JPWO2010064635A1 - 光導波路および光導波路形成用部材 - Google Patents
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Abstract
Description
長尺状のコア部と、
該コア部に隣接するように設けられたクラッド部と、
前記コア部の光軸の延長線を斜めに横切る加工面からなるミラーとを有する光導波路であって、
前記ミラーは、前記コア部の延長線上に設けられ、前記加工面には、前記コア部を構成する材料以外の材料のみが露出していることを特徴とする光導波路である。
長尺状のコア部と、該コア部の側面に隣接するように設けられた側面クラッド部とを含むコア層と、
該コア層を挟むように積層された2つのクラッド層と、
前記コア部の光軸の延長線を斜めに横切る加工面からなるミラーとを有する光導波路であって、
前記ミラーは、前記コア部の延長線上に設けられ、前記加工面のうち、前記コア層に対応する加工面には、前記側面クラッド部を構成する材料のみが露出していることを特徴とする光導波路である。
長尺状のコア部と、
該コア部に隣接するように設けられたクラッド部と、
ミラーを形成するための加工に供されるミラー形成部とを有し、光導波路を形成するのに用いられる光導波路形成用部材であって、
前記ミラー形成部は、前記コア部の延長線上に設けられ、前記コア部を構成する材料以外の材料のみで構成された部位であることを特徴とする光導波路形成用部材である。
長尺状のコア部と、該コア部の側面に隣接するように設けられた側面クラッド部とを含むコア層と、
該コア層を挟むように積層された2つのクラッド層と、
ミラーを形成するための加工に供されるミラー形成部とを有し、光導波路を形成するのに用いられる光導波路形成用部材であって、
前記ミラー形成部は、前記コア部の延長線上に設けられた部位であり、かつ、前記ミラー形成部の前記コア層に対応する部分が、前記側面クラッド部を構成する材料のみで構成されていることを特徴とする光導波路形成用部材である。
コア層13には、長尺状のコア部14と、このコア部14の側面および一方の端部を囲むように、コア部14に隣接する側面クラッド部15とが形成されている。すなわち、コア部14は、その下方に位置するクラッド層11、上方に位置するクラッド層12、および側方に位置する側面クラッド部15からなるクラッド部16で囲まれている。なお、図1〜3には、コア層13にのみドットが付されており、このうち、コア部14には、相対的に密なドットが付されており、側面クラッド部15には、相対的に疎なドットが付されている。また、図1、2では、クラッド層12を透過して示している。
屈折率差(%)=|A/B−1|×100
ミラー17は、ミラー形成部155を厚さ方向に一部貫通するようにV字状の凹部170を形成し、この凹部170の側面(加工面)の一部からなるものである。この側面は平面状をなし、コア部14の軸線Mに対して45°傾斜している。すなわち、ミラー17は、コア部14の軸線Mの延長線を斜め45°に横切るように形成されている。
図11は、従来の光導波路を示す(一部透過して示す)斜視図、図12は、図11の光導波路を上方から見たときの平面図、図13は、図12に示す光導波路のX−X線断面図である。なお、本明細書では、図11、13中の上側を「上」、下側を「下」という。
なお、クラッド層11およびクラッド層12の各構成材料および各化学構造が、側面クラッド部15と全く同じでなくても、両者はいずれもクラッド部であるので比較的物性が似通っている。よって、従来のようにミラーにコア材料とクラッド材料とが露出している場合に比べれば、いずれにしろ、加工レートの差を格段に小さくすることができ、ミラー17の面精度および光学性能の向上を図ることができる。
光導波路10は、クラッド層11と、コア層13と、クラッド層12とをそれぞれ作製し、これらを積層することにより製造される。
層110は、コア層形成用材料(ワニス)100を塗布し硬化(固化)させる方法により形成される。
このようなポリマー115としては、前述したコア層13の構成材料が挙げられる。
[(E(R)3)aPd(Q)(LB)b]p[WCA]r ・・・(Ib)
