JPWO2009125497A1 - 均熱装置および有機膜成膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施の形態1の均熱装置の断面図である。図2は、図1に示す断面と直交する、均熱装置の断面図である。図3は、図1および図2に示す均熱装置の上部平面図である。以下の実施の形態において、水平方向とは、均熱装置の断面図における左右方向をいい、上下方向とはこれらの図における上下方向をいうものとする。
図4は、実施の形態2の均熱装置の断面図である。図5は、図4に示す断面と直交する、均熱装置の断面図である。実施の形態2の均熱装置は、実施の形態1の均熱装置と比較して、上側凝縮孔が図4および図5に示すような構成となっている点で異なっている。
図6は、実施の形態3の均熱装置の断面図である。図7は、図6に示す断面と直交する、均熱装置の断面図である。実施の形態3の均熱装置は、実施の形態1の均熱装置と比較して、上側凝縮孔が図6および図7に示すような構成となっている点で異なっている。
図10は、実施の形態4の均熱装置の断面図である。図11は、図10に示す断面と直交する、均熱装置の断面図である。実施の形態4の均熱装置は、実施の形態3の均熱装置と比較して、上側凝縮孔が図10および図11に示すような構成となっている点で異なっている。
図12は、実施の形態5の均熱装置の断面図である。図13は、図12に示す断面と直交する、均熱装置の断面図である。実施の形態5の均熱装置は、実施の形態4の均熱装置と比較して、上側凝縮孔が図12および図13に示すような構成となっている点で異なっている。
図14は、実施の形態6の均熱装置の断面図である。図15は、図14に示す断面と直交する、均熱装置の断面図である。図14および図15では、蒸発により気化した被加熱材料をプロセス容器に供給するための、配管系21が配置された均熱装置を示す。配管系21の下部の一部は、容器構造体の上部表面に開口した開口部15に連結されるように、開口している。キャリアガスは、白抜き矢印20に示すように、配管系21の内部を流れる。
上記の一連の実施例においては、容器構造体内部での作動流体の蒸発および凝縮により、加熱手段6から加熱ブロック1への熱輸送が行なわれて、被加熱材料が加熱される。たとえばナフタレン(C10H8)を作動流体として使用することができる。この場合、ナフタレンが接触している面のステンレスの触媒効果により、ナフタレンが分解解離すると、水素が発生する。この水素ガスが、気体状の作動流体が凝縮する面に不凝縮ガスとなって存在すると、ナフタレンの蒸気が凝縮する際の熱伝達を阻害して均熱性の維持が困難となる。
上記の一連の実施例において、所定の被加熱材料が、加熱ブロック1の内部に形成された流路を流通するときに、流路の内壁面から伝熱されて加熱される。加熱された被加熱材料が分解解離してしまうと、目的の有機原料を所定の濃度で供給することが困難となり、要求している性能を持たせることができなくなる。実施の形態8では、これらの流路を構成する金属材料の触媒効果により被加熱材料が分解されないように、被加熱材料の流れる経路の表面に金属酸化物を含む不働態処理皮膜を形成していることを特徴としている。
Claims (9)
- 作動流体が充填される密閉空間が内部に形成されている容器構造体と、
前記容器構造体の底部に配置された加熱手段(6)と、
前記容器構造体の外側と内側とを連通する材料供給管(11)とを備え、
前記容器構造体は、被加熱材料を加熱して気化させる加熱ブロック(1)と、前記加熱ブロック(1)を取り囲むハウジング部(2)とを有し、
前記加熱ブロック(1)には、被加熱材料が流動する流路と、前記加熱手段(6)により加熱され蒸発した作動流体が冷却されて凝縮する凝縮路とが形成されており、
前記流路は、前記材料供給管(11)に接続され水平方向に延びる第一流路(12,13)と、前記第一流路(12,13)から分岐し上下方向へ延びる第二流路(14)と、前記第二流路(14)が前記容器構造体の上部表面に開口した開口部(15)とを含み、
前記凝縮路は、前記第二流路(14)の両側に形成され水平方向に延びる上側凝縮孔(10)と、前記第一流路(12,13)の下側に形成された下側凝縮穴(16)とを含み、
前記上側凝縮孔(10)と前記下側凝縮穴(16)との間に前記第一流路(12,13)を配置した、均熱装置。 - 前記下側凝縮穴(16)を、前記第一流路(12,13)の全体に渡って設ける、請求の範囲第1項に記載の均熱装置。
- 前記上側凝縮孔(10)を前記第二流路(14)に沿って延在させた、請求の範囲第1項または第2項に記載の均熱装置。
- 前記上側凝縮孔(10)の底面を傾斜させ、前記作動流体を前記容器構造体の底部に戻すようにした、請求の範囲第1項に記載の均熱装置。
- 前記上側凝縮孔(10)の天井面を水平にした、請求の範囲第4項に記載の均熱装置。
- 前記第二流路(14)の両側に位置する隣り合う前記上側凝縮孔(10)の底面を、互いに異なる傾斜方向に傾斜させた、請求の範囲第4項または第5項に記載の均熱装置。
- 前記開口部(15)に連結された配管系(21)と、
前記配管系(21)を加熱する加熱設備とをさらに備え、
前記配管系(21)の温度と前記容器構造体の温度とは、個別に制御される、請求の範囲第1項または第2項に記載の均熱装置。 - 前記作動流体の流れる経路、および、前記被加熱材料の流れる経路の、少なくともいずれか一方に、金属酸化物を含む不働態処理皮膜が形成されている、請求の範囲第1項または第2項に記載の均熱装置。
- 請求の範囲第1項または第2項に記載の均熱装置を用いた有機膜成膜装置。
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