JPWO2009005027A1 - 基板搬送ロボット及びそれを備えた真空処理装置 - Google Patents
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Abstract
基板を搬送する際の基板の固着、ずれや落下等を確実に防止できる基板搬送ロボット及びそれを備えた真空処理装置を提供する。本発明による基板搬送ロボットは、基板を載置する基板受部と、基板受部の上面に夫々が間隔を置いて設けられた弾性体から成る複数個の基板滑り止め部材と、先端に基板受部が配設された伸縮自在なアーム部とを有し、基板滑り止め部材の上端面には、突起部が設けられている。また本発明による真空処理装置は前記の基板搬送ロボットを備えた多室型真空処理装置として構成される。【選択図】 図４
Description
本発明は、基板搬送ロボットそれを備えた真空処理装置に関するものであり、更に詳しくは多室型真空処理装置の搬送室に配置される基板搬送ロボットに関する。
従来、多室型真空処理装置は、複数の基板処理室と、この複数の基板処理装置の間に配置された搬送室と、複数の基板処理室の間で基板を搬送する基板搬送ロボットとを有する。基板搬送ロボットは、伸縮自在なアーム部と、このアーム部の先端部に配設され基板搬送時に基板を受け取る基板受部と、基板受部の上面における所定複数箇所（基板を基板受部上に載置したときに基板の周縁部に相当する部分）に配設された基板の裏面と上面が密着する滑り止め部材とから構成されている。滑り止め部材はフッ素系ゴム等の弾性部材で円盤形状に構成されている（特許文献１参照）。
また、基板のような被処理体を保持する二つのホルダ部を有する搬送機構において、一方のホルダ部には、被処理体の縁部と接触して支持するテーパー形状のテーパー受け面を備えた弾性部材から成る複数個のテーパー受け部材を設け、他方のホルダ部には、被処理体の裏面と接触して支持する平面受け面を備えた弾性部材から成る複数個の平面受け部材を設けことも知られている（特許文献２参照）。
特開２００６−２６１３７７公報
特開２００２− ２６１０８公報
上述の特許文献１や特許文献２に記載されたような真空処理装置においては、基板が処理室内で処理する際に基板が加熱されており、基板を処理室から他の処理室に基板搬送ロボットにより搬送する時に、基板搬送ロボットの基板受部上で基板が熱収縮を開始し、基板滑り止め部材と基板との問に発生する静止摩擦力に比して基板の熱収縮力が大きく、基板滑り止め部材における基板の半径方向のひずみが小さく充分でないことに起因して、基板の裏面と基板滑り止め部材の上面との密着が保持できない状態となったり、高温で基板が反る場合には基板の裏面と基板滑り止め部材との有効接触面積が減少することとり、基板搬送ロボットによって基板を搬送している際に・基板が基板滑り止め部材から落下したり、基板が基板搬送ロボットの基板受け部から落下したりする等の問題が発生する点がある。
また、基板又は被処理体と滑り止め部材又は平面受け部材の上面との接触面積が大きい場合には、基板又は被処理体が滑り止め部材や平面受け部材の弾性体と強固に固着（化学結合）することになり、基板又は被処理体の受け渡し時に固着した部分を引き剥がす形となるために、基板又は被処理体がずれてしまう恐れがある。
そこで、本発明は、従来技術に伴うこのような問題点を解決して基板を搬送する際の基板の固着、ずれや落下等を確実に防止できる基板搬送ロボット及びそれを備えた真空処理装置を提供することを目的としている。
前記目的を達成するために、本発明の第１の発明による基板搬送ロボットは、基板を載置する基板受部と、基板受部の上面に夫々が間隔を置いて設けられた弾性体から成る複数個の基板滑り止め部材と、先端に基板受部が配設された伸縮自在なアーム部とを有し、基板滑り止め部材の上端面には、突起部が設けられていることを特徴としている。
本発明による基板搬送ロボットおいて、基板滑り止め部材は、パーフロロエラストマーで構成され得る。
各基板滑り止め部材の突起部の上面の表面粗さは好ましくはＲａ１μｍ以下である。基板との摩擦によって磨耗することにより表面粗さが小さくなり、有効接触面積の増加が発生するの、最初から表面粗さは小さいことが望ましい。
