JPWO2009041182A1 - Ag電極ペースト、太陽電池セルおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
SiO2 :0.5〜35wt%
Al2O3 :0〜5wt%
B2O3 :1〜15wt%
ZnO :0〜15wt%
Bi2O3 :55〜90wt%
さらに、Ag電極ペーストの焼成時に下層側のバスバ電極(Ag電極)から発生するガス(バインダの分解ガスや燃焼ガスなど)が抜け切る前に、上層側のバスバ電極の焼結が完了してしまうと、上述のガスによりブリスタが発生するという問題点がある。
半導体基板と、前記半導体基板の互いに対向する一対の主面のうち、受光面として機能する一方主面に配設された受光面側電極と、他方主面に配設された裏面側電極とを備えた太陽電池セルの、前記受光面側電極の形成に用いられるAg電極ペーストであって、
(a)Ag粒子と、
(b)有機ビヒクルと、
(c)SiO2、B2O3、Bi2O3、Al2O3、TiO2、およびCuOを、 SiO2 :13〜17重量%
B2O3 :0〜6重量%
Bi2O3 :65〜75重量%
Al2O3 :1〜5重量%
TiO2 :1〜3重量%
CuO :0.5〜2重量%
の範囲で含む無鉛ガラスフリットと
を含有することを特徴している。
半導体基板と、前記半導体基板の互いに対向する一対の主面のうち、受光面として機能する一方主面に配設された受光面側電極と、他方主面に配設された裏面側電極とを備えた太陽電池セルであって、
前記受光面側電極が、第1のAg電極ペーストを焼成してなる第1電極と、第1電極上に形成された、第2のAg電極ペーストを焼成してなる第2電極とを備えており、前記第2のAg電極ペーストとして請求項1または2記載のAg電極ペーストが用いられていることを特徴としている。
半導体基板と、前記半導体基板の互いに対向する一対の主面のうち、受光面として機能する一方主面に配設された受光面側電極と、他方主面に配設された裏面側電極とを備え、前記受光面側電極が、第1のAg電極ペーストを焼成してなる第1電極と、前記第1電極上に形成された、第2のAg電極ペーストを焼成してなる第2電極とを備えた構造を有する太陽電池セルの製造方法であって、
前記半導体基板上に第1のAg電極ペーストを所定のパターンとなるように付与して、前記第1電極用のAg電極ペーストパターンを形成する工程と、
前記第1電極用のAg電極ペーストパターン上に、請求項1または2記載のAg電極ペーストを所定のパターンとなるように付与して、前記第2電極用のAg電極ペーストパターンを形成する工程と、
前記第1電極用のAg電極ペーストパターンと、前記第2電極用のAg電極ペーストパターンとを同時に焼成する工程と
を具備することを特徴としている。
SiO2 :13〜17重量%
B2O3 :0〜6重量%
Bi2O3 :65〜75重量%
Al2O3 :1〜5重量%
TiO2 :1〜3重量%
CuO :0.5〜2重量%
そして、この無鉛ガラスフリットは、適量のCuOを含むため、電極の焼結開始を遅延させるとともに、ガラス中に適量のAl2O3、TiO2を含んでいるため、結晶化しにくく、適度な流動性を有しており、焼成工程でガラスが半導体基板の界面に適度に流動する。そのため、Ag電極表面にガラスが浮き出してとどまった状態で焼結してしまうことを防止して、良好なはんだ濡れを確保することが可能になる。また、前記無鉛ガラスフリットを用いた本発明のAg電極ペーストは焼成することにより形成される焼結体の抵抗が低く、太陽電池セルの受光面側電極として、ライン抵抗の低い電極を形成することが可能になる。また、バインダ分解ガスなどが抜けきる前に焼結してしまうことがなく、ブリスタの発生を防止することができる。
2 n型不純物層
3 反射防止膜
10 受光面側電極
11 第1電極
12 第2電極
20 裏面側電極
L 電極間距離
Z 電極長さ
本発明のAg電極ペーストは、Ag粒子と、無鉛ガラスフリットと、有機ビヒクルを配合したものである。
なお、Ag粒子の平均粒径が20μmを超えると、Ag電極ペーストの印刷性に問題が生じるため好ましくない。
なお、Ag粒子としては、上記の鱗片粉、球状粉、不定形粉などの種々の性状のもの、上記の範囲で粒径の異なるものなど、種々のものを単独で、または、それらを2種以上混合して使用することが可能である。
SiO2 :13〜17重量%
B2O3 :0〜6重量%
Bi2O3 :65〜75重量%
Al2O3 :1〜5重量%
TiO2 :1〜3重量%
CuO :0.5〜2重量%
ただし、無鉛ガラスフリットの平均粒径(D50)は、0.1〜5μmの範囲内であることが好ましい。
SiO2の割合を13〜17重量%の範囲としたのは、SiO2の割合が13重量%未満になるとガラスの化学的耐久性が低下し、Ag電極としての耐湿性も劣化し、SiO2の割合が17重量%を超えるとガラスの軟化点が高くなりすぎてAg電極の表面にガラスが浮き出しやすくなり、はんだ濡れ性が著しく劣化することによる。
なお、B2O3が含まれているとガラスとしての安定性は向上するが、本発明のAg電極ペーストにおいては必ずしもB2O3は含まれなくてもよい。
図1は、本発明のAg電極ペーストを用いて受光面側電極を形成した太陽電池セルの平面図、図2は断面を拡大して示す図である。
また、受光面側電極10を構成する上層側の第2電極12は、受光面側電極10のライン抵抗を低下させることを主目的とするものである。
