JPWO2012001862A1 - パターンマッチング用テンプレートの作成方法、及び画像処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 テンプレート生成部
3 エッジ密度算出部
4 領域選択部
5 画像処理装置
6 表示部
21 描画部
22 画像生成部
31,33,231,232 エッジ検出部
32,35 密度検出部
34,36,236 最大値選択部
41,212,342 記憶部
42 疎領域検出部
43 密領域検出部
44 判定部
45 領域情報部
211 パターン内塗潰し部
230 平滑化部
233,234,238,421,431 信号反転部
235,422 最小値選択部
237 密度算出部
239 合成部
341,423,433,445,446 比較部
424 白領域検出部
425,432,441,442 閾値
434 黒領域検出部
443,444 カウンタ
447 AND
Claims (24)
- 設計データの一部を部分的に抽出し、当該抽出された部分領域に基づいて、テンプレートマッチング用のテンプレートを作成するテンプレート作成方法において、
前記テンプレートマッチングの被サーチ領域に相当する設計データ内の所定領域について、当該所定領域に属するエッジのエッジ密度を算出することを特徴とするテンプレート作成方法。 - 請求項1において、
前記エッジの密度に関する情報が、所定の条件を満たす場合に、当該所定領域をテンプレート、或いはテンプレート候補として選択することを特徴とするテンプレート作成方法。 - 請求項2において、前記所定領域内に、エッジ密度が高いと判定される領域と、エッジ密度が低いと判定される領域が、所定の比率で含まれている場合に、当該所定領域をテンプレート、或いはテンプレート候補として選択することを特徴とするテンプレート作成方法。
- 請求項1において、
前記エッジ密度に関する情報が所定の条件を満たす場合に、前記所定領域の設計データに基づいて、2値,多値、或いはその両方のテンプレートを生成することを特徴とするテンプレート作成方法。 - 請求項1において、
前記エッジ密度に関する情報が所定の条件を満たす場合に、前記所定領域の設計データに基づいて、当該所定領域の座標位置,領域サイズ、或いはその両方をテンプレート情報として登録することを特徴とするテンプレート作成方法。 - 請求項1において、
前記テンプレートを用いたテンプレートマッチングを行う動作プログラムに記憶された前記テンプレートについて、前記エッジ密度の算出を行うことを特徴とするテンプレート作成方法。 - 請求項6において、
前記エッジ密度の算出に基づいて、前記テンプレートの適否を判定することを特徴とするテンプレート作成方法。 - 請求項1において、
前記テンプレートは、光学顕微鏡によって得られた画像上にてテンプレートマッチングを行うためのものであることを特徴とするテンプレート作成方法。 - 設計データの部分領域の選択に基づいて、テンプレートマッチング用のテンプレートを生成するテンプレート生成部を備えた画像処理装置において、
前記テンプレートマッチングの被サーチ領域に相当する設計データ内の所定領域について、当該所定領域に属するエッジのエッジ密度を算出するエッジ密度算出部を備えたことを特徴とする画像処理装置。 - 請求項9において、
前記テンプレート生成部は、エッジの密度に関する情報が、所定の条件を満たす場合に、当該所定領域をテンプレート、或いはテンプレート候補として選択することを特徴とする画像処理装置。 - 請求項10において、
前記テンプレート生成部は、前記所定領域内に、エッジ密度が高いと判定される領域と、エッジ密度が低いと判定される領域が、所定の比率で含まれている場合に、当該所定領域をテンプレート、或いはテンプレート候補として選択することを特徴とする画像処理装置。 - 請求項9において、
前記テンプレート生成部は、前記エッジ密度に関する情報が所定の条件を満たす場合に、前記所定領域の設計データに基づいて、2値,多値、或いはその両方のテンプレートを生成することを特徴とする画像処理装置。 - 請求項9において、
前記テンプレート生成部は、前記エッジ密度に関する情報が所定の条件を満たす場合に、前記所定領域の設計データに基づいて、当該所定領域の座標位置,領域サイズ、或いはその両方をテンプレート情報として登録することを特徴とする画像処理装置。 - 請求項9において、
前記エッジ密度算出部は、前記テンプレートを用いたテンプレートマッチングを行う動作プログラムに記憶された前記テンプレートについて、前記エッジ密度の算出を行うことを特徴とする画像処理装置。 - 請求項14において、
前記エッジ密度の算出に基づいて、前記テンプレートの適否を判定することを特徴とする画像処理装置。 - 請求項9において、
前記テンプレートは、光学顕微鏡によって得られた画像上にてテンプレートマッチングを行うためのものであることを特徴とする画像処理装置。 - 設計データの部分領域の選択に基づいて、テンプレートマッチング用のテンプレートを演算装置に生成させるコンピュータープログラムにおいて、
前記コンピュータープログラムは、前記演算装置に、前記テンプレートマッチングの被サーチ領域に相当する設計データ内の所定領域について、当該所定領域に属するエッジのエッジ密度を演算させることを特徴とするコンピュータープログラム。 - 設計データからテンプレートマッチング用のテンプレートを作成する画像処理装置において、
設計データと製造工程に関する工程情報を用いて、テンプレート内の各位置の濃淡情報を求める濃淡情報生成部を備えたことを特徴とする画像処理装置。 - 請求項18において、
前記設計データに基づいて、前記テンプレート内の段差に関する情報を生成する段差推定部を備え、前記濃淡情報生成部は、当該段差に関する情報に基づいて、前記濃淡情報を求めることを特徴とする画像処理装置。 - 請求項19において、
前記段差推定部は、前記テンプレートによって特定される領域を複数の領域に分割する領域分割部を備え、当該領域分割部は、前記設計データと、前記工程情報に基づいて領域分割を実施することを特徴とする画像処理装置。 - 請求項20において、
前記段差推定部は、多層構造のパターンの設計データに基づいて、前記領域を分割することを特徴とする画像処理装置。 - 設計データの部分領域の選択に基づいて、テンプレートマッチング用のテンプレートを生成するテンプレート生成部を備えた画像処理装置において、
前記テンプレート生成部は、前記設計データの部分領域内に含まれる複数領域について、パターンの形成状態に応じた画像処理を施すことによって、前記テンプレートを生成することを特徴とする画像処理装置。 - 請求項22において、
前記テンプレート生成部は、前記複数領域のパターンの密度に関する情報に応じて、前記複数領域に対する画像処理を実施することを特徴とする画像処理装置。 - 設計データの部分領域の選択に基づいて、テンプレートマッチング用のテンプレートを演算装置に生成させるコンピュータープログラムにおいて、
前記コンピュータープログラムは、前記演算装置に、前記設計データの部分領域内に含まれる複数領域について、パターンの形成状態に応じた画像処理を施させることによって、前記テンプレートを生成させることを特徴とするコンピュータープログラム。
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