JPWO2011158805A1 - 封着材料ペーストとそれを用いた電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
B2O3はガラスの骨格を形成してガラス化が可能な範囲を広げる成分である。B2O3の含有量が2質量%未満であるとガラス化が困難になる。B2O3の含有量が18質量%を超えると軟化点が高くなりすぎて、封着時に荷重をかけたとしても低温で封着することが困難になる。
上述した任意成分のうち、Al2O3は熱膨張係数を下げ、かつ焼成時の低融点ガラスの安定性を向上させる成分である。Al2O3の含有量は、0〜5質量%の範囲とすることが好ましく、さらに好ましくは0.1〜5質量%の範囲である。Al2O3の含有量が5質量%を超えるとガラスの粘性が上がり、低融点ガラス中にAl2O3が未溶融物として残りやすくなる。Al2O3を0.1質量%以上含有させることによって、焼成時の低融点ガラスの安定性をより有効に高めることが可能となる。
なお、上記した封着材料の構成材とは、封着ガラス、低膨張充填材および必要に応じて封着材料に使用できる電磁波吸収材を意味し、ビヒクルの構成材とは、有機樹脂、有機溶剤および必要に応じてビヒクルに使用できる添加剤を意味する。
なお、本明細書のおいては、便宜上上記したような電子素子部が形成される側のガラス基板を第1のガラス基板として説明しており、これが通常の形態であるが、第1及び第2のガラス基板の呼び方は、この逆であってもよい。
なお、この実施形態のガラスパネルは、電子デバイス11の構成部品に限らず、電子部品の封止体、あるいは複層ガラスのようなガラス部材(建材等)にも応用することができる。
下記酸化物基準で、Bi2O3 83質量%、B2O3 5質量%、ZnO 11質量%、Al2O3 1質量%の組成を有し、水粉砕で作製された平均粒径が1.2μmのビスマス系ガラスフリット(ガラス転移点=358℃、軟化点=412℃)と、低膨張充填材として平均粒径が2.0μmのコージェライト粉末と、レーザ吸収材としてFe2O3−MnO−CuO−Al2O3組成を有し、平均粒径が1.0μmの黒色顔料とを用意した。
封着材料ペーストの調製に用いる粉末材料(ガラスフリット、コージェライト粉末、及び黒色顔料)を300℃で、2時間の条件で仮焼すると共に、調製後の封着材料ペーストを密閉容器に入れて、−0.096MPaの減圧下で撹拌しながら1時間保持する以外は、実施例1と同様にして封着材料層の形成、及びレーザ光による第1のガラス基板と第2のガラス基板との封着を実施した。減圧処理後の封着材料ペーストの水分量は1.2体積%(0.42質量%)であった。このようにして作製したガラスパネルを有する電子デバイスを後述する特性評価に供した。
封着材料ペーストを絶対湿度が11g/m3の環境下で調製する以外は、実施例1と同様に封着材料層の形成、レーザ光による第1のガラス基板と第2のガラス基板との封着を実施した。封着材料ペーストの水分量は2.2体積%(0.78質量%)であった。このようにして作製したガラスパネルを有する電子デバイスを後述する特性評価に供した。
封着材料ペーストを絶対湿度が15g/m3の環境下で調製する以外は、実施例1と同様に封着材料層の形成、レーザ光による第1のガラス基板と第2のガラス基板との封着を実施した。封着材料ペーストの水分量は2.8体積%(0.96質量%)であった。このようにして作製したガラスパネルを有する電子デバイスを後述する特性評価に供した。
表1から明らかなように、比較例1及び2では封着層中の泡の発生量が多いのに対し、水分量を低減した封着材料ペーストを使用した実施例1〜2では、泡の発生が抑制されていることが分かった。その結果として、実施例1〜2では、封着層の剥離や割れ等の発生が抑制され、良好な封止状態が得られているものと考えられる。なお、比較例1と同様にして封着材料層を形成した第2のガラス基板と第1のガラス基板とを積層し、これを焼成炉内に配置して480℃で、3時間の条件(昇温速度:10℃/分)で熱処理して封着層を形成したところ、封着層の泡の発生量は実施例1と同程度であった。このことから、基本的な泡の発生原因は、レーザ加熱等の急熱・急冷プロセスによるものと考えられる。
