JP2019182664A

JP2019182664A - ウエハ搬送用ブレード

Info

Publication number: JP2019182664A
Application number: JP2019133432A
Authority: JP
Inventors: 義彦浦崎; Yoshihiko Urasaki; 克寿中井; Katsutoshi Nakai
Original assignee: Koyo Thermo Systems Co Ltd
Current assignee: JTEKT Thermo Systems Corp
Priority date: 2019-07-19
Filing date: 2019-07-19
Publication date: 2019-10-24
Anticipated expiration: 2035-07-03
Also published as: JP6785344B2

Abstract

【課題】コンパウンドウエハの搬送時にウエハが横滑りして落下しないウエハ搬送用ブレードを提供する。【解決手段】この発明のウエハ搬送用ブレード１０は、ブレード面における対向する２つ円弧Ｃ１，Ｃ２で挟まれた領域１１Ａで円盤状のウエハ１００を支持するものであり、ブレード面上のウエハ支持領域１１Ａの外側にウエハ１００の外周が係止されるストッパ１６，１７が設けられるともに、ブレード面のウエハ支持領域の中央に、ウエハ１００の中央に形成された碗状の陥没部１００Ａが当接する周囲を有する開口１３が設けられた構成である。【選択図】図３

Description

この発明は、ウエハを支持して搬送するためのウエハ搬送用ブレードに関する。

半導体装置の基板などに使用されるウエハは、製品出荷前に熱処理炉に収容されて熱処理される。ウエハは円盤状であり、板状のブレードに載せられて搬送され、熱処理炉に搬出入される（例えば、特許文献１、２参照。）。

このようなウエハ搬送用ブレード１１０は、図４に示すように、ブレード面上において、対向する２つ円弧Ｃ１，Ｃ２で挟まれた領域（図４中に斜線を施した領域。以下、「ウエハ支持領域」と称する。）１１１Ａでウエハ１００を支持する。ブレード面上のウエハ支持領域１１１Ａの四隅には、極小面積の支持部１１４Ａ，１１４Ｂ，１１５Ａ，１１５Ｂがあり、ウエハ１００はこれらの支持部によりブレード面とできるだけ接触しないように持ち上げられた状態で支持されている。

各支持部は、ウエハ支持領域１１１Ａの外側に、ウエハ１００の外周が係止されるストッパ１１６，１１７が設けられており、搬送時にウエハ１００が横滑りしてウエハ搬送用ブレード１１０から落下することが防止される。

近年、ウエハの薄型化が進み、アニール処理の際にウエハに歪み変形が生ずることが問題視されている。そこで、ウエハの中央部を同心円状に肉厚を薄く形成し、アニール処理による変形をこの中央部に集約させることで、変形が全体に及ばないように工夫している。このようなウエハは、特にコンパウンドウエハと呼ばれ、中央部に碗状の陥没部が下方に突出して形成された状態で一般に流通している。

特開平１１−１１６０４９号公報特開２００１−４４２６３号公報

このようなコンパウンドウエハは、従来のウエハ搬送用ブレードのブレード面に載せた際に、凹凸のないウエハとは異なり、陥没部がブレード面に当接して外周部がストッパ１１６，１１７よりも上方に位置し、搬送時に横滑りを生じてブレード面から落下するおそれがある。

この発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、搬送時に横滑りによるコンパウンドウエハの落下を防止できるウエハ搬送用ブレードを提供することを目的とする。

この発明のウエハ搬送用ブレードは、ブレード面における対向する２つの円弧で挟まれた領域で円盤状のウエハを支持するものであり、ブレード面上のウエハ支持領域の外側にコンパウンドウエハの外周が係止されるストッパが設けられるともに、ブレード面のウエハ支持領域の中央に、コンパウンドウエハの中央に形成された碗状の陥没部が当接する周囲を有する開口が設けられている。

