JPWO2008081704A1 - プローブユニットの配線固定方法およびプローブユニット - Google Patents
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Abstract
Description
2 プローブ
3 プローブホルダ
4 配線
5,15,25 配線基板
6 ヘッド側プレート
7 配線側プレート
8 連結部材
9 接着剤
21 本体部
22 絶縁被膜
22t 端部
51,151,251 挿通孔
51a テーパ部
61 第1プレート
61a、62a、71a、72a、73a 小径孔
61b、62b、71b、72b、73b 大径孔
62 第2プレート
71 第3プレート
72 第4プレート
73 第5プレート
151a R面取り部
Claims (5)
- 導電性材料から成り、一方の端部が検査対象と接触するプローブと、前記プローブを収容するプローブホルダと、前記プローブを介して前記検査対象に検査用の信号を供給する配線を固定して保持し、前記プローブホルダに取り付けられる配線基板と、を備えるプローブユニットの配線固定方法であって、
前記配線基板に設けられた挿通孔に前記配線を挿通する配線挿通工程と、
前記配線と前記配線基板とを固着する固着材を、前記配線基板が前記プローブホルダに取り付けられる際に前記プローブホルダと対向する前記挿通孔の端面から、前記挿通孔と該挿通孔に挿通された前記配線との隙間のうち、前記配線が前記挿通孔の外部に延出する側の端面付近を除く隙間に充填する固着材充填工程と、
を有することを特徴とするプローブユニットの配線固定方法。 - 前記プローブホルダと対向する前記挿通孔の端面を含む前記配線基板の表面を平滑化する平滑化工程をさらに有することを特徴とする請求項1記載のプローブユニットの配線固定方法。
- 前記プローブホルダと対向する前記挿通孔の端面に面取りが施されていることを特徴とする請求項1または2記載のプローブユニットの配線固定方法。
- 導電性材料から成り、一方の端部が検査対象と接触するプローブと、
前記プローブを収容するプローブホルダと、
前記プローブホルダに収容された前記プローブを介して前記検査対象に検査用の信号を供給する配線を挿通する挿通孔を有し、前記挿通孔に挿通された前記配線を固定して保持する配線基板と、
前記挿通孔と該挿通孔に挿通された前記配線との隙間のうち、前記配線が前記挿通孔の外部に延出する側の端面付近を除く隙間に充填され、前記配線と前記配線基板とを固着する固着材と、
を備えたことを特徴とするプローブユニット。 - 前記挿通孔は、前記プローブホルダと対向する端面に面取りが施されていることを特徴とする請求項4記載のプローブユニット。
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