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第6実施形態において、第1実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
本発明の第7実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図19は、本発明の第7実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図20は、図19に示される半導体装置のA−A線断面図である。図21は、図19に示される半導体装置のB−B線断面図である。なお、図19においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第7実施形態において、第1実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
半導体装置1Fは、第2導電型(p型)の不純物を高濃度に含む単結晶シリコンの半導体基板2と、その半導体基板2上に形成されている酸化シリコン(SiO2)の埋込み酸化膜3と、その埋込み酸化膜3上に形成されている単結晶シリコンの活性層4Aとを備えている。
本発明の第8実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図22は、本発明の第8実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図23は、図22に示される半導体装置のA−A線断面図である。図24は、図22に示される半導体装置のB−B線断面図である。なお、図22においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第8実施形態において、第7実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
2 半導体基板
3 埋込み酸化膜
4 活性層
5 n型ウェル半導体領域
6 p型ウェル半導体領域
61 凸部
62 凹部
7 表面部半導体層
71 凸部
72 凹部
8 裏面部半導体層
9,9A ドリフト領域
91,91A 凸部
92,92A 凹部
10,10A ソース半導体領域
11,11A ドレイン半導体領域
13 ウェル用コンタクト半導体領域
14 ゲート絶縁膜
15 ゲート電極
16 フィールド酸化膜
17 ボトム半導体層
本発明の第1の局面は、
横型の半導体装置であって、
半導体基板と、上記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、上記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
上記活性層は、第1導電型ソース領域を取り囲む第2導電型ウェル領域と、第1導電型ドレイン領域を取り囲む第1導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
上記活性層表面の一部領域に上記第2導電型ウェル領域の表面および上記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
上記第2導電型ウェル領域の一部が、上記ゲート絶縁膜に沿って上記ゲート絶縁膜の長さよりもキャリア移動方向に長く上記第1導電型ドリフト領域内に延伸されていることを特徴とする、半導体装置である。
より詳細には、第1導電型ソース領域から、第2導電型ウェル領域の延伸されている部分を経由してはキャリアが第1導電型ドレイン領域へ流れず(図10,12参照)、第2導電型ウェル領域の延伸されていない部分を経由してはキャリアが第1導電型ドレイン領域へ流れる(図10,11参照)。よって、第1導電型ソース領域と第1導電型ドレイン領域の間で、電流の流れる領域と流れない領域が生じるので、第1導電型ドレイン領域において単位面積当たりの電流量を低減することができる。これにより、第1導電型ドレイン領域における単位面積当たりの発熱量を低減することができ、第1導電型ドレイン領域が高温になるのを防止し、もって半導体装置の耐圧低下を防止することができる。
また、表面部半導体層がないので、表面部半導体層にコンタクト半導体領域を形成する必要がなく、半導体装置をコンパクト化することができる。
横型の半導体装置であって、
半導体基板と、上記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、上記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
上記活性層は、第1導電型エミッタ領域を取り囲む第2導電型ウェル領域と、第2導電型コレクタ領域を取り囲む第1導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
上記活性層表面の一部領域に上記第2導電型ウェル領域の表面および上記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
上記第2導電型ウェル領域の一部が、上記ゲート絶縁膜に沿って上記ゲート絶縁膜の長さよりもキャリア移動方向に長く上記第1導電型ドリフト領域内に延伸されていることを特徴とする、半導体装置である。
より詳細には、第1導電型エミッタ領域から、第2導電型ウェル領域の延伸されている部分を経由してはキャリアが第2導電型コレクタ領域へ流れず(図13,15参照)、第2導電型ウェル領域の延伸されていない部分を経由してはキャリアが第2導電型コレクタ領域へ流れる(図13,14参照)。よって、第1導電型エミッタ領域と第2導電型コレクタ領域の間で、電流の流れる領域と流れない領域が生じるので、第2導電型コレクタ領域において単位面積当たりの電流量を低減することができる。これにより、第2導電型コレクタ領域における単位面積当たりの発熱量を低減することができ、第2導電型コレクタ領域が高温になるのを防止し、もって半導体装置の耐圧低下を防止することができる。
また、表面部半導体層がないので、表面部半導体層にコンタクト半導体領域を形成する必要がなく、半導体装置をコンパクト化することができる。