この構成によれば、陥没部を中央部に有するコンパウンドウエハをブレード面上においたとき、陥没部は開口に位置してブレード面より下方に位置し、コンパウンドウエハの外周がストッパの上方に位置することがない。

また、上記ブレード面において、ストッパの内側にウエハの端部を支持する支持部が設けられており、支持部の上面は、開口に向けて傾斜している。

このような構成では、ウエハは、ウエハの端部が支持部の上面と当接することでブレード面のウエハ支持領域の中央側に位置し、これにより、ウエハの陥没部はブレード面の開口に位置することができる。

更に、ウエハの端部の端面と対向する面に、ストッパは、開口に向けて傾斜する面を含む。

このような構成では、ウエハは、ウエハの端部の端面がストッパの傾斜面と当接することでブレード面のウエハ支持領域の中央側に位置し、これにより、ウエハの陥没部はブレード面の開口に位置することができる。

なお、開口の周囲に、コンパウンドウエハの陥没部の外周が当接するテーパを形成しておくと、コンパウンドウエハとブレード面との接触面積が増え、ウエハ搬送用ブレードにコンパウンドウエハを安定して支持することができる。このとき、開口のエッジが陥没部に当接することがないので、コンパウンドウエハの傷付きも防止できる。

この発明によれば、コンパウンドウエハの横滑りによるブレード面からの落下を確実に防止できる。

（Ａ）及び（Ｂ）は、この発明の一実施形態に係るウエハ搬送用ブレードの平面図及びＸ−Ｘ線断面図である。（Ａ）及び（Ｂ）は、コンパウンドウエハを示す平面図及び断面図である。（Ａ）及び（Ｂ）は、ブレード面のウエハ支持領域を説明する上記ウエハ搬送用ブレードの平面図、及びブレード面にコンパウンドウエハを載置した状態を示す断面図である。従来のウエハ搬送用ブレードを示す平面図である。

以下に、図面を参照して、この発明の実施の形態に係るウエハ搬送用ブレードを説明する。本実施の形態に係るウエハ搬送用ブレード１０は、コンパウンドウエハの搬送に適したものである。図２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、コンパウンドウエハ１００は、円盤状を呈し、中央部に碗状の陥没部１００Ａが下方に突出して形成されている。

図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ウエハ搬送用ブレード１０は、金属等の耐熱性を有する材料から成る板状部材であり、ウエハ支持板１１および取付板１２を一体的に有する。

ウエハ支持板１１は、円形の板状体を互いに平行な２直線で切断し、基端側及び先端側の外縁を単一円の部分円弧状とした形状を呈している。ウエハ支持板１１は、基端側の外縁から取付板１２を延出させており、先端側にスリット１９が形成されている。ウエハ支持板１１の上面（本発明のブレード面に相当する。）の四隅には、ブレード面から隆起する極小面積の支持部１４Ａ，１４Ｂ，１５Ａ，１５Ｂが設けられている。支持部１４Ａ，１４Ｂはウエハ支持板１１の先端側に形成され、支持部１５Ａ，１５Ｂはウエハ支持板１１の基端側に形成される。

支持部１４Ａ，１４Ｂのそれぞれの外側には、ストッパ１６が凸設されている。支持部１５Ａ，１５Ｂの外側には、ストッパ１７が凸設されている。ストッパ１７はウエハ支持板１１の基端側の支持部１５Ａ，１５Ｂに跨って形成され、ウエハ支持板１１と取付板１２とを隔てる境界を兼ねている。ストッパ１６及び１７の互いに対向する内側面は、ウエハ支持板１１の基端側及び先端側の外縁を構成する円弧と同心状で、ウエハ支持板１１に支持すべきコンパウンドウエハ１００の直径に等しい径の円弧面で構成されている。

