JP2004138385A

JP2004138385A - チェッカーヘッドおよびその製造方法

Info

Publication number: JP2004138385A
Application number: JP2002300439A
Authority: JP
Inventors: Nobusane Oono; 大野　信実; Yukio Yamagishi; 山岸　幸雄; Akihiro Demura; 出村　彰浩
Original assignee: Ibiden Engineering Co Ltd
Current assignee: Ibiden Engineering Co Ltd
Priority date: 2002-10-15
Filing date: 2002-10-15
Publication date: 2004-05-13

Abstract

【課題】簡単な作業で製造でき、大電流にも対応でき、コンタクトピンの押しつけ圧の不均一が出にくく、部品点数も少ないチェッカーヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】配線固定板５８の２本の通孔５９に１本の導線６０を通して仮固定する。導線を全部差し込んで配線が終わったら低粘度接着剤６４で完全接着し、導線６０の突出部分を除去して平坦にする。これに、前面板５２、中間板５４Ａ、５４Ｂ、背面板５６、コンタクトピン２０、コイルスプリング３０、バックピン４０を組み付けて、チェッカーヘッドを製造する。
【選択図】　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、印刷回路等の被検査体にコンタクトピンを接触させて電気的コンタクトをとるチェッカーヘッドに関する。さらに詳細には、ＤＣテスタ等の回路テスタと被検査体に設けられたテストパッドとの導通をとるために回路テスタに接続されて使用されるチェッカーヘッドおよびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
特許文献１のチェッカーヘッドの構成を図９に示す。チェッカーヘッドは、コンタクトピン１２０と、押しバネ１３０と、導線１６０とを直線状に配列するとともに、多数組のこの配列を３枚の積層されたベーク板からなる前板１５２、中板１５４、配線固定板１５８に貫通させたものである。前板１５２には、コンタクトピン１２０を通すための貫通孔１５３が、中板１５４には押しバネ１３０を通すための貫通孔１５５が、配線固定板１５８には、導線１６０を通すための貫通孔１５９が設けられている。そして、コンタクトピン１２０は釘状の形状をしており、その先端が前面の前板１５２から突出している。また、前板１５２の貫通孔１５３は中板１５４の貫通孔１５５より小径とされており、コンタクトピン１２０の鍔部１２２がこの段差に当たることによりその突出が規制されるようになっている。
【０００３】
回路テスタに接続される導線１６０は、配線固定板１５８の貫通孔１５９に接着剤で固定されている。押しバネ１３０は圧縮された状態でチェッカーヘッドに組み込まれており、コンタクトピン１２０を図９中上方へ押圧している。この押圧によりコンタクトピン２０から押しバネ１３０、導線１６０までが導通するようになっている。特に、コンタクトピン１２０の先端を被検査体である印刷回路９０のテストパッド９２に押し付けると、押しバネ１３０がさらに圧縮されて押圧が強まり、導通がより確実になる。この状態で、回路テスタからテストパッド９２に電気信号（電圧や電流）を印加したり、テストパッド９２の電気信号（同じ）を回路テスタで検出したりすることができる。
【０００４】