なお、2010年6月14日に出願された日本特許出願2010−135296号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
Claims (10)
- 昇温速度が100℃/分以上の急速加熱を適用した封着に用いられる封着材料ペーストであって、
封着ガラスと低膨張充填材とを含有する封着材料と、有機樹脂を有機溶剤に溶解してなるビヒクルとの混合物を含有し、上記封着材料ペースト中の水分量が2体積%以下であることを特徴とする封着材料ペースト。 - レーザ加熱、赤外線加熱、誘電加熱、誘導加熱、又は抵抗加熱による封着に用いられることを特徴とする請求項1に記載の封着材料ペースト。
- 前記封着材料は、レーザ吸収材を0〜20質量%の範囲で含有し、レーザ加熱による封着に用いられることを特徴とする請求項1に記載の封着材料ペースト。
- 前記低膨張充填材は、シリカ、アルミナ、ジルコニア、珪酸ジルコニウム、チタン酸アルミニウム、ムライト、コージェライト、ユークリプタイト、スポジュメン、リン酸ジルコニウム系化合物、酸化錫系化合物、石英固溶体、及びマイカからなる群から選ばれる少なくとも1種からなり、前記封着材料は前記低膨張充填材を0.1〜40質量%の範囲で含有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の封着材料ペースト。
- 前記封着ガラスは、酸化物換算表示で、70〜90質量%の範囲のBi2O3、1〜20質量%の範囲のZnO、及び2〜18質量%の範囲のB2O3を含むビスマス系ガラスからなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の封着材料ペースト。
- 第1の封止領域を備える第1の表面を有する第1のガラス基板を用意する工程と、
前記第1のガラス基板の前記第1の封止領域に対応する第2の封止領域を備える第2の表面を有する第2のガラス基板を用意する工程と、
封着ガラスと低膨張充填材とを含有する封着材料と、有機樹脂を有機溶剤に溶解してなるビヒクルとの混合物を含有し、上記封着材料ペースト中の水分量が2体積%以下である封着材料ペーストを、前記第1の封止領域および/又は前記第2の封止領域に塗布した後、前記封着材料ペーストの塗布層を焼成して封着材料層を形成する工程と、
前記第1のガラス基板と前記第2のガラス基板とを、前記第1の表面と前記第2の表面とが対向するように前記封着材料層を介して積層する工程と、
前記第1のガラス基板と前記第2のガラス基板との積層物を100℃/分以上の昇温速度で加熱し、前記封着材料層を溶融させて前記第1のガラス基板と前記第2のガラス基板との間に設けられる電子素子部を封止する封着層を形成する工程と
を具備することを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 前記封着材料層をレーザ加熱、赤外線加熱、誘電加熱、誘導加熱、又は抵抗加熱により溶融させることを特徴とする請求項6に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記封着材料は、レーザ吸収材を含有すると共に、前記第1のガラス基板又は前記第2のガラス基板を通して前記封着材料層にレーザ光を照射して溶融させることを特徴とする請求項6に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記低膨張充填材は、シリカ、アルミナ、ジルコニア、珪酸ジルコニウム、チタン酸アルミニウム、ムライト、コージェライト、ユークリプタイト、スポジュメン、リン酸ジルコニウム系化合物、酸化錫系化合物、石英固溶体、及びマイカからなる群から選ばれる少なくとも1種からなり、前記封着材料は前記低膨張充填材を0.1〜40質量%の範囲で含有することを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記封着ガラスは、70〜90質量%の範囲のBi2O3、1〜20質量%の範囲のZnO、及び2〜18質量%の範囲のB2O3を含むビスマス系ガラスからなることを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項に記載の電子デバイスの製造方法。
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