JPWO2009072439A1 - 磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2009072439A1 JPWO2009072439A1 JP2009544647A JP2009544647A JPWO2009072439A1 JP WO2009072439 A1 JPWO2009072439 A1 JP WO2009072439A1 JP 2009544647 A JP2009544647 A JP 2009544647A JP 2009544647 A JP2009544647 A JP 2009544647A JP WO2009072439 A1 JPWO2009072439 A1 JP WO2009072439A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- layer
- magnetic recording
- recording medium
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 320
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 262
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 62
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 62
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 41
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 claims description 19
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 15
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 9
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 9
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 6
- -1 oxygen gas ions Chemical class 0.000 claims description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 6
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 28
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 14
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 9
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 7
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 229910001149 41xx steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018134 Al-Mg Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018467 Al—Mg Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910002546 FeCo Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005435 FeTaN Inorganic materials 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical group [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000007476 Maximum Likelihood Methods 0.000 description 1
- 208000034189 Sclerosis Diseases 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical class 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007885 magnetic separation Methods 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/855—Coating only part of a support with a magnetic layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/32—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying conductive, insulating or magnetic material on a magnetic film, specially adapted for a thin magnetic film
- H01F41/34—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying conductive, insulating or magnetic material on a magnetic film, specially adapted for a thin magnetic film in patterns, e.g. by lithography
Abstract
Description
この磁気記録媒体は、表面に複数の凹凸のある基板の表面に軟磁性層を介して強磁性層が形成されており、その表面に保護膜を形成したものである。この磁気記録媒体では、凸部領域に周囲と物理的に分断された磁気記録領域が形成されている。
ディスクリートトラック法には、何層かの薄膜からなる磁気記録媒体を形成した後にトラックを形成する方法と、あらかじめ基板表面に直接、あるいはトラック形成のための薄膜層に凹凸パターンを形成した後に、磁気記録媒体の薄膜形成を行う方法とがある(例えば、特許文献2,特許文献3参照。)。このうち、前者の方法は、しばしば磁気層加工型とよばれる。一方で、後者はしばしばエンボス加工型とよばれる。
