JP2002184571A

JP2002184571A - 有機ｅｌ素子の製造方法

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Publication number: JP2002184571A
Application number: JP2000382421A
Authority: JP
Inventors: Harumi Suzuki; 晴視鈴木; Shoichi Kawai; 川井　　正一; Hiroto Hayashi; 裕人林
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2000-12-15
Filing date: 2000-12-15
Publication date: 2002-06-28

Abstract

(57)【要約】【課題】真空蒸着法により有機層を形成するようにし
た有機ＥＬ素子の製造方法において、基板と蒸着源との
距離を近づけても、形成される有機層の膜厚分布の均一
性を確保できるようにする。【解決手段】有機層の原料である有機物が収納された
坩堝１００及びこの容器１００に接続されたノズル１２
０を用意し、容器１００を加熱して有機物を蒸発させ、
蒸発した有機物をノズル１２０の開口部１２５から噴出
させて基板上に堆積することにより有機層を形成する工
程において、ノズル１２０として、有機層の形成領域即
ち基板の配置領域１０ａに対応して複数個配置されたも
のを用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一対の電極とこれ
ら一対の電極間に挟まれた少なくとも有機発光材料を含
む有機層とを、基板上に形成してなる有機ＥＬ素子の製
造方法に関し、特に、真空蒸着法により有機層を形成す
る方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、有機ＥＬ素子は、一対の電極と
これら一対の電極間に挟まれた少なくとも有機発光材料
を含む有機層とを、基板上に形成してなるものである。
このような有機ＥＬ素子は、自己発光のため、視認性に
優れ、かつ数Ｖ〜数十Ｖの低電圧駆動が可能なため駆動
回路を含めた軽量化が可能である。そこで、有機ＥＬ素
子は、薄膜型ディスプレイ、照明器具、バックライト等
としての活用が期待できる。

【０００３】従来、有機ＥＬ素子における有機層は、分
子量５００程度の有機物を真空蒸着法を用いて成膜する
ことで形成される。すなわち、有機層の原料である有機
物が収納された容器及びこの容器に接続されたノズルを
用意し、該容器を加熱して有機物を蒸発させ、蒸発した
有機物を該ノズルの開口部から噴出させて基板上に堆積
することにより、有機層を形成するものである。このよ
うな有機層の成膜方法としては、特開平６−２２３９７
０号公報に記載のものがある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記真空蒸
着による成膜方法では、基板面内での有機層の膜厚分布
を±５％以内に保つことで、素子の電圧−電流−輝度特
性を安定に保つようにしている。有機ＥＬ素子では、一
対の電極間に介在する有機層は、複数層（例えば４層程
度）の積層構造であり、その膜厚は１００ｎｍ程度であ
る。

【０００５】ここで、有機層の１層は２０ｎｍと薄い層
もあり、膜厚が１０％以上変化すると、電圧−電流−輝
度特性が低下したり、耐久性も低下することがわかって
いる。また、面内の膜厚のばらつきにおいて、このよう
な現象が起こると、製品としての安定性が無くなる。

【０００６】従来一般の成膜方法では、基板と蒸着源
（ノズル）との距離が近いと、ノズルからの噴出量分布
に存在するムラによって膜厚分布のばらつきが大きくな
るため、上記のように薄い有機層の膜厚分布のムラを防
止するには、上記距離をある程度離す必要がある。

【０００７】従来では、例えば、上記距離を少なくとも
基板サイズ（基板の幅）の３倍程度離すことで、膜厚分
布を±５％以内に保っている。しかし、このように、上
記距離を離した状態で成膜を行うと、ノズルから噴出さ
れる有機物原料の多く（例えば９０％以上）が基板以外
の部位に広がってしまうため、材料の無駄が多い。

【０００８】この問題に対して、半導体プロセスの分野
で行われているように、蒸着源に対して、基板を回転さ
せながら成膜する方法が考えられる。この方法によれ
ば、蒸着源と基板との距離を近づけることが可能とな
り、材料の利用効率が高くなると考えられる。

【０００９】しかしながら、この基板を回転させる方法
では、蒸着源からの材料の噴出速度と基板の回転速度と
の２つのパラメータを同時に制御する必要があるため、
正確なパラメータ制御が難しく、基板面内での膜厚のム
ラが発生することは避けられない。

