JPWO2012096223A1 - 積層セラミックコンデンサ及び積層セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents

積層セラミックコンデンサ及び積層セラミックコンデンサの製造方法 Download PDF

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Abstract

誘電体層がより一層薄層化されても、高温負荷試験の寿命特性の優れた積層セラミックコンデンサを提供する。積層セラミックコンデンサ１の誘電体層２を構成する誘電体セラミックとして、ＢａおよびＴｉを含むペロブスカイト型化合物（ただし、Ｂａの一部はＣａ及びＳｒの少なくとも一方で置換しても良く、Ｔｉの一部はＺｒで置換しても良い）を主成分とし、前記ＴｉおよびＺｒの合計含有量を１００モル部としたとき、Ｌａを２〜６モル部、Ｍｇを３〜５モル部、Ｍｎを１．５〜３モル部の範囲で含有するものを用いる。

Description

本発明は積層セラミックコンデンサに関するものである。また、積層セラミックコンデンサの製造方法に関するものである。
代表的なセラミック電子部品の一つである積層セラミックコンデンサは、一般的に、積層されている複数の誘電体層と、誘電体層間の界面に沿って形成されている複数の内部電極と、を有する積層体と、積層体の外表面に形成され、内部電極と電気的に接続されている複数の外部電極と、を備えている。
近年のエレクトロニクス技術の進展に伴い、積層セラミックコンデンサには小型化かつ大容量化が要求されている。これらの要求を満たすため、積層セラミックコンデンサの誘電体層の薄層化が進められている。しかし、誘電体層を薄層化すると、１層あたりに加わる電界強度が相対的に高くなる。よって、誘電体層に用いられる誘電体セラミックに対しては、電圧印加時における信頼性、特に高温負荷試験の寿命特性の向上が求められる。
誘電体層を構成する誘電体セラミックとしては、例えば、特許文献１に記載のものが知られている。特許文献１には、未反応のＢａＯの含有量が０．７重量％以下でかつＢａ／Ｔｉモル比が１．００５〜１．０２５であるＢａＴｉＯ3が９５．０〜９８．０モル％と、Ｌａ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｄｙ、Ｅｒの中から選ばれる少なくとも１種類の希土類酸化物が２．０〜５．０モル％とからなる主成分１００重量部に対して、副成分としてＭｎＯを０．３〜１．５重量部およびＢａＯ−ＳｒＯ−Ｌｉ2Ｏ−ＳｉＯ2を主成分とする酸化物ガラスを０．５〜２．５重量部含有した、誘電体セラミックが記載されている。
特開平４−１６９００３号公報
ところが、特許文献１には誘電体層を薄層化した場合についての記載がない。したがって、特許文献１に記載の誘電体セラミックが、薄層化が進んだ近年の積層セラミックコンデンサの誘電体層として用いられた場合に、電圧印加時における信頼性が高いかどうかは不明である。
本発明はかかる課題に鑑みてなされたものであって、誘電体層がより一層薄層化し、高電界強度の電圧が印加されても、良好な誘電特性を有し、高温負荷試験の寿命特性の優れた積層セラミックコンデンサを提供することを目的とする。
本発明に係る積層セラミックコンデンサ（請求項１に係る積層セラミックコンデンサ）は、積層されている複数の誘電体層と、誘電体層間の界面に沿って形成されている複数の内部電極と、を有する積層体と、積層体の外表面に形成され、内部電極と電気的に接続されている複数の外部電極と、を備え、積層体の組成が、ＢａおよびＴｉを含むペロブスカイト型化合物（ただし、Ｂａの一部はＣａ及びＳｒの少なくとも一方で置換しても良く、Ｔｉの一部はＺｒで置換しても良い）を主成分とし、さらに、Ｌａ、ＭｇおよびＭｎを含み、積層体を溶剤により溶解したときのＴｉおよびＺｒの合計含有量を１００モル部としたときの、各元素の含有モル部が、Ｌａ：２〜６モル部、Ｍｇ：３〜５モル部、Ｍｎ：１．５〜３モル部であることを特徴としている。