ここで、導線１６０を配線固定板１５８へ固定する際には、導線１６０として、外周に接着層をコーティングした自己融着性の導線を用いる。そして、図１０（Ａ）に示すように、導線１６０を配線固定板１５８の貫通孔１５９を挿通し、仮固定させる。その後、導線１６０と配線固定板１５８の貫通孔１５９との隙間に更に接着剤を装填する。最後に、図１０（Ｂ）に示すように、配線固定板１５８の表面を研磨する。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−８８８８２号公報
【０００６】
【特許文献２】
特開平１１−６４３７８号公報
【０００７】
【特許文献３】
特開平１１−６４３７９号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した引用文献１のチェッカーヘッドでは、電気抵抗のバラツキが発生することがあった。この原因を調べたところ、押しバネ１３０と導線１６０との間で接触抵抗が生じることがあることが分かった。即ち、図９に示す中板１５４の貫通孔１５５の中心線１５５Ｘと配線固定板１５８の貫通孔１５９の中心線１５９Ｘとがズレルと、押しバネ１３０の端部が配線固定板１５８側に引っ掛かり、押しバネ１３０と導線１６０との接触が適切に取れなくなり、接触抵抗が生じ、電気抵抗のバラツキになっていた。
【０００９】
更に、図１０（Ａ）、（Ｂ）を参照して上述した製造方法、即ち、自己融着性の導線１６０を配線固定板１５８の貫通孔１５９を挿通し仮固定させても、他の導線１６０を挿通している間に抜け落ちてしまい、仮固定ができず、特許文献１の製造方法では実際に製造でないことが分かった。
【００１０】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、電気抵抗のバラツキを発生せずに、簡単な作業で製造でき、大電流にも対応でき、コンタクトピンの押しつけ圧の不均一が出にくく、部品点数も少ないチェッカーヘッドを、その製造方法とともに提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この課題の解決のためになされた本発明のチェッカーヘッドは、穴が形成された前板と、前記前板の穴から先端が突出するとともに前記前板より後方の位置に前記穴より大径の鍔部が形成された導電性のコンタクトピンとを有し、このコンタクトピンの先端で被検査体に接触するチェッカーヘッドにおいて：
前記鍔部より後方に位置するとともに前記前板に対して固定され、前記前板の穴の位置に対応する位置に穴が形成された導線固定板と；
前記導線固定板の穴を貫通して設けられるとともに前記導線固定板に接着された導線と；
通孔が形成された背面板と；
前記背面板の通孔から先端が突出して前記導線に接触するとともに前記背面板より前方の位置に前記通孔より大径の鍔部が形成された導電性のバックピンと；前記コンタクトピンと前記バックピンとの間に圧縮状態で設けられた導電性のバネと；を有し、
前記コンタクトピンが前記背面板に向けて押圧されている状態では前記コンタクトピンと前記導線とが前記バネ及び前記バックピンを介して導通することを技術的特徴とする。
【００１２】
このチェッカーヘッドでは、コンタクトピンの鍔部が前板の背面に位置している。そして、鍔部の前端が前板の穴の周縁に後方から当接することにより、コンタクトピンが前板の前方へ引き抜かれることが防止されている。同様に、バックピンの鍔部が背面板の前面（背面）に位置している。そして、鍔部の前端が背面板の通孔の周縁に後方から当接することにより、バックピンが背面板の後方へ引き抜かれることが防止されている。また、コンタクトピンの鍔部とバックピンの鍔部との間にはバネが圧縮状態で配置されている。バネに付勢されるバックピンの先端は導線固定板に接着されている導線に当接している。また、バネの前方端はコンタクトピンを前方へ向けて押圧している。コンタクトピンが被検査体に接触して押し込まれると、このバネの弾力により押し返されることになる。これによりコンタクトピンの先端と被検査体とが確実に接触し導通がとられる。また、バネ及びバックピンを介してコンタクトピンと導線とも接触して導通がとられる。
【００１３】