【００１０】そこで、本発明は上記問題に鑑み、真空蒸
着法により有機層を形成するようにした有機ＥＬ素子の
製造方法において、基板と蒸着源との距離を近づけて
も、形成される有機層の膜厚分布の均一性を確保できる
ようにすることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明では、一対の電極（２０、４
０）とこれら一対の電極間に挟まれた少なくとも有機発
光材料を含む有機層（３０）とを、基板（１０）上に形
成してなる有機ＥＬ素子の製造方法において、有機層の
原料である有機物が収納された容器（１００）及びこの
容器に接続されたノズル（１２０）を用意し、容器を加
熱して前記有機物を蒸発させ、蒸発した有機物をノズル
の開口部（１２５）から噴出させて基板上に堆積するこ
とにより有機層を形成する工程を備え、ノズルとして、
有機層の形成領域に対応して複数個配置されたものを用
いることを特徴としている。

【００１２】個々のノズルの噴出量は、ノズルの開口部
中心に向かって多く、周辺に行くほど少なくなる。しか
し、本発明によれば、ノズルとして、有機層の形成領域
に対応して複数個配置されたものを用いているため、個
々のノズルの開口部の噴出領域は、隣接するノズルの開
口部の噴出領域と重なり合うようにすることができる。

【００１３】そのため、ノズルと基板との距離を近づけ
ても、複数個のノズル全体の噴出領域においては噴出量
分布を均一にすることができる。よって、結果的に、基
板と蒸着源との距離を近づけても、形成される有機層の
膜厚分布の均一性を確保することができる。

【００１４】また、請求項２に記載の発明では、容器
（１０１、１０２）として、収納されている有機物の種
類が互いに異なる複数個のものを用い、ノズル（１２
１、１２２）は、個々の容器毎に対応して設けられてい
るものであることを特徴としている。

【００１５】それによれば、請求項１の発明と同様の作
用効果を発揮するとともに、異種有機物同士を、別々の
ノズルから噴出させることができるため、共蒸着が可能
となる。

【００１６】さらに、請求項３に記載の発明では、個々
のノズル（１２１、１２２）は一方向に延びるパイプ状
をなすとともに、開口部（１２５）が長手方向に沿って
複数個設けられたものであり、個々のノズルが並列に平
面配置されることにより、複数個のノズルが構成されて
いることを特徴としている。それにより、請求項２の発
明の作用効果を適切に発揮することができる。

【００１７】ここで、請求項４に記載の発明のように、
異なる種類の有機物に対応したノズル（１２１、１２
２）を、互いに１本〜数本おきに配置すれば、共蒸着の
際に、異種有機物同士をより均一に混合させることがで
き、好ましい。

【００１８】また、請求項５に記載の発明では、容器
（１０１、１０２）として、収納されている有機物の種
類が互いに異なる複数個のものを用い、ノズル（１２
０）は、個々の容器に共通に接続されたものであること
を特徴としている。それによれば、請求項１の発明と同
様の作用効果を発揮するとともに、異種有機物同士を、
共通のノズルから噴出させることにより、共蒸着が可能
となる。

【００１９】ここで、請求項６に記載の発明のように、
個々の容器（１０１、１０２）を、別々に温度制御する
ようにすれば、異なる種類の有機物同士の成膜レート
を、適切に調整することができ好ましい。

【００２０】また、請求項７に記載の発明では、請求項
１〜請求項６の製造方法において、有機層を形成する工
程では、基板（１０）を揺動させながら蒸発した有機物
の基板上への堆積を行うことを特徴としている。

【００２１】請求項１〜請求項６の製造方法によれば、
形成される有機層の膜厚分布の均一性を確保できるた
め、蒸着源からの材料の噴出速度と基板の揺動速度との
２つのパラメータを同時に正確に制御する必要がない。
しかも、基板を揺動させれば、膜厚分布のムラの低減に
は効果的である。

【００２２】なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述
する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一
例である。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施形態
について説明する。図１は、本実施形態に係る有機ＥＬ
素子の概略断面図である。１０は、可視光に対して透明
性を有する基板であり、例えば、ガラス基板より構成さ
れている。