さらに特許文献5には、磁性層をイオンミリング加工するためのマスクに炭素を用いることが記載されている。
本発明の他の目的は、上記のような特性を有する磁気記録媒体を具え、ヘッドの浮上特性に優れており、磁気記録パターン分離性能に優れ、隣接パターン間の信号干渉の影響を受けないので高記録密度特性に優れた、いわゆるディスクリートトラック型などの磁気記録再生装置として好適な磁気記録再生装置を提供することにある。
(A)非磁性基板に磁性層を形成する工程、
(B)前記磁性層の上に炭素マスク層を形成する工程、
(C)前記炭素マスク層の上にレジスト層を形成する工程、
(D)前記レジスト層に磁気記録パターンのネガパターンを形成する工程、
(E)磁気記録パターンのネガパターンに対応する領域の前記マスク層を除去する工程、
(F)磁気記録パターンのネガパターンに対応する領域の、前記磁性層の少なくとも表層部分を除去する工程。
(3)工程(F)において、磁性層の磁気記録パターンのネガパターンに対応する領域の、磁性層の表層部のみを除去する上記(1)または(2)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(4)磁性層の表層部の除去深さが2〜15nmである上記(3)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(6)工程(F)の後に、磁性層の表層部が除去された磁性層の領域を、フッ素系ガスイオンおよび酸素ガスイオンでこの順に暴露する工程(F')を行う上記(3)〜(5)のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
(7)工程(D)におけるレジスト層への磁気記録パターンのネガパターンの形成を、スタンプを用いた押圧転写により行う上記(1)〜(6)のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
(9)工程(C)においてレジスト層をSiO2系材料で形成し、かつ、工程(G)において残存炭素マスク層を除去する工程を、O2ガスを用いたドライエッチングで行う上記(8)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(10)工程(G)の後に、磁性層の表層部を不活性ガスでエッチングする工程(H)を含む上記(8)または(9)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
L 磁気パターンにおける非磁性部幅
100 非磁性基板
200 軟磁性層および中間層
300 磁性層
400 非磁性領域
500 保護層
1 非磁性基板
2 磁性層
3 炭素マスク層
4 レジスト層
5 スタンプ
6 イオンミリング
7 磁性層の表層部を除去した領域
8 押圧されたレジスト層凹部
d 除去された磁性層表層部の深さ
9 保護層
11 媒体駆動部
27 磁気ヘッド
28 ヘッド駆動部
29 記録再生信号系
30 磁気記録媒体
図1に本発明の例としてディスクリート型磁気記録媒体の断面構造を示す。本発明の磁気記録媒体は、非磁性基板100の表面に、所望により形成される軟磁性層および中間層200と、その上に、磁気的パターンが形成された磁性領域300と、非磁性領域400とが形成されている。磁性領域300は、磁気的パターンが形成された磁性層の領域であり、また、非磁性領域400は、磁性層が部分的に除去された磁気的パターン非形成領域である。磁性領域300および非磁性領域400の上には保護膜層500が形成されている。さらに最表面には、所望により、潤滑膜(図示省略)が形成されている。磁性領域300が記録トラック領域(巾Wを有する)であり、非磁性領域400が磁性領域(巾Lを有する)を分離する領域である。
図2に示すように、非磁性基板1に磁性層2を形成する〔工程(A)〕。磁性層2の上に炭素マスク層3を形成する〔工程(B)〕。炭素マスク層3の上にレジスト層4を形成する〔工程(C)〕。レジスト層4に磁気記録パターンのネガパターンを形成する〔工程(D)〕。ここで、磁気記録媒体の記録トラックを分離するため、記録トラックに対応したレジスト層の領域において凹部を形成したものを本発明では「ネガパターン」という。ネガパターンを形成するには、例えば、スタンプ5を押圧して凹凸パターンを転写することにより行う(図2の工程(D)における矢印はスタンプ5の動きを示す。)。磁気記録パターンのネガパターンに対応する領域の炭素マスク層3を除去する〔工程(E)〕。次いで、図3に示すように、磁気記録パターンのネガパターンに対応する領域の、磁性層2の少なくとも表層部分(厚さd)を除去する〔工程(F)〕。所望により、残っているレジスト層4および炭素マスク層3を除去する〔工程(G)〕。
さらに、磁性層の表面には、好ましくは保護膜層9を形成する〔工程(I)〕ことが好ましい。さらに、最表面には、所望により潤滑膜(図示せず)が形成される。
本発明の製造方法を、上記工程を追って、詳細に説明する。
非磁性基板1の平均表面粗さ(Ra)は、1nm以下、さらには0.5nm以下であることが好ましく、中でも0.1nm以下であることが好ましい。
形成する磁性層2は、面内磁性層でも垂直磁性層でもかまわないが、より高い記録密度を実現するためには垂直磁性層が好ましい。これら磁性層は主としてCoを主成分とする合金から形成することが好ましい。
面内磁気記録媒体用の磁性層としては、例えば、非磁性のCrMo下地層と強磁性のCoCrPtTa磁性層からなる積層構造が挙げられる。
好ましい具体例においては、軟磁性のFeCo合金(FeCoB、FeCoSiB、FeCoZr、FeCoZrB、FeCoZrBCuなど)、FeTa合金(FeTaN、FeTaCなど)、Co合金(CoTaZr、CoZrNB、CoBなど)などからなる裏打ち層と、Pt、Pd、NiCr、NiFeCrなどからなる配向制御膜と、Ruなどの中間膜を形成し、その上に、60Co−15Cr−15Pt合金や70Co−5Cr−15Pt−10SiO2合金からなる磁性層を積層する。
通常、磁性層はスパッタ法により薄膜として形成する。
炭素マスク層はスパッタリング法またはCVD法により成膜することができるが、CVD法を用いるほうがより緻密性の高い炭素膜を成膜することができる。