バックピンと導線とが接触することで導通が取られるため、例え、バックピンを保持する背面板の貫通孔と、導線を固定する配線固定板の穴との位置がずれ、バックピンのセンターと導線のセンターとが一致しなくても、バックピンの先端が導線と点接触することで適切に接続を取ることができる。このため、電気抵抗のバラツキを発生することがない。
【００１４】
このチェッカーヘッドは、導線をバネに押し込む作業を伴わずに製造できる。このため、製造工数が少なくて済み、また歩留まりも高い。また、バネの個数がコンタクトピン１本あたり１個で部品点数が少ないので、各コンタクトピンの押しつけ圧の不均一が出にくく、工程管理上の負担も小さい。
【００１５】
このチェッカーヘッドでは、前板と背面板との間に挟持されるとともに前板および導線固定板の穴の位置に対応する位置に穴が形成された中板を有し、コンタクトピンの鍔部、バネおよびバックピンの鍔部が中板の穴の中に位置し、導線におけるバックピンと接する側の端面が、導線固定板における前板側の面と同一面であることが好ましい。このようにすると、導線を装着した導線固定板と、前板と中板と背面板とを接合しこれにコンタクトピンとバネとを装着したものとを容易に組み合わせることができるからである。
【００１６】
また、本発明に係るチェッカーヘッドの製造方法では、（ａ）導線固定板に形成されている２つの穴に１本の導線を差し込み；
（ｂ）前記導線と前記導線固定板とを接着し；
（ｃ）前記導線における前記導線固定板の前面から突出している部分を除去し；（ｄ）中板に形成されている穴に導電性のバネを挿入し、前板に形成されている穴に、その穴より大径かつ前記中板の穴より小径の鍔部を有する導電性のコンタクトピンを後方から挿通してその先端を前方に突出させ、背面板に形成されている通孔に、その通孔より大径かつ前記中板の穴より小径の鍔部を有する導電性のバックピンを前方から挿通してその先端を後方に突出させ；
（ｅ）前記導線固定板と前記背面板と前記中板と前記前板とを重ね合わせて、前記導線と前記コンタクトピンとにより前記バネが圧縮された状態とする；ことを技術的特徴とする。
【００１７】
この製造方法では、（ａ）工程〜（ｂ）工程により、導線と導線固定板との接着体が得られる。この（ｃ）工程では、（ｂ）工程で使用した接着剤であって導線固定板の前面より上にはみ出て固化した部分も除去される。その上に、前板と中板と背面板とを、それらの穴にコンタクトピン、バネ、バックピンを挿入しつつ組み付けて、そして各板間を接合すれば、チェッカーヘッドが製造される。この製造過程には、導線をバネの内側に差し込む作業が含まれていないので、工数が少なくて済み、また良品率も高い。ここにおいて、前板、中板、背面板、コンタクトピン、バネおよびバックピンの組み付け順序には特に制限はない。例えば、前板の穴に後方からコンタクトピンを差し込み、背面板の通孔に前方からバックピンを差し込み、そして中板の穴にバネを挿入してから、中板を貼り合わせてその穴の中に鍔部が位置するようにしてもよい。あるいは、前板の穴に後方からコンタクトピンを差し込み、中板を貼り合わせてその穴の中に鍔部が位置するようにしてから、中板の穴にバネを押し込み、背面板の通孔に前方からバックピンを差し込み、中板側に背面板を、コンタクトピンやバネが外れないようにかつ中板の穴の中にバックピンの鍔部が位置するよう貼り合わせてもよい。
【００１８】
この製造方法では、２つの穴に１本の導線を差し込む。これにより、接着剤等を用いることなく、（ｂ）工程の前に導線と導線固定板とを仮固定することができる。実際にチェッカーヘッドを製造する場合には、多数の穴が導線固定板に設けられており（他の板も同様）、各穴にそれぞれ導線を差し込んで接着することになる。ここで、導線の差込が全部終わってから接着すると便利である。差し込み作業を続けている間に、すでに差し込んだ導線が抜けることがなく、また必要に応じて配線作業なども行うことができるからである。また、（ｂ）工程の接着作業が１回で済むからである。また、特許文献１と異なり、仮固定のため導線の周囲に接着剤を薄く塗布した自己融着性のある導線を用いないため、接着剤分太い導線を用いることが可能になり、配線の強度が高まり、抵抗値を下げることができる。
