JP2011184251A - 誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ - Google Patents

Abstract

【課題】高電界強度の電圧が印加されても良好な誘電特性を有し、高温負荷試験の寿命特性が優れた積層セラミックコンデンサを提供する。
【解決手段】本発明に係る誘電体セラミックは、主成分としてＡＢＯ₃（ただし、Ａは、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒのうちの少なくとも１種であり、Ｂは、Ｔｉ、ＺｒおよびＨｆのうちの少なくとも１種である。）を含み、副成分としてＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂を含むことを特徴としている。
【選択図】 図１

Description

本発明は誘電体セラミックに関する。また、本発明は該誘電体セラミックを使用して製造された積層セラミックコンデンサに関する。

近年のエレクトロニクス技術の進展に伴い、積層セラミックコンデンサには小型化かつ大容量化が要求されている。これらの要求を満たすため、積層セラミックコンデンサの誘電体層の薄層化が進められている。しかし、誘電体層を薄層化すると、１層あたりにかかる電界強度が相対的に高くなる。よって、誘電体層に用いられる誘電体セラミックに対しては、電圧印加時における信頼性の向上が求められる。

例えば、特許文献１には、チタン酸バリウムと、アルカリ土類酸化物と、酸化ケイ素を含むガラスと、を含む誘電体セラミックが記載されている。そして、誘電体層を薄層化しても信頼性の高い誘電体セラミックが得られるとしている。

特開２００３−６３８６２号公報

ところが、特許文献１に開示の組成で積層セラミックコンデンサを作製した際に、誘電体層の厚みを１μｍ程度にまで薄層化してくると、高温負荷試験の寿命特性が低下するという問題点があった。

本発明はかかる課題に鑑みてなされたものであって、誘電体層がより一層薄層化し、高電界強度の電圧が印加されても、良好な誘電特性を有し、高温負荷試験の寿命特性が優れた積層セラミックコンデンサを提供することを目的とする。

本発明に係る誘電体セラミックは、主成分としてＡＢＯ₃（ただし、Ａは、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒのうちの少なくとも１種であり、Ｂは、Ｔｉ、ＺｒおよびＨｆのうちの少なくとも１種である。）を含み、副成分としてＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂を含むことを特徴としている。

また、本発明に係る誘電体セラミックは、前記ＡＢＯ₃におけるＡはＢａを含み、前記ＡＢＯ₃におけるＢはＴｉを含むことが好ましい。

また、本発明に係る誘電体セラミックは、前記ＡＢＯ₃におけるＡはＣａおよびＳｒの少なくとも一方を含み、前記ＡＢＯ₃におけるＢはＺｒおよびＨｆの少なくとも一方を含むことが好ましい。

また、本発明に係る誘電体セラミックは、前記ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂の濃度は、前記ＡＢＯ₃１００モルに対して０．１〜５．０モルであることが好ましい。

また、本発明に係る誘電体セラミックは、副成分として、Ｒ（Ｒは、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、ＬｕおよびＹのうちの少なくとも１種である。）およびＭ（Ｍは、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｖ、ＭｏおよびＷのうちの少なくとも１種である。）をさらに含み、前記Ｒおよび前記Ｍの濃度は、前記ＡＢＯ₃１００モルに対してそれぞれ０．３〜６．０モルおよび０．０１〜３.００モルであることが好ましい。

また、本発明は、積層されている複数の誘電体層と、前記誘電体層間の特定の界面に沿って形成されている複数の内部電極と、を有する積層体と、前記積層体の外表面に形成され、前記内部電極の特定のものと電気的に接続されている複数の外部電極と、を備える積層セラミックコンデンサにも向けられる。この場合、前記誘電体層は、上述したこの発明に係る誘電体セラミックからなることを特徴としている。

本発明に係る誘電体セラミックは、主成分としてＡＢＯ₃を含み、副成分としてＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂を含むことにより、誘電体層がより一層薄層化し、高電界強度の電圧が印加されても、良好な誘電特性を有し、高温負荷試験の寿命特性が優れた積層セラミックコンデンサを提供することができる。

