KR20130122770A - 적층 세라믹 콘덴서 및 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법 - Google Patents

적층 세라믹 콘덴서 및 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법 Download PDF

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KR20130122770A
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가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
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Abstract

유전체가 보다 한층 박층화되어도, 고온 부하 시험의 수명 특성이 뛰어난 적층 세라믹 콘덴서를 제공한다.
적층 세라믹 콘덴서(1)의 유전체층(2)을 구성하는 유전체 세라믹으로서, Ba 및 Ti를 포함하는 페로브스카이트형 화합물(단, Ba의 일부는 Ca 및 Sr의 적어도 한쪽으로 치환해도 되고, Ti의 일부는 Zr로 치환해도 된다)을 주성분으로 하고, 상기 Ti 및 Zr의 합계 함유량을 100몰부로 했을 때, La를 2~6몰부, Mg를 3~5몰부, Mn을 1.5~3몰부의 범위로 함유하는 것을 사용한다.

Description

적층 세라믹 콘덴서 및 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법{MULTILAYER CERAMIC CAPACITOR AND METHOD FOR MANUFACTURING MULTILAYER CERAMIC CAPACITOR}
본 발명은 적층 세라믹 콘덴서에 관한 것이다. 또한 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법에 관한 것이다.
대표적인 세라믹 전자부품의 하나인 적층 세라믹 콘덴서는, 일반적으로 적층되어 있는 복수의 유전체층과, 유전체층간의 계면을 따라 형성되어 있는 복수의 내부전극을 가지는 적층체와, 적층체의 외표면에 형성되어, 내부전극과 전기적으로 접속되어 있는 복수의 외부전극을 구비하고 있다.
최근의 일렉트로닉스 기술의 진전에 수반하여, 적층 세라믹 콘덴서에는 소형화와 동시에 대용량화가 요구되고 있다. 이들 요구를 만족하기 위해, 적층 세라믹 콘덴서의 유전체층의 박층화가 진행되고 있다. 그러나 유전체층을 박층화하면, 1층당에 가해지는 전계 강도가 상대적으로 높아진다. 따라서, 유전체층에 사용되는 유전체 세라믹에 대해서는, 전압 인가시에 있어서의 신뢰성, 특히 고온 부하 시험의 수명 특성의 향상이 요구된다.
유전체층을 구성하는 유전체 세라믹으로서는, 예를 들면 특허문헌 1에 기재된 것이 알려져 있다. 특허문헌 1에는, 미반응의 BaO의 함유량이 0.7중량%이하이면서 Ba/Ti 몰비가 1.005~1.025인 BaTiO3이 95.0~98.0몰%와, La, Nd, Sm, Dy, Er 중에서 선택되는 적어도 1종류의 희토류 산화물이 2.0~5.0몰%로 이루어지는 주성분 100중량부에 대하여, 부성분으로서 MnO를 0.3~1.5중량부 및 BaO-SrO-Li2O-SiO2를 주성분으로 하는 산화물 유리를 0.5~2.5중량부 함유한 유전체 세라믹이 기재되어 있다.
일본국 공개특허공보 평4-169003호
그런데, 특허문헌 1에는 유전체층을 박층화했을 경우에 대한 기재가 없다. 따라서, 특허문헌 1에 기재된 유전체 세라믹이, 박층화가 진행된 최근의 적층 세라믹 콘덴서의 유전체층으로서 사용된 경우에, 전압 인가시에 있어서의 신뢰성이 높은지 아닌지는 불분명하다.
본 발명은 이러한 과제에 비추어 이루어진 것으로, 유전체층이 보다 한층 박층화하고, 고전계 강도의 전압이 인가되어도, 양호한 유전 특성을 가지고, 고온 부하 시험의 수명 특성이 뛰어난 적층 세라믹 콘덴서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 적층 세라믹 콘덴서(청구항 1에 따른 적층 세라믹 콘덴서)는, 적층되어 있는 복수의 유전체층과, 유전체층간의 계면을 따라 형성되어 있는 복수의 내부전극을 가지는 적층체와, 적층체의 외표면에 형성되고, 내부전극과 전기적으로 접속되어 있는 복수의 외부전극을 구비하며, 적층체의 조성이 Ba 및 Ti를 포함하는 페로브스카이트형 화합물(단, Ba의 일부는 Ca 및 Sr의 적어도 한쪽으로 치환해도 되고, Ti의 일부는 Zr로 치환해도 된다)을 주성분으로 하고, 또한 La, Mg 및 Mn을 포함하며, 적층체를 용제에 의해 용해했을 때의 Ti 및 Zr의 합계 함유량을 100몰부로 했을 때의, 각 원소의 함유 몰부가 La: 2~6몰부, Mg: 3~5몰부, Mn: 1.5~3몰부인 것을 특징으로 하고 있다.