【００２４】基板１０の一面上には、透明性を有する導
電膜からなる陽極２０がスパッタ法等により形成されて
いる。陽極２０は、例えばＩＴＯ（インジウム−錫の酸
化物）やインジウム−亜鉛の酸化物等より構成すること
ができ、その膜厚は１００ｎｍ〜１μｍ程度であり、好
ましくは１５０ｎｍ程度とすることができる。本例の陽
極２０は、厚さ１５０ｎｍのＩＴＯとしている。

【００２５】陽極２０の上には、正孔輸送性の有機材料
よりなる正孔輸送層３１、有機発光材料（例えば蛍光色
素を電子輸送性または正孔輸送性の有機材料にドープし
たもの）よりなる発光層３２、電子輸送性の有機材料よ
りなる電子輸送層３３が、順次積層形成されている。本
実施形態では、これら積層された各層３１〜３３によ
り、発光部としての有機層３０が構成されている。

【００２６】本例では、正孔輸送層３１は、α−ＮＰＤ
（α−ナフチル・フェニル・ベンゼン）とし、発光層３
２は、電子輸送性のＡｌｑ（トリス（８−キノリール）
アルミニウム）に蛍光色素としてのクマリンを１％添加
した電子輸送性の発光層とし、電子輸送層３３はＡｌｑ
としている。各層３１〜３３は真空蒸着法により形成で
きる。そして、有機層３０の全膜厚は０．１μｍ程度と
している。

【００２７】なお、有機層３０は、正孔輸送層３１、発
光層３２、電子輸送層３３の積層構成に限定されるもの
ではなく、正孔注入層や電子注入層が存在していても良
い。また、発光層は電子輸送性でも正孔輸送性でも良
い。さらには、発光部としての有機層３０は公知の構成
も採用可能である。

【００２８】また、電子輸送層３３の上には、陰極４０
が形成されている。陰極４０としては、ＡｌやＭｇ−Ａ
ｇ等の金属材料等を採用することができる。本例では、
陰極４０は、電子注入性を高めるために電子輸送層３３
側にＬｉＦ（フッ化リチウム）、このＬｉＦの上にアル
ミニウムが成膜された２層構造としている。

【００２９】このように、本実施形態では、一対の電極
２０、４０と、これら一対の電極２０、４０間に挟まれ
た有機発光材料を含む有機層３０（正孔輸送層３１、発
光層３２、電子輸送層３３）とが、基板１０上に形成さ
れている。

【００３０】かかる有機ＥＬ素子においては、対向する
陽極２０と陰極４０との間に直流電流（駆動電流）を印
加することにより、陽極２０から正孔輸送層３１を介し
て発光層３２へ正孔を注入する一方、陰極４０から電子
輸送層３３を介して発光層３２へ電子が注入される。

【００３１】すると、発光層３２の内部にて電子と正孔
とが再結合し、励起子を生成する。発光層３２内の蛍光
色素は、この励起子のエネルギーを授受し、固体状態の
蛍光ピーク波長に応じた発光色（本例のＡｌｑにクマリ
ンを１％ドープした発光層では緑色）にて発光し、基板
１０側からの発光として視認される。本例では、１０Ｖ
の駆動電流で５０００ｃｄ／ｍ²の高輝度な緑色発光が
得られた。

【００３２】次に、本実施形態に係る有機ＥＬ素子の製
造方法について述べる。本製造方法の大略は、ガラス等
の基板１０上に、スパッタ法等を用いてパターニングさ
れたＩＴＯ等よりなる陽極２０を形成した後、正孔輸送
層３１、発光層３２、電子輸送層３３を真空蒸着法によ
り形成し、さらに、陰極４０を成膜するというものであ
る。

【００３３】ここにおいて、真空蒸着法により有機層３
０（３１〜３３）を形成する方法について、具体例に基
づいて述べる。図２は、本実施形態に係る真空蒸着法を
説明するための模式的断面図である。

【００３４】図２において、１００は、有機層３０の原
料である有機物Ｋが収納された容器としての坩堝であ
り、坩堝１００には、図示しないが、坩堝１００中の有
機物Ｋを蒸発させるための温度制御可能なヒータが設け
られている。また、坩堝１００には配管１１０を介して
ノズル１２０が接続されており、このノズル１２０はパ
イプ状をなし、長手方向に沿って複数個の開口部１２５
が形成されたものである。