各基板滑り止め部材の突起部の高さは、横方向の一定のせん断応力に対する歪み量に応じて設定され得る。
本発明による基板搬送ロボットおいては、基板滑り止め部材は筒状であり、基板受部には、筒状の基板滑り止め部材を着脱自在に装着する複数個の貫通孔が設けられ得る。
好ましくは、各滑り止め部材の下端面にも補助突起部が設けられ得る。
本発明の一実施の形態によれば、各基板滑り止め部材の突起部は、その基板滑り止め部材の上端面に周方向に間隔をおいて複数個設けられる。この場合、各基板滑り止め部材の各突起部は、円柱状、切頭円錐状又は半球状であり得る。
本発明の一実施の形態によれば、各基板滑り止め部材は、前記突起部を設ける基壁を備えている。基壁は筒状の基板滑り止め部材の内部空間内に形成され得る。代わりに、基壁は筒状の基板滑り止め部材の上端面に形成され得る。この場合、基壁に設けられる突起部は、円柱状、縦断面がＴ字形又は半球状であり得る。
本発明の第２の発明による真空処理装置は、
基板を載置する基板受部と、基板受部の上面に夫々が間隔を置いて設けられた弾性体から成る複数個の基板滑り止め部材と、先端に基板受部が配設された伸縮自在なアーム部とを有し、基板滑り止め部材の上端面に、突起部を設けて成る基板搬送ロボットと、
基板搬送ロボットを配設した基板搬送室と、
基板搬送室の周りに設けられた複数個の基板処理室と
を有することを特徴としている。
基板を載置する基板受部と、基板受部の上面に夫々が間隔を置いて設けられた弾性体から成る複数個の基板滑り止め部材と、先端に基板受部が配設された伸縮自在なアーム部とを有し、基板滑り止め部材の上端面に、突起部を設けて成る基板搬送ロボットと、
基板搬送ロボットを配設した基板搬送室と、
基板搬送室の周りに設けられた複数個の基板処理室と
を有することを特徴としている。
本発明の第１の発明による基板搬送ロボットにおいては、基板を載置する基板受部と、基板受部の上面に夫々が間隔を置いて設けられた弾性体から成る複数個の基板滑り止め部材と、先端に基板受部が配設された伸縮自在なアーム部とを有し、基板滑り止め部材の上端面に、突起部を設けて構成しているので、基板の搬送時に基板が膨張したり収縮しても、基板滑り止め部材の突起部が基板の半径方向に充分ひずむことにより基板の熱収縮は突起部のひずみにより吸収され、基板の裏面と基板滑り止め部材の上面との密着性が充分保持される。また、基板が反っている場合でも接触面積の変動が少なく確実に搬送することができる。
その結果、基板を基板搬送ロボットで搬送する際の基板の基板滑り止め部材からの落下、或いは基板の基板搬送ロボットの基板受け部からの落下等を確実に防止することができるようになる。
その結果、基板を基板搬送ロボットで搬送する際の基板の基板滑り止め部材からの落下、或いは基板の基板搬送ロボットの基板受け部からの落下等を確実に防止することができるようになる。
上記基板搬送ロボットにおいて、基板滑り止め部材をパーフロロエラストマーで構成した場合には、熱耐性に優れ、高温（３００℃）の基板を搬送する最際に生じる熱収縮が大きくなってもそれに対する突起部のひずみを十分に保つことができ、それにより高温の基板でも安定して搬送できるようになる。
各基板滑り止め部材の突起部の上面の表面粗さをＲａ１μｍ以下になるように構成した場合には、適切な静止摩擦力を維持することができ、高温（３００℃）の基板を搬送する場合には充分な静止摩擦力を得ることができるようになる。また、摩擦により表面の粗さが小さくなることがあるが、最初からＲａを小さくしておくことで適切な摩擦力長期に渡って維持できる。
各基板滑り止め部材の突起部の高さを、横方向の一定のせん断応力に対する歪み量に応じて設定した構成とした場合には、基板搬送ロボットは伸縮方向にダレがあるため、突起部の高さが過剰に大きいと、基板を基板搬送ロボットが受け取る際に一部の基板滑り止め部材における突起部の上面に先に接触するため、この突起部に過度に基板の重量がかかり、撓んでしまい、基板搬送ロボットの基板受部における基板の載置位置にズレが生じて、これにより他の処理室にこの基板を搬入した際にも基板の他の処理室内での位置ズレが継続してしまうという問題の発生を防ぐことができる。
