JPWO2012008160A1 - 不揮発性記憶装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[不揮発性記憶装置の構成]
図1は、本発明の第1実施形態に係る不揮発性記憶装置10の概略構成を示す断面図である。不揮発性記憶装置10は、第1配線101が形成された半導体基板100と、この半導体基板100上に第1配線101を覆って形成されたシリコン酸化膜等(厚さ:500〜1000nm)で構成された第1層間絶縁層102と、この第1層間絶縁層102を貫通して第1配線101と第1電極層105とを電気的に接続するための第1コンタクトホール103(直径:50〜300nm)が形成され、その内部にタングステンを主成分として埋め込まれた第1コンタクトプラグ104を有している。そして、第1コンタクトプラグ104を被覆して、第1層間絶縁層102上には、窒化タンタル等で構成された第1電極層105(厚さ:5〜100nm)、抵抗変化層106(厚さ:20〜100nm)、貴金属(Pt、Ir、Pd等の少なくとも一つ)で構成された第2電極層107(厚さ:5〜100nm)で構成される抵抗変化型素子112が形成されている。この抵抗変化型素子112を被覆して、シリコン酸化膜(厚さ:500〜1000nm)で構成された第2層間絶縁層108が形成され、この第2層間絶縁層108を貫通して、第2電極層107と第2配線111とを電気的に接続するための第2コンタクトホール109(直径:50〜300nm)が形成され、その内部にタングステンを主成分とした第2コンタクトプラグ110が形成されている。第2コンタクトプラグ110を被覆して、第2層間絶縁層108上には、第2配線111が形成されている。
図2(a)から(j)は本発明の第1実施形態に係る、不揮発性記憶装置10の要部の製造方法を示す断面図である。これらを用いて、不揮発性記憶装置10の要部の製造方法について説明する。なお、ここでは、第1の金属酸化物層および第2の金属酸化物層のいずれもがタンタル酸化物で構成される場合における不揮発性記憶装置10の製造方法を説明する。
[不揮発性記憶装置の構成]
図11は、本発明の第2実施形態における不揮発性記憶装置11の断面図である。図11において、図1と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。図11に示すように、第2実施形態の不揮発性記憶装置11と、第1実施形態の不揮発性記憶装置10とは、第1の金属酸化物層(例えば、第1のタンタル酸化物層106x)と第2の金属酸化物層(例えば、第2のタンタル酸化物層106y)の配置の違いにあり、上下の配置を逆にした構成となっている。本実施形態の不揮発性記憶装置11においては、第2の金属酸化物層(例えば、第2のタンタル酸化物層106y)の上に、第1の金属酸化物層(例えば、第1のタンタル酸化物層106x)が形成され、抵抗変化層106を構成している。以下、第1の金属酸化物層および第2の金属酸化物層のいずれもがタンタル酸化物で構成される場合における不揮発性記憶装置11の製造方法を説明する。
図12(a)から(e)は本発明の第2実施形態における不揮発性記憶装置11の要部の製造方法を示す断面図である。これらを用いて、本第2実施形態の不揮発性記憶装置11の主要部の製造方法について説明する。なお、図12(a)より前の工程は、図2(a)〜(e)と同様であるので、説明を省略する。
11 本発明の第2実施形態に係る不揮発性記憶装置
20 従来の不揮発性記憶装置
100、200 半導体基板
101、201 第1配線
102、202 第1層間絶縁層
103、203 第1コンタクトホール
104、204 第1コンタクトプラグ
104’ 導電層
105、205 第1電極層
105’、205’ 第1電極材料層
106、206 抵抗変化層
106x、206x 第1のタンタル酸化物層(第1の金属酸化物層)
106x’、206x’ 第1のタンタル酸化物材料層(第1の金属酸化物材料層)
106y、206y 第2のタンタル酸化物層(第2の金属酸化物層)
106y’、206y’ 第2のタンタル酸化物材料層(第2の金属酸化物材料層)
107、207 第2電極層
107’ 第2電極材料層
108、208 第2層間絶縁層
109、209 第2コンタクトホール
110、210 第2コンタクトプラグ
111、211 第2配線
112、212 抵抗変化型素子
Claims (15)
- 印加される電気パルスの極性に応じて抵抗値が変化する抵抗変化型の不揮発性記憶装置であって、
半導体基板上に形成された第1電極層と、
前記第1電極層上に形成された抵抗変化層と、
前記抵抗変化層上に形成された第2電極層とを備え、
前記抵抗変化層は、前記第1電極層上に形成された酸素不足型の第1の金属酸化物層と、前記第1の金属酸化物層上に形成され、前記第1の金属酸化物層の酸素不足度よりも小さい酸素不足度をもつ第2の金属酸化物層とで構成され、
