JPWO2011024745A1 - ウエハレンズの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
前記ガラス基板の第1の位置でディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、前記ガラス基板に対して前記成形型を相対的に移動させ、前記ガラス基板の第2の位置で上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、前記ガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
1サイクル目の離型工程と2サイクル目のディスペンス工程との間で、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置との間の距離を測定する工程を有し、
2サイクル目以降のインプリント工程では、前記測定工程で測定された距離に基づき、インプリント工程におけるガラス基板に対する成形型の押圧位置を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法が提供される。
光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
前記ガラス基板の第1の位置でディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、前記ガラス基板に対して前記成形型を相対的に移動させ、前記ガラス基板の第2の位置で上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、前記ガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
1サイクル目の離型工程と2サイクル目のディスペンス工程との間で、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側と反対側の面である第2ガラス位置を検出して、当該非レンズ部位置及び第2ガラス位置間の距離を算出する工程を有し、
2サイクル目以降のディスペンス工程では、前記算出工程で算出された距離に基づき、前記樹脂の前記成形型への滴下量を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法が提供される。
光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
前記ガラス基板の第1の位置でディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、前記ガラス基板に対して前記成形型を相対的に移動させ、前記ガラス基板の第2の位置で上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、前記ガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
各サイクルの直前サイクルの離型工程後に、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置との間の距離を測定する測定工程を有し、
各サイクルのインプリント工程では、当該測定工程で測定した距離に基づき前記成形型の押圧位置を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法が提供される。
光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
前記ガラス基板の第1の位置でディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、前記ガラス基板に対して前記成形型を相対的に移動させ、前記ガラス基板の第2の位置で上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、前記ガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
各サイクルの直前サイクルの離型工程後であって、次のサイクルのディスペンス工程の前に、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側と反対側の面である第2ガラス位置を検出して、当該非レンズ部位置及び第2ガラス位置間の距離を測定するセンシング工程を有し、
次のサイクルのディスペンス工程において、前記センシング工程で測定した測定距離に基づき前記樹脂の前記成形型への滴下量を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法が提供される。
光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
1枚のガラス基板に対してディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、ガラス基板を交換して上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、複数枚のガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
1サイクル目の離型工程と2サイクル目のディスペンス工程との間で、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置との間の距離を測定する工程を有し、
2サイクル目以降のインプリント工程では、前記測定工程で測定された距離に基づき、インプリント工程におけるガラス基板に対する成形型の押圧位置を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法が提供される。
光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
1枚のガラス基板に対してディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、ガラス基板を交換して上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、複数枚のガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
1サイクル目の離型工程と2サイクル目のディスペンス工程との間で、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側と反対側の面である第2ガラス位置を検出して、当該非レンズ部位置及び第2ガラス位置間の距離を算出する工程を有し、
2サイクル目以降のディスペンス工程では、前記算出工程で算出された距離に基づき、前記樹脂の前記成形型への滴下量を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法が提供される。
光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
1枚のガラス基板に対してディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、ガラス基板を交換して上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、複数枚のガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