また、本発明に係る積層セラミックコンデンサ（請求項６に係る積層セラミックコンデンサ）は、積層されている複数の誘電体層と、誘電体層間の界面に沿って形成されている複数の内部電極と、を有する積層体と、積層体の外表面に形成され、内部電極と電気的に接続されている複数の外部電極と、を備え、誘電体層の組成が、ＢａおよびＴｉを含むペロブスカイト型化合物（ただし、Ｂａの一部はＣａ及びＳｒの少なくとも一方で置換しても良く、Ｔｉの一部はＺｒで置換しても良い）を主成分とし、さらに、Ｌａ、ＭｇおよびＭｎを含み、ＴｉおよびＺｒの合計含有量を１００モル部としたときの、各元素の含有モル部が、Ｌａ：２〜６モル部、Ｍｇ：３〜５モル部、Ｍｎ：１．５〜３モル部であることを特徴としている。
さらに、本発明に係る誘電体積層セラミックコンデンサの製造方法（請求項１１に係る積層セラミックコンデンサの製造方法）は、ＢａおよびＴｉを含むペロブスカイト型化合物（ただし、Ｂａの一部はＣａ及びＳｒの少なくとも一方で置換しても良く、Ｔｉの一部はＺｒで置換しても良い）を主成分とする主成分粉末を用意する工程と、Ｌａ化合物、Ｍｇ化合物、Ｍｎ化合物を用意する工程と、主成分粉末、Ｌａ化合物、Ｍｇ化合物、Ｍｎ化合物を混合し、その後、セラミックスラリーを得る工程と、セラミックスラリーからセラミックグリーンシートを得る工程と、セラミックグリーンシートと、内部電極層と、を積み重ねて焼成前の積層体を得る工程と、焼成前の積層体を焼成して、誘電体層間に内部電極が形成された積層体を得る工程と、を備え、ＴｉおよびＺｒの合計含有量を１００モル部としたときの、各元素の含有モル部が、Ｌａ：２〜６モル部、Ｍｇ：３〜５モル部、Ｍｎ：１．５〜３モル部であることを特徴としている。
なお、上述した本発明に係る積層セラミックコンデンサまたは積層セラミックコンデンサの製造方法においては、ＴｉおよびＺｒの合計含有量を１００モル部としたときの、Ｌａの含有モル部が４〜６モル部であることが好ましい。
また、Ｌａの含有量を１００モル部としたときの、Ｃｅ、Ｐｒ、およびＮｄの合計含有量が２０モル部以下（０モル部を含む）であることが好ましい。
また、Ｌａの含有量を１００モル部としたときの、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｙ、Ｈｏ、およびＥｒの合計含有量が１０モル部以下（０モル部を含む）であることが好ましい。
さらに、Ｌａの含有量を１００モル部としたときの、Ｔｍ、Ｙｂ、およびＬｕの合計含有量が５モル部以下（０モル部を含む）であることが好ましい。
この発明に係る誘電体セラミックによれば、上記のような組成を有することにより、誘電体層がより一層薄層化し、高電界強度の電圧が印加されても、良好な誘電特性を有し、高温負荷試験の寿命特性の優れた積層セラミックコンデンサを提供することが可能である。
本発明に係る積層セラミックコンデンサを示す断面図である。
以下において、本発明を実施するための形態について説明する。
図１は、本発明に係る積層セラミックコンデンサの断面図である。
積層セラミックコンデンサ１は、積層体５を備えている。積層体５は、積層されている複数の誘電体層２と、複数の誘電体層２間の界面に沿って形成されている複数の内部電極３及び４と、を備えている。内部電極３及び４の材質としては、例えばＮｉを主成分とするものが挙げられる。
積層体５の外表面上の互いに異なる位置には、外部電極６及び７が形成されている。外部電極６及び７の材質としては、例えばＡｇ又はＣｕを主成分とするものが挙げられる。図１に示した積層セラミックコンデンサでは、外部電極６及び７は、積層体５の互いに対向する各端面上に形成されている。内部電極３及び４は、それぞれ外部電極６及び７と電気的に接続されている。そして、内部電極３及び４は、積層体５の内部において誘電体層２を介して交互に積層されている。
なお、積層セラミックコンデンサ１は、２個の外部電極６及び７を備える２端子型のものであっても、多数の外部電極を備える多端子型のものであっても良い。
