JP5199060B2 - 交差導波路 - Google Patents
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Description
(1) 第1のコア部と、該第1のコア部を囲むように設けられたクラッド部とを備える第1の光導波路と、第2のコア部と、該第2のコア部を囲むように設けられたクラッド部とを備える第2の光導波路と、を有し、前記第1のコア部と前記第2のコア部とが同一の平面上の交差点で交わるよう構成された交差導波路であって、
前記第1の光導波路は、マルチモードに対応したものであり、かつ、前記交差点よりも前記第1の光導波路の光の入射側に位置する入射側部分から前記交差点に向けて、前記平面上で見たときの前記第1のコア部の幅が徐々に拡大するようなテーパー状をなす部分を有しており、
前記テーパー状をなす部分の、前記第1のコア部の光軸に対するテーパー角度は、前記第1のコア部を伝搬する光の伝搬角度より小さくなるよう設定されていることを特徴とする交差導波路。
(11) 当該交差導波路は、樹脂材料で構成されている上記(1)ないし(10)のいずれかに記載の交差導波路。
(12) 前記第1のコア部の幅は、10〜200μmである上記(1)ないし(11)のいずれかに記載の交差導波路。
(13) 前記入射側部分において、前記テーパー状をなす部分の輪郭が湾曲している上記(1)ないし(12)のいずれかに記載の交差導波路。
屈折率差(%)=|A/B−1|×100
図12は、従来の交差導波路を示す(一部切り欠いて、および透過して示す)斜視図、図13は、図12に示すコア層を伝搬する光の伝搬経路の一例を示す図である。なお、以下の説明では、図12中の上側を「上」、下側を「下」という。また、図12は、層の厚さ方向(図12の上下方向)が誇張して描かれている。
図9に示す交差導波路は、各テーパー面180a、180bの形状が異なること以外は、図2に示す交差導波路10と同様である。すなわち、図9に示す各角部180a1、180a2、180a3は、それぞれ、図2に示すような角を面取りした平面状のテーパー面180aとは異なる形状であるが、テーパー面180aと同様の機能を有するものである。
図10に示す交差導波路は、コア層13において、第1のコア部141の交差部143近傍にも、第2のコア部142に設けられた混信防止クラッド192a、192bと同様の機能を有する混信防止クラッド191a、191bを有している以外は、図2に示す交差導波路10と同様である。
交差導波路10は、クラッド層11と、コア層13と、クラッド層12とをそれぞれ作製し、これらを積層することにより製造される。
層110は、コア層形成用材料(ワニス)100を塗布し硬化(固化)させる方法により形成される。
このようなポリマー115としては、前述したコア層13の構成材料が挙げられる。
[(E(R)3)aPd(Q)(LB)b]p[WCA]r ・・・(Ib)
[式Ia、Ib中、それぞれ、E(R)3は、第15族の中性電子ドナー配位子を表し、Eは、周期律表の第15族から選択される元素を表し、Rは、水素原子(またはその同位体の1つ)または炭化水素基を含む部位を表し、Qは、カルボキシレート、チオカルボキシレートおよびジチオカルボキシレートから選択されるアニオン配位子を表す。また、式Ib中、LBは、ルイス塩基を表し、WCAは、弱配位アニオンを表し、aは、1〜3の整数を表し、bは、0〜2の整数を表し、aとbとの合計は、1〜3であり、pおよびrは、パラジウムカチオンと弱配位アニオンとの電荷のバランスをとる数を表す。]
以上のようなコア層形成用材料100を用いて層110が形成される。
これにより、照射領域125内では、活性潜在状態の触媒前駆体が活性化して(活性状態となって)、モノマーの反応(重合反応や架橋反応)が生じる。
これにより、未照射領域140および/または照射領域125に残存する触媒前駆体を、直接または助触媒の活性化を伴って、活性化させる(活性状態とする)ことにより、各領域125、140に残存するモノマーを反応させる。
これにより、得られるコア層13に生じる内部応力の低減や、各コア部141、142および側面クラッド部15の更なる安定化を図ることができる。
なお、例えば、第2の加熱処理や第3の加熱処理を施す前の状態で、各コア部141、142および側面クラッド部15との間に十分な屈折率差が得られている場合等には、本工程[5]や前記工程[4]を省略してもよい。
