JP5535124B2 - 加速度センサ - Google Patents
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Description
(実施の形態1)
最初に本発明の実施の形態1の加速度センサの構成について説明する。
以下では、慣性質量体6、第1のねじれ梁31、第1の検出プレート41、第1のリンク梁51およびアンカー81の形成について説明するが、第2のねじれ梁32、第2の検出プレート42、第2のリンク梁52およびアンカー82についても同様に形成される。
図11および図12を参照して、比較例の加速度センサでは、エッチングホールとして、慣性質量体6に第1の貫通孔H1が形成されており、検出プレート4に第2の貫通孔H2が形成されている。比較例の加速度センサでは、第1の貫通孔H1の開口面積と第2の貫通孔H2の開口面積とは同じ大きさに形成されている。
本発明の実施の形態2の加速度センサは、実施の形態1の加速度センサと比較して、第1の貫通孔の形状が主に異なっている。
図9を参照して、基板1上に堆積されたポリシリコン膜102の表面がCMP処理により平坦化される工程までは、本実施の形態の加速度センサは実施の形態1と同様に製造される。
本発明の実施の形態3の加速度センサは、実施の形態1の加速度センサと比較して、基板の形状が主に異なっている。
図7を参照して、基板1上に絶縁膜11を介して第1の検出電極21およびアクチュエーション電極7が形成される工程までは、本実施の形態の加速度センサは実施の形態1と同様に製造される。
今回開示された各実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。
Claims (5)
- 基板と、
前記基板上に設けられた検出電極と、
前記基板に支持され、かつねじれ軸線を中心としてねじれるねじれ梁と、
前記検出電極に対して前記ねじれ軸線を中心に回転可能に前記ねじれ梁に支持された検出プレートと、
平面視において前記ねじれ軸線からずれた位置において前記検出プレートに支持されたリンク梁と、
前記基板に対向する一方面と前記一方面とは反対側の他方面とを有し、かつ前記一方面と前記他方面とが対向する方向に変位可能に前記リンク梁に支持された慣性質量体とを備え、
前記慣性質量体は、前記方向に前記慣性質量体を貫通するように設けられた複数の第1の貫通孔を含み、
前記検出プレートは、前記方向に前記検出プレートを貫通するように設けられた複数の第2の貫通孔を含み、
前記第1の貫通孔は、前記第2の貫通孔より大きい開口面積を有している、加速度センサ。 - 前記第1の貫通孔は、前記他方面側から前記一方面側に向かって開口面積が大きくなるように設けられたテーパ形状を有している、請求項1に記載の加速度センサ。
- 前記基板は、前記慣性質量体と対向する部分に溝および貫通孔の少なくともいずれかを有している、請求項1または2のいずれかに記載の加速度センサ。
- 前記慣性質量体と対向するように前記基板に支持され、前記慣性質量体との間に電気的に静電引力を発生させるアクチュエーション電極をさらに備えた、請求項1〜3のいずれかに記載の加速度センサ。
- 前記検出プレートは、第1の検出プレートおよび第2の検出プレートを含み、
前記第1および第2の検出プレートは、前記ねじれ軸線方向に並んで配置され、かつそれぞれの前記ねじれ梁と前記リンク梁との間の寸法が互いに等しくなるように構成されている、請求項1〜4のいずれかに記載の加速度センサ。
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