誘電体層２は、ＢａおよびＴｉを含むペロブスカイト型化合物（ただし、Ｂａの一部はＣａ及びＳｒの少なくとも一方で置換しても良く、Ｔｉの一部はＺｒで置換しても良い）を主成分とし、ＴｉおよびＺｒの合計含有量を１００モル部としたとき、Ｌａを２〜６モル部、Ｍｇを３〜５モル部、Ｍｎを１．５〜３モル部の範囲で含有している誘電体セラミックで構成されている。このように、主成分に対して、ＬａとＭｇとＭｎを一定量の範囲で同時に含有している場合には、高温負荷試験の寿命特性の優れた積層セラミックコンデンサが得られる。
また、ＴｉおよびＺｒの合計含有量を１００モル部としたとき、Ｌａを４〜６モル部の範囲で含有することがより好ましい。この場合には、高温負荷試験の寿命特性のより優れた積層セラミックコンデンサが得られる。
また、Ｌａの含有量を１００モル部としたとき、Ｃｅ、Ｐｒ、およびＮｄの合計含有量が２０モル部以下（０モル部を含む）であることが好ましい。また、Ｌａの含有量を１００モル部としたとき、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｙ、Ｈｏ、およびＥｒの合計含有量が１０モル部以下（０モル部を含む）であることが好ましい。また、Ｌａの含有量を１００モル部としたとき、Ｔｍ、Ｙｂ、およびＬｕの合計含有量が５モル部以下（０モル部を含む）であることが好ましい。これらの場合にも、高温負荷試験の寿命特性のより優れた積層セラミックコンデンサが得られる。
なお、ＢａとＣａとＳｒの合計の、ＴｉとＺｒの合計に対するモル比は適宜設定され、好ましくは０．９８〜１．０５の範囲で選ばれる。
誘電体セラミックの原料粉末は、例えば、固相合成法で作製される。具体的には、まず、主成分の構成元素を含む酸化物、炭酸物、塩化物、金属有機化合物等の化合物粉末を所定の割合で混合し、仮焼する。なお、固相合成法の他に、共沈法や水熱法やシュウ酸法等を適用しても良い。
積層セラミックコンデンサは、例えば、以下のように作製される。上記のようにして得られた誘電体セラミックの原料粉末を用いてセラミックスラリーを作製する。そして、シート成形法等でセラミックグリーンシートを成形する。そして、複数のセラミックグリーンシートのうち所定のセラミックグリーンシート上に、内部電極となるべき導電性ペーストを印刷等で塗布する。そして、複数のセラミックグリーンシートを積層した後に圧着して、生の積層体を得る。そして、生の積層体を焼成する。この焼成する工程で、誘電体セラミックの原料粉末が焼成され、誘電体セラミックで構成される誘電体層が得られる。その後、積層体の端面に外部電極を焼き付け等で形成する。
次に、この発明に基づいて実施した実験例について説明する。
［実験例１］
実験例１では、チタン酸バリウムを主成分として、主成分に対してＬａ、Ｍｇ、及びＭｎの含有量を変化させた誘電体セラミックを用いて積層セラミックコンデンサを作製して、高温負荷寿命試験を実施した。
（Ａ）誘電体セラミックの原料粉末の作製
主成分の出発原料として、ＢａＣＯ3及びＴｉＯ2の各粉末を用意した。そして、これらをＴｉに対するＢａのモル比が１．０１となるように秤量して、水を媒体としてボールミルにより一定時間混合した。その後に１０００℃で仮焼して、粉砕して主成分のセラミック粉末を得た。
次に、副成分の出発原料として、Ｌａ2Ｏ3、ＭｇＣＯ3、ＭｎＣＯ3、及びＳｉＯ2の各粉末を用意した。そして、これらの粉末を主成分のセラミック粉末中のＴｉ１００モル部に対するＬａの含有量がａモル部、Ｍｇの含有量がｂモル部、Ｍｎの含有量がｃモル部、Ｓｉの含有量が１．５モル部となるように秤量して、主成分のセラミック粉末に配合して、ボールミルにより水中で混合した。その後、蒸発及び乾燥して，主成分に対してＬａ、Ｍｇ、及びＭｎの含有量を変化させた、誘電体セラミックの原料粉末を得た。表１に、各実験条件の試料における、ａ、ｂ、ｃの値を示す。
なお、得られた原料粉末をＩＣＰ発光分光分析したところ、表１に示した調合組成とほとんど同一であることが確認された。
（Ｂ）積層セラミックコンデンサの作製
まず、誘電体層となるべきセラミックグリーンシートを形成した。具体的には、上記の原料粉末に、ポリビニルブチラール系バインダ及びエタノールを加えて、ボールミルにより湿式混合した。そして、このスラリーをドクターブレード法によりシート状に成形して、セラミックグリーンシートを得た。