本発明による基板搬送ロボットおいて、基板滑り止め部材を筒状に構成し、基板受部に、筒状の基板滑り止め部材を着脱自在に装着する複数個の貫通孔を設けた構成とした場合には、メインテナンス時（基板滑り止め部材の突起部等が磨耗したりして交換が必要な時）に容易に基板滑り止め部材を交換することができる。
本発明による基板搬送ロボットおいて、各滑り止め部材の下端面に補助突起部を設けた構成とした場合には、基板滑り止め部材のメインテナンス時（基板滑り止め部材の突起部等が磨耗したりして交換が必要な時）に、基板滑り止め部材を基板受部から取り外して上下を逆にして再び基板受部に装着することができ、それにより再び基板滑り止め部材として機能させることができ、基板滑り止め部材の寿命を延ばすことができる。
本発明による基板搬送ロボットおいて、各基板滑り止め部材の突起部を、その基板滑り止め部材の上端面に周方向に間隔をおいて複数個設けた構成することにより、基板の温度や重みによる歪みを分散できると共に、基板と突起部との固着（化学結合）の影響を低減できる。
本発明による基板搬送ロボットおいて、各基板滑り止め部材に、突起部を設ける基壁を形成し、該基壁を筒状の基板滑り止め部材の内部空間内に形成した構成とした場合には、基板を搬送するパスラインの許容範囲内でしかも熱膨張などによる影響を考慮して十分な基板支持特性を保証することができる。
本発明の第２の発明による真空処理装置においては、基板を載置する基板受部と、基板受部の上面に夫々が間隔を置いて設けられた弾性体から成る複数個の基板滑り止め部材と、先端に基板受部が配設された伸縮自在なアーム部とを有し、基板滑り止め部材の上端面に、突起部を設けて成る基板搬送ロボットと；基板搬送ロボットを配設した基板搬送室と；基板搬送室の周りに設けられた複数個の基板処理室とを有して構成しているので、基板を基板搬送ロボットで搬送する際の基板の基板滑り止め部材からの落下、或いは基板の基板搬送ロボットの基板受け部からの落下等を確実に防止することができ、その結果、安定した搬送系を備えた真空処理装置を提供することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
することを特徴としている。
することを特徴としている。
図１及び図２には本発明による基板搬送ロボットの一実施形態を示し、１は基板Ｗを載置する基板受部であり、基板受部１は多関節機構によって昇降及び屈伸回動可能に構成されたアーム部２に取り付けられている。アーム部２は、アーム部２を昇降及び屈伸回動させる駆動機構（図示していない）に接続される。
基板受部１の各々は、図２に示すように、フォーク状に形成した基板支持面３を備え、基板支持面３の先端部には基板Ｗを受けるストッパー部材４が形成されている。また、基板支持面３には、弾性体から成る三つの基板滑り止め部材５が間隔を置いて設けられている。
図３には、図示した基板搬送ロボットを備えた多室型真空処理装置を概略的に示し、図示例では、基板搬送ロボット６は七角形の基板搬送室７内に配置され、この基板搬送室７の周囲にはゲートバルブ８を介して四つの基板処理室９及び基板搬入搬出室１０がそれぞれ設けられている。
図４〜図６には、本発明の基板搬送ロボットにおける基板滑り止め部材の一つの実施の形態を示す。図示基板滑り止め部材１１は外径３．５ｍｍ、内径２ｍｍ、高さ２．４ｍｍの円筒状を成し、耐熱性に優れた、パーフロロエラストマー、例えばカルレッツ７０７５（商品名）やフッ素系ゴム等を用いて成形されている。円筒状基板滑り止め部材１１の上端部及び下端部にはそれぞれ厚さ０．３ｍｍの上方外側フランジ１２及び下方外側フランジ１３を備え、上端面１４及び下端面１５を画定している。上方外側フランジ１２及び下方外側フランジ１３の間の長さは１．８ｍｍである。
円筒状基板滑り止め部材１１の上端部１４及び下端面１５には図５に示すようにそれぞれ１２個の突起部１６、１７が等間隔に一体的に設けられている。各突起部１６、１７は図６に示すように、頂部直径０．２ｍｍ、底部直径０．２５ｍｍ、高さ０．４ｍｍの切頭円錐台形を成している。この寸法は臨界的なものではなく、各突起部は、搬送する基板の熱膨張によるせん断応力を緩和するためのものであり、温度差、搬送する基板の径、円筒状基板滑り止め部材１１の位置、吸着面積によって、応力を緩和できる形状であれば適宜設定できる。すなわち、これらの突起部は、搬送すべき基板Ｗと化学的に又は物理的に一時的に接着するが、基板Ｗが熱膨張したり熱収縮する際に、吸着面にせん断応力が加わるため、吸着が外れてしまう恐れがある。そのため、本発明においては、突起部に、基板Ｗの熱膨張、熱収縮によるせん断応力が掛かった時に、突起部にひずみを生じさせ、これにより吸着面へのせん断応力を軽減し、吸着を維持することができる。
