JPS62159778A - ダイアフラム式ポンプ - Google Patents

ダイアフラム式ポンプ

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Publication number
JPS62159778A
JPS62159778A JP61001573A JP157386A JPS62159778A JP S62159778 A JPS62159778 A JP S62159778A JP 61001573 A JP61001573 A JP 61001573A JP 157386 A JP157386 A JP 157386A JP S62159778 A JPS62159778 A JP S62159778A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
movable plate
piezoelectric element
fixed
fixed plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61001573A
Other languages
English (en)
Inventor
Tadao Tanaka
忠男 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
Priority to JP61001573A priority Critical patent/JPS62159778A/ja
Publication of JPS62159778A publication Critical patent/JPS62159778A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps
    • F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 この発明は可動板に往復運動を行わせて流体を圧送する
ダイアフラム式ポンプにおいて、可動板を簡易な構造で
往復駆動することができるようにしたものに関する。
〔従来技術とその問題点〕
ダイアフラム式ポンプの従来例を第５図にもとづいて説
明する。この図において、流体の吸込み口１ａと吐出口
１ｂを有する固定板１にゴム等の弾性材からなる板状ダ
イアフラム２が吸込み口１ａおよび吐出口１ｂを包囲し
て外周部で気密結合され、ダイアフラム２の中心部に可
動板８が接着剤等で固着されている。前記可動板３は図
示しない駆動用電動機の回転軸４の先端部に一端部を偏
心取付けしたクランクアーム５の他端部とヒンジ結合さ
れ、回転軸４の回転に伴うアーム５のクランク運動によ
り固定板１の板面に向かって往復運動を行うようになっ
ている。前記アーム５を作動して可動板３に往復運動を
行わせるとダイアフラム２と固定板１の間の空間の容積
が灰化し、この容積が増すと空間の圧力が低下して吸込
み目１ａから流体を吸引し容積を圧縮すると前記流体を
加圧して吐出口１ｂから送り出すようになっている。
このような構造ではクランクアーム５がすりこぎ運動に
似た運動を行うのでダイアフラム２が伸縮時に可動板３
の周縁部で屈曲作用を繰返し受けて短期間に疲労破損す
ることがある。また駆動用電動機を使用する必要がある
ので、ポンプが大型化しかつ高価となりさらに電動機の
回転速度に制約されてポンプ容量を増すことが困難であ
るという多くの欠点があった。
〔発明の目的〕
この発明は前記の欠点を除去するために、電動クランク
機構を使用することなく可動板を簡易な構造で往復駆動
することができるようにしたダイアフラム式ポンプを提
供することを目的とする。
〔発明の要点〕
この発明は前記の目的を達成するために、可動板を圧電
素子を使用した駆動装置で往復駆動するようにしたもの
である。
〔発明の実施例〕
第１図はこの発明の実施例を示すものである。
この図において、流体の吸込み口ｔｔａと吐出口１１ｂ
を有する固定板１１に可とう性を有する薄板からなる可
動板１２が吸込み口ｔｔａおよび吐出口１１ｂを包囲し
外周部で接着剤等により固着して気密結合され、可動板
１２の中心部には固定板１１に貫通支持した駆動装＠１
８の棒状圧電素子１８ａの一端部が固着されている。前
記駆動装置１３は固定板１１に固定取付けした逆Ｕ字形
断面の筒状体１８ｂの頂部内面に圧電素子１１Ｂの他端
部を固定してなり、圧電素子１ａａに交流電圧を印加す
ると圧電素子ｔａａが伸縮する。圧電素子１３Ｂはこの
伸縮量を大きくするために軸方向に長く形成される。前
記可動板１２は圧電素子１３＆の伸縮に伴い固定板１１
の板面に向かって往復運動を行い、これにより可動板１
２と固定板１１の間の空間の容積が父上する。この容積
が増すと空間の圧力が低下して吸込み口１１ａから流体
を吸引し、容積を圧縮すると前記流体を加圧して吐出口
１１ｂから送り出すことができる。前記固定板１１の圧
電素子１８＆貫通部には流体の漏れを防止する封止装置
１４が設けられている。前記吸込み口１１ａと吐出口１
１ｂは固定板１１の外側板面から加工した段付穴部に外