또한 본 발명에 따른 적층 세라믹 콘덴서(청구항 6에 따른 적층 세라믹 콘덴서)는, 적층되어 있는 복수의 유전체층과, 유전체층간의 계면을 따라 형성되어 있는 복수의 내부전극을 가지는 적층체와, 적층체의 외표면에 형성되고, 내부전극과 전기적으로 접속되어 있는 복수의 외부전극을 구비하며, 유전체층의 조성이 Ba 및 Ti를 포함하는 페로브스카이트형 화합물(단, Ba의 일부는 Ca 및 Sr의 적어도 한쪽으로 치환해도 되고, Ti의 일부는 Zr로 치환해도 된다)을 주성분으로 하고, 또한 La, Mg 및 Mn을 포함하며, Ti 및 Zr의 합계 함유량을 100몰부로 했을 때의 각 원소의 함유 몰부가 La: 2~6몰부, Mg: 3~5몰부, Mn: 1.5~3몰부인 것을 특징으로 하고 있다.
또한 본 발명에 따른 유전체 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법(청구항 11에 따른 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법)은, Ba 및 Ti를 포함하는 페로브스카이트형 화합물(단, Ba의 일부는 Ca 및 Sr의 적어도 한쪽으로 치환해도 되고, Ti의 일부는 Zr로 치환해도 된다)을 주성분으로 하는 주성분 분말을 준비하는 공정과, La 화합물, Mg 화합물, Mn 화합물을 준비하는 공정과, 주성분 분말, La 화합물, Mg 화합물, Mn 화합물을 혼합하고, 그 후, 세라믹 슬러리를 얻는 공정과, 세라믹 슬러리로부터 세라믹 그린시트를 얻는 공정과, 세라믹 그린시트와, 내부전극층을 포개어 소성 전의 적층체를 얻는 공정과, 소성 전의 적층체를 소성하여, 유전체층간에 내부전극이 형성된 적층체를 얻는 공정을 구비하고, Ti 및 Zr의 합계 함유량을 100몰부로 했을 때의, 각 원소의 함유 몰부가 La: 2~6몰부, Mg: 3~5몰부, Mn: 1.5~3몰부인 것을 특징으로 하고 있다.
또한 상술한 본 발명에 따른 적층 세라믹 콘덴서 또는 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법에 있어서는, Ti 및 Zr의 합계 함유량을 100몰부로 했을 때의 La의 함유 몰부가 4~6몰부인 것이 바람직하다.
또한 La의 함유량을 100몰부로 했을 때의 Ce, Pr, 및 Nd의 합계 함유량이 20몰부 이하(0몰부를 포함)인 것이 바람직하다.
또한 La의 함유량을 100몰부로 했을 때의 Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Y, Ho, 및 Er의 합계 함유량이 10몰부 이하(0몰부를 포함)인 것이 바람직하다.
또한 La의 함유량을 100몰부로 했을 때의 Tm, Yb, 및 Lu의 합계 함유량이 5몰부 이하(0몰부를 포함)인 것이 바람직하다.
이 발명에 따른 유전체 세라믹에 의하면, 상기와 같은 조성을 가짐으로써, 유전체층이 보다 한층 박층화하고, 고전계 강도의 전압이 인가되어도, 양호한 유전 특성을 가지며, 고온 부하 시험의 수명 특성이 뛰어난 적층 세라믹 콘덴서를 제공하는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명에 따른 적층 세라믹 콘덴서를 나타내는 단면도이다.
이하에 있어서, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 적층 세라믹 콘덴서의 단면도이다.
적층 세라믹 콘덴서(1)는 적층체(5)를 구비하고 있다. 적층체(5)는 적층되어 있는 복수의 유전체층(2)과, 복수의 유전체층(2)간의 계면을 따라 형성되어 있는 복수의 내부전극(3 및 4)을 구비하고 있다. 내부전극(3 및 4)의 재질로서는, 예를 들면 Ni를 주성분으로 하는 것을 들 수 있다.