このように構成した円筒状基板滑り止め部材１１は図２に示すような基板受部の基板支持面３ａ、３ｂに設けた取付け孔に嵌合され、そして外側フランジ１２及び下方外側フランジ１３が取付け孔の縁部に係合するようにされる。
また、図示実施形態では、円筒状基板滑り止め部材１１の上端部１４及び下端面１５にそれぞれ突起部１６、１７を設けて上下対称の形状に構成することにより、円筒状基板滑り止め部材１１を上下逆にして二回使用できるようにしているが、当然円筒状基板滑り止め部材１１の上端部１４にのみ突起部を設けるようにしてもよい。
図７〜図１０には、本発明の基板搬送ロボットにおける基板滑り止め部材の別の実施の形態を示す。この場合には、図示基板滑り止め部材２１は図４の場合と同様に、外径３．５ｍｍ、内径２ｍｍ、高さ２．４ｍｍの円筒状を成し、耐熱性に優れた、パーフロロエラストマー、例えばカルレッツ７０７５（商品名）やフッ素系ゴム等を用いて成形されている。円筒状基板滑り止め部材２１の上端部及び下端部にはそれぞれ厚さ０．３ｍｍの上方外側フランジ２２及び下方外側フランジ２３を備えている。
円筒状基板滑り止め部材２１の上端部の上方外側フランジ２２には、図示したように、円筒状基板滑り止め部材２１の内周に沿ってそれぞれ深さ０．３ｍｍの６個の凹部２４が形成され、各凹部２４は軸方向上方及び径方向内方に開放している。そして凹部２４の底面は、円柱状突起部２５が一体的に形成される上端面を画定している。円柱状突起部２５の周囲は凹部２４の側壁から離間している。各円柱状突起部２５の寸法は図示例では直径０．３ｍｍ、高さ０．６ｍｍである。この場合も前記実施の形態と同様に、この寸法は臨界的なものではなく、各突起部は、搬送する基板の熱膨張によるせん断応力を緩和するためのものであり、温度差、搬送する基板の径、円筒状基板滑り止め部材２１の位置、吸着面積によって、応力を緩和できる形状であれば適宜設定できる。
同様に、円筒状基板滑り止め部材２１の下端部の下方外側フランジ２３にも円筒状基板滑り止め部材２１の内周に沿ってそれぞれ深さ０．３ｍｍをもち、軸方向下方及び径方向内方に開放している６個の凹部（図示していない）が形成されている。そしてこれらの凹部の底面は、円柱状突起部２６が一体的に形成されている。各円柱状突起部２６の寸法は図示例では直径０．３ｍｍ、高さ０．６ｍｍである。
この実施の形態では、凹部２４の底面に、円柱状突起部２５を形成したことにより、円柱状突起部２５の高さを稼ぐことができる。基板搬送ロボットを構成する上で有利である。すなわち、通常、ロボットのピックアップはあまり高さに余裕がなく、言い換えればピックアップの厚み方向に制限があるため、突起部に使える厚みが０．３ｍｍ程度である。このような環境で、しなりを持った突起部を作るためには、円柱状突起部２５の高さを稼ぐことができるは有利である。
図１１には、本発明の基板搬送ロボットにおける基板滑り止め部材のさらに別の実施の形態を示す。この場合には、図示基板滑り止め部材３１は前述の二つの実施の形態と同様に、円筒状を成し、耐熱性に優れた、パーフロロエラストマー、例えばカルレッツ７０７５（商品名）やフッ素系ゴム等を用いて成形されている。円筒状基板滑り止め部材３１の上端部及び下端部には上方外側フランジ３２及び下方外側フランジ３３を備えている。
円筒状基板滑り止め部材３１の内部には基壁３４が形成され、この基壁３４の上面には、縦断面がＴ字形の一つの突起部３５が形成され、この突起部３５は、円柱状部３６と円形の頭部３７とを備え、円形の頭部３７の直径で基板との接触面積が決まり、また円柱状部３６の長さ及び直径は、基板Ｗの熱膨張、熱収縮により円形の頭部３７に掛かるせん断応力を軽減し、吸着を維持することができるように寸法決めされる。
