JPWO2012147476A1 - 送液ポンプ及び流量制御装置 - Google Patents
送液ポンプ及び流量制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2012147476A1 JPWO2012147476A1 JP2012543401A JP2012543401A JPWO2012147476A1 JP WO2012147476 A1 JPWO2012147476 A1 JP WO2012147476A1 JP 2012543401 A JP2012543401 A JP 2012543401A JP 2012543401 A JP2012543401 A JP 2012543401A JP WO2012147476 A1 JPWO2012147476 A1 JP WO2012147476A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- discharge
- pump
- flow rate
- liquid feed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 128
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 44
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 20
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 8
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 45
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 45
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 31
- 239000003480 eluent Substances 0.000 description 26
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 21
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 12
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 description 11
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 7
- 238000004128 high performance liquid chromatography Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 6
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 6
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 4
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000005526 G1 to G0 transition Effects 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 239000012491 analyte Substances 0.000 description 1
- JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diol;bis(4-fluorophenyl)methanone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1.C1=CC(F)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(F)C=C1 JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000004440 column chromatography Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229920006268 silicone film Polymers 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
- F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
Description
図1は、第1実施形態における送液ポンプ100の断面図を示している。図2は、送液ポンプ100のダイアフラム180を示す拡大断面図である。図3は、送液ポンプ100のポンプ室123の内壁面を示す図である。送液ポンプ100は、高速液体クロマトグラフィにおいて溶離液の圧送に使用されるポンプである。高速液体クロマトグラフィでは、溶離液(たとえばメタノールが使用される)が加圧されてカラム(後述)に通される。これにより、自然落下で溶離液をカラムに流すカラムクロマトグラフィ(中低圧クロマトグラフィとも呼ばれる。)に比較して、高速液体クロマトグラフィは、分析物である試料が固定相に留まる時間を短くすることができるとともに分離能や検出感度も高くすることができる。
図16は、第2実施形態の送液ポンプ100cに使用されているダイアフラム180aを示す断面図である。ダイアフラム180aは、ニッケルコバルト合金の第1金属板181及び第2金属板182と、第1金属板181と第2金属板182とを相互に張り合わせる接着層をなす弾性接着層183とを含む三層構造を有している。弾性接着層183は、第1金属板181と第2金属板182とを、それらの面内方向において相互にずらす方向の弾性を有する樹脂層である。
(1)本実施形態の送液ポンプは、パーティクルの発生がなく高寿命を実現することができる。