以上のようにして、支持基板162上に、クラッド層11(12)が形成される。
これにより、クラッド層11、12とコア層13とが接合、一体化される。
2 第2の光導波路
10 交差導波路
11、12 クラッド層
13 コア層
141 第1のコア部
141a 入射側端部
141b 出射側端部
142 第2のコア部
142a 入射側端部
142b 出射側端部
143 交差部
15 側面クラッド部
16 クラッド部
171a、171b、172a、172b 境界面
180a、180b テーパー面
180a1、180a2、180a3 角部
191a、191b、192a、192b 混信防止クラッド
100 コア層形成用材料(ワニス)
110 層
115 ポリマー
120 添加剤
125 照射領域
130 活性放射線(活性エネルギー光線)
135 マスク
1351 開口(窓)
140 未照射領域
161、162 支持基板
20 光導波路
23 コア層
24 コア部
25 側面クラッド部
280a 拡径部分
280b 縮径部分
90 交差導波路
93 コア層
941 第1のコア部
942 第2のコア部
943 交差部
95 側面クラッド部
971、972 境界面
Claims (13)
- 第1のコア部と、該第1のコア部を囲むように設けられたクラッド部とを備える第1の光導波路と、第2のコア部と、該第2のコア部を囲むように設けられたクラッド部とを備える第2の光導波路と、を有し、前記第1のコア部と前記第2のコア部とが同一の平面上の交差点で交わるよう構成された交差導波路であって、
前記第1の光導波路は、マルチモードに対応したものであり、かつ、前記交差点よりも前記第1の光導波路の光の入射側に位置する入射側部分から前記交差点に向けて、前記平面上で見たときの前記第1のコア部の幅が徐々に拡大するようなテーパー状をなす部分を有しており、
前記テーパー状をなす部分の、前記第1のコア部の光軸に対するテーパー角度は、前記第1のコア部を伝搬する光の伝搬角度より小さくなるよう設定されていることを特徴とする交差導波路。 - 前記入射側部分において、前記テーパー状をなす部分の、前記第1のコア部の光軸に対するテーパー角度は、前記第1のコア部の幅の拡大率が0.5〜40%になるよう設定されている請求項1に記載の交差導波路。
- 前記入射側部分において、前記テーパー状をなす部分の、前記第1のコア部の光軸に沿う長さは、前記第1のコア部の最狭部の幅の5倍以上である請求項1または2に記載の交差導波路。
- 前記入射側部分において、前記テーパー状をなす部分は、該部分で前記第1の光導波路を伝搬する光を反射することにより、該光の伝搬モードを、より低次側に変更する機能を有する請求項1ないし3のいずれかに記載の交差導波路。
- 前記交差点から、該交差点よりも前記第1の光導波路の光の出射側に位置する出射側部分に向けて、前記平面上で見たときの前記第1のコア部の幅が徐々に縮小するようなテーパー状をなす部分を有している請求項1ないし4のいずれかに記載の交差導波路。
- 前記出射側部分において、前記テーパー状をなす部分の、前記第1のコア部の光軸に対するテーパー角度は、前記第1の光導波路の臨界角から、前記第1の光導波路中の光の伝搬角度を除した角度よりも小さい請求項5に記載の交差導波路。
- 前記出射側部分において、前記テーパー状をなす部分の、前記第1のコア部の光軸に対するテーパー角度は、前記第1のコア部の幅の縮小率が0.5〜40%になるよう設定されている請求項5または6に記載の交差導波路。
- 前記出射側部分において、前記テーパー状をなす部分の、前記第1のコア部の光軸に沿う長さは、前記第1のコア部の最狭部の幅の5倍以上である請求項5ないし7のいずれかに記載の交差導波路。
- 前記交差点近傍の前記第2のコア部内に、前記第2のコア部を横切るように設けられ、前記第2のコア部より屈折率の低い帯状クラッド部を有する請求項1ないし8のいずれかに記載の交差導波路。
- 前記帯状クラッド部の幅は、1〜10μmである請求項9に記載の交差導波路。
- 当該交差導波路は、樹脂材料で構成されている請求項1ないし10のいずれかに記載の交差導波路。
- 前記第1のコア部の幅は、10〜200μmである請求項1ないし11のいずれかに記載の交差導波路。
- 前記入射側部分において、前記テーパー状をなす部分の輪郭が湾曲している請求項1ないし12のいずれかに記載の交差導波路。
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