各サイクルの直前サイクルの離型工程後、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置との間の距離を測定する工程を有し、
各サイクルのインプリント工程では、当該測定工程で測定した距離に基づき前記成形型の押圧位置を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法が提供される。
光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
1枚のガラス基板に対してディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、ガラス基板を交換して上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、複数枚のガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
各サイクルの直前サイクルの離型工程後であって、次のサイクルのディスペンス工程の前に、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側と反対側の面である第2ガラス位置を検出して、当該非レンズ部位置及び第2ガラス位置間の距離を測定するセンシング工程を有し、
次のサイクルのディスペンス工程において、前記センシング工程で測定した測定距離に基づき前記樹脂の前記成形型への滴下量を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法が提供される。
光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
前記ガラス基板の第1の位置でディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、前記ガラス基板に対して前記成形型を相対的に移動させ、前記ガラス基板の第2の位置で上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、前記ガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
1サイクル目の前に、ガラス基板の前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置と、ガラス基板の前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側と反対側の面である第2ガラス位置とを前記ガラス基板の複数位置で測定を行うプレセンシング工程と、
1サイクル目の離型工程と2サイクル目のディスペンス工程との間で、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置を測定し、前記プレセンシング工程で測定された前記第1ガラス位置、または前記第2ガラス位置との距離を算出する工程を有し、
2サイクル目以降のインプリント工程では、前記算出工程で測定算出された距離に基づき、インプリント工程におけるガラス基板に対する成形型の押圧位置、または滴下量を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法が提供される。
光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
1枚のガラス基板に対してディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、ガラス基板を交換して上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、複数枚のガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
1サイクル目の前に、ガラス基板の前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置と、ガラス基板の前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側と反対側の面である第2ガラス位置とを前記ガラス基板の複数位置で測定を行うプレセンシング工程と、
各サイクルの直前サイクルの離型工程後であって、次のサイクルのディスペンス工程の前に、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置を測定し、前記プレセンシング工程で測定された前記第1ガラス位置、または前記第2ガラス位置との距離を算出する工程を有し、
2サイクル目以降のインプリント工程では、前記算出工程で測定算出された距離に基づき、インプリント工程におけるガラス基板に対する成形型の押圧位置、または滴下量を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法が提供される。
[第1の実施形態]
図1、図2に示す通り、成形されたウエハレンズ1は円形状のガラス基板2と、複数の凸レンズ部4と、を有している。ガラス基板2は基板の一例である。
樹脂滴下量=(1−a)×上記ギャップ間距離
他方、図18(b)に示す通り、凸レンズ部4(樹脂部分)とガラス基板2とを足し合わせた厚みT2を一定に制御しようとするときは、2サイクル目以降のディスペンス工程S3で、ディスペンサ32を制御して成形型64に滴下する樹脂量を補正する。
[第2の実施形態]
第2の実施形態は下記の点で第1の実施形態と異なっており、それ以外の構成や動作などは第1の実施形態と同様となっている。
2 ガラス基板
3 連通孔
4 凸レンズ部
6 非レンズ部
10 ウエハレンズ製造装置
20 定盤
30 XYステージ
31 突条部
32 ディスペンサ
33 針部
34 レーザー測長器
36 顕微鏡
38 連通孔
40、46 貫通孔
42 蓋部
44 光源
50 成形型部
52 第1の支持台
54 ピエゾアクチュエータ
56 第2の支持台
58 圧力センサ
60 第3の支持台
62 θステージ
64 成形型
65 キャビティ
66 ネジ
68 板バネ
70 ネジ
72 光学センサ
100 X軸移動機構
102 X軸ガイド
110 リニアモータ
112 固定子
114 可動子
116 スケール
118 センサ
120、130 エアスライドガイド機構
122、132、136 噴出孔
134 吸引孔
200 Y軸移動機構
202 Y軸ガイド202
204、206 端部
210 Y軸移動体
212、214 フック部
220 リニアモータ
222 固定子
224 可動子
226 スケール
230、240 エアスライドガイド機構
232、234、236、242、244、246 噴出孔
300 Z軸移動機構
302 Z軸ガイド
304 Zステージ
306 モータ
308 シャフト
310 隙間
320 エアスライドガイド機構
322、324、326、328 噴出孔
330 シーリング部材
400 空間部
402 上部空間部
404 下部空間部
406 空間部
410 減圧機構
500 制御装置
Claims (23)
- 光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
前記ガラス基板の第1の位置でディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、前記ガラス基板に対して前記成形型を相対的に移動させ、前記ガラス基板の第2の位置で上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、前記ガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