本発明の実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図である。 実験例１−２の条件の誘電体セラミックのＸＲＤチャートを示す図である。

以下において、本発明を実施するための形態について説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図である。

積層セラミックコンデンサ１は、積層体２を備えている。積層体２は、積層される複数の誘電体層３と、複数の誘電体層３間の特定の複数の界面に沿ってそれぞれ形成される複数の内部電極４および５とで構成される。内部電極４および５は、例えばニッケル、ニッケル合金、銅または銅合金のような卑金属を主成分としている。内部電極４および５は、積層体２の外表面にまで到達されるように形成されるが、積層体２の一方の端面６にまで引き出される内部電極４と、他方の端面７にまで引き出される内部電極５が、積層体２の内部において交互に配置されている。

積層体２の外表面には、外部電極８および９が形成されている。図１では、積層体２の少なくとも端面６および７上にそれぞれ外部電極８および９が形成されている。外部電極８および９は、前述の内部電極４および５において用いた金属と同じものを主成分としても良い。あるいは、銀、パラジウム、銀−パラジウム合金などを主成分としても良い。外部電極８は、端面６上において、内部電極４と電気的に接続される。一方、外部電極９は、端面７上において、内部電極５と電気的に接続される。

外部電極８および９上には、必要に応じて、ニッケル、銅等からなる第１のめっき層１０および１１がそれぞれ形成されている。さらにその上には、はんだ、錫等からなる第２のめっき層１２および１３がそれぞれ形成されている。

このような積層セラミックコンデンサ１において、誘電体層３は、本発明に係る誘電体セラミックから構成される。すなわち、誘電体セラミックは、主成分としてＡＢＯ₃（ただし、Ａは、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒのうちの少なくとも１種であり、Ｂは、Ｔｉ、ＺｒおよびＨｆのうちの少なくとも１種である。）を含み、副成分としてＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂を含むことを特徴としている。副成分としてＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂を含むことにより、誘電率を向上させ、静電容量の温度特性を向上させることができる。また、誘電体層を薄層化した場合においても、高温負荷試験における寿命特性を向上させることができる。

なお、主成分である前記ＡＢＯ₃におけるＡはＢａを含み、前記ＡＢＯ₃におけるＢはＴｉを含むことが好ましい。すなわち、ＢａＴｉＯ₃系を主成分としている場合に、高温負荷試験における寿命特性を向上させることができ、特に好ましい。また、前記ＡＢＯ₃におけるＡにＣａおよびＳｒの少なくとも一方を含み、前記ＡＢＯ₃におけるＢにＺｒおよびＨｆの少なくとも一方を含んでいても良い。

また、本発明に係る誘電体セラミックにおいて、副成分である前記ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂の濃度は、前記ＡＢＯ₃１００モルに対して０．１〜５．０モルであることが好ましい。この範囲内において、この誘電体セラミックをもって構成した積層セラミックコンデンサの高温負荷試験における寿命特性を向上させることができ、特に好ましい。

また、本発明に係る誘電体セラミックにおいて、副成分として、Ｒ（Ｒは、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、ＬｕおよびＹのうちの少なくとも１種である。）およびＭ（Ｍは、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｖ、ＭｏおよびＷのうちの少なくとも１種である。）をさらに含み、前記Ｒおよび前記Ｍの濃度は、前記ＡＢＯ₃１００モルに対してそれぞれ０．３〜６．０モルおよび０．０１〜３.００モルであることが好ましい。この範囲内において、この誘電体セラミックをもって構成した積層セラミックコンデンサの高温負荷試験における寿命特性を一層向上させることができる。

次に、この積層セラミックコンデンサ１の製造方法について説明する。

（Ａ）セラミック原料粉末の作製
本発明に係る誘電体セラミックの原料粉末であるセラミック原料粉末は、一例として、以下のように作製される。

最初に、主成分となるべき原料粉末であるＡＢＯ₃粉末を用意する。ＡＢＯ₃粉末は、例えば固相合成法で作製する。固相合成法は、主成分の構成元素を含む酸化物、炭酸物、塩化物、金属有機化合物等の化合物粉末を所定の割合で混合して、仮焼する方法である。なお、固相合成法以外にも、水熱合成法や、加水合成法によって作製することも可能である。

