JPWO2009044585A1 - 弾性波フィルタ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(発明の効果)
2…圧電基板
3…不平衡端子
4,5…第1,第2の平衡端子
6…弾性波フィルタ部
11〜13…IDT電極
14,15…反射器
16,17…第1,第2の信号ライン
18…弾性波共振子
19…IDT電極
20a,20b…反射器
21…弾性波フィルタ装置
22a,22b…分割バスバー
23…共通バスバー
24a,24b…接続配線
25a,25b…接続点
27,28…弾性波フィルタ
30…IDT電極
30a,30b…第1,第2の分割電極部
31…弾性波フィルタ装置
41…弾性波フィルタ装置
51…弾性波フィルタ装置
61…弾性波フィルタ装置
71…弾性波フィルタ装置
反射器14,15における電極指の本数:各80本
反射器14,15における電極指ピッチ:2.136μm
反射器14,15におけるメタライゼーションレシオ:0.66
IDT電極12,13における電極指の対数:それぞれ11.5対、電極指の本数24本
IDT電極12,13における電極指のピッチ:2.115μm
ただし、IDT電極12の電極指の内、IDT電極11側に近い4本の電極指、IDT電極13のIDT電極11側に位置している4本の電極指においては、電極指ピッチを1.998μmとした。すなわち、IDT電極12,13に、それぞれ、上記電極指ピッチを有する狭ピッチ電極指部を設けた。
IDT電極11の電極指ピッチ:2.12μm
ただし、IDT電極11において、両端に、それぞれ、狭ピッチ電極指部を設けた。狭ピッチ電極指部は、電極指ピッチが1.968μmである6本の電極指により構成した。
IDT電極−反射器間の間隔:隣り合う電極指の中心間距離で0.57μm
弾性波共振子18における電極指交叉幅:80μm
弾性波共振子18における反射器20a,20bの電極指の本数:各30本
反射器20a,20b及びIDT電極19における電極指ピッチ:2.160μm
反射器20a,20bのメタライゼーションレシオ:0.50
第1分割電極部19aにおける電極指の本数:28本
第2分割電極部19bの電極指の本数:24本
上記のようにして設計された本実施形態の弾性波フィルタ装置1の特性を測定した。比較のために、特許文献1と同様に、第1,第2の信号ライン間に、弾性表面波共振子を接続したことを除いては、上記実施形態と同様にして設計された弾性波フィルタ装置の特性を測定した。なお、比較例では、弾性波共振子の反射器の構成は上記実施形態の場合と同様とし、中央に位置するIDT電極の電極指の本数は52本とし、電極指ピッチ及びメタライゼーションレシオは上記実施形態の弾性波共振子と同様とした。
Claims (16)
- 不平衡端子と、第1,第2の平衡端子とを有する平衡−不平衡変換機能を備えた縦結合共振子型の弾性波フィルタ装置であって、
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、前記不平衡端子に接続されている不平衡端と、出力される信号の位相が180°異なる電極端部である第1,第2の平衡端とを有する縦結合共振子型の弾性波フィルタ部と、
前記圧電基板上に形成されており、対向し合う第1,第2のバスバーを有するIDT電極と、前記IDT電極の弾性波伝搬方向両側に配置された一対の反射器とを有する弾性波共振子と、
前記弾性波フィルタ部の前記第1,第2の平衡端に一端がそれぞれ接続されており、他端が第1,第2の平衡端子に接続された第1,第2の信号ラインとを備え、
前記弾性波共振子が、該弾性波共振子のIDT電極の第1のバスバーが弾性波伝搬方向に二分割されることにより設けられた第1,第2分割電極部を有し、該第1,第2分割電極部が弾性波伝搬方向において前記第2のバスバーにより直列に接続されており、
前記第1分割電極部の前記第2のバスバーと反対側の端部が前記第1の信号ラインに接続されており、
前記第2分割電極部の前記第2のバスバーと反対側の端部が前記第2の信号ラインに電気的に接続されており、
前記第1分割電極部と第1の平衡端とを結んでいる線路の距離と、前記第2分割電極部と第2の平衡端とを結んでいる線路の距離が等しくされており、かつ前記第1分割電極部と、前記第2分割電極部とが異ならされていることを特徴とする、弾性波フィルタ装置。 - 前記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部が、前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された3以上の奇数個のIDT電極を有し、該奇数個のIDT電極のうち弾性波伝搬方向において中央に位置するIDT電極が、弾性波伝搬方向に二分割されて設けられた第1,第2の分割IDT部を有し、該第1,第2の分割IDT部が前記第1,第2の平衡端を有し、中央に位置するIDT電極の弾性波伝搬方向両側に隣接する2つのIDT電極が、前記不平衡端子に接続される不平衡端を有する、請求項1に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部が、
前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された3以上の奇数個のIDT電極を有し、該奇数個のIDT電極のうち、弾性波伝搬方向において中央に位置するIDT電極が前記不平衡端子に接続されており、該中央に位置するIDT電極の両側のIDT電極が、それぞれ、第1,第2の平衡端子に接続されている、請求項1に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部が、
前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された3以上の奇数個のIDT電極を有する縦結合共振子型の第1の弾性波フィルタユニットと、
前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向に沿って配置された3以上の奇数個のIDT電極を有する縦結合共振子型の第2の弾性波フィルタユニットとを有し、