図１２には、本発明の基板搬送ロボットにおける基板滑り止め部材のさらに別の実施の形態を示す。この場合には、図示基板滑り止め部材４１は図１１の実施の形態と同様に、円筒状を成し、耐熱性に優れた、パーフロロエラストマー、例えばカルレッツ７０７５（商品名）やフッ素系ゴム等を用いて成形されている。円筒状基板滑り止め部材４１の上端部及び下端部には上方外側フランジ４２及び下方外側フランジ４３を備えている。
円筒状基板滑り止め部材４１の内部には基壁４４が形成され、この基壁４４の上面には、キノコ形の一つの突起部４５が形成され、この突起部４５は、円柱状部４６と傘型の頭部４７とを備え、傘型の頭部４７の頂面の直径で基板との接触面積が決まり、また円柱状部４６の長さ及び直径は、基板Ｗの熱膨張、熱収縮により傘型の頭部４７に掛かるせん断応力を軽減し、吸着を維持することができるように寸法決めされる。
図１３には、本発明の基板搬送ロボットにおける基板滑り止め部材のさらに別の実施の形態を示す。この場合には、図１１の場合とほぼ同じであり、すなわち、図示基板滑り止め部材５１は、円筒状を成し、耐熱性に優れた、パーフロロエラストマー、例えばカルレッツ７０７５（商品名）やフッ素系ゴム等を用いて成形されている。円筒状基板滑り止め部材５１の上端部及び下端部には上方外側フランジ５２及び下方外側フランジ５３を備えている。
円筒状基板滑り止め部材５１の内部には基壁５４が形成され、この基壁５４の上面には、縦断面がＴ字形の一つの突起部５５が形成され、この突起部５５は、円柱状部５６と円板状頭部５７とを備え、円板状頭部５７の周囲縁部は面取りされており、この面取りされた周囲縁部を除いた頭部５５の頂面の直径で基板との接触面積が決まり、また円柱状部５６の長さ及び直径は、基板Ｗの熱膨張、熱収縮により円板状頭部５７に掛かるせん断応力を軽減し、吸着を維持することができるように寸法決めされる。
図１４には、本発明の基板搬送ロボットにおける基板滑り止め部材のさらに別の実施の形態を示す。この場合も、図示基板滑り止め部材６１は、円筒状を成し、耐熱性に優れた、パーフロロエラストマー、例えばカルレッツ７０７５（商品名）やフッ素系ゴム等を用いて成形されている。円筒状基板滑り止め部材６１の上端部及び下端部には前述の実施の形態と同様に上方外側フランジ６２及び下方外側フランジ６３を備えている。
円筒状基板滑り止め部材６１の内部には基壁６４が形成され、この基壁６４の上面には、実質的に円柱上の一つの突起部６５が形成され、この突起部６５は、円柱状部６６と円柱状部６６より若干大きな径の半円球状頭部６７とを備え、円柱状部６６の長さ及び直径は、基板Ｗの熱膨張、熱収縮により半円球状頭部６７に掛かるせん断応力を軽減し、吸着を維持することができるように寸法決めされる。
図１５には、図１３に示す基板滑り止め部材の変形実施の形態を示す。図示基板滑り止め部材７１は、円筒状を成し、耐熱性に優れた、パーフロロエラストマー、例えばカルレッツ７０７５（商品名）やフッ素系ゴム等を用いて成形されている。円筒状基板滑り止め部材７１の下端部には下方外側フランジ７２を備えている。
円筒状基板滑り止め部材７１の上端部には基壁７３が形成され、この基壁７３の外方端部は、下端部における下方外側フランジ７２に相対した上方外側フランジ７４を画定している。基壁７３の上面中央には、縦断面がＴ字形の一つの突起部７５が形成され、この突起部７５は、円柱状部７６と円板状頭部７７とを備え、円板状頭部７７の周囲縁部は面取りされており、この面取りされた周囲縁部を除いた頭部７７の頂面の直径で基板との接触面積が決まり、また円柱状部７６の長さ及び直径は、基板Ｗの熱膨張、熱収縮により円板状頭部７７に掛かるせん断応力を軽減し、吸着を維持することができるように寸法決めされる。
図１６には、図１５に示す基板滑り止め部材の変形実施の形態を示す。図示基板滑り止め部材８１は、円筒状を成し、耐熱性に優れた、パーフロロエラストマー、例えばカルレッツ７０７５（商品名）やフッ素系ゴム等を用いて成形されている。円筒状基板滑り止め部材８１の下端部には下方外側フランジ８２を備えている。
円筒状基板滑り止め部材８１の上端部には基壁８３が形成され、この基壁８３の外方端部は、下端部における下方外側フランジ８２に相対した上方外側フランジ８４を画定している。基壁８３の上面中央には、縦断面が半球形の一つの突起部８５が形成されている。この場合には、基板の反りの影響を小さくでき、また熱収縮の影響は比較的小さくできる可能性がある。
