JPWO2011148985A1 - プラズマエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
Description
処理ガスをプラズマ化してシリコン基板をエッチングし、このシリコン基板に、上部開口幅が広く、底部幅が狭いテーパ状の穴又は溝を形成するプラズマエッチング方法であって、
前記処理ガスとして、フッ素系ガス及び窒素ガスを用い、これらのガスをプラズマ化するとともに、プラズマ化した窒素ガスによって前記シリコン基板に耐エッチング層を形成しつつ、プラズマ化したフッ素系ガスによって前記シリコン基板をエッチングするようにしたことを特徴とするプラズマエッチング方法に係る。フッ素系ガスと窒素ガスとのプラズマ化は同時であってもなくてもよい。
以下、本発明の具体的な実施形態について、添付図面に基づき説明する。
次に、以上のように構成されたエッチング装置1を用い、上部開口幅が広く、底部幅が狭いテーパ状のエッチング構造をシリコン基板Kに形成するプラズマエッチング方法について説明する。
上記では、N2ガスのプラズマ化によって形成される耐エッチング層で側壁を保護することにより、ボーイング形状がなく、表面が滑らかなテーパエッチング構造を形成することができる方法を説明したが、本願発明者らは、更なる鋭意検討の結果、N2ガスの流量や反応チャンバの圧力によっても、形成されるテーパエッチング構造の状態(形状やその表面粗さを含む)が大きく変化することを実験により発見した。このことは、N2ガスを用いたエッチング時に、これらプロセス条件を適正化することにより、テーパ状態を制御することが可能になったことを意味する。以下、この実験結果について説明する。
まず、実施例3として、本願発明者らは、N2ガスエッチング時において供給するN2の量を変化させることによって、テーパ状態がどのように変化するかを実験した。
次に、実施例4として、本願発明者らは、N2ガスエッチング時においてチャンバ内の圧力を変化させることによって、テーパ状態がどのように変化するかを実験した。
次に、実施例5として、本願発明者らは、N2ガスエッチング時において基台15に供給する電力(プラテンパワー)を次第に増やしたとき、テーパ状態がどのように変化するかを実験した。
11 処理チャンバ
15 基台
20 排気装置
25 ガス供給装置
26,27,28 ガス供給部
30 プラズマ生成装置
31 コイル
32 コイル用高周波電源
35 電源
K シリコン基板
M マスク
H エッチング構造
み易い部分と進み難い部分とで凹凸が生じるのである。このような凹凸が残渣(マイクロマスク)となるので、エッチング状態にむらが生じ、エッチングされた膜表面が荒れた状態(表面粗さの高い状態)になることが知られている。
[0010]
そして、表面粗さが粗いと、例えば、テーパ状のエッチング構造を形成した後、CVD処理で成膜する場合に、均一な膜厚の薄膜を形成することができないといった問題を生じる。したがって、表面粗さが粗くならないようにシリコン基板をエッチングすることが好ましい。
[0011]
本発明は、以上の実情に鑑みなされたものであって、ボーイング形状を防止し、表面が滑らかなテーパ状のエッチング構造を形成することが可能なプラズマエッチング方法の提供をその目的とする。
課題を解決するための手段
[0012]
上記目的を達成するための本発明は、
処理ガスをプラズマ化してシリコン基板をエッチングし、このシリコン基板に、上部開口幅が広く、底部幅が狭いテーパ状の穴又は溝を形成するプラズマエッチング方法であって、
前記処理ガスとして、フッ素系ガス及び窒素ガスを用い、これらのガスをプラズマ化するとともに、プラズマ化した窒素ガスによって前記シリコン基板に耐エッチング層を形成しつつ、プラズマ化したフッ素系ガスによって前記シリコン基板をエッチングする第1工程を実施した後、前記処理ガスとして、フッ素系ガス及び酸素系ガスを用い、これらのガスをプラズマ化するとともに、プラズマ化した酸素系ガスによって前記シリコン基板に耐エッチング層を形成しつつ、プラズマ化したフッ素系ガスによって前記シリコン基板をエッチングする第2工程を実施するようにしたことを特徴とするプラズマエッチング方法に係る。フッ素系ガスと窒素ガスとのプラズマ化は同時であってもなくてもよい。
[0013]
この発明によれば、フッ素系ガス及び窒素ガスを処理ガスとして用い、これらのガスをプラズマ化してシリコン基板をエッチングする。具体的には、窒素ガスをプラズマ化することによってシリコン基板に耐エッチング層(例えば、SiNからなる窒化膜)を形成しながら、フッ素系ガスをプラズマ化することによってシリコン基板のエッチングを進行させる。