【００１９】
また、（ｃ）工程では、導線の端面を導線固定板の前面に対して平坦にすることが好ましい。このようにすると、導線と導線固定板との接着体の上へ中板等を重ね合わせる作業がしやすいからである。また、導線の端面を導線固定板の前面に対して平坦にすることで、バネがコンタクトピンを前方へ向けて押圧する力が均一になる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
［第１実施形態］
以下、本発明を具体化した実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。本実施の形態に係るチェッカーヘッド１０の主要部を、図１に示す。チェッカーヘッド１０は、コンタクトピン２０とコイルスプリング３０とバックピン４０と導線６０とを直線状に配置してこれを前面板５２と中間板５４Ａ、５４Ｂと背面板５６と配線固定板５８との積層体（ハウジング）５０に貫通させたものである。
【００２１】
コンタクトピン２０は、図２（Ａ）に示すように、軸部２１と鍔部２２とを有する釘形状の部材であり、ＳＫ材等の工具鋼で形成されている。軸部２１の先端２３は平坦に形成されている。軸部２１の直径Ｃ１は０．１３ｍｍであり、鍔部２２の直径Ｄ１は０．１８ｍｍである。軸部２１の長さＫ１は、２．０ｍｍである。バックピン４０は、図２（Ｂ）に示すように、軸部４１と鍔部４２とを有する釘形状の部材であり、ＳＫ材等の工具鋼で形成されている。軸部４１は先端４３が尖るように形成されている。軸部４１の直径Ｃ２は０．１３ｍｍであり、鍔部４２の直径Ｄ２は０．１８ｍｍである。軸部４１の長さＫ２は、２．０ｍｍである。図１に示すように導電性のコイルスプリング３０は、外径Ｅが０．１８ｍｍ、自由長が２．０ｍｍであり、コンタクトピン２０の鍔部２２の後方（図１中下方）に位置する。導線６０は、直径Ｆが０．１８ｍｍであり、バックピン４０のさらに後方に位置する。
【００２２】
前面板５２、中間板５４Ａ、５４Ｂ、背面板５６、配線固定板５８は、エンジニアリングプラスチック等の、絶縁性と適度な剛性のある材質で形成された平板状の部材であり、互いに接着されている。これら５枚の板５２、５４Ａ、５４Ｂ、５６、５８にはそれぞれ、コンタクトピン２０やコイルスプリング３０、導線６０を納める穴（ドリル穴）５３、５５Ａ、５５Ｂ、５７、５９が開けられている。前面板５２は、厚さＧが１．５ｍｍで、穴（ガイド孔）５３の直径Ｈが０．１５ｍｍである。中間板５４Ａ、５４Ｂは、厚さＩがそれぞれ２．０ｍｍで、穴５５Ａ、５５Ｂの直径Ｊが０．２０ｍｍである。背面板５６は、厚さＭが１．５ｍｍで、穴（ガイド孔）５７の直径Ｌが０．１５ｍｍである。配線固定板５８は、厚さＮが２．０ｍｍで、穴５９の直径Ｊが０．２０ｍｍである。
【００２３】
コンタクトピン２０は、その鍔部２２が中間板５４Ａの穴５５Ａの中に位置し、軸部２１が前面板５２の穴５３の中に位置する。そして、軸部２１の先端２３が外部に突出しており、その突出長Ｔは約０．５ｍｍである。鍔部２２の直径Ｄ１が前面板５２の穴５３の直径Ｈより大きいので、鍔部２２の前面側が前面板５２の裏面に当接した状態からさらに前方へ移動することはできない。
【００２４】
同様に、バックピン４０は、その鍔部４２が中間板５４Ｂの穴５５Ｂの中に位置し、軸部４１が背面板５６の穴５７の中に位置する。鍔部４２の直径Ｄ２が背面板５６の穴５７の直径Ｌより大きいので、鍔部４２の前面（背面）側が背面板５６の前（裏）面に当接した状態からさらに後（前）方へ移動することはできない。
【００２５】
コイルスプリング３０は、中間板５４Ａ、５４Ｂの穴５５Ａ、５５Ｂの中に位置し、コンタクトピン２０を前側へ、バックピン４０を後方へ付勢している。