[式Ia、Ib中、それぞれ、E(R)3は、第15族の中性電子ドナー配位子を表し、Eは、周期律表の第15族から選択される元素を表し、Rは、水素原子(またはその同位体の1つ)または炭化水素基を含む部位を表し、Qは、カルボキシレート、チオカルボキシレートおよびジチオカルボキシレートから選択されるアニオン配位子を表す。また、式Ib中、LBは、ルイス塩基を表し、WCAは、弱配位アニオンを表し、aは、1〜3の整数を表し、bは、0〜2の整数を表し、aとbとの合計は、1〜3であり、pおよびrは、パラジウムカチオンと弱配位アニオンとの電荷のバランスをとる数を表す。]
以上のようなコア層形成用材料100を用いて層110が形成される。
これにより、照射領域125内では、活性潜在状態の触媒前駆体が活性化して(活性状態となって)、モノマーの反応(重合反応や架橋反応)が生じる。
これにより、未照射領域140および/または照射領域125に残存する触媒前駆体を、直接または助触媒の活性化を伴って、活性化させる(活性状態とする)ことにより、各領域125、140に残存するモノマーを反応させる。
これにより、得られるコア層13に生じる内部応力の低減や、コア部14および側面クラッド部15の更なる安定化を図ることができる。
以上のようにして、支持基板162上に、クラッド層11(12)が形成される。
次いで、クラッド層11、12から、それぞれ、支持基板162を剥離、除去する。
以上のようにして、光導波路10(本発明の光導波路)が得られる。
さらに、ミラー17は、光導波路10の途中にあってもよい。
クラッド部が2種類以上のクラッド材料で構成されている場合、ミラー17には、2種類以上のクラッド材料が露出していてもよいが、1種類のみが露出しているのが好ましい。
(実施例)
まず、図9および図10に示す光導波路形成用部材を用意した。この光導波路形成用部材は、ノルボルネン系ポリマーで構成されたコア層およびクラッド層を積層してなるものである。
次いで、この光導波路形成用部材のミラー形成部に、図10に示すように、コア部の延長線に対して所定の角度でレーザ光を照射し、掘り込み加工を施した。これにより、ミラーを形成し、図1〜図3に示す光導波路を得た。得られた光導波路のミラーには、側面クラッド部を構成する材料(クラッド材料)と、クラッド層を構成する材料(クラッド材料)とが露出している。
なお、実施例では、同様の方法で合計32個の光導波路のサンプルを作製したが、各サンプルでは、それぞれミラーの角度が異なっている。ミラーの角度は、40〜50°の間にほぼ均等に分布するように、各サンプル間で調整されている。
光導波路の構造を、図11〜図13に示す構造にした以外は、実施例と同様にして光導波路を作製した。得られた光導波路のミラーには、コア部を構成する材料(コア材料)と、側面クラッド部を構成する材料と、クラッド層を構成する材料とが露出している。
なお、比較例1では、同様の方法で合計12個の光導波路のサンプルを作製したが、各サンプルでは、それぞれミラーの角度が異なっている。ミラーの角度は、40〜50°の間にほぼ均等に分布するように、各サンプル間で調整されている。
比較例1とは異なるポリマーを用いるようにした以外は、比較例1と同様にして光導波路を作製した。得られた光導波路のミラーには、コア部を構成する材料と、側面クラッド部を構成する材料と、クラッド層を構成する材料とが露出している。
なお、比較例2では、同様の方法で合計30個の光導波路のサンプルを作製したが、各サンプルでは、それぞれミラーの角度が異なっている。ミラーの角度は、40〜50°の間にほぼ均等に分布するように、各サンプル間で調整されている。
実施例および各比較例で得られたサンプル(光導波路)について、それぞれのミラーの挿入損を以下の測定条件により測定した。
<測定条件>
・光源 :VCSEL 100μmφ(ミラー側オイルなし)
・光源の波長 :830nm
・光源の出力 :0.6mW
・入射光強度P0 :1.0V
なお、ミラーの挿入損は、ミラーへの入射光強度をP0とし、ミラーからの出射光強度をPとしたとき、以下の式により計算される。
(挿入損)=−10*log(P/P0)
