JP5401005B2 - テンプレートマッチング方法、および走査電子顕微鏡 - Google Patents
テンプレートマッチング方法、および走査電子顕微鏡 Download PDFInfo
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103に印加される電圧Vaccにより加速されて後段のレンズ系に進行する。この一次電子線104は、レンズ制御電源114で制御された集束レンズ105と対物レンズ106により試料107に微小スポットとして集束され、二段の偏向コイル108によって試料107上を二次元的に走査される。偏向コイル108の走査信号は、観察倍率に応じて偏向制御装置109によって制御される。試料107上を走査した一次電子線104により試料から発生した二次電子110は、二次電子検出器111で検出される。二次電子検出器111で検出された二次電子の情報は、増幅器112で増幅され、コンピュータ113のディスプレイに表示される。
(a)は設計パターンから生成されたデザインデータの形状を示し、図2(b)は図2
(a)に対応する箇所の実際の顕微鏡の画像を示すものである。図2(b)には、図2
(a)の設計パターンから生成されたデザインデータ200に対応するパターン201の他に、下地のパターン202が現れており、図2(a)のデザインデータ200をテンプレートとした場合、図2(b)の下地のパターン202は図2(a)に含まれないため、コンピュータは異なる図形であると認識し、この箇所ではテンプレートマッチングができない。これは、従来のテンプレートマッチングが、顕微鏡画像内のパターンの凹凸を表す複数の階調値と一定領域内のテンプレート図形とを比較しており、比較領域内に複数の形状のパターンが存在するために、一致していないとコンピュータが判断するためである。
(a)に示すように、領域304内のデザインデータのエッジを示す線300がバイナリコードの「1」として、線300以外の領域が「0」としてコンピュータにより自動的に定義される。次に、図3(b)に示すデザインデータのエッジの内部の領域302が「凸」の場合は、図示しない指示ボタンで「凸」を入力することにより、「凸」,「+」、あるいは「1」と定義され、同時に、領域302以外の領域が「凹」,「−」、あるいは
「0」と定義される。エッジの内部が、「凸」なのか「凹」なのかの判断は、例えば、領域302の内部にマウスポインタ等をあわせ、クリックで「凸」なのか「凹」なのかを質問するメニューが画面上に開き、いずれかをクリックすることで、オペレータが指定することができる。あるいは、線300が閉じているような図形の場合は、予め「凸」であると定義するようにし、「凹」の場合に限ってオペレータの指示により「凹」であると再定義されるようにしてもよい。
Claims (4)
- 所望の領域内の設計データのパターンのエッジに沿った部分を一致度判定部とし、当該一致度判定部以外の部分を非判定部とするテンプレートを記憶し、試料に対する電子線照射により発生する二次電子の情報を用いて画像データを形成し、前記一致度判定部について選択的に前記設計データのエッジと、画像パターンのエッジとの距離を判定し、当該距離が予め定められた値以内に納まった場合に、前記テンプレートと前記画像データがマッチングしたと判断することを特徴とするテンプレートマッチング方法。
- 請求項1の記載において、前記設計データのエッジで分割される領域のうちの一方を「1」、他方を「0」とし、前記画像パターンのエッジと前記設計データのエッジとの比較により一致と判断された場合に、前記画像のパターンのエッジで囲まれた内部を「凸」、外部を「凹」と判断することを特徴とするテンプレートマッチング方法。
- 試料へ電子線を照射して発生する二次電子の情報を用いて試料を画像化する走査電子顕微鏡において、
前記設計データのパターンのエッジに沿った部分を一致度判定部とし、当該一致度判定部以外の部分を非判定部とするテンプレートを登録する記憶部と、
当該一致度判定部について選択的に前記設計データのエッジと画像パターンのエッジとの距離を判定し、当該距離が予め決められた値以内に納まった場合に、前記テンプレートと前記画像データがマッチングしたと判断する演算部とを備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項3の記載において、前記記憶部は、前記設計データのエッジで分割される領域のうちの一方を「1」、他方を「0」として記憶し、前記演算部は、前記画像のパターンのエッジと前記設計データのエッジとの比較により一致と判断された場合に、前記画像のパターンのエッジで囲まれた内部を「凸」、外部を「凹」と判断することを特徴とする走査電子顕微鏡。
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