JPWO2011070714A1 - 光電変換装置用カバーガラスおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
光電変換装置用カバーガラスの製造方法であって、
前記カバーガラスが、表面凹凸を有するガラス板と前記ガラス板の前記表面凹凸上に形成された反射抑制膜をさらに備え、前記反射抑制膜が、シリカ微粒子と前記シリカ微粒子のバインダーとから構成され、前記表面凹凸の頂部においては前記シリカ微粒子が1層に配置され、前記表面凹凸の底部においては前記シリカ微粒子が少なくとも3層に相当する厚さに積層して配置されており、前記表面凹凸が0.4mm以上2.5mm以下の平均間隔Sm、および0.5μm〜5μmの算術平均粗さRaを有し、前記反射抑制膜が形成された側から入射する光についての反射率が、波長380nm〜780nmの全域において、1.5%以上3%以下であるカバーガラスであり、
前記シリカ微粒子と、前記バインダーの供給源となる金属化合物とを含むコーティング液を、前記ガラス板の前記表面凹凸上に噴霧する工程と、
前記ガラス板上に噴霧されたコーティング液を乾燥させる工程と、
前記ガラス板を加熱して前記乾燥させたコーティング液に含まれる前記金属化合物から酸化物を生成させて前記バインダーとする工程と、を含む光電変換装置用カバーガラスの製造方法、を提供する。
非接触三次元形状測定装置(三鷹光器株式会社、NH−3N)を用い、JIS B0601−1994に準じて、評価長さ5.0mm、カットオフ値2.5mmとして、基板として用いた型板ガラスの表面凹凸の算術平均粗さRa、最大高さRy、平均間隔Smを測定点10点の平均により求めた。また、算術平均粗さRaおよび平均間隔Smを用いて、平均傾斜角θを求めた。
分光光度計(島津製作所、UV−3100)を用い、反射抑制膜を形成した面の反射率曲線(反射スペクトル)を測定した。測定は、JIS K5602に準拠し、法線方向から光を入射させ、反射角8°の直接反射光を積分球に導入して行った。平均反射率は、波長400nm〜1100nmにおける反射率を平均化して算出した。なお、測定に際しては、ガラス板裏面(非測定面)に黒色塗料を塗布して裏面からの反射光を除き、基準鏡面反射体に基づく補正を行った。
上記分光光度計を用い、反射抑制膜の形成前後におけるカバーガラスの透過率曲線(透過スペクトル)をそれぞれ測定した。平均透過率は、波長400〜1100nmにおける透過率を平均化して算出した。反射抑制膜を形成した後の平均透過率から、反射抑制膜を形成する前の平均透過率を引いた値を透過率ゲインとした。
目視により、反射抑制膜を形成したカバーガラスの外観を下記基準で評価した。
◎ : 均一性および反射色調が反射抑制膜を形成していない型板ガラスとほぼ同等
○ : 特定の反射色は認められるが、均一性は良好
△ : 場所によって反射色調が異なり、均一性にやや劣る
× : 場所による反射色調の差がかなり大きく、均一性不良
反射抑制膜の凸部および凹部における30°斜め上方からの断面を電界放射型走査型電子顕微鏡(FE−SEM、日立製作所、S−4500)によって観察した。撮影条件は、加速電圧10kV、撮影倍率5万倍とした。
得られた反射抑制膜の耐アルカリ性を、JIS R3221に準拠して評価した。反射抑制膜を形成したカバーガラスを、温度23℃、濃度1kmol/m3(1規定)の水酸化ナトリウム水溶液に24時間浸漬した。浸漬前後の外観変化を目視により観察するとともに、浸漬前後の透過率をヘイズメータ(日本電色、NDH2000)にて測定し、それらの差の絶対値によって耐アルカリ性を評価した。耐アルカリ性の評価は下記基準で評価した。
◎ : 外観変化なし
○ : 反射色調が若干変化するが、膜は全面に残っている
△ : 反射色調が大きく変化する
× : 膜が剥離している
<コーティング液の調製>
シリカ微粒子分散液(扶桑化学工業(株)、PL−7、平均粒径100nm、固形分濃度23重量%)36.96重量部、エチルセロソルブ56.84重量部、1N塩酸(加水分解触媒)1.0重量部を撹拌混合し、さらに撹拌しながらテトラエトキシシラン5.2重量部を添加し、引き続き40℃に保温しながら8時間撹拌して原液を得た。この原液における固形分濃度は10重量%であり、固形分中の微粒子とバインダー(酸化物換算)との比率は、重量基準で85:15である。なお、上記シリカ微粒子は、中実の(言い換えれば中空ではない)微粒子である。
ソーダライムシリケート組成からなる型板ガラス(日本板硝子製、100mm×300mm、厚さ3.2mm)をアルカリ超音波洗浄し、反射抑制膜を形成するための基板として準備した。この型板ガラスの表面形状は、表面凹凸の算術平均粗さRa0.76μm、最大高さRy4.54μm、平均間隔Sm1120μm、平均傾斜角θ0.156度であった。なお、この型板ガラスの反射および透過特性を上述の方法により測定したところ、平均反射率4.54%、平均透過率91.68%であった。