横型の半導体装置であって、
半導体基板と、上記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、上記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
上記活性層は、第1導電型ソース領域を取り囲む第2導電型ウェル領域と、第1導電型ドレイン領域を取り囲む第1導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
上記活性層表面の一部領域に上記第2導電型ウェル領域の表面および上記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
上記第1導電型ドリフト領域の表面部に上記ゲート絶縁膜と接する表面部第2導電型層が積層され、
上記表面部第2導電型層の一部と上記第2導電型ウェル領域の一部とが接続されていることを特徴とする、半導体装置である。
より詳細には、第1導電型ソース領域から、表面部第2導電型層と第2導電型ウェル領域とが接続されている部分を経由してはキャリアが第1導電型ドレイン領域へ流れず(図1,3参照)、表面部第2導電型層と第2導電型ウェル領域とが接続されていない部分を経由してはキャリアが第1導電型ドレイン領域へ流れる(図1,2参照)。よって、第1導電型ソース領域と第1導電型ドレイン領域の間で、電流の流れる領域と流れない領域が生じるので、第1導電型ドレイン領域において単位面積当たりの電流量を低減することができる。これにより、第1導電型ドレイン領域における単位面積当たりの発熱量を低減することができ、第1導電型ドレイン領域が高温になるのを防止し、もって半導体装置の耐圧低下を防止することができる。
また、表面部第2導電型層の一部と第2導電型ウェル領域の一部とが接続されているので、表面部半導体層にコンタクト半導体領域を形成しなくても、表面部第2導電型層と第1導電型ソース領域を同電位とすることができ、半導体装置をコンパクト化することができる。
横型の半導体装置であって、
半導体基板と、上記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、上記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
上記活性層は、第1導電型エミッタ領域を取り囲む第2導電型ウェル領域と、第2導電型コレクタ領域を取り囲む第1導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
上記活性層表面の一部領域に上記第2導電型ウェル領域の表面および上記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
上記第1導電型ドリフト領域の表面部に上記ゲート絶縁膜と接する表面部第2導電型層が形成され、
上記表面部第2導電型層の一部と上記第2導電型ウェル領域の一部とが接続されていることを特徴とする、半導体装置である。
より詳細には、第1導電型エミッタ領域から、表面部第2導電型層と第2導電型ウェル領域とが接続されている部分を経由してはキャリアが第2導電型コレクタ領域へ流れず(図7,9参照)、表面部第2導電型層と第2導電型ウェル領域とが接続されていない部分を経由してはキャリアが第2導電型コレクタ領域へ流れる(図7,8参照)。よって、第1導電型エミッタ領域と第2導電型コレクタ領域の間で、電流の流れる領域と流れない領域が生じるので、第2導電型コレクタ領域において単位面積当たりの電流量を低減することができる。これにより、第2導電型コレクタ領域における単位面積当たりの発熱量を低減することができ、第2導電型コレクタ領域が高温になるのを防止し、もって半導体装置の耐圧低下を防止することができる。
また、表面部第2導電型層の一部と第2導電型ウェル領域の一部とが接続されているので、表面部半導体層にコンタクト半導体領域を形成しなくても、表面部第2導電型層と第1導電型エミッタ領域を同電位とすることができ、半導体装置をコンパクト化することができる。
横型の半導体装置であって、
半導体基板と、上記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、上記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
上記活性層は、第2導電型ソース領域を取り囲む第1導電型ウェル領域と、第2導電型ドレイン領域を取り囲む第2導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
上記活性層表面の一部領域に上記第1導電型ウェル領域の表面および上記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
上記第1導電型ドリフト領域の表面部に上記ゲート絶縁膜と接する表面部第2導電型層が形成され、
上記表面部第2導電型層の一部と上記第2導電型ウェル領域の一部とが接続されていることを特徴とする、半導体装置である。
より詳細には、第2導電型ソース領域から、表面部第2導電型層と第2導電型ウェル領域とが接続されていない部分を経由してはキャリアが第2導電型ドレイン領域へ流れず(図19,20参照)、表面部第2導電型層と第1導電型ウェル領域とが接続されている部分を経由してはキャリアが第2導電型ドレイン領域へ流れる(図19,21参照)。よって、第2導電型ソース領域と第2導電型ドレイン領域の間で、電流の流れる領域と流れない領域が生じるので、第2導電型ドレイン領域において単位面積当たりの電流量を低減することができる。これにより、第2導電型ドレイン領域における単位面積当たりの発熱量を低減することができ、第2導電型ドレイン領域が高温になるのを防止し、もって半導体装置の耐圧低下を防止することができる。
また、表面部第2導電型層の一部と第2導電型ウェル領域の一部とが接続されているので、表面部半導体層にコンタクト半導体領域を形成しなくても、表面部第2導電型層と第2導電型ドレイン領域を同電位とすることができ、半導体装置をコンパクト化することができる。
上記表面部第2導電型層の一部が、上記ゲート絶縁膜に沿って上記第2導電型ウェル領域に向けて延伸されていることを特徴とする。
