JPWO2011125657A1 - 耐食性に優れた被覆物品の製造方法および被覆物品 - Google Patents
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Abstract
Description
Raおよび/またはRzについて、A<C<B・・・式1
Raについて、C/B<0.4・・・式2
Rzについて、C/B<0.1・・・式3
あるいはさらに、第1の硬質皮膜の表面は、その断面測定による断面曲線において、平均線からの距離が50nm以上の山頂および谷底の個数密度が、それぞれ50個/mm2以下になるように研磨することが望ましい。
Raおよび/またはRzについて、A<C<D<B・・・式1
Raについて、C/B<0.4・・・式2
Rzについて、C/B<0.1・・・式3
また、物理蒸着法はアークイオンプレーティング法であることが望ましく、これらによる被覆物品は、射出成形用部品または金型であることが望ましい。
また、第2の硬質皮膜の表面が研磨されていることが望ましい。また、物理蒸着法はアークイオンプレーティング法であることが望ましく、本発明の被覆物品は、射出成形用部品または金型であることが望ましい。
第1の硬質皮膜の表面をこの好ましい表面粗さにするには、イオンエッチングやサンドブラスト(ショットブラスト)等の研削作用によるものでは皮膜表面の平滑化が不十分であり、皮膜の耐腐食性に劣る場合がある。そこで、ドロップレットやパーティクル等を確実に除去し平滑な表面状態にするためには、次のような研磨方法を採用することが好ましい。
(1)機械部品の仕上げを行う場合に部品表面が正しい均一面を持つように精密に仕上げていく研磨手段であって、例えば定盤を使用して、その硬質皮膜との間にラップ剤を挟み、硬質皮膜を摺動させて研磨する方法
(2)ダイヤモンドペースト等の研磨剤を保持した研磨布で硬質皮膜の表面を磨く方法
(3)ダイヤモンド粒子と湿度を持った研磨剤を用い、基材に被覆された皮膜に高速に滑走させて、発生する摩擦力によって磨く、いわゆるエアロラップ(株式会社ヤマシタワークスの登録商標である)等による研磨方法
(4)エアーを使用せずに弾性と粘着性を持った研磨剤を噴射することで磨く、いわゆるスマップ(SMAP)(合資会社亀井鉄工所製の鏡面ショットマシンである)等による研磨方法
更に、これらの処理後には3μm以下のダイヤモンドペースト磨きをすることで、より望ましい平滑化が実現出来る。また、耐腐食性を向上させるために、第2の硬質皮膜の表面上も同様の研磨方法で平滑化することが好ましい。
粗大なドロップレットが存在すると、その上面に堆積する皮膜との間に空隙等の内部欠陥が形成される。この欠陥を通して腐食が進行する。従い硬質皮膜の形成工程の中間で研磨処理を行い平滑化することは、硬質皮膜の深さ方向の内部欠陥の連通を遮断するのに有効である。
本発明では、平滑化された界面を第1の硬質皮膜と第2の硬質皮膜の界面をまたぐ長径1μm以上のドロップレットが断面組織観察における界面長さ50μmあたりの平均個数が2個未満(0を含む)として規定した。これは長径1μm未満のドロップレットおよび長径1μm以上であっても50μmあたり2個程度の存在は耐食性に大きな影響はないためである。
本発明においては第1の硬質皮膜の表面を平滑にすることが重要であり、第2の硬質皮膜を研磨する場合でも、第2の硬質皮膜の研磨後の表面粗さをDとして、A<C<D<Bの関係を満たすことが好ましい。
基材表面を平滑化することで、基材表面の凹凸に起因する皮膜欠陥を抑制することが出来る。基材の直上にある皮膜欠陥は直接的に基材自体を著しく腐食する原因となり、基材に近い側の皮膜の皮膜欠陥が少ないことがより好ましい。そのため、研磨後の第2の硬質皮膜の表面粗さよりも、第1の硬質皮膜の表面粗さが平滑であることが好ましく、更には被覆する前の基材の表面粗さが最も平滑であることが好ましい。
また、第1の硬質皮膜については、その被覆時の表面にあるドロップレット等を研磨除去するところ、除去の程度すなわち研磨後の表面粗さCは、研磨前の表面粗さBに対して、RaではC/Bが0.4未満に、RzではC/Bが0.1未満になるよう仕上げることが望ましい。これらの式を満たすことによって、硬質皮膜の欠陥をより低減できる。
なお、平均線とは、断面曲線における山頂と谷底の中心線であり、その中心線からそれぞれ50nm以上にあるピーク数を調査して、それぞれの個数密度を測定した。
また、該第1および/または第2の硬質皮膜は、Mo、Nb、W、Si、Bから選択される1種または2種以上の元素を含むクロム系窒化物であることが好ましい。Mo、Nb、Wが皮膜中へ添加されることで、硬度が向上し耐摩耗性が向上する。その中でもクロム系窒化物自体の靭性と密着性の維持に有利であるには、成分組成が(Cr1−aXa)Nで示されるクロム系窒化物であって(但し、下付き数字はCrと元素Xの原子比を表す)、XはMo、Nb、Wから選択される1種または2種以上の元素であり、aは0.1〜0.2であることが好ましい。