次に、生の積層体を形成した。具体的には、特定のセラミックグリーンシート上に、Ｎｉを主成分として含む導電性ペーストをスクリーン印刷し、内部電極となるべき導電性ペースト膜を形成した。そして、導電性ペースト膜が形成されたセラミックグリーンシートを、導電性ペースト膜の引き出されている側が互い違いになるように複数枚を積層した後に圧着して、生の積層体を得た。
次に、生の積層体を焼成した。具体的には、まず、還元雰囲気で３００℃の温度に加熱して、バインダを燃焼させた。その後、酸素分圧が１０-10ＭＰａのＨ2−Ｎ2−Ｈ2Ｏガスからなる還元性雰囲気中にて、１２５０℃の温度で３時間焼成した。
この焼成後の積層体を溶剤により溶解し、ＩＣＰ発光分光分析をしたところ、内部電極成分のＮｉを除いては、表１に示した調合組成と殆ど同一であることが確認された。
次に、外部電極を形成した。具体的には、積層体の両端面にＢ2Ｏ3−Ｌｉ2Ｏ−ＳｉＯ2−ＢａＯ系ガラスフリットを含有するＣｕペーストを塗布した。その後、窒素雰囲気中で８００℃の温度で加熱して、Ｃｕペーストを焼き付けた。
以上のようにして作製した積層セラミックコンデンサの外形寸法は、長さ１．６ｍｍ、幅３．２ｍｍ、厚さ０．７ｍｍであり、有効誘電体層の層数は１００層であり、誘電体層１層あたりの内部電極の対向面積は２．５ｍｍ2であった。また、内部電極間に介在する誘電体層の厚さは３．０μｍ、内部電極の厚さは０．８μｍであった。
（Ｃ）高温負荷寿命試験
得られた積層セラミックコンデンサについて、高温負荷寿命試験を実施した。
まず、各試料に係る積層セラミックコンデンサに、温度１５０℃にて、９０Ｖの電圧を印加して、その絶縁抵抗の経時変化を測定した。そして、１００個の試料で高温負荷寿命試験を実施し、絶縁抵抗値が１０ｋΩ以下になった試料を故障と判定し、故障時間のワイブル解析から５０％の平均故障時間（ＭＴＴＦ）を求めた。ここでは、ＭＴＴＦは５００時間以上を良好な条件とした。
表１に、各実験条件の試料における、高温負荷寿命試験のＭＴＴＦの結果を示す。なお、表１において、試料番号に*を付したものは、この発明の範囲外の試料である。
Figure 2012096223
試料番号１では、Ｔｉ１００モル部に対して、Ｌａの含有量が１．０モル部であり、ＭＴＴＦが小さい結果となった。また、試料番号５では、Ｌａの含有量が８．０モル部であり、ＭＴＴＦが小さい結果となった。
試料番号６では、Ｍｇの含有量が２．０モル部であり、ＭＴＴＦが小さい結果となった。また、試料番号１０では、Ｍｇの含有量が６．０モル部であり、ＭＴＴＦが小さい結果となった。
試料番号１１では、Ｍｎの含有量が０．５モル部であり、ＭＴＴＦが小さい結果となった。また、試料番号１４では、Ｍｎの含有量が３．５モル部であり、ＭＴＴＦが小さい結果となった。
一方、試料番号２〜４、７〜９、１２、１３では、Ｌａの含有量が２〜６モル部、Ｍｇの含有量が３〜５モル部、及びＭｎの含有量が１．５〜３モル部の範囲内であり、ＭＴＴＦが８８０時間以上という良好な寿命特性を示した。特に、試料番号３、４では、Ｌａの含有量が４〜６モル部であり、ＭＴＴＦも１３５０時間以上という良好な寿命特性を示した。
［実験例２］
実験例２では、Ｌａの含有量と、Ｒｅ（Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ）元素のＬａに対するモル比を変化させた誘電体セラミックを用いて積層セラミックコンデンサを作製した。
（Ａ）誘電体セラミックの原料粉末の作製
まず、実験例１と同様の方法で主成分のセラミック粉末を得た。
次に、副成分の出発原料として、実験例１で示した粉末の他に、Ｃｅ2Ｏ3、Ｐｒ2Ｏ3、Ｎｄ2Ｏ3、Ｓｍ2Ｏ3、Ｅｕ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3、Ｔｂ2Ｏ3、Ｄｙ2Ｏ3、Ｙ2Ｏ3、Ｈｏ2Ｏ3、Ｅｒ2Ｏ3、Ｔｍ2Ｏ3、Ｙｂ2Ｏ3、Ｌｕ2Ｏ3の各粉末を用意し、これらの粉末を主成分のセラミック粉末中のＴｉ１００モル部に対するＬａの含有量がａ1モル部、Ｒｅの含有量がａ2モル部、Ｍｇの含有量が３モル部、Ｍｎの含有量が２モル部、Ｓｉの含有量が１．５モル部となるように秤量して、主成分のセラミック粉末に配合して、誘電体セラミックの原料粉末を得た。表２に、各実験条件の試料における、ａ1、ａ2の値を示す。