炭素マスク層の膜厚は5nm〜40nmの範囲内とするのが好ましく、より好ましくは10nm〜30nmの範囲内とする。炭素マスク層の膜厚が5nmより薄いと、マスク層のエッジ部分がだれて磁気記録パターンの形成特性が悪化しやすい。また、レジスト層、マスク層を透過したイオンが磁性層に侵入して、磁性層の磁気特性を悪化させやすい。他方、炭素マスク層が40nmより厚くなると、炭素マスク層のエッチング時間が長くなり生産性が低下する。また、炭素マスク層をエッチングする際の残渣が磁性層表面に残留しやすくなる。
磁性層を除去するには、例えば炭素マスク層をICP装置に酸素ガスを導入し、反応性イオンエッチングした後に、引き続き、磁性層をイオンミリング6する。このような方法を採用することにより、残された磁性層のエッジ部を垂直に形成することが可能となる。これは、磁性層の上の炭素マスク層が垂直に切り立った形状であるため、その下の磁性層も同様の形状となるからである。
本発明では、このような製造方法を採用することにより、フリンジ特性の優れた磁性層を形成することができる。
また本発明では、工程Fで磁性層のイオンミリング加工した凹部(工程(F);深さd)が5〜15nmの範囲内の場合は、該箇所に非磁性材料を埋め込まないことも可能である。凹部がこの程度の範囲の場合は、その表面を直接炭素保護膜で覆うことにより、磁気ヘッドをクラッシュさせることなく、磁気記録媒体表面に浮上させることが可能となる。
本発明の製造方法は、磁気的に分離した磁気記録パターンが、磁気記録トラックおよびサーボ信号パターンである、いわゆる、ディスクリート型磁気記録媒体の製造に適用するのが、その製造における簡便性から好ましい。
なお、レジスト層は、工程(E)、工程(F)に際して徐々に薄くなり、工程(F)の最後には消滅している場合がある。この場合は、工程(G)においてレジスト層を除去する必要はない。また、炭素マスク層も、工程(E)、工程(F)を経ると薄くなるため、工程(G)において除去しなくとも、工程(I)で形成する炭素保護層の一部として使用できる。
レジスト層および炭素マスク層を除去した後の磁性層(磁性領域および非磁性材料を埋め込んだ領域、または非磁性材料を埋め込まない凹部の領域)の表面に、通常保護膜層500を形成する。保護膜層としては、炭素(C)、水素化炭素(HxC)、窒素化炭素(CN)、アモルファスカーボン、炭化珪素(SiC)などの炭素質層やSiO2、Zr2O3、TiNなど、通常用いられる保護膜層材料を用いることができる。また、保護膜層が2層以上の層から構成されていてもよい。
(実施例1〜6)
HD用ガラス基板をセットした真空チャンバを予め1.0×10-5Pa以下に真空排気した。ここで使用したガラス基板はLi2Si2O5、Al2O3−K2O、Al2O3−K2O、MgO−P2O5、Sb2O3−ZnOを構成成分とする結晶化ガラスを材質とし、外径65mm、内径20mm、平均表面粗さ(Ra)2オングストロームのものである。
その上に、磁気記録パターンのネガパターンを有するガラス製のスタンプを、1MPa(約8.8kgf/cm2)の圧力でレジスト層に押圧した。その後、スタンプをレジスト層から分離し、レジスト層に磁気記録パターンを転写した。レジスト層に転写した磁気記録パターンは、レジストの凸部が幅120nmの円周状、レジストの凹部が幅60nmの円周状であり、レジスト層の層厚は80nm、レジスト層の凹部の厚さは約5nmであった。また、レジスト層凹部の基板面に対する角度は、ほぼ90度であった。
実施例1と同様な方法により磁気記録媒体を製造した。ただし、磁性層に凹部を形成する工程の後で、磁気記録媒体表面の炭素マスク層およびレジスト層をドライエッチングにより除去する工程の前に、磁性層の露出面について、CF4ガスを、10sccm,0.5Pa、5秒の条件で暴露し、続けて、O2ガスを、10sccm,0.5Pa、5秒の条件で暴露した。他の条件は実施例1と同様にした。3T−squashの測定結果を表1に示す。
実施例1と同様な方法により磁気記録媒体を製造した。ただし、炭素マスク層の厚さを3nm、パターニングしたレジスト層の層厚を35nm、レジスト層の凹部の厚さを約3nmとした。その結果、磁性層をイオンエッチングして厚さ約10nmの凹部を形成することによりレジスト層は除去され、また炭素マスク層の厚さは約1nmとなっていた。そのため、実施例1の炭素マスク層およびレジスト層のドライエッチング工程を経ずに、磁性層表面のイオンミリング工程を行い、その後、CVD法によりカーボン保護膜を4nm成膜した。3T−squashの測定結果を表1に示す。
実施例1において、炭素マスク層を形成せずに磁気記録媒体を製造した。他の条件は実施例1と同様にした。3T−squash測定結果を表1に示す。
本発明の製造プロセスにより得られる磁気記録媒体は、磁気的に分離した磁気記録パターンが、磁気記録トラックおよびサーボ信号パターンである、いわゆる、ディスクリート型磁気記録媒体として用いることが、上記のような特性が活かされることから、また、その製造の簡便性からも特に好ましい。
Claims (11)
- 非磁性基板の少なくとも一方の表面に、磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の製造方法であって、次の(A)〜(G)の順で実施をする7つの工程を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
(A)非磁性基板に磁性層を形成する工程、
(B)前記磁性層の上に炭素マスク層を形成する工程、
(C)前記炭素マスク層の上にレジスト層を形成する工程、
(D)前記レジスト層に磁気記録パターンのネガパターンを形成する工程、
(E)磁気記録パターンのネガパターンに対応する領域の前記マスク層を除去する工程、