적층체(5)의 외표면상의 서로 다른 위치에는 외부전극(6 및 7)이 형성되어 있다. 외부전극(6 및 7)의 재질로서는 예를 들면 Ag 또는 Cu를 주성분으로 하는 것을 들 수 있다. 도 1에 나타낸 적층 세라믹 콘덴서에서는, 외부전극(6 및 7)은 적층체(5)의 서로 대향하는 각 단면(端面)상에 형성되어 있다. 내부전극(3 및 4)은 각각 외부전극(6 및 7)과 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 내부전극(3 및 4)은 적층체(5)의 내부에 있어서 유전체층(2)을 통해 교대로 적층되어 있다.
또한 적층 세라믹 콘덴서(1)는 2개의 외부전극(6 및 7)을 구비하는 2단자형의 것이어도, 다수의 외부전극을 구비하는 다단자형의 것이어도 된다.
유전체층(2)은 Ba 및 Ti를 포함하는 페로브스카이트형 화합물(단, Ba의 일부는 Ca 및 Sr의 적어도 한쪽으로 치환해도 되고, Ti의 일부는 Zr로 치환해도 된다)을 주성분으로 하고, Ti 및 Zr의 합계 함유량을 100몰부로 했을 때, La를 2~6몰부, Mg를 3~5몰부, Mn을 1.5~3몰부의 범위로 함유하고 있는 유전체 세라믹으로 구성되어 있다. 이와 같이, 주성분에 대하여, La와 Mg와 Mn을 일정량의 범위로 동시에 함유하고 있을 경우에는, 고온 부하 시험의 수명 특성이 뛰어난 적층 세라믹 콘덴서가 얻어진다.
또한 Ti 및 Zr의 합계 함유량을 100몰부로 했을 때, La를 4~6몰부의 범위로 함유하는 것이 보다 바람직하다. 이 경우에는, 고온 부하 시험의 수명 특성의 보다 뛰어난 적층 세라믹 콘덴서가 얻어진다.
또한 La의 함유량을 100몰부로 했을 때, Ce, Pr, 및 Nd의 합계 함유량이 20몰부 이하(0몰부를 포함)인 것이 바람직하다. 또한 La의 함유량을 100몰부로 했을 때, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Y, Ho, 및 Er의 합계 함유량이 10몰부 이하(0몰부를 포함)인 것이 바람직하다. 또한 La의 함유량을 100몰부로 했을 때, Tm, Yb, 및 Lu의 합계 함유량이 5몰부 이하(0몰부를 포함)인 것이 바람직하다. 이들의 경우에도, 고온 부하 시험의 수명 특성이 보다 뛰어난 적층 세라믹 콘덴서가 얻어진다.
또한 Ba와 Ca와 Sr의 합계의 Ti와 Zr의 합계에 대한 몰비는 적절히 설정되고, 바람직하게는 0.98~1.05의 범위에서 선택된다.
유전체 세라믹의 원료 분말은 예를 들면 고상(固相) 합성법으로 제작된다. 구체적으로는, 우선 주성분의 구성 원소를 포함하는 산화물, 탄산물, 염화물, 금속 유기 화합물 등의 화합물 분말을 소정의 비율로 혼합하고, 하소(calcination)한다. 또한 고상 합성법 외에 공침법(共沈法)이나 수열법(水熱法)이나 옥살산법 등을 적용해도 된다.
적층 세라믹 콘덴서는 예를 들면 이하와 같이 제작된다. 상기와 같이 하여 얻어진 유전체 세라믹의 원료 분말을 사용하여 세라믹 슬러리를 제작한다. 그리고, 시트 성형법 등으로 세라믹 그린시트를 성형한다. 그리고, 복수의 세라믹 그린시트 중 소정의 세라믹 그린시트상에, 내부전극이 될 도전성 페이스트를 인쇄 등으로 도포한다. 그리고, 복수의 세라믹 그린시트를 적층한 후에 압착하여, 소성 전의 적층체를 얻는다. 그리고, 소성 전의 적층체를 소성한다. 이 소성하는 공정에서, 유전체 세라믹의 원료 분말이 소성되어, 유전체 세라믹으로 구성되는 유전체층이 얻어진다. 그 후, 적층체의 단면에 외부전극을 베이킹 등으로 형성한다.
다음으로, 이 발명에 근거하여 실시한 실험예에 대하여 설명한다.