なお、得られた原料粉末をＩＣＰ発光分光分析したところ、表２に示した調合組成とほとんど同一であることが確認された。
（Ｂ）積層セラミックコンデンサの作製
上記誘電体セラミックの原料粉末を用いて、実験例１と同様の方法で積層セラミックコンデンサを作製した。
焼成後の積層体を溶剤により溶解し、ＩＣＰ発光分光分析をしたところ、内部電極成分のＮｉを除いては、表２に示した調合組成と殆ど同一であることが確認された。
（Ｃ）高温負荷寿命試験
得られた積層セラミックコンデンサについて、実験例１と同様の方法で高温負荷寿命試験を実施した。表２に、各実験条件の試料における、高温負荷寿命試験のＭＴＴＦの結果を示す。
Figure 2012096223
試料番号２１〜３５はいずれの条件もＭＴＴＦが５１０時間以上の良好な寿命特性を示した。
特に、試料番号２１〜２４では、Ｃｅ、Ｐｒ、及びＮｄのＬａに対するモル比が０．２以下であり、ＭＴＴＦが８００時間以上となった。また、試料番号２６〜３０では、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｙ、Ｈｏ、及びＥｒのＬａに対するモル比が０．１以下であり、ＭＴＴＦが７９０時間以上となった。また、試料番号３２〜３４では、Ｔｍ、Ｙｂ、及びＬｕのＬａに対するモル比が０．０５以下であり、ＭＴＴＦが７００時間以上となった。
１ 積層セラミックコンデンサ
２ 誘電体層
３、４ 内部電極
５ 積層体
６、７ 外部電極

Claims (15)

  1. 積層されている複数の誘電体層と、前記誘電体層間の界面に沿って形成されている複数の内部電極と、を有する積層体と、前記積層体の外表面に形成され、前記内部電極と電気的に接続されている複数の外部電極と、を備える積層セラミックコンデンサにおいて、
    前記積層体の組成が、ＢａおよびＴｉを含むペロブスカイト型化合物（ただし、Ｂａの一部はＣａ及びＳｒの少なくとも一方で置換しても良く、Ｔｉの一部はＺｒで置換しても良い）を主成分とし、さらに、Ｌａ、ＭｇおよびＭｎを含み、
    前記積層体を溶剤により溶解したときのＴｉおよびＺｒの合計含有量を１００モル部としたときの、各元素の含有モル部が、
    Ｌａ：２〜６モル部、
    Ｍｇ：３〜５モル部、
    Ｍｎ：１．５〜３モル部
    であることを特徴とする積層セラミックコンデンサ。
  2. 前記積層体を溶剤により溶解したときのＴｉおよびＺｒの合計含有量を１００モル部としたときの、Ｌａの含有モル部が４〜６モル部であることを特徴とする、請求項１に記載の積層セラミックコンデンサ。
  3. 前記積層体を溶剤により溶解したときのＬａの含有量を１００モル部としたときの、Ｃｅ、Ｐｒ、およびＮｄの合計含有量が２０モル部以下（０モル部を含む）であることを特徴とする、請求項１または２に記載の積層セラミックコンデンサ。
  4. 前記積層体を溶剤により溶解したときのＬａの含有量を１００モル部としたときの、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｙ、Ｈｏ、およびＥｒの合計含有量が１０モル部以下（０モル部を含む）であることを特徴とする、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の積層セラミックコンデンサ。
  5. 前記積層体を溶剤により溶解したときのＬａの含有量を１００モル部としたときの、Ｔｍ、Ｙｂ、およびＬｕの合計含有量が５モル部以下（０モル部を含む）であることを特徴とする、請求項１ないし４のいずれか１項に記載の積層セラミックコンデンサ。
  6. 積層されている複数の誘電体層と、前記誘電体層間の界面に沿って形成されている複数の内部電極と、を有する積層体と、前記積層体の外表面に形成され、前記内部電極と電気的に接続されている複数の外部電極と、を備える積層セラミックコンデンサにおいて、