より詳細には、表面部第2導電型層の一部が、ゲート絶縁膜に沿って第2導電型ウェル領域に向けて延伸されているので(図1,3参照)、第2導電型ウェル領域の一部が、ゲート絶縁膜に沿って表面部第2導電型層に向けて延伸されている場合(図4,6参照)に比べて、表面部第2導電型層と第2導電型ウェル領域の境界位置がドレイン領域またはコレクタ領域から遠くなる。よって、空乏層の長さを大きくして、半導体装置の耐圧をより一層向上させることができる。
本発明の第1実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図2は、図1に示される半導体装置のB−B線断面図である。図3は、図1に示される半導体装置のA−A線断面図である。なお、図1においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。
半導体装置1は、第2導電型(p型)の不純物を高濃度に含む単結晶シリコンの半導体基板2と、その半導体基板2上に形成されている酸化シリコン(SiO2)の埋込み酸化膜3と、その埋込み酸化膜3上に形成されている単結晶シリコンの活性層4とを備えている。
本発明の第2実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図4は、本発明の第2実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図5は、図4に示される半導体装置のA−A線断面図である。図6は、図4に示される半導体装置のB−B線断面図である。なお、図4においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第2実施形態において、第1実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
本発明の第3実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図7は、本発明の第3実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図8は、図7に示される半導体装置のB−B線断面図である。図9は、図7に示される半導体装置のA−A線断面図である。なお、図7においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第3実施形態において、第1実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
本発明の第4実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図10は、本発明の第4実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図11は、図10に示される半導体装置のA−A線断面図である。図12は、図10に示される半導体装置のB−B線断面図である。なお、図10においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第4実施形態において、第1実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
本発明の第5実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図13は、本発明の第5実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図14は、図13に示される半導体装置のA−A線断面図である。図15は、図13に示される半導体装置のB−B線断面図である。なお、図13においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第5実施形態において、第4実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
より具体的には、図13に示されるように、平面視で、p型ウェル半導体領域6のn型ウェル半導体領域5側が凹凸を繰り返すような形に形成されている。図13,15に示される例では、凸部(延伸部)61の先端は、n型ウェル半導体領域5に接続されている。図13,14に示されるように、凹部62は、n型ウェル半導体領域5から離間しており、ゲート絶縁膜14とフィールド酸化膜16の境界部の直下まで達していない。
本発明の第6実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図16は、本発明の第6実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図17は、図16に示される半導体装置のB−B線断面図である。図18は、図16に示される半導体装置のA−A線断面図である。なお、図16においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第6実施形態において、第1実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
本発明の第7実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図19は、本発明の第7実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図20は、図19に示される半導体装置のB−B線断面図である。図21は、図19に示される半導体装置のA−A線断面図である。なお、図19においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第7実施形態において、第1実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
半導体装置1Fは、第2導電型(p型)の不純物を高濃度に含む単結晶シリコンの半導体基板2と、その半導体基板2上に形成されている酸化シリコン(SiO2)の埋込み酸化膜3と、その埋込み酸化膜3上に形成されている単結晶シリコンの活性層4Aとを備えている。