[실험예 1]
실험예 1에서는, 티탄산바륨을 주성분으로 하고, 주성분에 대하여 La, Mg, 및 Mn의 함유량을 변화시킨 유전체 세라믹을 사용하여 적층 세라믹 콘덴서를 제작하여, 고온 부하 수명 시험을 실시하였다.
(A)유전체 세라믹의 원료 분말의 제작
주성분의 출발 원료로서, BaCO3 및 TiO2의 각 분말을 준비하였다. 그리고, 이들을 Ti에 대한 Ba의 몰비가 1.01이 되도록 칭량하고, 물을 매체로 하여 볼밀에 의해 일정 시간 혼합하였다. 그 후에 1000℃로 하소하고, 분쇄하여 주성분의 세라믹 분말을 얻었다.
다음으로, 부성분의 출발 원료로서 La2O3, MgCO3, MnCO3, 및 SiO2의 각 분말을 준비하였다. 그리고, 이들 분말을 주성분의 세라믹 분말 중의 Ti 100몰부에 대한 La의 함유량이 a몰부, Mg의 함유량이 b몰부, Mn의 함유량이 c몰부, Si의 함유량이 1.5몰부가 되도록 칭량하고, 주성분의 세라믹 분말에 배합하여, 볼밀에 의해 수중에서 혼합하였다. 그 후, 증발 및 건조하고, 주성분에 대하여 La, Mg, 및 Mn의 함유량을 변화시킨 유전체 세라믹의 원료 분말을 얻었다. 표 1에 각 실험 조건의 시료에 있어서의 a, b, c의 값을 나타낸다.
또한 얻어진 원료 분말을 ICP 발광 분광 분석한 바, 표 1에 나타낸 조합(調合) 조성과 거의 동일한 것이 확인되었다.
(B)적층 세라믹 콘덴서의 제작
우선, 유전체층이 될 세라믹 그린시트를 형성하였다. 구체적으로는, 상기의 원료 분말에 폴리비닐부티랄계 바인더 및 에탄올을 첨가하고, 볼밀에 의해 습식 혼합하였다. 그리고, 이 슬러리를 닥터 블레이드법에 의해 시트상으로 성형하여, 세라믹 그린시트를 얻었다.
다음으로, 소성 전의 적층체를 형성하였다. 구체적으로는, 특정 세라믹 그린시트상에, Ni를 주성분으로서 포함하는 도전성 페이스트를 스크린 인쇄하여, 내부전극이 될 도전성 페이스트막을 형성하였다. 그리고, 도전성 페이스트막이 형성된 세라믹 그린시트를, 도전성 페이스트막의 인출되어 있는 측이 서로 엇갈리도록 복수장을 적층한 후에 압착하여, 소성 전의 적층체를 얻었다.
다음으로, 소성 전의 적층체를 소성하였다. 구체적으로는, 우선, 환원 분위기에서 300℃의 온도로 가열하여, 바인더를 연소시켰다. 그 후, 산소 분압이 10-10MPa의 H2-N2-H2O 가스로 이루어지는 환원성 분위기 중에서, 1250℃의 온도에서 3시간 소성하였다.
이 소성 후의 적층체를 용제에 의해 용해하고, ICP 발광 분광 분석을 한 바, 내부전극 성분의 Ni를 제외하고는, 표 1에 나타낸 조합 조성과 거의 동일한 것이 확인되었다.
다음으로, 외부전극을 형성하였다. 구체적으로는, 적층체의 양 단면에 B2O3-Li2O-SiO2-BaO계 유리 프릿을 함유하는 Cu 페이스트를 도포하였다. 그 후, 질소 분위기 중에서 800℃의 온도로 가열하여, Cu 페이스트를 베이킹하였다.
이상과 같이 하여 제작한 적층 세라믹 콘덴서의 외형 치수는 길이 1.6mm, 폭 3.2mm, 두께 0.7mm이고, 유효 유전체층의 층수는 100층이며, 유전체층 1층당의 내부전극의 대향 면적은 2.5mm2였다. 또한 내부전극간에 개재하는 유전체층의 두께는 3.0㎛, 내부전극의 두께는 0.8㎛였다.
(C)고온 부하 수명 시험
얻어진 적층 세라믹 콘덴서에 대하여, 고온 부하 수명 시험을 실시하였다.