    前記誘電体層の組成が、ＢａおよびＴｉを含むペロブスカイト型化合物（ただし、Ｂａの一部はＣａ及びＳｒの少なくとも一方で置換しても良く、Ｔｉの一部はＺｒで置換しても良い）を主成分とし、さらに、Ｌａ、ＭｇおよびＭｎを含み、
    ＴｉおよびＺｒの合計含有量を１００モル部としたときの、各元素の含有モル部が、
    Ｌａ：２〜６モル部、
    Ｍｇ：３〜５モル部、
    Ｍｎ：１．５〜３モル部
    であることを特徴とする積層セラミックコンデンサ。
  7. 前記誘電体層の組成が、ＴｉおよびＺｒの合計含有量を１００モル部としたときの、Ｌａの含有モル部が４〜６モル部であることを特徴とする、請求項６に記載の積層セラミックコンデンサ。
  8. 前記誘電体層の組成が、Ｌａの含有量を１００モル部としたときの、Ｃｅ、Ｐｒ、およびＮｄの合計含有量が２０モル部以下（０モル部を含む）であることを特徴とする、請求項６または７に記載の積層セラミックコンデンサ。
  9. 前記誘電体層の組成が、Ｌａの含有量を１００モル部としたときの、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｙ、Ｈｏ、およびＥｒの合計含有量が１０モル部以下（０モル部を含む）であることを特徴とする、請求項６ないし８のいずれか１項に記載の積層セラミックコンデンサ。
  10. 前記誘電体層の組成が、Ｌａの含有量を１００モル部としたときの、Ｔｍ、Ｙｂ、およびＬｕの合計含有量が５モル部以下（０モル部を含む）であることを特徴とする、請求項６ないし９のいずれか１項に記載の積層セラミックコンデンサ。
  11. ＢａおよびＴｉを含むペロブスカイト型化合物（ただし、Ｂａの一部はＣａ及びＳｒの少なくとも一方で置換しても良く、Ｔｉの一部はＺｒで置換しても良い）を主成分とする主成分粉末を用意する工程と、
    Ｌａ化合物、Ｍｇ化合物、Ｍｎ化合物を用意する工程と、
    前記主成分粉末、前記Ｌａ化合物、Ｍｇ化合物、Ｍｎ化合物を混合し、その後、セラミックスラリーを得る工程と、
    前記セラミックスラリーからセラミックグリーンシートを得る工程と、
    前記セラミックグリーンシートと、内部電極層と、を積み重ねて焼成前の積層体を得る工程と、
    前記焼成前の積層体を焼成して、誘電体層間に内部電極が形成された積層体を得る工程と、
    を備える積層セラミックコンデンサの製造方法であって、
    ＴｉおよびＺｒの合計含有量を１００モル部としたときの、各元素の含有モル部が、
    Ｌａ：２〜６モル部、
    Ｍｇ：３〜５モル部、
    Ｍｎ：１．５〜３モル部
    であることを特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
  12. ＴｉおよびＺｒの合計含有量を１００モル部としたときの、Ｌａの含有モル部が４〜６モル部であることを特徴とする、請求項１１に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
  13. Ｌａの含有量を１００モル部としたときの、Ｃｅ、Ｐｒ、およびＮｄの合計含有量が２０モル部以下（０モル部を含む）であることを特徴とする、請求項１１または１２に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
  14. Ｌａの含有量を１００モル部としたときの、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｙ、Ｈｏ、およびＥｒの合計含有量が１０モル部以下（０モル部を含む）であることを特徴とする、請求項１１ないし１３のいずれか１項に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
  15. Ｌａの含有量を１００モル部としたときの、Ｔｍ、Ｙｂ、およびＬｕの合計含有量が５モル部以下（０モル部を含む）であることを特徴とする、請求項１１ないし１４のいずれか１項に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
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