そして、各サンプルについて、ミラーの角度(単位:度)を横軸、算出された挿入損(単位:dB)を縦軸として、散布図を作成した。得られた散布図のグラフを図14に示す。また、各サンプルのうち、挿入損の最小値、および、挿入損が1.5dBを下回るミラーの角度範囲(概算)を、表1に示す。
一方、各比較例で得られたサンプルでは、全体的に挿入損が大きいことが認められた。特に、実施例で得られたサンプルと、比較例1で得られたサンプルは、構成材料(ポリマー)の組成が同じであるにもかかわらず、挿入損の差が大きかった。
さらに、実施例で得られたサンプルでは、1.5dBを下回るミラーの角度範囲が十分に広いことが明らかとなった。これは、実施例においては、良好な伝送効率が得られるミラーを形成するにあたって、ミラーの角度の製造誤差の許容範囲が比較的広いことを示すものである。よって、実施例では、ミラーの角度を厳密に制御する必要がないので、高品質の光導波路を容易に作製可能であることが明らかとなった。
Claims (13)
- 長尺状のコア部と、
該コア部に隣接するように設けられたクラッド部と、
前記コア部の光軸の延長線を斜めに横切る加工面からなるミラーとを有する光導波路であって、
前記ミラーは、前記コア部の延長線上に設けられ、前記加工面には、前記コア部を構成する材料以外の材料のみが露出していることを特徴とする光導波路。 - 前記加工面には、前記クラッド部のうちの少なくとも一部を構成する材料のみが露出している請求項1に記載の光導波路。
- 長尺状のコア部と、該コア部の側面に隣接するように設けられた側面クラッド部とを含むコア層と、
該コア層を挟むように積層された2つのクラッド層と、
前記コア部の光軸の延長線を斜めに横切る加工面からなるミラーとを有する光導波路であって、
前記ミラーは、前記コア部の延長線上に設けられ、前記加工面のうち、前記コア層に対応する加工面には、前記側面クラッド部を構成する材料のみが露出していることを特徴とする光導波路。 - 前記加工面には、前記側面クラッド部を構成する材料、および、前記2つのクラッド層を構成する材料のみが露出している請求項3に記載の光導波路。
- 前記側面クラッド部を構成する材料は、前記2つのクラッド層を構成する材料と同一である請求項3に記載の光導波路。
- 前記ミラーとこれに隣接する前記コア部との離間距離は、前記コア部の光軸の延長線上において、5〜250μmである請求項5に記載の光導波路。
- 前記加工面は、レーザ加工により形成される請求項6に記載の光導波路。
- 前記光導波路の前記コア部は、ノルボルネン系ポリマーを主材料として構成されている請求項7に記載の光導波路。
- 長尺状のコア部と、
該コア部に隣接するように設けられたクラッド部と、
ミラーを形成するための加工に供されるミラー形成部とを有し、光導波路を形成するのに用いられる光導波路形成用部材であって、
前記ミラー形成部は、前記コア部の延長線上に設けられ、前記コア部を構成する材料以外の材料のみで構成された部位であることを特徴とする光導波路形成用部材。 - 前記ミラー形成部は、前記クラッド部のうちの少なくとも一部を構成する材料のみで構成された部位である請求項9に記載の光導波路形成用部材。
- 長尺状のコア部と、該コア部の側面に隣接するように設けられた側面クラッド部とを含むコア層と、
該コア層を挟むように積層された2つのクラッド層と、
ミラーを形成するための加工に供されるミラー形成部とを有し、光導波路を形成するのに用いられる光導波路形成用部材であって、
前記ミラー形成部は、前記コア部の延長線上に設けられた部位であり、かつ、前記ミラー形成部の前記コア層に対応する部分が、前記側面クラッド部を構成する材料のみで構成されていることを特徴とする光導波路形成用部材。 - 前記ミラー形成部は、前記側面クラッド部を構成する材料、および、前記2つのクラッド層を構成する材料のみで構成された部位である請求項11に記載の光導波路形成用部材。
- 前記ミラーを形成するための加工は、前記ミラー形成部の一部を除去する加工である請求項9に記載の光導波路形成用部材。
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