우선, 각 시료에 따른 적층 세라믹 콘덴서에, 온도 150℃에서, 90V의 전압을 인가하여, 그 절연 저항의 경시 변화를 측정하였다. 그리고, 100개의 시료로 고온 부하 수명 시험을 실시하고, 절연 저항치가 10kΩ이하가 된 시료를 고장이라 판정하여, 고장 시간의 와이불(Weibull) 해석으로부터 50%의 평균 고장 시간(MTTF)을 구하였다. 여기서는, MTTF는 500시간 이상을 양호한 조건으로 하였다.
표 1에, 각 실험 조건의 시료에 있어서의, 고온 부하 수명 시험의 MTTF의 결과를 나타낸다. 또한 표 1에 있어서, 시료번호에 *를 붙인 것은 이 발명의 범위 외의 시료이다.
Figure pct00001
시료번호 1에서는, Ti 100몰부에 대하여, La의 함유량이 1.0몰부이며, MTTF가 작은 결과가 되었다. 또한 시료번호 5에서는, La의 함유량이 8.0몰부이며, MTTF가 작은 결과가 되었다.
시료번호 6에서는, Mg의 함유량이 2.0몰부이며, MTTF가 작은 결과가 되었다. 또한 시료번호 10에서는, Mg의 함유량이 6.0몰부이며, MTTF가 작은 결과가 되었다.
시료번호 11에서는, Mn의 함유량이 0.5몰부이며, MTTF가 작은 결과가 되었다. 또한 시료번호 14에서는, Mn의 함유량이 3.5몰부이며, MTTF가 작은 결과가 되었다.
한편, 시료번호 2~4, 7~9, 12, 13에서는, La의 함유량이 2~6몰부, Mg의 함유량이 3~5몰부, 및 Mn의 함유량이 1.5~3몰부의 범위 내이며, MTTF가 880시간 이상이라고 하는 양호한 수명 특성을 나타내었다. 특히, 시료번호 3, 4에서는, La의 함유량이 4~6몰부이며, MTTF도 1350시간 이상이라고 하는 양호한 수명 특성을 나타내었다.
[실험예 2]
실험예 2에서는, La의 함유량과, Re(Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Y, Ho, Er, Tm, Yb, Lu) 원소의 La에 대한 몰비를 변화시킨 유전체 세라믹을 사용하여 적층 세라믹 콘덴서를 제작하였다.
(A)유전체 세라믹의 원료 분말의 제작
우선, 실험예 1과 동일한 방법으로 주성분의 세라믹 분말을 얻었다.
다음으로, 부성분의 출발 원료로서, 실험예 1에서 나타낸 분말 외에 Ce2O3, Pr2O3, Nd2O3, Sm2O3, Eu2O3, Gd2O3, Tb2O3, Dy2O3, Y2O3, Ho2O3, Er2O3, Tm2O3, Yb2O3, Lu2O3의 각 분말을 준비하고, 이들 분말을 주성분의 세라믹 분말 중의 Ti 100몰부에 대한 La의 함유량이 a1몰부, Re의 함유량이 a2몰부, Mg의 함유량이 3몰부, Mn의 함유량이 2몰부, Si의 함유량이 1.5몰부가 되도록 칭량하고, 주성분의 세라믹 분말에 배합하여, 유전체 세라믹의 원료 분말을 얻었다. 표 2에 각 실험 조건의 시료에 있어서의 a1, a2의 값을 나타낸다.
또한 얻어진 원료 분말을 ICP 발광 분광 분석한 바, 표 2에 나타낸 조합 조성과 거의 동일한 것이 확인되었다.
(B)적층 세라믹 콘덴서의 제작
상기 유전체 세라믹의 원료 분말을 사용하여, 실험예 1과 동일한 방법으로 적층 세라믹 콘덴서를 제작하였다.
소성 후의 적층체를 용제에 의해 용해하고, ICP 발광 분광 분석을 한 바, 내부전극 성분의 Ni를 제외하고는, 표 2에 나타낸 조합 조성과 거의 동일한 것이 확인되었다.
(C)고온 부하 수명 시험
얻어진 적층 세라믹 콘덴서에 대하여, 실험예 1과 동일한 방법으로 고온 부하 수명 시험을 실시하였다. 표 2에 각 실험 조건의 시료에 있어서의 고온 부하 수명 시험의 MTTF의 결과를 나타낸다.
Figure pct00002
시료번호 21~35는 어느 조건도 MTTF가 510시간 이상의 양호한 수명 특성을 나타내었다.