[0014]
プラズマ化した窒素ガスによって耐エッチング層を形成した場合には、プ
[0020]
上記の構成によれば、比較的調整しやすいプロセス条件を変更することにより、テーパ状態を簡便に制御することができる。これにより、ボーイング形状がなく、しかも、表面が滑らかなテーパ状のエッチング構造を形成することが可能となる。
[0021]
ところで、プラズマ化した窒素ガスによって耐エッチング層を形成した場合、プラズマ化した酸素ガスによって耐エッチング層を形成した場合に比べ、耐エッチング層の強度が低いために、エッチング構造の幅方向へのエッチングが進行し易く、エッチング構造の深さ方向へのエッチングが進行し難い。このため、エッチング構造の深さ方向へのエッチング速度が遅くなり、一定レベル以上のエッチング速度が得られないときがある。
[0022]
そこで、前述のように、前記フッ素系ガス及び窒素ガスをプラズマ化して前記シリコン基板をエッチングする工程たる第1工程を実施した後、前記処理ガスとして、フッ素系ガス及び酸素系ガスを用い、これらのガスをプラズマ化するとともに、プラズマ化した酸素系ガスによって前記シリコン基板に耐エッチング層を形成しつつ、プラズマ化したフッ素系ガスによって前記シリコン基板をエッチングする第2工程を実施すると良い。フッ素系ガスと酸素系ガスとのプラズマ化は同時であってもなくてもよい。
[0023]
このようにすれば、プラズマ化した酸素系ガスによって耐エッチング層を形成したときには、プラズマ化した窒素ガスによって耐エッチング層を形成したときよりも、耐エッチング層の強度が高くなるために、エッチング構造の幅方向よりも、エッチング構造の深さ方向にエッチングが進行し易いことから、より効率的に深さ方向へのエッチングを進行させることができる。
[0024]
その際、第1工程で形成されたエッチング構造の側壁は、窒素ガスのプラズマ化により形成された耐エッチング層によって保護され、ボーイング形状となるのが防止されており、また、第2工程でのエッチングによって新たに形成された側壁が、酸素系ガスのプラズマ化により形成される耐エッチング層(例えば、SiO2からなる酸化膜)によって保護されつつエッチングが進行する。また、プラズマ化した酸素系ガスとシリコン原子との化学反応によ
Claims (9)
- 処理ガスをプラズマ化してシリコン基板をエッチングし、このシリコン基板に、上部開口幅が広く、底部幅が狭いテーパ状のエッチング構造を形成するプラズマエッチング方法であって、
前記処理ガスとして、フッ素系ガス及び窒素ガスを用い、これらのガスをプラズマ化するとともに、プラズマ化した窒素ガスによって前記シリコン基板に耐エッチング層を形成しつつ、プラズマ化したフッ素系ガスによって前記シリコン基板をエッチングするようにしたことを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 上記エッチング時における窒素ガスの供給流量を調整することにより、形成されるエッチング構造のテーパ状態を制御することを特徴とする請求項1に記載のプラズマエッチング方法。
- 前記テーパ状態とは、該テーパ領域の表面粗さであることを特徴とする請求項2に記載のプラズマエッチング方法。
- 上記窒素ガスの供給流量は、100〜400sccmの範囲内であることを特徴とする請求項2に記載のプラズマエッチング方法。
- 上記エッチング時におけるチャンバ内の圧力を調整することにより、形成されるエッチング構造のテーパ状態を制御することを特徴とする請求項1に記載のプラズマエッチング方法。
- 前記テーパ状態とは、該テーパ領域の表面粗さであることを特徴とする請求項5に記載のプラズマエッチング方法。
- 上記チャンバ内の圧力は、12Pa〜25Paであることを特徴とする請求項5に記載のプラズマエッチング方法。
- 前記フッ素系ガス及び窒素ガスをプラズマ化して前記シリコン基板をエッチングする工程たる第1工程を実施した後、
前記処理ガスとして、フッ素系ガス及び酸素系ガスを用い、これらのガスをプラズマ化するとともに、プラズマ化した酸素系ガスによって前記シリコン基板に耐エッチング層を形成しつつ、プラズマ化したフッ素系ガスによって前記シリコン基板をエッチングする第2工程を実施するようにしたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のプラズマエッチング方法。 - 前記第1工程の処理時間を4秒以上10秒以下の範囲としたことを特徴とする請求項8記載のプラズマエッチング方法。
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