次に、副成分となるべき原料粉末であるＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂粉末を用意する。ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂粉末は、固相合成法で作製する。例えば、Ｃａ酸化物、Ｃｕ酸化物およびＴｉ酸化物を所定の割合で混合して、その後に仮焼して、ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂を形成する。

次に、主成分の原料粉末と、副成分の原料粉末を所定の割合で混合することによって、セラミック原料粉末を得る。

なお、セラミック原料粉末には、必要に応じて、副成分として、Ｒ（Ｒは、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、ＬｕおよびＹのうちの少なくとも１種である。）およびＭ（Ｍは、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｖ、ＭｏおよびＷのうちの少なくとも１種である。）を混合しても良い。また、積層セラミックコンデンサの絶縁性を保持するため、例えばＤｙを加えても良い。また、粒成長の抑制のため、例えばＭｇを加えても良い。また、焼結性の向上のため、例えばＳｉ等を加えても良い。

（Ｂ）積層セラミックコンデンサの作製
本発明に係る誘電体セラミックコンデンサは、一例として、以下のように作製される。

まず、誘電体層となるべきセラミックグリーンシートを形成する。具体的には、上記のように得られたセラミック原料粉末に、有機バインダおよび溶剤を加えて混合することによって、スラリーを作製する。このスラリーを例えばドクターブレード法等によりシート成形することによって、セラミックグリーンシートを形成する。

次に、生の積層体を形成する。具体的には、特定のセラミックグリーンシート上に、内部電極４または５となるべき導電性ペースト膜を形成する。導電性ペースト膜は、例えばスクリーン印刷法で形成される。そして、導電性ペースト膜が形成されたセラミックグリーンシートを含む複数のセラミックグリーンシートを積層して、圧着した後、必要に応じてカットする。

次に、生の積層体を焼成する。これによって、図１に示すような焼結後の積層体２を得る。

次に、内部電極４および５と電気的に接続されるように、積層体２の端面６および７上に、それぞれ外部電極８および９を形成する。外部電極は、例えば導電性ペーストに積層体を塗布して、焼き付けることにより形成する。その後、必要により第１のめっき層および第２のめっき層を形成しても良い。このようにして、積層セラミックコンデンサ１を作製する。

次に、この発明による効果を確認するため実施した実験例について説明する。

［実験例１］
実験例１では、主成分としてＢａＴｉＯ₃を含み、ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂の量を変えた場合において、各種特性を評価した。

（Ａ）セラミック原料粉末の作製
最初に、主成分となるべき原料粉末を作製した。まず出発原料として、ＢａＣＯ₃、ＴｉＯ₂の各粉末を用意した。そして、ＢａＴｉＯ₃の組成比となるように秤量した。その後、ボールミルにより混合した後に乾燥した。その後、１１５０℃で仮焼して、ＢａＴｉＯ₃粉末を得た。ＢａＴｉＯ₃粉末の平均粒径は０．１５μｍであり、Ｂａ／Ｔｉ比は１．００１であった。

次に、ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂粉末を作製した。最初に出発原料として、ＣａＣＯ₃、ＣｕＯ、ＴｉＯ₂の各粉末を用意した。そして、ＣａＣＯ₃：ＣｕＯ：ＴｉＯ₂＝１：３：４のモル比となるように出発原料を秤量した。その後、ボールミルにより混合した後にその混合物を乾燥した。その後、混合物を９００℃で仮焼して、ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂粉末を得た。この粉末はＸＲＤ（Ｘ−ｒａｙ Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）測定により、結晶性を有することを確認した。

次に、ＢａＴｉＯ₃、ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂、Ｄｙ₂Ｏ₃、ＭｇＣＯ₃、ＳｉＯ₂の各粉末を表１の配合比となるように秤量した。その後、秤量物をボールミルにより混合した後、乾燥を行い、これをセラミック原料粉末とした。表１に、セラミック原料粉末の組成を示す。