특히, 시료번호 21~24에서는, Ce, Pr, 및 Nd의 La에 대한 몰비가 0.2 이하이며, MTTF가 800시간 이상이 되었다. 또한 시료번호 26~30에서는, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Y, Ho, 및 Er의 La에 대한 몰비가 0.1 이하이고, MTTF가 790시간 이상이 되었다. 또한 시료번호 32~34에서는, Tm, Yb, 및 Lu의 La에 대한 몰비가 0.05 이하이며, MTTF가 700시간 이상이 되었다.
1: 적층 세라믹 콘덴서 2: 유전체층
3, 4: 내부전극 5: 적층체
6, 7: 외부전극

Claims (15)

  1. 적층되어 있는 복수의 유전체층과, 상기 유전체층간의 계면을 따라 형성되어 있는 복수의 내부전극을 가지는 적층체와, 상기 적층체의 외표면에 형성되고, 상기 내부전극과 전기적으로 접속되어 있는 복수의 외부전극을 구비하는 적층 세라믹 콘덴서에 있어서,
    상기 적층체의 조성이, Ba 및 Ti를 포함하는 페로브스카이트형 화합물(단, Ba의 일부는 Ca 및 Sr의 적어도 한쪽으로 치환해도 되고, Ti의 일부는 Zr로 치환해도 된다)을 주성분으로 하고, 또한 La, Mg 및 Mn을 포함하며,
    상기 적층체를 용제에 의해 용해했을 때의 Ti 및 Zr의 합계 함유량을 100몰부로 했을 때의, 각 원소의 함유 몰부가,
    La: 2~6몰부,
    Mg: 3~5몰부,
    Mn: 1.5~3몰부
    인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 적층체를 용제에 의해 용해했을 때의 Ti 및 Zr의 합계 함유량을 100몰부로 했을 때의, La의 함유 몰부가 4~6몰부인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 적층체를 용제에 의해 용해했을 때의 La의 함유량을 100몰부로 했을 때의, Ce, Pr, 및 Nd의 합계 함유량이 20몰부 이하(0몰부를 포함)인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적층체를 용제에 의해 용해했을 때의 La의 함유량을 100몰부로 했을 때의, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Y, Ho, 및 Er의 합계 함유량이 10몰부 이하(0몰부를 포함)인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적층체를 용제에 의해 용해했을 때의 La의 함유량을 100몰부로 했을 때의, Tm, Yb, 및 Lu의 합계 함유량이 5몰부 이하(0몰부를 포함)인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서.
  6. 적층되어 있는 복수의 유전체층과, 상기 유전체층간의 계면을 따라 형성되어 있는 복수의 내부전극을 가지는 적층체와, 상기 적층체의 외표면에 형성되고, 상기 내부전극과 전기적으로 접속되어 있는 복수의 외부전극을 구비하는 적층 세라믹 콘덴서에 있어서,
    상기 유전체층의 조성이, Ba 및 Ti를 포함하는 페로브스카이트형 화합물(단, Ba의 일부는 Ca 및 Sr의 적어도 한쪽으로 치환해도 되고, Ti의 일부는 Zr로 치환해도 된다)을 주성분으로 하고, 또한 La, Mg 및 Mn을 포함하며,
    Ti 및 Zr의 합계 함유량을 100몰부로 했을 때의 각 원소의 함유 몰부가,
    La: 2~6몰부,
    Mg: 3~5몰부,
    Mn: 1.5~3몰부
    인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 유전체층의 조성이, Ti 및 Zr의 합계 함유량을 100몰부로 했을 때의, La의 함유 몰부가 4~6몰부인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 유전체층의 조성이, La의 함유량을 100몰부로 했을 때의, Ce, Pr, 및 Nd의 합계 함유량이 20몰부 이하(0몰부를 포함)인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서.
  9. 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유전체층의 조성이, La의 함유량을 100몰부로 했을 때의, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Y, Ho, 및 Er의 합계 함유량이 10몰부 이하(0몰부를 포함)인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서.
  10. 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유전체층의 조성이, La의 함유량을 100몰부로 했을 때의, Tm, Yb, 및 Lu의 합계 함유량이 5몰부 이하(0몰부를 포함)인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서.
