JP6785344B2 - ウエハ搬送用ブレード - Google Patents
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Description
11−ウエハ支持板
11A−ウエハ支持領域
12−取付板
13−開口
13A−テーパ
100−ウエハ
100A−陥没部
Claims (3)
- ブレード面における対向する2つ円弧で挟まれた領域で円盤状のウエハを支持する板状のウエハ搬送用ブレードであって、
前記ブレード面上のウエハ支持領域の外側に前記ウエハの外周が係止されるストッパが設けられるともに、前記ブレード面において、前記ストッパの内側に、前記ウエハの端部を支持する支持部が設けられ、
前記ブレード面の前記ウエハ支持領域の中央に、前記ウエハの中央に形成された碗状の陥没部が当接する周囲を有する開口が設けられ、
前記ウエハは、その底面の外周面が前記支持部に当接し、前記ウエハの碗状の陥没部が前記開口の周囲に当接することにより、前記ブレード面に接しないように持上げられて支持される、ウエハ搬送用ブレード。 - 前記支持部の上面は、前記開口に向けて傾斜している、請求項1に記載のウエハ搬送用ブレード。
- 前記ストッパは、前記ウエハの端部の端面と対向する面に、前記開口に向けて傾斜する面を含む、請求項1又は2に記載のウエハ搬送用ブレード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019133432A JP6785344B2 (ja) | 2019-07-19 | 2019-07-19 | ウエハ搬送用ブレード |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2019133432A JP6785344B2 (ja) | 2019-07-19 | 2019-07-19 | ウエハ搬送用ブレード |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015134391A Division JP6567901B2 (ja) | 2015-07-03 | 2015-07-03 | ウエハ搬送用ブレード |
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JP2019182664A JP2019182664A (ja) | 2019-10-24 |
JP6785344B2 true JP6785344B2 (ja) | 2020-11-18 |
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Family Applications (1)
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JP2019133432A Active JP6785344B2 (ja) | 2019-07-19 | 2019-07-19 | ウエハ搬送用ブレード |
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JP (1) | JP6785344B2 (ja) |
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- 2019-07-19 JP JP2019133432A patent/JP6785344B2/ja active Active
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