ウエハ支持板１１の中央部には、円形の開口１３が形成されている。開口１３は、ウエハ支持板１１の基端側及び先端側の外縁を構成する円弧と同心上に形成されており、ブレード面側に全周にわたってテーパ１３Ａを備えている。開口１３の直径は、陥没部１００Ａの直径よりも少し小さめに設定される。なお、開口１３の形状および大きさは陥没部１００Ａの形状に対応して決められるものであり、上記に限定されない。

取付板１２は、ウエハ搬送用ブレード１０を、図示しないロボットアームに取付けるための接合部である。取付板１２には小孔１８が２箇所設けられ、この小孔１８とロボットアーム側に設けられたネジ穴とにネジを螺号することにより、ウエハ搬送用ブレード１０はロボットアームに固定される。

図３（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ウエハ支持板１１は、ストッパ１６の内側面を構成する円弧Ｃ１とストッパ１７の内側面を構成する円弧Ｃ２で挟まれた領域（図３（Ａ）中に斜線を施した領域。以下、「ウエハ支持領域」と称する。）１１Ａでコンパウンドウエハ１００を支持する。このとき、コンパウンドウエハ１００の外周面がストッパ１６，１７の内側面に当接し、コンパウンドウエハ１００の底面の外周部がウエハ支持板１１の支持部１４Ａ，１４Ｂ及び１５Ａ，１５Ｂに当接する。コンパウンドウエハ１００は、ウエハ支持領域１１Ａのブレード面とできるだけ接しないように持ち上げられた状態で支持される。

また、開口１３の周囲にはテーパ１３Ａが形成されており、コンパウンドウエハ１００の陥没部１００Ａの外周がテーパ１３Ａに当接する。これにより、コンパウンドウエハ１００とウエハ支持板１１との接触面積が増え、ウエハ搬送用ブレード１０にコンパウンドウエハ１００を安定して支持することができる。このとき、開口１３のエッジが陥没部１００Ａに当接することがないので、コンパウンドウエハ１００の傷付きも防止される。

コンパウンドウエハ１００をブレード面上に置いたとき、ウエハの陥没部１００Ａが開口１３に位置してブレード面より下方に逃げる。したがって、コンパウンドウエハ１００の外周がストッパ１６，１７から浮き上がることがなく、搬送時に横滑りによりコンパウンドウエハ１００が落下することが防止される。

なお、支持部１４Ａ，１４Ｂ及び１５Ａ，１５Ｂの上面を、中央の開口に向けて低くなる傾斜面とすることもできる。コンパウンドウエハ１００は、陥没部１００Ａの周囲から外縁部に向かう方向に沿って徐々に大きくなるように下方に湾曲し、全体として下に凸となる変形を生じる。これによって、コンパウンドウエハ１００の陥没部１００Ａが開口１３のテーパ１３Ａに確実に当接し、コンパウンドウエハ１００をウエハ支持板１１に確実に固定することができる。

上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。この発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、この発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１０−ウエハ搬送用ブレード
１１−ウエハ支持板
１１Ａ−ウエハ支持領域
１２−取付板
１３−開口
１３Ａ−テーパ
１００−ウエハ
１００Ａ−陥没部

Claims

ブレード面における対向する２つ円弧で挟まれた領域で円盤状のウエハを支持する板状のウエハ搬送用ブレードであって、
前記ブレード面上のウエハ支持領域の外側に前記ウエハの外周が係止されるストッパが設けられるともに、前記ブレード面の前記ウエハ支持領域の中央に、前記ウエハの中央に形成された碗状の陥没部が当接する周囲を有する開口が設けられたウエハ搬送用ブレード。
前記ブレード面において、前記ストッパの内側に、前記ウエハの端部を支持する支持部が設けられ、
前記支持部の上面は、前記開口に向けて傾斜している、請求項１に記載のウエハ搬送用ブレード。
前記ストッパは、前記ウエハの端部の端面と対向する面に、前記開口に向けて傾斜する面を含む、請求項１又は２に記載のウエハ搬送用ブレード。