(F)磁気記録パターンのネガパターンに対応する領域の、前記磁性層の少なくとも表層部分を除去する工程。 - 工程(B)において磁性層の上に形成する炭素マスク層の膜厚が5nm〜40nmの範囲内である請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 工程(F)において、磁性層の磁気記録パターンのネガパターンに対応する領域の、磁性層の表層部のみを除去する請求項1または2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 磁性層の表層部の除去深さが2〜15nmである請求項3に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 工程(F)における磁性層の表層部の除去を反応性イオンミリングまたは反応性イオンエッチングにより行う請求項1〜4のいずれか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 工程(F)の後に、磁性層の表層部が除去された磁性層の領域を、フッ素系ガスイオンおよび酸素ガスイオンでこの順に暴露する工程(F')を行う請求項3〜5のいずれか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 工程(D)におけるレジスト層への磁気記録パターンのネガパターンの形成を、スタンプを用いた押圧転写により行う請求項1〜6のいずれか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 工程(F)の後に、残っているレジスト層および炭素マスク層を除去する工程(G)を含む請求項1〜7のいずれか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 工程(C)においてレジスト層をSiO2系材料で形成し、かつ、工程(G)において残存炭素マスク層を除去する工程を、O2ガスを用いたドライエッチングで行う請求項8に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 工程(G)の後に、磁性層の表層部を不活性ガスでエッチングする工程(H)を含む請求項8または9に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載の製造方法により製造された磁気記録媒体と、該磁気記録媒体を記録方向に駆動する駆動部と、記録部と再生部からなる磁気ヘッドと、磁気ヘッドを磁気記録媒体に対して相対運動させる手段と、磁気ヘッドへの信号入力と磁気ヘッドからの出力信号再生を行うための記録再生信号処理手段を組み合わせて具備してなることを特徴とする磁気記録再生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009544647A JP5334865B2 (ja) | 2007-12-03 | 2008-11-28 | 磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007312253 | 2007-12-03 | ||
JP2007312253 | 2007-12-03 | ||
JP2009544647A JP5334865B2 (ja) | 2007-12-03 | 2008-11-28 | 磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 |
PCT/JP2008/071626 WO2009072439A1 (ja) | 2007-12-03 | 2008-11-28 | 磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009072439A1 true JPWO2009072439A1 (ja) | 2011-04-21 |
JP5334865B2 JP5334865B2 (ja) | 2013-11-06 |
Family
ID=40717621
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009544647A Active JP5334865B2 (ja) | 2007-12-03 | 2008-11-28 | 磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8394514B2 (ja) |
JP (1) | JP5334865B2 (ja) |
CN (1) | CN101933090B (ja) |
TW (1) | TWI387965B (ja) |
WO (1) | WO2009072439A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5478251B2 (ja) * | 2007-07-30 | 2014-04-23 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP2011023081A (ja) * | 2009-07-17 | 2011-02-03 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 |
JP2011096300A (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Ulvac Japan Ltd | 磁気記録メディアの製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05205257A (ja) | 1992-01-28 | 1993-08-13 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体 |
JP2004164692A (ja) * | 2002-11-08 | 2004-06-10 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
US7147790B2 (en) | 2002-11-27 | 2006-12-12 | Komag, Inc. | Perpendicular magnetic discrete track recording disk |
US20050036223A1 (en) | 2002-11-27 | 2005-02-17 | Wachenschwanz David E. | Magnetic discrete track recording disk |
JP2006031849A (ja) | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体および磁気ディスク装置 |
JP4585476B2 (ja) * | 2006-03-16 | 2010-11-24 | 株式会社東芝 | パターンド媒体および磁気記録装置 |
JP2007257801A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Toshiba Corp | パターンド媒体の製造方法 |
JP5244380B2 (ja) * | 2007-12-26 | 2013-07-24 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 |