また、前述の各実施の形態において、基板滑り止め部材における突起部の高さの上限は、基板を搬送するバスラインの許容範囲で決められる。また突起部の高さの下限については、基板の反りが発生しても他の部分に接触しないように設定される。
さらに、基板滑り止め部材における突起部の直径の下限は、強度の点で決められ、また突起部の直径の上限は、突起部の高さと直径と、必要な歪み量（横方向の柔らかさ）で決められるべきである。下限について接触面積に対して、直径をあまり小さくすると、基板を置く際に接触部と基板との吸着力に負けて、突起部がちぎれてしまう可能性があるため、突起部を構成する素材によって決められるべきである。上限については、突起部の形状は熱膨張に追従できることが必要であるので、熱膨張などにより移動する距離でも吸着面が外れない程度に設定されるべきである。例えば、ゲル状の柔らかいゴムがあれば、かなり大きな直径にすることも可能になり、その場合は有効接触面積が大きくなるので、接触部分の面積を小さくする必要がある。
また、基板滑り止め部材における突起部を弱くし過ぎると、リフトピンからピックアップヘの基板の受け渡し動作時に、突起部がたわんでしまい、一定方向に常に基板のずれが発生するため、突起部の機械的強度は、１点に基板の半分の荷重がかかった時でもたわまないレベルの強度をもつように決める必要がある。また、ロボットのピックアップが伸縮方向にダレが発生しており、リフトピンとピックアップの平行度に差がある。その状態でリフタからピックアップで基板を受け取ると基板は同時に３点の基板滑り止め部材に乗るのではなく、まず１点の基板滑り止め部材に乗る。その際、その基板滑り止め部材における突起部が基板を支えきれずに撓んでしまうと基板のずれが発生してしまう。これを避けるためには突起部の機械的強度と共に、ロボットのアームが伸びている状態のピックアップとリフタの水平度を出す必要がある。
さらに、図示実施の形態では、円筒状基板滑り止め部材を基板受部の基板支持面に設けた取付け孔に嵌合するように構成しているために、円筒状基板滑り止め部材を中空にして内側に逃げて取付け孔に入れることができるようにしているが、代わりにネジ止め、はめ込み、接着などで取付ける場合には、円筒状基板滑り止め部材は中空以外の他の任意の形状にすることができる。
１：基板受部
２：アーム部
３：基板支持面
４：ストッパー部材
５：基板滑り止め部材
６：基板搬送ロボット
７：基板搬送室
８：ゲートバルブ
９：基板処理室
１０：基板搬入搬出室
１１：円筒状基板滑り止め部材
１２：上方外側フランジ
１３：下方外側フランジ
１４：上端面
１５：下端面
１６、１７：突起部
２１：円筒状基板滑り止め部材
２２：上方外側フランジ
２３：下方外側フランジ
２４：凹部
２５：円柱状突起部
２６：円柱状突起部
３１：円筒状基板滑り止め部材
３２：上方外側フランジ
３３：下方外側フランジ
３４：基壁
３５：突起部
３６：円柱状部
３７：頭部
４１：円筒状基板滑り止め部材
４２：上方外側フランジ
４３：下方外側フランジ
４４：基壁
４５：突起部
４６：円柱状部
４７：傘型の頭部
５１：円筒状基板滑り止め部材
５２：上方外側フランジ
５３：下方外側フランジ
５４：基壁
５５：突起部
５６：円柱状部
５７：円板状頭部
６１：円筒状基板滑り止め部材
６２：上方外側フランジ
６３：下方外側フランジ
６４：基壁
６５：突起部
６６：円柱状部
６７：半円球状頭部
７１：円筒状基板滑り止め部材
７２：下方外側フランジ
７３：基壁
７４：上方外側フランジ
７５：突起部
７６：円柱状部
７７：円板状頭部
８１：円筒状基板滑り止め部材
８２：下方外側フランジ
８３：基壁
８４：上方外側フランジ
８５：突起部
２：アーム部
３：基板支持面
４：ストッパー部材
５：基板滑り止め部材
６：基板搬送ロボット
７：基板搬送室
８：ゲートバルブ
９：基板処理室
１０：基板搬入搬出室
１１：円筒状基板滑り止め部材
１２：上方外側フランジ
１３：下方外側フランジ
１４：上端面
１５：下端面
１６、１７：突起部
２１：円筒状基板滑り止め部材
２２：上方外側フランジ
２３：下方外側フランジ
２４：凹部
２５：円柱状突起部
２６：円柱状突起部
３１：円筒状基板滑り止め部材
３２：上方外側フランジ