そして、上記受光面側電極10を構成する第1電極11は、Ag粒子と、以下の組成を有する無鉛ガラスフリットと、有機ビヒクルとを含有する第1のAg電極ペーストを用いて形成されている。
SiO2 :21.2重量%
Bi2O3 :54.7重量%
BaO :18.0重量%
B2O3 : 6.1重量%
この第1のAg電極ペーストも、例えば、上述のAg粒子、有機ビヒクル、無鉛ガラスフリット、および、反射防止膜を除去する機能を有するZnO、TiO2、ZrO2などの酸化物を十分に混合した後、さらに3本ロールミルにより混練処理を行い、その後、減圧脱泡することにより製造することができる。
なお、本実施例における第1のAg電極ペーストとしては、Ag粒子を75〜85重量%、有機ビヒクルを10〜15重量%、上記無鉛ガラスフリットを1〜4重量%、上記ZnO、TiO2、ZrO2などの酸化物を2〜6重量%の割合で含有するものを用いることができる。
<Ag電極ペーストの調製>
Ag粒子100重量部と、表1に示すような無鉛ガラスフリット2.5重量部と、エチルセルロースをテルピネオールに溶解させた有機ビヒクル20重量部とを配合し、十分に混合した後、三本ロールミルにより混練処理を行い、その後、減圧脱泡することにより、第2電極形成用の第2のAg電極ペーストを調製した。なお、表1の試料番号1〜9の無鉛ガラスフリットは、本発明の要件を満たす無鉛ガラスフリットであり、試料番号10〜18は本発明の要件を満たさない比較例の無鉛ガラスフリットである。
なお、表1における各試料番号の試料(太陽電池セル)は、表1の対応する試料番号の無鉛ガラスフリットを配合した第2のAg電極ペーストを用いて受光面側電極10の第2電極12を形成した試料であり、試料番号1〜9の試料(太陽電池セル)は、本発明の要件を満たす太陽電池セルであり、試料番号10〜18の試料は本発明の要件を満たさない比較例の太陽電池セルである。
図3は、この接触抵抗評価用の試料(半導体基板)の構造を示す図であり、基板(半導体基板)1の表面に、図3に示すような所定の間隔(電極間距離L)をおいて、複数の受光面側電極10が配設された構造を有している。
R=(L/Z)×RSH + 2Rc ……(1)
(ここで、R:測定抵抗値、L:電極間距離、RSH:n型Siのシート抵抗、Z:隣り合う受光面側電極の互いに対向する部分の長さ(電極長さ)、Rc:接触抵抗である。)
以上の評価により、接触抵抗Rcが3Ω以下となるものを○(合格)とし、3Ωを超えるものを×(不合格)とした。
また、CuOを、本発明の範囲(0.5〜2重量%)超える3重量%含有するガラスフリットを用いた試料番号11(比較例2)の試料の場合、受光面側電極のはんだ濡れ性が悪くなることが確認された。
したがって、本願発明は、導電性ペーストを塗布して焼き付ける方法で受光面側電極を形成する工程を経て製造される太陽電池セルに関する技術分野に広く適用することが可能である。
Claims (4)
- 半導体基板と、前記半導体基板の互いに対向する一対の主面のうち、受光面として機能する一方主面に配設された受光面側電極と、他方主面に配設された裏面側電極とを備えた太陽電池セルの、前記受光面側電極の形成に用いられるAg電極ペーストであって、
(a)Ag粒子と、
(b)有機ビヒクルと、
(c)SiO2、B2O3、Bi2O3、Al2O3、TiO2、およびCuOを、 SiO2 :13〜17重量%
B2O3 :0〜6重量%
Bi2O3 :65〜75重量%
Al2O3 :1〜5重量%
TiO2 :1〜3重量%
CuO :0.5〜2重量%
の範囲で含む無鉛ガラスフリットと
を含有することを特徴とするAg電極ペースト。 - 前記受光面側電極が、第1のAg電極ペーストを焼成してなる第1電極と、第1電極上に形成される第2のAg電極ペーストを焼成してなる第2電極とを備えている場合において、前記第2のAg電極ペーストとして用いられるものであることを特徴とする請求項1記載のAg電極ペースト。
- 半導体基板と、前記半導体基板の互いに対向する一対の主面のうち、受光面として機能する一方主面に配設された受光面側電極と、他方主面に配設された裏面側電極とを備えた太陽電池セルであって、
前記受光面側電極が、第1のAg電極ペーストを焼成してなる第1電極と、第1電極上に形成された、第2のAg電極ペーストを焼成してなる第2電極とを備えており、前記第2のAg電極ペーストとして請求項1または2記載のAg電極ペーストが用いられていることを特徴とする太陽電池セル。 - 半導体基板と、前記半導体基板の互いに対向する一対の主面のうち、受光面として機能する一方主面に配設された受光面側電極と、他方主面に配設された裏面側電極とを備え、前記受光面側電極が、第1のAg電極ペーストを焼成してなる第1電極と、前記第1電極上に形成された、第2のAg電極ペーストを焼成してなる第2電極とを備えた構造を有する太陽電池セルの製造方法であって、
前記半導体基板上に第1のAg電極ペーストを所定のパターンとなるように付与して、前記第1電極用のAg電極ペーストパターンを形成する工程と、
前記第1電極用のAg電極ペーストパターン上に、請求項1または2記載のAg電極ペーストを所定のパターンとなるように付与して、前記第2電極用のAg電極ペーストパターンを形成する工程と、
前記第1電極用のAg電極ペーストパターンと、前記第2電極用のAg電極ペーストパターンとを同時に焼成する工程と
を具備することを特徴とする太陽電池セルの製造方法。
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