JP4468439B2 (ja) * | 2007-12-27 | 2010-05-26 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
2008
- 2008-11-28 US US12/745,879 patent/US8394514B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-11-28 JP JP2009544647A patent/JP5334865B2/ja active Active
- 2008-11-28 WO PCT/JP2008/071626 patent/WO2009072439A1/ja active Application Filing
- 2008-11-28 CN CN200880126071.9A patent/CN101933090B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-12-03 TW TW097146937A patent/TWI387965B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8394514B2 (en) | 2013-03-12 |
JP5334865B2 (ja) | 2013-11-06 |
TW200937401A (en) | 2009-09-01 |
WO2009072439A1 (ja) | 2009-06-11 |
US20100271730A1 (en) | 2010-10-28 |
CN101933090A (zh) | 2010-12-29 |
TWI387965B (zh) | 2013-03-01 |
CN101933090B (zh) | 2013-05-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4597933B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法、並びに磁気記録再生装置 | |
JP2008135092A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法、及び磁気記録再生装置 | |
JP2008052860A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法、及び磁気記録再生装置 | |
JP4488236B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法、及び磁気記録再生装置 | |
JP2007273067A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法、及び磁気記録再生装置 | |
JP2007226862A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法、及び磁気記録再生装置 | |
JP5478251B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4843825B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP5244380B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP4634354B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2009271973A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP5186345B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP5334865B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP5427441B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP5412196B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP5114285B2 (ja) | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP2011054254A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP4821780B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP2010140541A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録媒体、並びに磁気記録再生装置 | |
WO2010058548A1 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP5698952B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP2011023081A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP2010152978A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法、並びに磁気記録再生装置 | |
JP2010165398A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP2011138593A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110816 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130716 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130730 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5334865 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |