JPWO2009011244A1 - プローブユニット - Google Patents
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Abstract
Description
2 プローブ
3 プローブホルダ
4、11 配線
5、9、12 配線基板
6 ヘッド側プレート
7 配線側プレート
8 連結部材
10 接着剤
11a 大径部
21 本体部
22 絶縁被膜
22t 端部
51、91、121 挿通孔
61 第1プレート
61a、62a、71a、72a、73a、123 小径孔
61b、62b、71b、72b、73b、122 大径孔
62 第2プレート
71 第3プレート
72 第4プレート
73 第5プレート
92 テーパ部
93 直孔部
Claims (3)
- 導電性材料を用いて形成され、一方の端部が検査対象と接触するワイヤ状のプローブと、
前記プローブの端部のうち前記検査対象と接触する端部を挿通する第1挿通孔と、前記第1挿通孔の中心軸と平行であって異なる中心軸を有し、前記プローブの端部のうち前記検査対象に検査用の信号を供給する配線と接触する端部を挿通する第2挿通孔とが対をなして複数個ずつ設けられ、複数の前記プローブを保持するプローブホルダと、
前記プローブホルダが収容する複数の前記プローブのいずれかの端部と接触する複数の前記配線を個別に挿通する複数の配線用挿通孔が設けられた配線基板と、
を備え、
互いに対向する前記第2挿通孔および前記配線用挿通孔の中心軸同士は平行であり、かつ異なることを特徴とするプローブユニット。 - 同一の前記プローブが挿通される前記第1および第2挿通孔の各々の中心軸と、当該第2挿通孔に対向する前記配線用挿通孔の中心軸とは同じ平面を通過し、この平面上で、前記第2挿通孔の中心軸が前記第1挿通孔の中心軸と前記配線用挿通孔の中心軸との間に位置することを特徴とする請求項1記載のプローブユニット。
- 互いに対向する前記第2挿通孔および前記配線用挿通孔の中心軸間の距離は、前記第2挿通孔の径と前記プローブの先端部の径との差の1/2以上であり、かつ当該差以下であることを特徴とする請求項1または2記載のプローブユニット。
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