  11. Ba 및 Ti를 포함하는 페로브스카이트형 화합물(단, Ba의 일부는 Ca 및 Sr의 적어도 한쪽으로 치환해도 되고, Ti의 일부는 Zr로 치환해도 된다)을 주성분으로 하는 주성분 분말을 준비하는 공정과,
    La 화합물, Mg 화합물, Mn 화합물을 준비하는 공정과,
    상기 주성분 분말, 상기 La 화합물, Mg 화합물, Mn 화합물을 혼합하고, 그 후, 세라믹 슬러리를 얻는 공정과,
    상기 세라믹 슬러리로부터 세라믹 그린시트를 얻는 공정과,
    상기 세라믹 그린시트와, 내부전극층을 포개어 소성 전의 적층체를 얻는 공정과,
    상기 소성 전의 적층체를 소성하여, 유전체층간에 내부전극이 형성된 적층체를 얻는 공정을 구비하는 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법으로서,
    Ti 및 Zr의 합계 함유량을 100몰부로 했을 때의, 각 원소의 함유 몰부가,
    La: 2~6몰부,
    Mg: 3~5몰부,
    Mn: 1.5~3몰부
    인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    Ti 및 Zr의 합계 함유량을 100몰부로 했을 때의, La의 함유 몰부가 4~6몰부인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법.
  13. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    La의 함유량을 100몰부로 했을 때의, Ce, Pr, 및 Nd의 합계 함유량이 20몰부 이하(0몰부를 포함)인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법.
  14. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    La의 함유량을 100몰부로 했을 때의, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Y, Ho, 및 Er의 합계 함유량이 10몰부 이하(0몰부를 포함)인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법.
  15. 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    La의 함유량을 100몰부로 했을 때의, Tm, Yb, 및 Lu의 합계 함유량이 5몰부 이하(0몰부를 포함)인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11869720B2 (en) 2019-09-20 2024-01-09 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Dielectric composition and multilayer electronic component including the same

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6281502B2 (ja) 2014-06-12 2018-02-21 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ
CN106145932B (zh) * 2015-04-14 2019-05-14 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种高介电常数的多层陶瓷电容器介质材料及其制备方法
JP2018022750A (ja) * 2016-08-02 2018-02-08 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサ
DE102016219109A1 (de) 2016-09-30 2018-04-05 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Partikel aus einem feuerfesten keramischen Werkstoff zur Beeinflussung der Rissbildung in Hochtemperaturwerkstoffen und Verfahren zu ihrer Herstellung
CN113354410B (zh) * 2021-06-01 2022-02-11 潮州三环(集团)股份有限公司 一种陶瓷材料及其制备方法与应用

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0825795B2 (ja) * 1986-10-21 1996-03-13 京セラ株式会社 非還元性誘電体磁器組成物
JP2869900B2 (ja) 1990-10-31 1999-03-10 株式会社村田製作所 非還元性誘電体磁器組成物
CN1092391C (zh) * 1994-10-19 2002-10-09 Tdk株式会社 多层瓷介片状电容器
WO2005082807A1 (ja) 2004-02-27 2005-09-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. 誘電体セラミック組成物及び積層セラミックコンデンサ
ATE519718T1 (de) 2004-07-08 2011-08-15 Murata Manufacturing Co Dielektrische keramikzusammensetzung und keramik- schichtkondensator
JP4797693B2 (ja) * 2006-02-27 2011-10-19 株式会社村田製作所 誘電体セラミック組成物、およびそれを用いた積層セラミックコンデンサ
WO2008068999A1 (ja) * 2006-12-05 2008-06-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. 誘電体セラミックおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ
JP5307554B2 (ja) * 2006-12-21 2013-10-02 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ
JP4858248B2 (ja) * 2007-03-14 2012-01-18 Tdk株式会社 誘電体磁器組成物および電子部品
JP5217742B2 (ja) * 2008-07-31 2013-06-19 Tdk株式会社 誘電体磁器組成物および電子部品
CN102149653A (zh) * 2008-09-24 2011-08-10 株式会社村田制作所 电介体陶瓷组合物及层叠陶瓷电容器
JP5067401B2 (ja) * 2009-06-30 2012-11-07 株式会社村田製作所 誘電体セラミックおよびその製造方法ならびに積層セラミックコンデンサ
JP2011162397A (ja) * 2010-02-09 2011-08-25 Tdk Corp 誘電体磁器組成物の製造方法および電子部品の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11869720B2 (en) 2019-09-20 2024-01-09 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Dielectric composition and multilayer electronic component including the same

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