なお、表１中の比較例１−１はＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂が含まれていない条件である。同様に比較例１−２もＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂が含まれていない条件であるが、その代わりに、実施例１−３と同量のＣａ、ＣｕおよびＴｉ成分が含まれるようにＣａＣＯ₃、ＣｕＯおよびＴｉＯ₂を添加した条件である。

（Ｂ）積層セラミックコンデンサの作製
まず、上記セラミック原料粉末に、ポリビニルブチラール系バインダおよびエタノールを加えた。そしてボールミルにより湿式混合して、セラミックスラリーを作製した。

次に、上記セラミックスラリーを、ドクターブレード法によりシート上に成形して、矩形のセラミックグリーンシートを得た。セラミックグリーンシートの厚みは、後述の焼成後において１．０μｍになるようにした。

次に、上記セラミックグリーンシート上に、Ｎｉを主体とする導電性ペーストをスクリーン印刷して、内部電極となる導電性ペースト膜を形成した。

次に、導電性ペースト膜が形成されたセラミックグリーンシートを、導電性ペースト膜の引き出されている側が互い違いになるように複数枚積層して、生の積層体を得た。

次に、生の積層体をＮ₂雰囲気中にて３００℃に加熱して、バインダを燃焼させた後、酸素分圧が１０^-10ＭＰａのＨ₂−Ｎ₂−Ｈ₂Ｏガスからなる還元性雰囲気中にて、１１００℃で２時間焼成して、積層体を得た。

次に、Ｃｕ粉末とＢ₂Ｏ₃−Ｌｉ₂Ｏ−ＳｉＯ₂−ＢａＯ系ガラスフリットを含む導電性ペーストを積層体の両端面に塗布した。その後Ｎ₂雰囲気中において８００℃で焼き付けた。このようにして内部電極と電気的に接続された外部電極を形成した。

このようにして得られた積層セラミックコンデンサの外形寸法は、長さ１．６ｍｍ、幅１．２ｍｍ、厚さ１．０ｍｍであり、隣り合う内部電極間に介在する誘電体層の厚みが１．０μｍであった。また、有効誘電体層の総数は３３０層であり、誘電体層１層あたりの内部電極の対向面積は０．９ｍｍ²であった。

（Ｃ）特性評価
得られた積層セラミックコンデンサについて、各種特性を評価した。

まず、平均粒径は、ＳＥＭを用いた画像解析により算出した。

また、誘電率は、温度２５℃、１ｋＨｚ、０．５Ｖｒｍｓの条件下で測定した静電容量から算出した。

また、静電容量の温度変化率は、２５℃での静電容量を基準として、−５５〜２５℃の範囲における変化率の最大値と、１２５〜２５℃の範囲における変化率の最大値をそれぞれ算出した。この時、静電容量は１ｋＨｚ、０．５Ｖｒｍｓの条件下で測定した。−５５℃〜１２５℃の範囲での変化率が±１５％以内であれば、ＥＩＡ規格のＸ７Ｒ特性を満足することになる。

また、絶縁抵抗は、温度２５℃の条件で、直流電圧１０Ｖを１２０秒間印加した後に測定した。

また、高温負荷試験は、温度１２５℃にて、電界強度が１５ｋＶ／ｍｍになるように１０００時間電圧を印加して行った。そして、試験後の絶縁抵抗を測定して、試験後の絶縁抵抗値が２００ｋΩ以下になった試料を故障と判定した。なお、高温負荷試験は、１００個の試験を行った。

表２に、表１のセラミック原料粉末を用いて作製した積層セラミックコンデンサにおける、平均粒径、誘電率、絶縁抵抗、静電容量の温度変化率および高温負荷試験の結果を示す。

表２から分かるように、ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂が含まれていない比較例１−１では、誘電率が２８４０と低い結果となった。また、比較例１−２では、高温負荷試験の結果、１００個中８個の不良が発生した。また、静電容量の温度変化率が１２５℃で−１５．３％となり、Ｘ７Ｒ特性を満足しない結果となった。