(2)本実施形態の送液ポンプは、高圧の微少流と低圧の大流量の送液(広いダイナミックレンジ)を実現することができる。
(3)本実施形態の送液ポンプでは、ダイアフラム受け面がシール受け面と同一平面を形成しているので、高圧時から低圧時までダイアフラムの作動範囲(変形範囲)を円滑に変化させることができる。
(4)本実施形態の送液ポンプでは、シリンダ孔の開口部をダイアフラム受け面と同心状に形成したので、ダイアフラムにおけるシール加圧面およびシール受け面で囲われた領域の略中央部をピストンが押圧するようになっている。従って、ピストンからの負荷がダイアフラムに略均一に掛かるようになり、ダイアフラムに局所的な大きな負荷が掛かるのを抑制することができる。
(5)本実施形態の送液ポンプでは、シリンダ孔の開口部の中心が、凹部面の中心に対し、シリンダ孔の軸線方向に整列するよう構成されている。従って、ダイアフラムが変形した際にポンプ室の中央部が容積変化するから、ポンプ室内の圧力がバランスよく変化して、溶離液をスムーズに送ることができる。
(6)本実施形態の制御装置では、吐出圧力に応じて圧電アクチュエータの変位量が制限されるので、高圧時の圧電アクチュエータの過大な変位によるダイアフラムの損傷を防止することができる。
(7)本実施形態の複層ダイアフラムは、高い耐圧性と柔軟性とを両立させることができる。
(8)本実施形態の複層ダイアフラムは、誤った装着の抑制を実現して整備性が向上されている。
(9)本実施形態の複層ダイアフラムは、分解・洗浄後の校正を不要あるいは簡略にすることができる。
本発明は上記実施形態に限らず、例えば次のように実施されてもよい。
Claims (14)
- 柱状の孔と、前記孔の開口部及びその周辺部に対向する凹部面と、前記凹部面に吸入口を有する吸入通路と、前記凹部面に吐出口を有する吐出通路とが形成されているポンプハウジングと、
前記凹部面との間にポンプ室を形成し、前記ポンプ室と前記孔とを区画するダイアフラムと、
前記孔に往復動可能に挿入され、前記往復動によって前記ダイアフラムを押すことにより変形させる往復動部材と、
前記往復動の方向において、前記往復動のストロークを可変に前記往復動部材を周期的に変位させる駆動部と、
前記凹部面の外周側で囲む位置において、前記ダイアフラムを挟持することによってシールするシール部と、
前記シール部と前記開口部との間に設けられ、前記変位と前記ポンプ室の内圧とに応じて前記ダイアフラムと当接する面の面積である当接面積が変化するダイアフラム受け面と、
を備え、
前記当接面積は、前記凹部面側への前記往復動部材の変位の増加に応じて減少し、前記ポンプ室の内圧の上昇に応じて増大する送液ポンプ。 - 前記シール部は、前記凹部面に連続する面であるシール加圧面と、前記ダイアフラム受け面に連続する面であるシール受け面とで前記ダイアフラムを挟持し、
前記シール受け面は、前記ダイアフラム受け面と滑らかに連続している請求項1記載の送液ポンプ。 - 前記シール受け面は、環状の平面である請求項2に記載の送液ポンプ。
- 前記ダイアフラム受け面は、環状の平面に形成されると共に、前記開口部は、前記ダイアフラム受け面と同心状に形成されている請求項3に記載の送液ポンプ。
- 前記ダイアフラム受け面は、前記シール受け面と同一平面を形成している請求項2乃至4のいずれか1項に記載の送液ポンプ。
- 前記往復動部材は、前記ダイアフラムとの当接面が凸状の曲面を有する先端部を備えている請求項1乃至5のいずれか1項に記載の送液ポンプ。
- 前記凹部面は、吐出方向に駆動された際のダイアフラムの形状に嵌合する方向に凹状の曲面である凹状曲面を有し、
前記凹状曲面は、前記吸入通路の開口部から前記凹状曲面の中心方向に延びて前記ポンプ室に連通している吸入側溝部と、前記吐出通路の開口部から前記凹状曲面の中心方向に延びて前記ポンプ室に連通している吐出側溝部と、を有している請求項1乃至6のいずれか1項に記載の送液ポンプ。 - 前記駆動部は、前記ダイアフラムを駆動する圧電アクチュエータを備える請求項1乃至7のいずれか1項に記載の送液ポンプ。
- 送液ポンプを制御する流量制御装置であって、
請求項8記載の送液ポンプと、
前記圧電アクチュエータに印加する電圧を操作して前記送液ポンプの吐出流量を制御する制御部と、
を備える流量制御装置。 - 請求項9記載の流量制御装置であって、
前記制御部は、前記圧電アクチュエータにパルス状の電圧であるパルス電圧を印加し、前記パルス電圧の最大値を操作して前記送液ポンプの吐出流量を制御する流量制御装置。 - 請求項9又は10記載の流量制御装置であって、
前記吐出通路から吐出された流体の吐出圧力を計測する圧力センサを備え、
前記制御部は、前記計測された吐出圧力に応じて、前記ストロークが予め設定された所定値よりも小さくなるように制限する流量制御装置。 - 請求項9乃至11のいずれか1項に記載の送液ポンプを制御する流量制御装置であって、
前記吐出通路から吐出された流体の吐出流量を計測する流量センサを備え、
前記制御部は、前記計測された吐出流量に応じて、前記往復動の駆動周期が予め設定された所定値よりも長くなるように制限する流量制御装置。 - 請求項9乃至12のいずれか1項に記載の流量制御装置であって、
前記吐出通路から吐出された流体の吐出流量を計測する流量センサを備え、
前記制御部は、前記計測された吐出流量の増大に応じて前記往復動の駆動周期を長くし、前記吐出流量の減少に応じて前記往復動の駆動周期を短くする作動モードを有する流量制御装置。 - 請求項9乃至13のいずれか1項に記載の流量制御装置であって、
前記送液ポンプは、前記送液ポンプの吐出流量を計測する流量センサを有し、
前記制御部は、前記往復動の駆動周期毎に複数の計測タイミングで計測された吐出流量をフィードバックすることによって流量を制御する流量制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012543401A JP5191618B2 (ja) | 2011-04-27 | 2012-04-04 | 送液ポンプ及び流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011100011 | 2011-04-27 | ||