原液を調製するときの各原料の比率を、シリカ微粒子分散液30.43重量部、エチルセロソルブ58.17重量部、濃塩酸1.0重量部、テトラエトキシシラン10.4重量部とした以外は、実施例1と同様にして、原液を得た。この原液の固形分濃度は10重量%であり、固形分中の微粒子とバインダー(酸化物換算)との比率は、重量基準で70:30である。
表1に示した表面形状を有する型板ガラスと、表1に示すように調製したコーティング液とを用いて、実施例1と同様にして、カバーガラスを得た。こうして得た各実施例のカバーガラスについて、上記各特性を評価した。評価の結果を表1に示す。
表2に示した表面形状を有する型板ガラスと、表2に示すように調製したコーティング液とを用いて、実施例1と同様にして、カバーガラスを得た。ただし、コーティング液における界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤を用いた。具体的には、各実施例において、DIC株式会社によるF444、株式会社ネオスによるフタージェント251、株式会社ネオスによるフタージェント215Mをそれぞれ用いた。こうして得た各実施例のカバーガラスについて、上記各特性を評価した。評価の結果を表2に示す。
表2に示した表面形状を有する型板ガラスと、表2に示すように調製したコーティング液とを用いて、実施例1と同様にして、カバーガラスを得た。実施例12、13の反射抑制膜にはZrO2が添加されている。ZrO2の出発物質としてオキシ塩化ジルコニウム八水和物(特級、関東化学株式会社)を用いた。コーティング液は、表3に示した比率の各原料を撹拌混合することで得た。原液は実施例2と同様に調製した。固形分中のSiO2とZrO2との酸化物換算による比率は、実施例12では重量基準で100:3であり、実施例13では重量基準で100:5である。固形分中の微粒子とバインダー(酸化物換算)との比率は、いずれの実施例においても重量基準で70:30であった。こうして得た各実施例のカバーガラスについて、上記各特性を評価した。評価の結果を表2に示す。また、実施例12において作製した反射抑制膜を、FE−SEMを用いて断面を観察した結果を図3(頂部)、図4(底部)に示す。
表2に示した表面形状を有する型板ガラスと、表2に示すように調製したコーティング液とを用いて、実施例1と同様にして、カバーガラスを得た。実施例14、15の反射抑制膜にはTiO2が添加されている。TiO2の出発物質としてオルガチックスTC−401(株式会社マツモト交商、チタンアセチルアセトネート、固形分濃度65重量%、2−プロパノール溶液)を用いた。コーティング液は、表3に示した比率の各原料を撹拌混合することで得た。原液は実施例2と同様に調製した。固形分中のSiO2とTiO2との酸化物換算による比率は、実施例14では重量基準で100:3であり、実施例15では重量基準で100:5である。固形分中の微粒子とバインダー(酸化物換算)との比率は、いずれの実施例においても重量基準で70:30であった。こうして得た各実施例のカバーガラスについて、上記各特性を評価した。評価の結果を表2に示す。
表2に示した表面形状を有する型板ガラスと、表2に示すように調製したコーティング液とを用いて、実施例1と同様にして、カバーガラスを得た。実施例12と同様に、各原料が表3に示した比率となるようにしてコーティング液を得た。界面活性剤にはフッ素系界面活性剤であるフタージェント251を用いた。こうして得たカバーガラスについて、上記各特性を評価した。評価の結果を表2に示す。また、作製した反射抑制膜をFE−SEMを用いて断面を観察した結果を図5(頂部)、図6(底部)に示す。
表2に示した表面形状を有する型板ガラスと、表2に示すように調製したコーティング液とを用いて、実施例1と同様にして、カバーガラスを得た。実施例17において、原液の固形分中の微粒子とバインダー(酸化物換算)との比率は、重量基準で95:5であり、コーティング液における固形分濃度は1.3重量%であり、界面活性剤濃度は0.02重量%である。こうして得たカバーガラスについて、上記各特性を評価した。評価の結果を表2に示す。
実施例1と同様にして原液を調製し、コーティング液を調製するときの各原料の比率を、原液13.0重量部、プロピレングリコール5.0重量部、2−プロパノール82.0重量部とした以外は、実施例1と同様にして、コーティング液を得た。ただし、界面活性剤は添加していない。このコーティング液における固形分濃度は1.3重量%である。引き続き、実施例1と同様にして、カバーガラスを得た。こうして得たカバーガラスについて、上記各特性を評価した。評価の結果を表4に示す。また、作製した反射抑制膜をFE−SEMを用いて断面を観察した結果を図7(頂部)、図8(底部)に示す。