一方、実験例１−１〜１−６のように、ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂の濃度が主成分１００モルに対して０．１〜５．０モルである場合には、誘電率が３０００以上となり、良好な誘電特性を示した。また、静電容量の温度変化率は±１５％以内でＸ７Ｒ特性を満足する結果となった。また、高温負荷試験でも故障が発生せず、高温負荷試験の寿命特性も良好である結果となった。

実施例１−２の条件について、誘電体セラミックのＸＲＤ測定を行った。結果を図２に示す。このチャートの結果から、主成分であるＢａＴｉＯ₃のピーク（図中黒三角印）の他に、ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂の結晶相のピーク（図中白丸印）が検出されていることが分かる。

［実験例２］
実験例２では、主成分の組成を変えて、各種特性を評価した。

（Ａ）セラミック原料粉末の作製
まず、主成分となるべき原料粉末であるＡＢＯ₃粉末を作製した。最初に出発原料として、ＢａＣＯ₃、ＣａＣＯ₃、ＴｉＯ₂、ＳｒＣＯ₃、ＺｒＯ₂、ＨｆＯ₂の各粉末を用意した。そして、表３の組成となるように秤量した。そして、実験例１と同様の方法でＡＢＯ₃粉末を得た。

次に、ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂粉末を実験例１−１と同様の方法で得た。

次に、ＡＢＯ₃、ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂、Ｄｙ₂Ｏ₃、ＭｇＣＯ₃、ＳｉＯ₂の各粉末を、表３の配合比となるように秤量した。そして、実験例１と同様の方法で混合した後、乾燥を行い、セラミック原料粉末を作製した。実験例２においては、ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂の濃度が主成分１００モルに対して０．５モルの割合となるように作製した。表３に、セラミック原料粉末の組成を示す。

（Ｂ）積層セラミックコンデンサの作製
上記誘電体セラミック粉末を用いて、実験例１と同様の方法で、各条件に係る積層セラミックコンデンサを作製した。

（Ｃ）特性評価
実験例１と同様の方法で特性評価を行った。その結果を表４に示す。

表４から分かるように、実験例２においては、誘電率が全ての条件で３０００以上であり、良好な誘電特性を示した。また、静電容量の温度変化率は±１５％以内であり、Ｘ７Ｒ特性を満足した結果となった。また、絶縁抵抗も良好な結果となった。そして、実験例２−１〜２−６の全ての条件において高温負荷試験後の故障個数が０であり、優れた高温負荷試験の寿命特性を示した。

［実験例３］
実験例３では、主成分の組成と、副成分であるＲ、Ｍ、およびＳｉ系焼結助剤の各々の種類および含有量を変えて、各種特性を評価した。

（Ａ）セラミック原料粉末の作製
まず、実験例２と同様の方法で、主成分となるべき原料粉末であるＡＢＯ₃粉末を作製した。次に、副成分となるべきＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂粉末を実験例１−１と同様の方法で作製した。

一方、副成分となるべきＲの出発原料として、Ｌａ₂Ｏ₃、ＣｅＯ₂、Ｐｒ₆Ｏ₁₁、Ｎｄ₂Ｏ₃、Ｓｍ₂Ｏ₃、Ｅｕ₂Ｏ₃、Ｇｄ₂Ｏ₃、Ｔｂ₂Ｏ₃、Ｄｙ₂Ｏ₃、Ｈｏ₂Ｏ₃、Ｅｒ₂Ｏ₃、Ｔｍ₂Ｏ₃、Ｙｂ₂Ｏ₃、Ｌｕ₂Ｏ₃およびＹ₂Ｏ₃の各粉末を用意した。また、副成分となるべきＭの出発原料として、ＭｎＯ、ＮｉＯ、Ｃｏ₃Ｏ₄、Ｆｅ₂Ｏ₃、Ｃｒ₂Ｏ₃、ＣｕＯ、ＭｇＯ、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｖ₂Ｏ₃、ＭｏＯ₃、ＷＯ₃の各粉末を用意した。また、副成分となるべきＳｉ系の酸化物を用意した。