部配管接続用の中空部材１５を取付けて空室１６を形成
し、この空室１６内に金網等からなる仕切板１７および
この仕切板１７と中空部材１５の間または反対側にフロ
ート弁１８を設けて流体の吸込み時にはフロート弁１８
で吐出口１１ｂを閉鎖し吐出時には吸込み口１１ａを閉
鎖するようになっている。
前記実施例によれば従来例で説明した電動クランク機構
の使用を不要としかつ高周波電源に接続することにより
往復運動を容易に高速化することのできるコンパクトな
構造の駆動装置１８を使用するようにしたので、ポンプ
を小形化し安価にできるのみでなくポンプ容量を容易に
増すことができる。また可動板１２は従来例で説明した
すりこぎ運動による屈曲作用を受けないので寿命を長く
することができる。
他の実施例を示す第２図においては、固定板２１と可動
板２２がゴム等の弾性材からなる筒状体スを介して対向
配置され、筒状体２４は固定板２１の吸込み口２１ａと
吐出口２１ｂを取り囲んで固定板２１と可動板２２の対
向面に設けた環状みぞ２５に両端部を気密にはめ込んで
固定板２１と可動板２２を結合するようになっている。
前記可動板２２の中心部には固定板２１に貫通支持した
駆動装置２８の棒状圧電素子２３ａの一端部が接着剤等
で固着されている。前記筒状体２４は圧電素子２８＆の
伸縮に伴う可動板２２の往復運動により圧縮時に外向き
に湾曲して変形するが、軸方向の圧縮量を大きくするこ
とにより外向き変形量を小さくしてこの変形の繰返しに
よる損傷を防止するようになっている。また筒状体２４
は両端部をみぞ２５にはめ込むだけで取付けであるので
吸込み時にひっばり力の作用することはない。可動板２
２の固定板２１との対向面にはゴム等の緩衝部材２６が
接着剤等で固着されている。
他の実施例を示す第３図においては、駆動装置３３の棒
状圧電素子３３ａの一端部が取付部部材３８ｂを介して
固定板３１の外周部に固定取付けされ、他端部が可動板
３２の中心部に外側から接着剤等で固着されている。
他の実施例を示す第４図においては、駆動装置４３が圧
電素子４３＆を環状に形成してなり、圧電素子４ａａは
両端部を固定板４１と可動板４２の対向面に設けた環状
みぞ２５に気密にはめ込んだ後接着剤等で固着して取付
けられている。この実施例によればゴム等の弾性筒状体
２４を省略できるので構造が簡単になりかつ小形化する
ことができる。
〔発明の効果〕
この発明によればダイアフラム式ポンプにおいて、可動
板を圧電素子を使用した駆動装置で往復＃Ａ！ｈ動して
液体を圧送するようにしたので、簡易な構造で小形化し
かつポンプ容量を増すこともできるという効果が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の実施例の縦断面図、第２図ないし第
４図はそれぞれこの発明の他の実施例の縦断面図、第５
図は従来例の概略構成図である。 １１　、２１　、８１　、　Ａ　Ｉ−・・固定板、１１
　ａ　、２１ａ・・・吸込み口、ｌｌｂ、２１ｂ・・・
吐出口、１２゜２２．３２．４２・・・可動板、１８．
２３．３８゜４３・・・駆動装置、１８ａ　、２８ａ　
、８８ａ　、４８第１図 第２図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １）流体の吸込み口および吐出口を有する固定板と、こ
    の固定板の板面に向かって往復運動を行う可動板と、こ
    の可動板を圧電素子で往復駆動する駆動装置とを備え、
    前記吸込み口と吐出口を取り囲んで可動板の外周部を固
    定板に気密結合してなることを特徴とするダイアフラム
    式ポンプ。
JP61001573A 1986-01-08 1986-01-08 ダイアフラム式ポンプ Pending JPS62159778A (ja)

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JP61001573A JPS62159778A (ja) 1986-01-08 1986-01-08 ダイアフラム式ポンプ

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JPS62159778A true JPS62159778A (ja) 1987-07-15

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ID=11505262

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3926348A1 (de) * 1988-08-11 1990-03-15 Nippon Keiki Works Pumpenanordnung
WO2012147476A1 (ja) 2011-04-27 2012-11-01 シーケーディ株式会社 送液ポンプ及び流量制御装置
CN113431765A (zh) * 2021-07-16 2021-09-24 华中科技大学 一种压电式微型泵

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