前記第2の金属酸化物層は、TaOy(2.1≦y)で表される組成を有するタンタル酸化物層であり、複数の柱状体から構成される柱状構造を有している、
不揮発性記憶装置。 - 前記第1の金属酸化物層は、遷移金属の酸化物層である、
請求項1に記載の不揮発性記憶装置。 - 前記第1の金属酸化物層は、TaOx(0.8≦x≦1.9)で表される組成を有するタンタル酸化物層である、
請求項2に記載の不揮発性記憶装置。 - 前記第2の金属酸化物層は、前記第1の金属酸化物層上に立つ複数の柱状体から構成される柱状構造を有している、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の不揮発性記憶装置。 - 前記複数の柱状体は、柱径が16nmよりも小さい、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の不揮発性記憶装置。 - 印加される電気パルスの極性に応じて抵抗値が変化する抵抗変化型の不揮発性記憶装置の製造方法であって、
半導体基板上に、第1電極層を構成する第1電極材料層を形成する第1工程と、
前記第1電極材料層上に、抵抗変化層を形成する第2工程と、
前記抵抗変化層上に第2電極を構成する第2電極材料層を形成する第3工程とを有し、
前記第2工程は、
前記第1電極材料層上に酸素不足型の第1の金属酸化物層を形成する第2の1の工程と、
前記第1の金属酸化物層上に、前記第1の金属酸化物層の酸素不足度よりも小さい酸素不足度をもつ第2の金属酸化物層を形成する第2の2の工程とを含み、
前記第2の2の工程では、スパッタリング法により、前記第2の金属酸化物層として、複数の柱状体から構成される柱状構造を有するタンタル酸化物層を構成するタンタル酸化物材料層を形成する、
不揮発性記憶装置の製造方法。 - 前記第2の2の工程において、前記タンタル酸化物材料層を、Ta2O5で表される組成を有するタンタル酸化物をスパッタターゲットとして用い、スパッタガスとして希ガス元素を用いたスパッタリング法により、形成する、
請求項6に記載の不揮発性記憶装置の製造方法。 - 前記第2の2の工程において、前記タンタル酸化物材料層をスパッタリング法により形成する時の成膜圧力は、0.2Pa以上3Pa以下である、
請求項6又は請求項7に記載の不揮発性記憶装置の製造方法。 - 印加される電気パルスの極性に応じて抵抗値が変化する抵抗変化型の不揮発性記憶装置であって、
半導体基板上に形成された第1電極層と、
前記第1電極層上に形成された抵抗変化層と、
前記抵抗変化層上に形成された第2電極層とを備え、
前記抵抗変化層は、前記第1電極層上に形成された第2の金属酸化物層と、前記第2の金属酸化物層上に形成され、前記第2の金属酸化物層の酸素不足度よりも大きい酸素不足度をもつ第1の金属酸化物層とで構成され、
前記第2の金属酸化物層は、TaOy(2.1≦y)で表される組成を有するタンタル酸化物層であり、複数の柱状体から構成される柱状構造を有している、
不揮発性記憶装置。 - 前記第1の金属酸化物層は、遷移金属の酸化物層である、
請求項9に記載の不揮発性記憶装置。 - 前記第1の金属酸化物層は、TaOx(0.8≦x≦1.9)で表される組成を有するタンタル酸化物層である、
請求項10に記載の不揮発性記憶装置。 - 前記第2の金属酸化物層は、前記第1電極層上に立つ複数の柱状体から構成される柱状構造を有している、
請求項9〜11のいずれか1項に記載の不揮発性記憶装置。 - 前記複数の柱状体は、柱径が16nmよりも小さい、
請求項9〜12のいずれか1項に記載の不揮発性記憶装置。 - 印加される電気パルスの極性に応じて抵抗値が変化する抵抗変化型の不揮発性記憶装置の製造方法であって、
半導体基板上に、第1電極層を構成する第1電極材料層を形成する第1工程と、
前記第1電極材料層上に、抵抗変化層を形成する第2工程と、
前記抵抗変化層上に第2電極を構成する第2電極材料層を形成する第3工程とを有し、
前記第2工程は、
前記第1電極層上に第2の金属酸化物層を形成する第2の1の工程と、
前記第2の金属酸化物層上に、前記第2の金属酸化物層の酸素不足度よりも大きい酸素不足度をもつ第1の金属酸化物層を形成する第2の2の工程とを含み、
前記第2の1の工程では、スパッタリング法により、前記第2の金属酸化物層として、組成がTaOy(2.1≦y)で、かつ、複数の柱状体から構成される柱状構造を有するタンタル酸化物層を構成するタンタル酸化物材料層を形成する、
不揮発性記憶装置の製造方法。 - 前記第2の1の工程において、前記タンタル酸化物材料層を、Ta2O5で表される組成を有するタンタル酸化物をスパッタターゲットとして用いたスパッタリング法により、形成し、且つ、前記タンタル酸化物材料層をスパッタリング法により形成する時の成膜圧力は、0.2Pa以上3Pa以下である、
請求項14に記載の不揮発性記憶装置の製造方法。
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