次に、ＡＢＯ₃、ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂、Ｒ成分、Ｍ成分、Ｓｉ系酸化物の各粉末を、表５の配合比となるように秤量した。そして、各粉末を実験例１と同様の方法で混合した後、乾燥を行い、セラミック原料粉末を作製した。表５に、セラミック原料粉末の組成を示す。

（Ｂ）積層セラミックコンデンサの作製
上記のセラミック原料粉末を用いて、実験例１と同様の方法で、各条件に係る積層セラミックコンデンサを作製した。

（Ｃ）特性評価
実験例１と同様の方法で特性評価を行った。さらに、実験例３では、１０００時間の高温負荷試験の他に、２０００時間の高温負荷試験を実施した。これらの結果を表６に示す。

表６から分かるように、実験例３においては、誘電率が全ての条件で３０００以上であり、良好な誘電特性を示した。また、静電容量の温度変化率は±１５％以内であり、Ｘ７Ｒ特性を満足する結果となった。そして、絶縁抵抗も良好な結果となった。また、１０００時間の高温負荷試験の故障数が全ての条件で０であり、優れた高温負荷試験の寿命特性を示した。

また、２０００時間の高温負荷試験の結果をみると、ＲとＭが含まれていない実験例３−１では、１００個中１７個の故障が発生した。また、Ｍは含まれているがＲが含まれていない実験例３−２では、１００個中６個の故障が発生した。また、Ｒは含まれているがＭが含まれていない実験例３−６では、１００個中９個の故障が発生した。一方、ＲとＭが同時に含まれている実験例３−３〜３−５、３−７〜３−１９では、故障が発生しなかった。すなわち、ＲおよびＭの濃度が、主成分であるＡＢＯ₃１００モルに対してそれぞれ０．３〜６．０モルおよび０．０１〜３.００モルである場合に、２０００時間の高温負荷試験でも、優れた寿命特性を示すことが明らかとなった。

１ 積層セラミックコンデンサ
２ 積層体
３ 誘電体層
４，５ 内部電極
６，７ 端面
８，９ 外部電極
１０，１１ 第１のめっき層
１２，１３ 第２のめっき層

Claims (6)

1. 主成分としてＡＢＯ₃（ただし、Ａは、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒのうちの少なくとも１種であり、Ｂは、Ｔｉ、ＺｒおよびＨｆのうちの少なくとも１種である。）を含み、副成分としてＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂を含む誘電体セラミック。
2. 前記ＡＢＯ₃におけるＡはＢａを含み、前記ＡＢＯ₃におけるＢはＴｉを含む、請求項１に記載の誘電体セラミック。
3. 前記ＡＢＯ₃におけるＡはＣａおよびＳｒの少なくとも一方を含み、前記ＡＢＯ₃におけるＢはＺｒおよびＨｆの少なくとも一方を含む、請求項２に記載の誘電体セラミック。
4. 前記ＣａＣｕ₃Ｔｉ₄Ｏ₁₂の濃度は、前記ＡＢＯ₃１００モルに対して０．１〜５．０モルである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の誘電体セラミック。
5. 副成分として、Ｒ（Ｒは、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、ＬｕおよびＹのうちの少なくとも１種である。）およびＭ（Ｍは、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｖ、ＭｏおよびＷのうちの少なくとも１種である。）をさらに含み、前記Ｒおよび前記Ｍの濃度は、前記ＡＢＯ₃１００モルに対してそれぞれ０．３〜６．０モルおよび０．０１〜３.００モルである、請求項１〜４のいずれか１項に記載の誘電体セラミック。
6. 積層されている複数の誘電体層と、前記誘電体層間の特定の界面に沿って形成されている複数の内部電極と、を有する積層体と、前記積層体の外表面に形成され、前記内部電極の特定のものと電気的に接続されている複数の外部電極と、を備える積層セラミックコンデンサにおいて、
   前記誘電体層は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の誘電体セラミックからなることを特徴とする積層セラミックコンデンサ。