【００２６】
導線６０は、配線固定板５８の穴５９を貫通しており、後方（図１中下方）側が外部に出て回路テスタ８０に接続されている。導線６０と配線固定板５８とは、図３に拡大して示すように接着剤６４により接着されている。そして、導線６０および接着剤６４は、バックピン４０側が研磨されており、配線固定板５８の表面に対し平坦な面となっている。なお、図３中に示される接着剤６４は固化した状態のものである。
【００２７】
この状態では、コイルスプリング３０がやや圧縮された状態となっており、そしてその後方の導線６０が配線固定板５８に対して固定されている。このため、コイルスプリング３０の弾力によりコンタクトピン２０は前方（図１中上方）に押しつけられている。そしてこの状態ではコイルスプリング３０の弾力により、コンタクトピン２０とコイルスプリング３０とが、またコイルスプリング３０とバックピン４０とが、バックピン４０と導線６０とが接触している。これにより、コンタクトピン２０から導線６０までが電気的に導通することとなる。
【００２８】
図４に、バックピン４０とコイルスプリング３０とを拡大して示す。コイルスプリング３０とバックピン４０の鍔部４２とは、中間板５４Ｂの穴５５Ｂ内で接触している。このため、図９を参照して上述した特許文献１での技術でのバネ１３０と導線１６０のように、中心がずれることがなく、接触抵抗が発生することがない。
【００２９】
また、図３に示すようにバックピン４０と導線６０とが接触することで導通が取られるため、例え、バックピン４０を保持する背面板５６の穴（ガイド孔）５７と、導線６０を固定する配線固定板５８の穴５９との位置がずれ、バックピン４０のセンターと導線６０のセンターとが一致しなくても、バックピン４０の先端４３が導線６０と点接触する。このため、適切に接続が取れ、電気抵抗のバラツキを発生することがない。
【００３０】
なお、図１では６組のコンタクトピン２０等しか示していないが、実際には多数組が並列に前面板５２等に対して取り付けられる。前述の寸法では、０．２５ｍｍピッチでコンタクトピン２０等を設けることが可能である。
【００３１】
このチェッカーヘッド１０は、導線６０をＤＣテスタ等の回路テスタ８０と接続した状態で使用する。その状態で、コンタクトピン２０の先端を印刷回路９０のテストパッド９２に押し付けると、コンタクトピン２０とコイルスプリング３０とバックピン４０と導線６０とを介して回路テスタ８０とテストパッド９２とが導通し、回路テスタ８０による印刷回路９０の特性検査が可能な状態となる。このとき、テストパッド９２によりコンタクトピン２０が図１中下方に向けて押され、コイルスプリング３０がさらに圧縮される状態となっている。このため、コイルスプリング３０の弾力によりコンタクトピン２０が押し返され、この押し返しによりコンタクトピン２０とテストパッド９２とが、またコイルスプリング３０とコンタクトピン２０と、コイルスプリング３０とバックピン４０と、バックピン４０と導線６０とが確実に接触して良好な導通が確保される。したがって、回路テスタ８０からチェッカーヘッドを介してテストパッド９２に電圧や電流の電気信号を印加したり、逆にテストパッド９２の電気信号を回路テスタで測定したりすることができる。
【００３２】
そしてチェッカーヘッド１０では、導線６０におけるコイルスプリング３０と接触する端面が配線固定板５８の表面と平坦面をなしているので、コイルスプリング３０の圧縮の程度はどれも均一である。このため、コンタクトピン２０がテストパッド９２を押す押圧力が均一である。また、導線６０として０．１８ｍｍφという太めのものを使用しているので、大電流に対応できる。このため、１００Ｖクラスの電圧をかけるような特性検査もできる。即ち、導線の固定のために、固定端子（スリーブ）を用いた場合には、スリーブよりも導線を細くする必要があり、本実施形態と比べて、導線の径が１／２程度になった。これに対して、本実施形態では、導線の径を０．１８ｍｍと太くできるため、抵抗を下げると共に、導線の引っ張り強度を高めることができる。