実施例2と同様にして原液を調製し、コーティング液を調製するときの各原料の比率を、原液17.0重量部、プロピレングリコール5.0重量部、2−プロパノール78.0重量部とした以外は、実施例1と同様にして、コーティング液を得た。ただし、界面活性剤は添加していない。このコーティング液における固形分濃度は1.7重量%である。引き続き、実施例1と同様にして、カバーガラスを得た。こうして得たカバーガラスについて、上記各特性を評価した。評価の結果を表4に示す。
表4に示した表面形状を有する型板ガラスと、表4に示すように調製したコーティング液とを用いて、実施例1と同様にして、カバーガラスを得た。こうして得た各比較例のカバーガラスについて、上記各特性を評価した。評価の結果を表4に示す。
表4に示した表面形状を有する型板ガラスと、表4に示すように調製したコーティング液とを用いて、実施例1と同様にして、カバーガラスを得た。ただし、各比較例のコーティング液に用いた界面活性剤は、それぞれ、脂肪酸エステル系界面活性剤であるサンノプコ株式会社によるSNウェットL、スルホン酸系界面活性剤であるサンノプコ株式会社によるSNウェット970、ソルビタンモノオレエート系界面活性剤であるシグマ アルドリッチ ジャパン株式会社によるTween80とした。こうして得た各比較例のカバーガラスについて、上記各特性を評価した。評価の結果を表4に示す。
Claims (14)
- 表面凹凸を有するガラス板を備えた光電変換装置用カバーガラスであって、
前記ガラス板の前記表面凹凸上に形成された反射抑制膜をさらに備え、
前記反射抑制膜が、シリカ微粒子と前記シリカ微粒子のバインダーとから構成され、
前記表面凹凸の頂部においては前記シリカ微粒子が1層に配置され、前記表面凹凸の底部においては前記シリカ微粒子が少なくとも3層に相当する厚さに積層して配置されており、
前記ガラス板の表面凹凸が0.4mm以上2.5mm以下の平均間隔Sm、および0.5μm〜5μmの算術平均粗さRaを有し、
前記反射抑制膜が形成された側から入射する光についての反射率が、波長380nm〜780nmの全域において、1.5%以上3%以下である光電変換装置用カバーガラス。 - 前記ガラス板の前記表面凹凸が0.5μm〜10μmの最大高さRyを有する請求項1に記載の光電変換装置用カバーガラス。
- 前記ガラス板の前記表面凹凸が0.5μm〜1.0μmの算術平均粗さRaを有する請求項1に記載の光電変換装置用カバーガラス。
- 前記ガラス板の前記表面凹凸が0.5mm以上1.5mm以下の平均間隔Smを有する請求項1に記載の光電変換装置用カバーガラス。
- 前記ガラス板の前記表面凹凸が0.05〜1.0度の平均傾斜角θを有する請求項1に記載の光電変換装置用カバーガラス。
- 前記ガラス板の前記表面凹凸が0.1〜0.5度の平均傾斜角θを有する請求項5に記載の光電変換装置用カバーガラス。
- 前記ガラス板がロールアウト法により製造された型板ガラスである請求項1に記載の光電変換装置用カバーガラス。
- 前記シリカ微粒子と前記バインダーとの比が、重量基準に基づいて、90:10〜65:35である請求項1に記載の光電変換装置用カバーガラス。
- 前記シリカ微粒子と前記バインダーとの比が、重量基準に基づいて、85:15〜65:35である請求項8に記載の光電変換装置用カバーガラス。
- 前記シリカ微粒子と前記バインダーとの比が、重量基準に基づいて、80:20〜65:35である請求項9に記載の光電変換装置用カバーガラス。
- 前記バインダーがシリカからなる請求項1に記載の光電変換装置用カバーガラス。
- 前記反射抑制膜が、さらにジルコニアを含み、その含有量は5重量%以下である請求項1に記載の光電変換装置用カバーガラス。
- 前記反射抑制膜が、さらにチタニアを含み、その含有量は5重量%以下である請求項1に記載の光電変換装置用カバーガラス。
- 表面凹凸を有するガラス板を備えた光電変換装置用カバーガラスの製造方法であって、
前記カバーガラスが、請求項1に記載されたカバーガラスであり、
前記シリカ微粒子と、前記バインダーの供給源となる金属化合物とを含むコーティング液を前記ガラス板の前記表面凹凸上に噴霧する工程と、
前記ガラス板上に噴霧されたコーティング液を乾燥させる工程と、
前記ガラス板を加熱して前記乾燥させたコーティング液に含まれる前記金属化合物から酸化物を生成させて前記バインダーとする工程と、を含む光電変換装置用カバーガラスの製造方法。
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