JP5775949B2 - パターンマッチング用テンプレートの作成方法、及び画像処理装置 - Google Patents
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Description
さい(黒い)方を選ぶと、パターン内部でエッジ密度が少ない領域のみが白く残ることになる。ここで、ある特定の値の閾値425と比較部423で比較して、閾値以下は黒、それ以上は白に2値化し、白領域検出部424にて、ある領域範囲以上に渡り白で残る部分を検出する。
2 テンプレート生成部
3 エッジ密度算出部
4 領域選択部
5 画像処理装置
6 表示部
21 描画部
22 画像生成部
31,33,231,232 エッジ検出部
32,35 密度検出部
34,36,236 最大値選択部
41,212,342 記憶部
42 疎領域検出部
43 密領域検出部
44 判定部
45 領域情報部
211 パターン内塗潰し部
230 平滑化部
233,234,238,421,431 信号反転部
235,422 最小値選択部
237 密度算出部
239 合成部
341,423,433,445,446 比較部
424 白領域検出部
425,432,441,442 閾値
434 黒領域検出部
443,444 カウンタ
447 AND
Claims (6)
- 設計データからテンプレートマッチング用のテンプレートを作成する画像処理装置において、
設計データと製造工程に関する工程情報を用いて、テンプレート内の各位置の濃淡情報を求める濃淡情報生成部と、
前記テンプレートによって特定される領域を複数の領域に分割する領域分割部を備え、当該領域分割部は、前記設計データと、前記工程情報に基づいて領域分割を実施することを特徴とする画像処理装置。 - 請求項1において、
前記設計データに基づいて、前記テンプレート内の段差に関する情報を生成する段差推定部を備え、前記濃淡情報生成部は、当該段差に関する情報に基づいて、前記濃淡情報を求めることを特徴とする画像処理装置。 - 請求項1において、
前記領域分割部は、多層構造のパターンの設計データに基づいて、前記領域を分割することを特徴とする画像処理装置。 - 請求項1において、
前記テンプレートマッチング用のテンプレートを生成するテンプレート生成部を備え、当該テンプレート生成部は、前記設計データの部分領域内に含まれる複数領域について、パターンの形成状態に応じた画像処理を施すことによって、前記テンプレートを生成することを特徴とする画像処理装置。 - 請求項4において、
前記テンプレート生成部は、前記複数領域のパターン密度に関する情報に応じて、前記複数領域に対する画像処理を実施することを特徴とする画像処理装置。 - 設計データからテンプレートマッチング用のテンプレートを演算装置に生成させるコンピュータープログラムにおいて、
当該コンピュータープログラムは、前記演算装置に、前記設計データと製造工程に関する工程情報を用いて、テンプレート内の各位置の濃淡情報を求めさせ、前記テンプレートによって特定される領域を複数の領域に分割させるものであって、前記コンピュータープログラムは、前記演算装置に、前記設計データと、前記工程情報に基づいて領域分割を実施させることを特徴とするコンピュータープログラム。
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