前記第1の弾性波フィルタユニットの奇数個のIDT電極のうち中央に位置するIDT電極の一端が前記不平衡端または第1の平衡端であり、前記中央に位置するIDT電極の両側の2つのIDT電極の各一端が前記第1の平衡端または前記不平衡端であり、
前記第2の弾性波フィルタ部の奇数個のIDT電極のうち弾性波伝搬方向において中央に位置するIDT電極の一端が前記不平衡端または第2の平衡端であり、該IDT電極の弾性波伝搬方向両側に配置された2つのIDT電極の各一端が前記第2の平衡端または前記不平衡端である、請求項1に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部が、
前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向に沿って配置された3以上の奇数個のIDT電極を備えた第1の縦結合共振子型の弾性波フィルタユニットと、
前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向に沿って配置された3以上の奇数個のIDT電極を有する縦結合共振子型の第2の弾性波フィルタユニットとを有し、
前記第1の弾性波フィルタユニットと、前記第2の弾性フィルタユニットとが、各弾性波フィルタユニットの弾性波伝搬方向と直交する方向に並べられて配置されており、かつ二段縦続接続されており、
第1,第2の弾性波フィルタユニットの中央のIDT電極の弾性波伝搬方向における両側を第1の側及び第2の側としたときに、第1の弾性波フィルタユニットの中央のIDT電極の第1の側に隣接するIDTの一端と、前記第2の弾性波フィルタユニットにおける中央のIDT電極の弾性波伝搬方向の第1の側に隣接するIDTとの一端とが前記第1の信号ラインにより接続されており、
前記第1の弾性波フィルタユニットの中央のIDT電極の前記第2の側に隣接するIDTの一端と、前記第2の弾性波フィルタユニットの中央に位置するIDT電極の前記第2の側に隣接するIDTの一端とが、前記第2の信号ラインにより接続されており、
前記第1の信号ラインを伝搬する電気信号と、前記第2の信号ラインを伝搬する電気信号とが逆位相とされており、
第1の弾性波フィルタユニットの中央のIDT電極の一端が前記不平衡端であり、該IDT電極の弾性波伝搬方向両側に隣接する各IDTの各一端が前記第1,第2の平衡端とされており、前記第1,第2の平衡端と前記第1,第2の平衡端子が、それぞれ前記第2の弾性波フィルタユニットを介して前記第1,第2の信号ラインにより接続されている、請求項1に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記弾性波共振子が、前記第2の弾性波フィルタユニットの後段において、前記第1,第2の信号ラインに接続されている、請求項5に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記弾性波共振子が、前記第2の弾性波フィルタユニットの前段であって、第1,第2の弾性波フィルタユニット間の段間において前記第1,第2の信号ラインに接続されている、請求項5に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第1分割電極部の電極指の本数と、前記第2分割電極部の電極指の本数とが異ならされている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部において、弾性波伝搬方向において中央に位置するIDT電極の弾性波伝搬方向両側を第1,第2の側としたときに、中央に位置するIDT電極と、第1の側において隣接するIDT電極とが隣接する部分において、第1の側において隣接している該IDT電極の最外側電極指であって中央に位置するIDT電極側の最外電極指がホット側電位に接続される電極指とされており、前記第1分割電極部の電極指の本数が、前記第2分割電極部の電極指の本数よりも多くされている請求項1〜8のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部において、弾性波伝搬方向において中央に位置するIDT電極の弾性波伝搬方向両側を第1,第2の側としたときに、中央に位置するIDT電極と、第1の側において隣接するIDT電極とが隣接する部分において、第1の側において隣接しているIDT電極の最外側電極指であって中央に位置するIDT電極側の最外電極指がグランド側電位に接続される電極指とされており、前記第1分割電極部の電極指の本数が、前記第2分割電極部の電極指の本数よりも少なくされている請求項1〜8のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第1分割電極部のメタライゼーションレシオと、前記第2分割電極部のメタライゼーションレシオとが異ならされている、請求項1〜10のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第1分割電極部の電極指ピッチと、前記第2分割電極部の電極指ピッチとが異ならされている、請求項1〜11のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記弾性波共振子の前記第2のバスバーがグランド電位に接続されている請求項1〜12のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記弾性波共振子の共振周波数−反共振周波数間の帯域が、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部の通過帯域を含んでいる、請求項1〜13のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記弾性波が弾性表面波であり、従って、弾性表面波フィルタ装置である、請求項1〜14のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記弾性波が弾性境界波であり、従って、弾性境界波フィルタ装置が構成されている、請求項1〜14のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
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