JP2011100011 | 2011-04-27 | ||
PCT/JP2012/059254 WO2012147476A1 (ja) | 2011-04-27 | 2012-04-04 | 送液ポンプ及び流量制御装置 |
JP2012543401A JP5191618B2 (ja) | 2011-04-27 | 2012-04-04 | 送液ポンプ及び流量制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5191618B2 JP5191618B2 (ja) | 2013-05-08 |
JPWO2012147476A1 true JPWO2012147476A1 (ja) | 2014-07-28 |
Family
ID=47072000
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012543401A Active JP5191618B2 (ja) | 2011-04-27 | 2012-04-04 | 送液ポンプ及び流量制御装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8888471B2 (ja) |
EP (1) | EP2653724B1 (ja) |
JP (1) | JP5191618B2 (ja) |
CN (1) | CN103097730B (ja) |
WO (1) | WO2012147476A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ITUB20153349A1 (it) * | 2015-09-02 | 2017-03-02 | Ip Cleaning S P A | Macchina di trattamento di superfici |
KR101809992B1 (ko) * | 2016-05-11 | 2017-12-18 | 안성룡 | 다이아프램 방식 정량 펌프 |
JP6966260B2 (ja) * | 2017-08-30 | 2021-11-10 | 株式会社Screenホールディングス | ポンプ装置、処理液供給装置および基板処理装置 |
CN110566432A (zh) * | 2018-06-05 | 2019-12-13 | 上海渔霁生物技术有限公司 | 一种液相色谱仪用轴向多柱塞无脉冲高压输液泵 |
CN109045415B (zh) * | 2018-08-29 | 2024-05-07 | 广州大学 | 一种微量注射泵 |
JP6895493B2 (ja) | 2019-08-27 | 2021-06-30 | 株式会社タクミナ | ダイヤフラムポンプ |
US11486379B2 (en) * | 2019-09-12 | 2022-11-01 | Cal Poly Corporation | Self-regulating bimetallic diaphragm pump |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6030489A (ja) * | 1983-07-30 | 1985-02-16 | Iwaki:Kk | ダイヤフラム・ポンプのダイヤフラム |
DE3446914A1 (de) * | 1984-12-21 | 1986-07-03 | Ott Kg Lewa | Membranpumpe mit hydaulisch angetriebener rollmembran |
JPS62159778A (ja) | 1986-01-08 | 1987-07-15 | Fuji Electric Co Ltd | ダイアフラム式ポンプ |
JP2842053B2 (ja) | 1992-06-15 | 1998-12-24 | トヨタ自動車株式会社 | ダイヤフラム式ポンプ |
JPH062664A (ja) | 1992-06-22 | 1994-01-11 | Nippon Soken Inc | ダイアフラム式ポンプ |
DE4327969C2 (de) * | 1993-08-19 | 1997-07-03 | Ott Kg Lewa | Hydraulisch angetriebene Membranpumpe |
JP2872557B2 (ja) * | 1993-12-20 | 1999-03-17 | 株式会社帝国電機製作所 | 液圧駆動式膜ポンプ |
JP2001088279A (ja) * | 1999-09-20 | 2001-04-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像形成方法および装置 |
DE10012902B4 (de) * | 2000-03-16 | 2004-02-05 | Lewa Herbert Ott Gmbh + Co. | Atmungsfreie Membraneinspannung |
JP2003207494A (ja) | 2002-01-11 | 2003-07-25 | Sumitomo Chem Co Ltd | クロマトグラフ装置用分流装置 |
US7238164B2 (en) * | 2002-07-19 | 2007-07-03 | Baxter International Inc. | Systems, methods and apparatuses for pumping cassette-based therapies |
US7287965B2 (en) * | 2004-04-02 | 2007-10-30 | Adaptiv Energy Llc | Piezoelectric devices and methods and circuits for driving same |
JP4695870B2 (ja) | 2004-05-13 | 2011-06-08 | ノイベルク有限会社 | ダイアフラムポンプおよび電子部品の製造装置 |
JP4419790B2 (ja) * | 2004-10-20 | 2010-02-24 | パナソニック電工株式会社 | 圧電ダイヤフラムポンプ |