1サイクル目の離型工程と2サイクル目のディスペンス工程との間で、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置との間の距離を測定する工程を有し、
2サイクル目以降のインプリント工程では、前記測定工程で測定された距離に基づき、インプリント工程におけるガラス基板に対する成形型の押圧位置を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法。 - 前記測定工程で測定された距離に基づき、更に前記樹脂の前記成形型への滴下量の補正を行うことを特徴とする請求項1に記載のウエハレンズの製造方法。
- 前記距離の測定は、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置とをそれぞれ検出して算出することを特徴とする請求項1または2に記載のウエハレンズの製造方法。
- 光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
前記ガラス基板の第1の位置でディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、前記ガラス基板に対して前記成形型を相対的に移動させ、前記ガラス基板の第2の位置で上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、前記ガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
1サイクル目の離型工程と2サイクル目のディスペンス工程との間で、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側と反対側の面である第2ガラス位置を検出して、当該非レンズ部位置及び第2ガラス位置間の距離を算出する工程を有し、
2サイクル目以降のディスペンス工程では、前記算出工程で算出された距離に基づき、前記樹脂の前記成形型への滴下量を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法。 - 前記算出工程における距離の測定は、前記成形型の平坦面を、当該成形型と前記ガラス基板の樹脂が押圧される側と反対側の面とが所定間隔を持って平行になるように走査しながら行われることを特徴とする請求項3記載のウエハレンズの製造方法。
- 光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
前記ガラス基板の第1の位置でディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、前記ガラス基板に対して前記成形型を相対的に移動させ、前記ガラス基板の第2の位置で上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、前記ガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
各サイクルの直前サイクルの離型工程後に前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置との間の距離を測定する測定工程を有し、
各サイクルのインプリント工程では、当該測定工程で測定した距離に基づき前記成形型の押圧位置を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法。 - 前記測定工程で測定された距離に基づき、更に前記樹脂の前記成形型への滴下量の補正を行うことを特徴とする請求項6記載のウエハレンズの製造方法。
- 前記距離の測定は、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置とをそれぞれ検出して算出することを特徴とする請求項6または7に記載のウエハレンズの製造方法。
- 光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
前記ガラス基板の第1の位置でディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、前記ガラス基板に対して前記成形型を相対的に移動させ、前記ガラス基板の第2の位置で上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、前記ガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
各サイクルの直前サイクルの離型工程後であって、次のサイクルのディスペンス工程の前に、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側と反対側の面である第2ガラス位置を検出して、当該非レンズ部位置及び第2ガラス位置間の距離を測定するセンシング工程を有し、
次のサイクルのディスペンス工程において、前記センシング工程で測定した測定距離に基づき前記樹脂の前記成形型への滴下量を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法。 - 前記センシング工程における距離の測定は、前記成形型の平坦面を、当該成形型と前記ガラス基板の樹脂が押圧される側と反対側の面とが所定間隔を持って平行になるように走査しながら行われることを特徴とする請求項3記載のウエハレンズの製造方法。
- 光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
1枚のガラス基板に対してディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、ガラス基板を交換して上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、複数枚のガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
1サイクル目の離型工程と2サイクル目のディスペンス工程との間で、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置との間の距離を測定する工程を有し、
2サイクル目以降のインプリント工程では、前記測定工程で測定された距離に基づき、インプリント工程におけるガラス基板に対する成形型の押圧位置を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法。 - 前記測定工程で測定された距離に基づき、更に前記樹脂の前記成形型への滴下量の補正を行うことを特徴とする請求項11に記載のウエハレンズの製造方法。
- 前記距離の測定は、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置とをそれぞれ検出して算出することを特徴とする請求項11または12に記載のウエハレンズの製造方法。
- 光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
1枚のガラス基板に対してディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、ガラス基板を交換して上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、複数枚のガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