３３：下方外側フランジ
３４：基壁
３５：突起部
３６：円柱状部
３７：頭部
４１：円筒状基板滑り止め部材
４２：上方外側フランジ
４３：下方外側フランジ
４４：基壁
４５：突起部
４６：円柱状部
４７：傘型の頭部
５１：円筒状基板滑り止め部材
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５４：基壁
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５７：円板状頭部
６１：円筒状基板滑り止め部材
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６４：基壁
６５：突起部
６６：円柱状部
６７：半円球状頭部
７１：円筒状基板滑り止め部材
７２：下方外側フランジ
７３：基壁
７４：上方外側フランジ
７５：突起部
７６：円柱状部
７７：円板状頭部
８１：円筒状基板滑り止め部材
８２：下方外側フランジ
８３：基壁
８４：上方外側フランジ
８５：突起部
Claims (13)
- 基板を載置する基板受部と、前記基板受部の上面にそれぞれ間隔を置いて設けられた弾性体から成る複数個の基板滑り止め部材と、先端に前記基板受部が配設された伸縮自在なアーム部とを有し、前記基板滑り止め部材の上端面には、突起部が設けられていることを特徴とする基板搬送ロボット。
- 前記基板滑り止め部材がパーフロロエラストマーで構成されることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送ロボット。
- 前記各基板滑り止め部材の突起部の上面の表面粗さがＲａ１μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板搬送ロボット。
- 前記各基板滑り止め部材の突起部の高さが、横方向の一定のせん断応力に対する歪み量に応じて設定されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
- 前記基板滑り止め部材は筒状であり、前記基板受部には、前記筒状の基板滑り止め部材を着脱自在に装着する複数個の貫通孔が設けられることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
- 前記各滑り止め部材の下端面に補助突起部が設けられることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
- 前記各基板滑り止め部材の突起部が、その基板滑り止め部材の上端面に周方向に間隔をおいて複数個設けられることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
- 前記各基板滑り止め部材の各突起部が円柱状、切頭円錐状又は半球状であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
- 前記各基板滑り止め部材が、前記突起部を設ける基壁を備えていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
- 前記基壁が前記筒状の基板滑り止め部材の内部空間内に形成されることを特徴とする請求項９に記載の基板搬送ロボット。
- 前記基壁が前記筒状の基板滑り止め部材の上端面に形成されることを特徴とする請求項９に記載の基板搬送ロボット。
- 前記基壁に設けられる前記突起部が、円柱状又は縦断面がＴ字形であることを特徴とする請求項９〜１１のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
- 基板を載置する基板受部と、前記基板受部の上面にそれぞれ間隔を置いて設けられた弾性体から成る複数個の基板滑り止め部材と、先端に前記基板受部が配設された伸縮自在なアーム部とを有し、前記基板滑り止め部材の上端面に、突起部を設けて成る基板搬送ロボットと；
前記基板搬送ロボットを配設した基板搬送室と；
前記基板搬送室の周りに設けられた複数個の基板処理室と；
を有することを特徴とする真空処理装置。
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