そして、Si、Bが皮膜中に添加されることで、皮膜が微細になり高硬度になる。好ましい皮膜硬度は2000HV0.025以上である。そして皮膜が微細化されることで、より耐食性が向上する。被成形材にガラス繊維等の強化物質が添加されると、硬質皮膜は摩耗に起因する腐食も生じ易くなる。よって、硬質皮膜には高い硬度をも付与することで、耐摩耗性の向上に加えては、摩耗腐食も抑制できる。これらの効果を発揮しクロム系窒化物自体の靭性と密着性を低下させないためには、成分組成が(Cr1−aXa)Nで示されるクロム系窒化物であって(但し、下付き数字はCrと元素Xの原子比を表す)、XはSi、Bから選択される1種または2種以上の元素であり、aは0.03〜0.10であることが好ましい。
比較例である試料No.8、9は、特許文献3に相当するものである。つまり、第1のCrNを被覆後に、試料No.1〜5に同様、チャンバーから取り出し、中間表面処理は行わずにそのままチャンバー内へ戻し(但し、No.9は脱脂洗浄のみ行った)、第2のCrNを被覆する前に、基材と同じArイオンエッチングおよびTi金属イオンエッチングを行ったものである。
比較例である試料No.10は、特許文献1や2に相当するものであり、チャンバーから取り出すことなく、成膜したものである。
そして最後には、上記の試料No.1〜10の最表面をダイヤモンドペーストで磨いた。
JIS−B−0602−2001に従って、粗さ曲線より算術平均粗さRaと最大高さRzを測定した。測定条件は、評価長さ:4.0mm、測定速度:0.3mm/s、カットオフ値:0.8mmである。そして、第1の皮膜表面については、本発明が定義する山頂および谷底の個数密度を、前記規格に従った断面曲線にて測定した。測定条件は、評価長さ:1.0mm、測定速度:0.15mm/s、λs値:0.8mmである。また、皮膜表面の中心部から縦、横それぞれ長さ1.0mmの断面曲線より、その平均線から50nm以上窪んだ凹部(谷底)と、同50nm以上突出した凸部(山頂)をカウントした。そしてこの作業を3回繰り返して得た平均値をそれぞれの縦と横での個数を乗じ、個数密度とした。図1AおよびBには、それぞれ試料No.1および8の、その代表される断面曲線を示す。
実際の射出成形中に発生するハロゲンガスなどの腐食ガスを模擬して、試料を10%硫酸水溶液中に20時間浸漬する試験を実施した。前記水溶液の温度は50℃とし、JIS−G−0591−2007に従って、試験片の被覆された面以外はマスキングした。そして、浸漬後には、その腐食による減量を記録するとともに、表面に現れる孔食(ピット)の観察を行った。試験面に対する腐食の面積率は、顕微鏡写真(倍率:8倍)にて評価した。
図4AおよびBは、それぞれ試料No.11および12の破断面組織を示す走査型電子顕微鏡写真である。試料No.11の第2の硬質皮膜が柱状構造となっており、試料No.12の第2の硬質皮膜は組織が微細化されていることが確認される。
典型例として本発明例の試料No.1と比較例No.8の断面観察における走査型電子顕微鏡によるミクロ組織写真を図6AおよびBに示す。
図6Aに示すとおり、本発明例の試料No.1では、界面上に1μm以上の粗大なドロップレットは確認されない。
また、本発明例のすべての試料では、本発明例の試料No.1と同様な形態であり、1μm以上のドロップレットは界面長さ50μmあたり1個以下であった。また、本発明例では界面に存在するドロップレット自体が、除去されるか、研磨されて界面をまたぐことのない平滑面を構成していることが確認された。
一方、耐食性の悪い比較例の試料No.8では、第1の硬質皮膜と第2の硬質皮膜の界面をまたぐ1ないし2μmの粗大なドロップレットが断面組織観察における界面長さ50μmあたり4個確認された。
粗大なドロップレットが存在すると、その上面に堆積する皮膜との間に空隙等の内部欠陥が形成される。この欠陥は腐食を助長するものである。
本発明例では、このような粗大なドロップレットの影響を研磨処理により排除できており、これにより耐食性が向上していることがわかる。
2 成膜チャンバー
3 蒸発源
4 蒸発源
5 蒸発源
6 基材ホルダー
7 基材
8 回転機構
Claims (19)
- 物品の基材表面に物理蒸着法によって少なくとも2層以上からなる硬質皮膜を被覆した耐食性に優れた被覆物品の製造方法であって、該製造方法は、
前記基材表面に第1の硬質皮膜を被覆するステップと、
前記第1の硬質皮膜の表面に第2の硬質皮膜を被覆するステップとを含み、
前記第2の硬質皮膜を被覆するステップの前に、前記第1の硬質皮膜の表面を、算術平均粗さRaが0.05μm以下、かつ最大高さRzが1.00μm以下に研磨するステップを更に含む、耐食性に優れた被覆物品の製造方法。 - 前記第1の硬質皮膜を被覆する前の前記基材の表面粗さをA、前記第1の硬質皮膜の研磨前の表面粗さをB、前記第1の硬質皮膜の研磨後の表面粗さをCとしたとき、各々の算術平均粗さRaと最大高さRzが、下記の式1〜3を満たすことを特徴とする請求項1に記載の耐食性に優れた被覆物品の製造方法。
