JPWO2009099125A1 - 物理量センサ - Google Patents
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Abstract
Description
前記支持部には前記可動部と前記アンカ部との間でばね部を介して前記ばね部より高剛性のビーム部が設けられており、前記ばね部の捩れ及び、前記ビーム部の前記可動部側を支持する先端部の高さ方向への変位により、前記可動部が高さ方向に平行移動することを特徴とするものである。これにより、小型で且つセンサ感度に優れたZ軸対応型の物理量センサとなる。
図12では、可動電極59、60及び固定電極57、58を厚み方向から切断した断面形状で示しているが、可動電極と固定電極を区別しやすいように可動電極59,60のみを斜線で示している。
なお、図12に示す櫛歯状電極構造は一例であり、他の形態であってもよい。
図1(a)に示すように可動部6は、第1アンカ部21及び第2アンカ部23に、腕部25〜28、アンカ側ばね部29、ビーム部30〜33及び可動部側ばね部34よりなる支持部8〜11を介して接続されている。
本実施形態は加速度センサのみならず角速度センサ等にも適用可能である。
2 SOI基板
3 支持基板
4 酸化絶縁層
5 SOI層(活性層)
6 可動部
8〜11 支持部
13 素子部
21〜24 アンカ部
29 アンカ側ばね部
30〜33、103、104、106、107、112、113、115、116 ビーム部
34 可動部側ばね部
40、43、44、54、55 スリット
57、58、81、83、123 固定電極
59、60、127 可動電極
61、120 第1検出部
62、130 第2検出部
70〜72 配線層
80 下側支持基板
82 上側支持基板
88、91 連結ばね
94 延長部
121、125 対向電極
Claims (8)
- 支持基板と、前記支持基板の上面に固定されるアンカ部と、前記支持基板の上方に位置し前記アンカ部に支持部を介して高さ方向に揺動可能に支持された可動部と、前記可動部の変位を検知するための検知部と、を有しており、
前記支持部には前記可動部と前記アンカ部との間でばね部を介して前記ばね部より高剛性のビーム部が設けられており、前記ばね部の捩れ及び、前記ビーム部の前記可動部側を支持する先端部の高さ方向への変位により、前記可動部が高さ方向に平行移動することを特徴とする物理量センサ。 - 前記可動部は、前記可動部の中心から点対称の位置で前記支持部により支持されている請求項1記載の物理量センサ。
- 前記可動部は、異なる2組以上の点対称位置にある前記支持部により支持されている請求項2記載の物理量センサ。
- 前記アンカ部は、前記可動部の最外周面を囲んだ領域よりも内側に位置し、前記アンカ部から前記ばね部を介して連設された前記ビーム部が、前記可動部の最外周面の外側に配置されている請求項1ないし3のいずれかに記載の物理量センサ。
- 前記アンカ部は、前記可動部の中心から点対称の位置に1組設けられ、各アンカ部に設けられた2つの前記支持部が、前記可動部の最外周面の外側で反対方向に向けて延出しており、前記可動部が前記支持部により、異なる2組の点対称位置で支持されている請求項4記載の物理量センサ。
- 前記可動部の最外周面を囲んだ領域は略矩形状であり、前記ビーム部は前記最外周面に沿って配置されている請求項4又は5に記載の物理量センサ。
- 前記アンカ部から延出する前記支持部が複数設けられ、各支持部の各ビーム部間が、前記ビーム部の前記先端部とは逆側の後端部側にて高さ方向に高い曲げ剛性を備える連結ばねにより連結されている請求項1ないし6のいずれかに記載の物理量センサ。
- 前記ビーム部の先端部側には、前記ばね部を介して前記可動部を支持する位置から延出した延長部が設けられており、前記可動部が下方向に移動したときに、前記延長部が前記可動部よりも先に前記支持基板の上面に当接可能とされている請求項1ないし7のいずれかに記載の物理量センサ。
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