本発明の第8実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図22は、本発明の第8実施形態に係る半導体装置の要部を示す平面図である。図23は、図22に示される半導体装置のB−B線断面図である。図24は、図22に示される半導体装置のA−A線断面図である。なお、図22においては、各電極およびフィールド酸化膜の図示を省略している。第8実施形態において、第7実施形態と同様の構成については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。
2 半導体基板
3 埋込み酸化膜
4 活性層
5 n型ウェル半導体領域
6 p型ウェル半導体領域
61 凸部
62 凹部
7 表面部半導体層
71 凸部
72 凹部
8 裏面部半導体層
9,9A ドリフト領域
91,91A 凸部
92,92A 凹部
10,10A ソース半導体領域
11,11A ドレイン半導体領域
13 ウェル用コンタクト半導体領域
14 ゲート絶縁膜
15 ゲート電極
16 フィールド酸化膜
17 ボトム半導体層
Claims (6)
- 横型の半導体装置であって、
半導体基板と、前記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、前記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
前記活性層は、第1導電型ソース領域を取り囲む第2導電型ウェル領域と、第1導電型ドレイン領域を取り囲む第1導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
前記活性層表面の一部領域に前記第2導電型ウェル領域の表面および前記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
前記第2導電型ウェル領域の一部が、前記ゲート絶縁膜に沿って前記ゲート絶縁膜の長さよりもキャリア移動方向に長く前記第1導電型ドリフト領域内に延伸されていることを特徴とする、半導体装置。 - 横型の半導体装置であって、
半導体基板と、前記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、前記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
前記活性層は、第1導電型エミッタ領域を取り囲む第2導電型ウェル領域と、第2導電型コレクタ領域を取り囲む第1導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
前記活性層表面の一部領域に前記第2導電型ウェル領域の表面および前記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
前記第2導電型ウェル領域の一部が、前記ゲート絶縁膜に沿って前記ゲート絶縁膜の長さよりもキャリア移動方向に長く前記第1導電型ドリフト領域内に延伸されていることを特徴とする、半導体装置。 - 横型の半導体装置であって、
半導体基板と、前記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、前記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
前記活性層は、第1導電型ソース領域を取り囲む第2導電型ウェル領域と、第1導電型ドレイン領域を取り囲む第1導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
前記活性層表面の一部領域に前記第2導電型ウェル領域の表面および前記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
前記第1導電型ドリフト領域の表面部に前記ゲート絶縁膜と接する表面部第2導電型層が積層され、
前記表面部第2導電型層の一部と前記第2導電型ウェル領域の一部とが接続されていることを特徴とする、半導体装置。 - 横型の半導体装置であって、
半導体基板と、前記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、前記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
前記活性層は、第1導電型エミッタ領域を取り囲む第2導電型ウェル領域と、第2導電型コレクタ領域を取り囲む第1導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
前記活性層表面の一部領域に前記第2導電型ウェル領域の表面および前記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
前記第1導電型ドリフト領域の表面部に前記ゲート絶縁膜と接する表面部第2導電型層が形成され、
前記表面部第2導電型層の一部と前記第2導電型ウェル領域の一部とが接続されていることを特徴とする、半導体装置。 - 横型の半導体装置であって、
半導体基板と、前記半導体基板上に形成された埋め込み酸化膜と、前記埋め込み酸化膜上に形成された活性層とを備え、
前記活性層は、第2導電型ソース領域を取り囲む第1導電型ウェル領域と、第2導電型ドレイン領域を取り囲む第2導電型ウェル領域が、第1導電型ドリフト領域を両側から挟むように配置されて構成され、
前記活性層表面の一部領域に前記第1導電型ウェル領域の表面および前記第1導電型ドリフト領域の表面に接するゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、
前記第1導電型ドリフト領域の表面部に前記ゲート絶縁膜と接する表面部第2導電型層が形成され、
前記表面部第2導電型層の一部と前記第2導電型ウェル領域の一部とが接続されていることを特徴とする、半導体装置。 - 前記表面部第2導電型層の一部が、前記ゲート絶縁膜に沿って前記第2導電型ウェル領域に向けて延伸されていることを特徴とする、請求項3乃至5いずれか1項に記載の半導体装置。
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