JPWO2012128119A1 - フォトレジスト現像廃水の処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
i) フォトレジスト現像廃水に酸を添加してpH2〜6とするため、RO透過水をアルカリで中和する必要があり、アルカリ剤が必要となる。
ii) フォトレジスト現像廃水中のTAAH濃度が高いために、RO膜にスライム閉塞が生じ易い。
iii) スライム閉塞防止のためにRO装置にスライム防止剤を添加すると、濃縮水にスライム防止剤が混入することになり、濃縮水からTAAHを回収することができなくなる。そのため、スライム防止剤によるRO膜閉塞防止を図ることができない。
iv) 廃水中のTAAHが高濃度であるため、TAAHの一部がRO膜を透過して透過水中に流出する。このため、RO透過水の処理水質が低い。
TAAHとしてTMAHを含有するpH11、TOC濃度126mg/L、導電率46mS/mのフォトレジスト現像廃水(電子部品製造工程廃水)を、図1に示すようにカチオン交換樹脂(CER)塔にSV32で通水した後、MF膜装置(ミリポア社製HAWP)に通水して除濁した。このMF膜処理水のpHは5であり、中和剤による中和処理は不要であった。このMF膜処理水をRO装置(日東電工(株)製ES−20)に供給し、透過水を得た。カチオン交換樹脂処理水、MF膜処理水及びRO透過水のTOC濃度及び導電率を表1に示す。なお、RO給水(すなわちMF膜処理水)のBODは5.0ppm以下、MFF値は1.04であった。
(i) ジャーテスターによる凝集処理で、凝集処理水1000ml以上を得る。
(ii) 凝集処理水を30分静置し凝集フロックを沈澱させる。
(iii) (ii)の凝集処理水をNo.5A(5μm孔)濾紙で上澄みから徐々に濾過し、最終的に凝集フロックを含め凝集処理水の全量を濾過する。
(iv) 得られた濾液1000ml以上を500mlずつ2本のメスシリンダーに入れる。
(v) 1本目のメスシリンダーの濾液500mlを、孔径0.45μm、直径47mmのニトロセルロース製メンブレンフィルターを用い、66kPa(500mmHg)の減圧化で濾過し、このときの濾過に要する時間T1を計測する。続いてもう1本のメスシリンダーの濾液500mlを同様に減圧濾過し、このときの濾過に要する時間T2を測定する。
(vi) 下記式でMFF値を算出する。
MFF=T2/T1
実施例1と同じフォトレジスト現像廃水を前記特許文献1と同様の手順に従って処理した。
図3に示すように、比較例1において、MF膜による除濁を行わなかったこと以外は同様にしてフォトレジスト現像廃水を処理しようとしたが、RO膜が閉塞した。比較例2のRO給水は、MFF値を測定できないほど膜濾過性に劣るものであった。
図4の通り、実施例1において、MF膜の代わりに分画分子量30万のUF膜を用いたこと以外は同様にしてフォトレジスト現像廃水の処理を行ったところ、RO膜の洗浄頻度は9ヶ月に1回で足りた。なお、前記実施例1では、RO膜の洗浄頻度は3ヶ月に1回であった。従って、除濁用の膜としてはMF膜よりもUF膜の方が好ましいことが認められた。
図5の通り、実施例2において、カチオン交換樹脂処理水を生物処理した後、UF膜処理するようにしたこと以外は同様にして処理を行った。生物処理槽は流動床方式とした。その結果、RO透過水のTOC濃度は0.5mg/Lであり、実施例2よりも低くなった。この水質の透過水は純水製造に用いることができる。この生物処理槽は2週間以上にわたって閉塞なしに運転された。
図6の通り、実施例3において生物処理槽を流動床生物処理槽ではなく固定床生物処理槽としたこと以外は同様にして処理を行った。この場合、生物処理槽の生物担持層にレジストが付着し、約2週間で生物処理槽が閉塞した。
なお、本出願は、2011年3月23日付で出願された日本特許出願(特願2011−064368)に基づいており、その全体が引用により援用される。
Claims (6)
- フォトレジスト現像廃水をカチオン交換樹脂と接触させた後、除濁処理し、次いで逆浸透膜装置に通水し、膜透過水を得ることを特徴とするフォトレジスト現像廃水の処理方法。
- 請求項1において、フォトレジスト現像廃水をpHを低下させるためのpH調整処理を行うことなくカチオン交換樹脂と接触させることを特徴とするフォトレジスト現像廃水の処理方法。
- 請求項1又は2において、フォトレジストがpH11以下で不溶な物質であることを特徴とするフォトレジスト現像廃水の処理方法。
- 請求項1〜3のいずれかにおいて、除濁手段がUF膜であることを特徴とするフォトレジスト現像廃水の処理方法。
- 請求項1〜4のいずれかにおいて、カチオン交換樹脂と接触させた後、除濁処理する前に生物処理を行うことを特徴とするフォトレジスト現像廃水の処理方法。
- 請求項5において、前記生物処理を流動床担体か又は揺動型固定床担体を用いて行うことを特徴とするフォトレジスト現像廃水の処理方法。
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