【００３５】そして、ノズル１２０の開口部１２５に対
向するように、基板１０を配置し、坩堝１００を加熱し
て坩堝１００中の有機物Ｋを蒸発（気化）させ、蒸発
（気化）した有機物をノズル１２０の開口部１２５から
噴出させて基板１０上に堆積することにより、有機層３
０を形成するものである。なお、ノズル１２０を挟んで
基板１０と反対側には、ノズル１２０を加熱しノズル１
２０の温度を制御する補助ヒータ１３０が設けられてい
る。

【００３６】ここで、本実施形態の製造方法において
は、図３に示す様に、ノズル１２０として、有機層３０
の形成領域（基板１０の面）に対応して複数個配置され
たものを用いることを主たる特徴とする。具体的には、
図３に示す様なノズル配置となる。

【００３７】図３は、１種類の有機物を成膜する場合を
示すものである。１個の坩堝１００に対して複数個のノ
ズル１２０を配管１１０によって共通に接続する。各ノ
ズル１２０は、一方向に延びるパイプ状をなし、開口部
１２５が長手方向に沿って複数個設けられている。そし
て、複数個のノズル１２０を、基板１０の配置領域（図
中、破線にて図示）１０ａに対応して並列に平面配置す
ることにより、複数個のノズル１２０を構成する。

【００３８】個々のノズルの噴出量は、ノズルの中心に
向かって多く周辺に行くほど少なくなるが、図３に示す
様なノズル配置によれば、開口部１２５が基板１０全域
をカバーするように対向しているため、個々の開口部１
２５の噴出領域は、隣接する同じまたは異なるノズル１
２０の開口部１２５の噴出領域と重なり合うようにする
ことができる。

【００３９】そのため、ノズル１２０と基板１０との距
離を近づけても、複数個のノズル１２０全体の噴出領域
において噴出量分布を均一にすることができる。よっ
て、結果的に、基板１０と蒸着源（ノズル）との距離を
近づけても、形成される有機層３０の膜厚分布の均一性
を確保することができる。

【００４０】以下、図４〜図６に、本実施形態に係る成
膜方法の種々の例を示す。図４は、共蒸着の第１の例を
示すもので、坩堝（容器）１００として、収納されてい
る有機物の種類が互いに異なる複数個のものを用いてい
る。図中、２個の坩堝１０１、１０２が示されている。
ノズル１２０は、個々の坩堝１０１、１０２毎に対応し
て設けられた２種類のノズル１２１、１２２を用いる。

【００４１】この場合も、ノズル１２１、１２２の１本
１本は、一方向に延びるパイプ状をなすとともに、開口
部１２５が長手方向に沿って複数個設けられたものであ
り、個々のノズル１２１、１２２が並列に平面配置され
ることにより、複数個のノズル１２１、１２２が構成さ
れている。また、異なる種類の有機物に対応したノズル
１２１と１２２とは、互いに１本〜数本おき（図４では
１本おき）に配置されている。

【００４２】図４に示す方法によれば、上記図３に示す
ノズル配置により発揮される作用効果を奏するととも
に、異種有機物同士を、別々のノズル１２１、１２２か
ら噴出させることができるため、共蒸着が可能となる。
この場合、坩堝１００の温度等を制御することによっ
て、両ノズル１２１と１２２とからの成膜レートを一定
比率とすれば良い。

【００４３】さらに、異なる種類の有機物に対応したノ
ズル１２１、１２２を、互いに１本〜数本おきに配置し
ているため、共蒸着の際に、異種有機物同士をより均一
に混合させることができ、好ましい。

【００４４】図５は、共蒸着の第２の例を示すもので、
上記図４に示す第１の例とは異なり、坩堝１００とし
て、収納されている有機物の種類が互いに異なる複数個
の坩堝１０１、１０２を用いるが、ノズル１２０は、個
々の坩堝１０１、１０２に共通に接続されたものを用い
る。ここで、図示しないが、個々の坩堝１０１、１０２
は、別々に温度制御可能となっている。

【００４５】図５に示す方法によれば、上記図３に示す
ノズル配置により発揮される作用効果を奏するととも
に、異種有機物同士を、共通のノズル１２０から噴出さ
せることにより、共蒸着が可能となる。

【００４６】この場合、個々の坩堝１０１、１０２の温
度を個別に制御することによって、ノズル１２０からの
異種有機物の成膜レート（蒸着量の比）を一定比率に制
御することができる。また、ノズル１２０の温度は、異
種有機物材料がガス状を保つに十分で且つ当該材料が分
解しない程度の温度とする。