1サイクル目の離型工程と2サイクル目のディスペンス工程との間で、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側と反対側の面である第2ガラス位置を検出して、当該非レンズ部位置及び第2ガラス位置間の距離を算出する工程を有し、
2サイクル目以降のディスペンス工程では、前記算出工程で算出された距離に基づき、前記樹脂の前記成形型への滴下量を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法。 - 前記算出工程における距離の測定は、前記成形型の平坦面を、当該成形型と前記ガラス基板の樹脂が押圧される側と反対側の面とが所定間隔を持って平行になるように走査しながら行われることを特徴とする請求項14に記載のウエハレンズの製造方法。
- 光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
1枚のガラス基板に対してディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、ガラス基板を交換して上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、複数枚のガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
各サイクルの直前サイクルの離型工程後、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置との間の距離を測定する工程を有し、
各サイクルのインプリント工程では、当該測定工程で測定した距離に基づき前記成形型の押圧位置を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法。 - 前記測定工程で測定された距離に基づき、更に前記樹脂の前記成形型への滴下量の補正を行うことを特徴とする請求項16に記載のウエハレンズの製造方法。
- 前記距離の測定は、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置とをそれぞれ検出して算出することを特徴とする請求項16または17に記載のウエハレンズの製造方法。
- 光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
1枚のガラス基板に対してディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、ガラス基板を交換して上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、複数枚のガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
各サイクルの直前サイクルの離型工程後であって、次のサイクルのディスペンス工程の前に、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置と前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側と反対側の面である第2ガラス位置を検出して、当該非レンズ部位置及び第2ガラス位置間の距離を測定するセンシング工程を有し、
次のサイクルのディスペンス工程において、前記センシング工程で測定した測定距離に基づき前記樹脂の前記成形型への滴下量を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法。 - 前記センシング工程における距離の測定は、前記成形型の平坦面を、当該成形型と前記ガラス基板の樹脂が押圧される側と反対側の面とが所定間隔を持って平行になるように走査しながら行われることを特徴とする請求項3に記載のウエハレンズの製造方法。
- 光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
前記ガラス基板の第1の位置でディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、前記ガラス基板に対して前記成形型を相対的に移動させ、前記ガラス基板の第2の位置で上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、前記ガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
1サイクル目の前に、ガラス基板の前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置と、ガラス基板の前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側と反対側の面である第2ガラス位置とを前記ガラス基板の複数位置で測定を行うプレセンシング工程と、
1サイクル目の離型工程と2サイクル目のディスペンス工程との間で、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置を測定し、前記プレセンシング工程で測定された前記第1ガラス位置、または前記第2ガラス位置との距離を算出する工程を有し、
2サイクル目以降のインプリント工程では、前記算出工程で測定算出された距離に基づき、インプリント工程におけるガラス基板に対する成形型の押圧位置、または滴下量を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法。 - 前記プレセンシング工程において前記ガラス基板を測定する複数の位置は、前記各サイクルごとに相対移動したガラス基板上の位置であることを特徴とする請求項21に記載のウエハレンズの製造方法。
- 光硬化性樹脂を、平坦面と当該平坦面に成形面を有する成形型に滴下するディスペンス工程と、
前記成形型とガラス基板との一方を他方に押圧するインプリント工程と、
前記インプリント工程後、前記光硬化性樹脂に対して光照射する露光工程と、
前記ガラス基板を前記成形型から離型する離型工程とを備え、
1枚のガラス基板に対してディスペンス工程から離型工程までの処理を1サイクルとして行い、その後、ガラス基板を交換して上記1サイクルを再び行い、これらを複数回繰り返して、複数枚のガラス基板に樹脂製のレンズ部を順次形成するウエハレンズの製造方法において、
1サイクル目の前に、ガラス基板の前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側の面である第1ガラス位置と、ガラス基板の前記ガラス基板の成形型で樹脂が押圧される側と反対側の面である第2ガラス位置とを前記ガラス基板の複数位置で測定を行うプレセンシング工程と、
各サイクルの直前サイクルの離型工程後であって、次のサイクルのディスペンス工程の前に、前記レンズ部の周辺の非レンズ部の非レンズ部位置を測定し、前記プレセンシング工程で測定された前記第1ガラス位置、または前記第2ガラス位置との距離を算出する工程を有し、
2サイクル目以降のインプリント工程では、前記算出工程で測定算出された距離に基づき、インプリント工程におけるガラス基板に対する成形型の押圧位置、または滴下量を補正することを特徴とするウエハレンズの製造方法。
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