JP2007292011A (ja) | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Shimadzu Corp | 送液ポンプ及びその送液ポンプを用いた液体クロマトグラフ |
WO2008097849A2 (en) * | 2007-02-02 | 2008-08-14 | Societe Bic | Hydrogen gas generators |
US20090112155A1 (en) * | 2007-10-30 | 2009-04-30 | Lifescan, Inc. | Micro Diaphragm Pump |
US8057198B2 (en) * | 2007-12-05 | 2011-11-15 | Ford Global Technologies, Llc | Variable displacement piezo-electric pumps |
US8267675B2 (en) * | 2008-06-16 | 2012-09-18 | GM Global Technology Operations LLC | High flow piezoelectric pump |
-
2012
- 2012-04-04 CN CN201280002865.0A patent/CN103097730B/zh active Active
- 2012-04-04 WO PCT/JP2012/059254 patent/WO2012147476A1/ja active Application Filing
- 2012-04-04 EP EP12776156.7A patent/EP2653724B1/en active Active
- 2012-04-04 JP JP2012543401A patent/JP5191618B2/ja active Active
-
2013
- 2013-08-28 US US14/012,820 patent/US8888471B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2012147476A1 (ja) | 2012-11-01 |
US8888471B2 (en) | 2014-11-18 |
EP2653724A1 (en) | 2013-10-23 |
US20130343909A1 (en) | 2013-12-26 |
CN103097730B (zh) | 2014-11-26 |
CN103097730A (zh) | 2013-05-08 |
EP2653724B1 (en) | 2015-09-23 |
JP5191618B2 (ja) | 2013-05-08 |
EP2653724A4 (en) | 2014-06-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5189227B2 (ja) | 複層ダイアフラム | |
JP5191618B2 (ja) | 送液ポンプ及び流量制御装置 | |
EP2107246B1 (en) | Fluid transportation device having multiple double-chamber actuating structures | |
US20040136843A1 (en) | Diaphragm pump | |
CA2654688C (en) | Piezoelectric pump | |
US9217426B2 (en) | Pump, pump arrangement and pump module | |
US20040109769A1 (en) | Diaphragm pump | |
JP5665793B2 (ja) | 可変オリフィス型圧力制御式流量制御器 | |
KR101718822B1 (ko) | 급속 토출밸브 유닛을 일체로 구비한 다이어프램 펌프 | |
KR20140074308A (ko) | 마이크로다이어프램 펌프 | |
US20130068325A1 (en) | Valve, layer structure comprising a first and a second valve, micropump and method of producing a valve | |
JP2003003952A (ja) | 流体吐出装置 | |
JP2018123796A (ja) | マイクロダイヤフラムポンプ | |
JP2014051950A (ja) | ベローズポンプ | |
JP5221993B2 (ja) | マイクロバルブ及びマイクロポンプ | |
US20220048063A1 (en) | Plural material dispensing system | |
JP2008054492A (ja) | 圧電駆動装置および液体吐出装置 | |
US7686595B1 (en) | Diaphragm pump | |
JP2003139064A (ja) | 小型ポンプ | |
US8182246B1 (en) | High pressure open discharge pump system | |
JP2005273865A (ja) | 弁とそれを用いた送液ポンプ | |
JP2003322085A (ja) | 小型ポンプ | |
JP7074563B2 (ja) | ダンパ装置 | |
JP5371171B2 (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
CN114320845B (zh) | 一种集驱动传感于一体的压电精密输液泵 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130129 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5191618 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160208 Year of fee payment: 3 |