【００４７】また、図６は、有機層を形成する工程にお
いて基板１０を揺動させながら真空蒸着を行う方法を示
す説明図である。これは、基板１０を支持する部材を可
動な構成とし、図に示す様に、基板（図中、破線にて図
示）１０を基板１０の面と同一面内にて揺動させなが
ら、有機物をノズル１２０の開口部１２５から噴出させ
るものである。

【００４８】この方法によれば、上記したノズル配置に
よる効果によって、形成される有機層３０の膜厚分布の
均一性は確保できるため、蒸着源（ノズル）からの材料
の噴出速度と基板１０の揺動速度との２つのパラメータ
を同時に正確に制御する必要がない。しかも、基板１０
を揺動させれば、膜厚分布のムラの低減には効果的であ
る。

【００４９】以下、限定するものではないが、本発明を
次の各実施例により、より具体的に説明する。

【００５０】

【実施例】（実施例１）本例では、上記図１に示した有
機ＥＬ素子において、有機層３０のうち正孔輸送層３１
であるα−ＮＰＤ、電子輸送層３３であるＡｌｑを、上
記図３に示した成膜方法を用いて成膜する場合を示す。
基板１０としては、３００ｍｍ角の矩形状のものを用い
た。

【００５１】α−ＮＰＤを成膜する場合、α−ＮＰＤが
収納された坩堝１００の温度は２８０℃、α−ＮＰＤを
噴出するノズル１２０の温度は２９０℃に加熱した。ま
た、Ａｌｑを成膜する場合、Ａｌｑが収納された坩堝１
００の温度は３３０℃、Ａｌｑを噴出するノズル１２０
の温度は３５０℃に加熱した。これらの温度条件では、
α−ＮＰＤ及びＡｌｑ共に、成膜レートは、２ｎｍ／ｓ
である。

【００５２】また、ノズル１２０と基板１０との距離
は、１００ｍｍとし、基板１０の幅（３００ｍｍ）の１
／３とした。以上の条件にて、それぞれα−ＮＰＤ及び
Ａｌｑを成膜することにより、材料の利用効率は、従来
の利用効率（約１０％）の約３倍の３０％に向上した。
また、各膜の膜厚分布は、±５％以内に保つことができ
た。

【００５３】（実施例２）本例では、上記図１に示した
有機ＥＬ素子において、有機層３０のうち発光層３２で
あるクマリンを１％添加したＡｌｑを、上記図４に示し
た成膜方法（共蒸着の第１の例）を用いて共蒸着により
成膜する場合を示す。基板１０としては、３００ｍｍ角
の矩形状のものを用いた。

【００５４】一方のノズル１２１に対応した坩堝１０１
にＡｌｑを収納し、他方のノズル１２２に対応した坩堝
１０２にクマリンを収納し、成膜レートが、Ａｌｑ：ク
マリン＝９９：１になるように、材料を放出し成膜す
る。つまり、Ａｌｑが収納された坩堝１０１の温度は３
３０℃、Ａｌｑを噴出するノズル１２１の温度は３５０
℃に加熱し、クマリンが収納された坩堝１０２の温度は
２００℃、クマリンを噴出するノズル１２２の温度は２
１０℃に加熱した。

【００５５】また、ノズル１２１、１２２と基板１０と
の距離は、２００ｍｍとし、基板１０の幅（３００ｍ
ｍ）の２／３とした。また、ホストであるＡｌｑの成膜
レートは、上記実施例１におけるＡｌｑの成膜レート
（２ｎｍ／ｓ）の１／４の０．５ｎｍ／ｓとした。以上
の条件にて、それぞれα−ＮＰＤ及びＡｌｑを成膜する
ことにより、材料の利用効率は、従来の利用効率（約１
０％）の約２倍の２０％に向上した。また、膜厚分布
は、±５％以内に保つことができた。

【００５６】（実施例３）本例では、上記図１に示した
有機ＥＬ素子において、有機層３０のうち発光層３２で
あるクマリンを１％添加したＡｌｑを、上記図５に示し
た成膜方法（共蒸着の第２の例）を用いて共蒸着により
成膜する場合を示す。基板１０としては、３００ｍｍ角
の矩形状のものを用いた。