Raおよび/またはRzについて、A<C<B・・・式1
Raについて、C/B<0.4・・・式2
Rzについて、C/B<0.1・・・式3 - 前記研磨するステップが、第1の硬質皮膜の表面を、断面測定による断面曲線において、平均線からの距離が50nm以上の山頂および谷底の個数密度が、それぞれ50個/mm2以下になるように研磨することを特徴とする請求項1または2に記載の耐食性に優れた被覆物品の製造方法。
- 前記第1および/または第2の硬質皮膜は、クロム系窒化物であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の耐食性に優れた被覆物品の製造方法。
- 前記第1および/または第2の硬質皮膜は、Mo、Nb、W、Si、Bから選択される1種または2種以上の元素を含むクロム系窒化物であることを特徴とする請求項4に記載の耐食性に優れた被覆物品の製造方法。
- 前記第2の硬質皮膜は、成分組成が(Cr1−aXa)Nで示されるクロム系窒化物であって、XはMo、Nb、Wから選択される1種または2種以上の元素であり、aは0.1〜0.2であることを特徴とする請求項5に記載の耐食性に優れた被覆物品の製造方法。
- 前記第2の硬質皮膜は、成分組成が(Cr1−aXa)Nで示されるクロム系窒化物であって、XはSi、Bから選択される1種または2種以上の元素であり、aは0.03〜0.10であることを特徴とする請求項5に記載の耐食性に優れた被覆物品の製造方法。
- 前記第2の硬質皮膜を被覆するステップの後に、前記第2の硬質皮膜の表面を研磨するステップを更に含むことを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の耐食性に優れた被覆物品の製造方法。
- 硬質皮膜を被覆する前の前記基材の表面粗さをA、前記第1の硬質皮膜の研磨前の表面粗さをB、前記第1の硬質皮膜の研磨後の表面粗さをC、前記第2の硬質皮膜の研磨後の表面粗さをDとしたとき、各々の算術平均粗さRaと最大高さRzが、下記の式1〜3を満たすことを特徴とする請求項8に記載の耐食性に優れた被覆物品の製造方法。
Raおよび/またはRzについて、A<C<D<B・・・式1
Raについて、C/B<0.4・・・式2
Rzについて、C/B<0.1・・・式3 - 物理蒸着法は、アークイオンプレーティング法であることを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載の耐食性に優れた被覆物品の製造方法。
- 前記被覆物品が、射出成形用部品または金型であることを特徴とする請求項1ないし10のいずれかに記載の耐食性に優れた被覆物品の製造方法。
- 物品の基材表面に物理蒸着法によって硬質皮膜を被覆した被覆物品であって、該硬質皮膜は、前記基材表面に被覆された第1の硬質皮膜と、研磨された第1の硬質皮膜の直上に被覆された第2の硬質皮膜の少なくとも2層以上からなり、かつ前記第1の硬質皮膜と前記第2の硬質皮膜の界面をまたぐ長径1μm以上のドロップレットが、断面組織観察における界面長さ50μmあたりの個数が2個未満(0を含む)であることを特徴とする耐食性に優れた被覆物品。
- 前記第1および/または第2の硬質皮膜は、クロム系窒化物であることを特徴とする請求項12に記載の耐食性に優れた被覆物品。
- 前記第1および/または第2の硬質皮膜は、Mo、Nb、W、Si、Bから選択される1種または2種以上の元素を含むクロム系窒化物であることを特徴とする請求項13に記載の耐食性に優れた被覆物品。
- 前記第2の硬質皮膜は、成分組成が(Cr1−aXa)Nで示されるクロム系窒化物であって、XはMo、Nb、Wから選択される1種または2種以上の元素であり、aは0.1〜0.2であることを特徴とする請求項14に記載の耐食性に優れた被覆物品。
- 前記第2の硬質皮膜は、成分組成が(Cr1−aXa)Nで示されるクロム系窒化物であって、XはSi、Bから選択される1種または2種以上の元素であり、aは0.03〜0.10であることを特徴とする請求項14に記載の耐食性に優れた被覆物品。
- 第2の硬質皮膜は、表面が研磨されていることを特徴とする請求項12ないし16のいずれかに記載の耐食性に優れた被覆物品。
- 物理蒸着法は、アークイオンプレーティング法であることを特徴とする請求項12ないし17のいずれかに記載の耐食性に優れた被覆物品。
- 前記被覆物品は、射出成形用部品または金型であることを特徴とする請求項12ないし18のいずれかに記載の耐食性に優れた被覆物品。
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