【００５７】一方の坩堝１０１にＡｌｑを収納し、他方
の坩堝１０２にクマリンを収納し、Ａｌｑが収納された
坩堝１０１の温度は３３０℃、クマリンが収納された坩
堝１０２の温度は２００℃、また、ノズル１２０の温度
はＡｌｑが十分成膜可能な３５０℃程度に加熱した。こ
れにより、成膜レートは、Ａｌｑが０．５ｎｍ／ｓに対
してクマリンが０．００５ｎｍとなり、クマリン１％の
共蒸着が可能となる。

【００５８】また、ノズル１２０と基板１０との距離
は、２００ｍｍとし、基板１０の幅（３００ｍｍ）の２
／３とすることで、材料の利用効率は、従来の利用効率
（約１０％）の約２倍の２０％に向上した。また、膜厚
分布は、±５％以内に保つことができた。

【００５９】（他の実施形態）なお、上記図４及び図５
に示す成膜方法では、２種類の異なる有機物を共蒸着さ
せる場合を示しているが、３種類以上の場合も、種類に
応じて坩堝やノズルの数を増やすことにより、共蒸着可
能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係る有機ＥＬ素子の概略断
面図である。

【図２】上記実施形態に係る真空蒸着法を説明するため
の模式的断面図である。

【図３】上記実施形態に係る真空蒸着法におけるノズル
配置構成を示す斜視図である。

【図４】上記実施形態に係る真空蒸着法における共蒸着
用のノズル配置構成の第１の例を示す斜視図である。

【図５】上記実施形態に係る真空蒸着法における共蒸着
用のノズル配置構成の第２の例を示す斜視図である。

【図６】基板を揺動させながら真空蒸着を行う方法を示
す説明図である。

【符号の説明】

１０…基板、２０…陽極、３０…有機層、４０…陰極、
１００、１０１、１０２…坩堝、１２０、１２１、１２
２…ノズル、１２５…開口部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者林裕人愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地株式会社デンソー内Ｆターム(参考） 3K007 AB18 CB01 DA01 DB03 EB00 FA01 4K029 AA09 BA62 BB02 BD00 CA01 CA17 DB06 DB14 DB18

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一対の電極（２０、４０）とこれら一対
の電極間に挟まれた少なくとも有機発光材料を含む有機
層（３０）とを、基板（１０）上に形成してなる有機Ｅ
Ｌ素子の製造方法において、前記有機層の原料である有機物が収納された容器（１０
０）及びこの容器に接続されたノズル（１２０）を用意
し、前記容器を加熱して前記有機物を蒸発させ、蒸発し
た有機物を前記ノズルの開口部（１２５）から噴出させ
て前記基板上に堆積することにより、前記有機層を形成
する工程を備え、前記ノズルとして、前記有機層の形成領域に対応して複
数個配置されたものを用いることを特徴とする有機ＥＬ
素子の製造方法。
【請求項２】前記容器（１０１、１０２）として、収
納されている前記有機物の種類が互いに異なる複数個の
ものを用い、前記ノズル（１２１、１２２）は、個々の前記容器毎に
対応して設けられているものであることを特徴とする請
求項１に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項３】個々の前記ノズル（１２１、１２２）は
一方向に延びるパイプ状をなすとともに、前記開口部
（１２５）が長手方向に沿って複数個設けられたもので
あり、個々の前記ノズルが並列に平面配置されることにより、
前記複数個のノズルが構成されていることを特徴とする
請求項２に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項４】異なる種類の前記有機物に対応した前記
ノズル（１２１、１２２）が、互いに１本〜数本おきに
配置されていることを特徴とする請求項３に記載の有機
ＥＬ素子の製造方法。
【請求項５】前記容器（１０１、１０２）として、収
納されている前記有機物の種類が互いに異なる複数個の
ものを用い、前記ノズル（１２０）は、個々の前記容器に共通に接続
されたものであることを特徴とする請求項１に記載の有
機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項６】個々の前記容器（１０１、１０２）を、
別々に温度制御するようにしたことを特徴とする請求項
５に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項７】前記有機層を形成する工程では、前記基
板（１０）を揺動させながら前記蒸発した有機物の前記
基板上への堆積を行うことを特徴とする請求項１ないし
６のいずれか１つに記載の有機ＥＬ素子の製造方法。