【００３３】
ここで、コンタクトピン２０のストロークは、３００μｍ程度に設定されている。このため、バックピン４０と導線６０との誤差を１５μｍ以下に抑える必要がある。ここで、上述した接続端子（スリーブ）を配線固定板の穴に嵌入する方式では、接続端子の上面に３０μｍ以上バラツキが出て、コンタクトピン２０に均一な押圧力を発生させることができなかった。これに対して、本実施形態では、後述するように、配線固定板５８の面を研磨により平滑化することで、導線相互の誤差を数μｍ以下に抑えることが可能になり、コンタクトピン２０に均一な押圧力を発生させることができる。
【００３４】
更に、ソケット内にピン及びバネを収容し、ピンを進退可能に保持する方式のチェッカーヘッドに対して、狭ピッチでも、ピンをソケットを用いない分だけコンタクトピンを太くすることができる、ピン曲がり、ピン折れが生じ難い。更に、コンタクトピン２０、コイルスプリング３０、バックピン４０を太いものを用いれるため、廉価に構成することができる。
【００３５】
ここで、本実施形態では、コンタクトピン２０の精度は、前面板５２の穴（ガイド孔）５３の位置精度により依るため、前面板に高精度でガイド孔５３を穿設することで、簡単に高い位置精度を達成することができる。
【００３６】
また、導線６０として外周に接着層を設けていないものを用いるため、特許文献１の接着層を設けた銅線と比べて、銅線部分が太くなり、電気特性を改善することができる。
【００３７】
次に、チェッカーヘッド１０の製造方法を説明する。チェッカーヘッド１０の製造のためには部品として、前述の寸法のコンタクトピン２０、コイルスプリング３０、バックピン４０、導線６０、前面板５２、中間板５４Ａ、５４Ｂ、背面板５６そして配線固定板５８を用意する。前面板５２、中間板５４Ａ、５４Ｂ、背面板５６そして配線固定板５８には、コンタクトピン２０等を取り付ける箇所にそれぞれ所定の径の穴をあけておく。また、導線６０と配線固定板５８との接着のための接着剤を用意する。この接着剤は、瞬間接着剤と通称される低粘度接着剤（例えば、東亞合成（株）製の商品名「ボンドアロンアルファ」等）を用いればよい。この低粘度接着剤であれば、アセトン等の溶剤により容易に接着を解除でき、導線の付け直しを行うことができる。
【００３８】
まず、配線固定板５８と導線６０とを組み合わせる。このため、図５に示すように配線固定板５８の２つの穴５９に１本の導線６０を挿通して、導線６０を配線固定板５８に仮固定する。
【００３９】
仮固定された状態では導線６０がひとりでに配線固定板５８の穴５９から抜けてしまうことはない。このため、導線６０の差し込み作業を続けても、すでに差し込んだ導線６０が抜けてしまうことはない。また、回路テスタへの接続その他の配線作業も行うことができる。
【００４０】
すべての導線６０を差し込み、必要な配線作業が済んだら、導線６０と配線固定板５８との接着を行う。導線６０と配線固定板５８との隙間に両面から低粘度接着剤を供給する。すると、導線６０の直径より配線固定板５８の穴５９の方がわずかに大きいので、低粘度接着剤かそれらの隙間に浸透していく。先ず、図５中の上面側から低粘度接着剤を充填し、これが個化した後、裏面側から充填して固化させる。これにより、図６の状態が得られる。この状態では、導線６０と配線固定板５８の穴５９との隙間が低粘度接着剤６４が充填されており、強力な接着強度が得られている。
【００４１】
次に、配線固定板５８の表面から突出している余計な部分を除去する。さらにこの面を研磨し、図７の状態を得る。この状態では、配線固定板５８の表面５８Ｆと、導線６０の端面６０Ｔとが平坦な同一面をなしている。むろんこの状態でも、導線６０と配線固定板５８との接着状態は強固である。好ましくはこの状態で、導線６０の端面６０Ｔに接点グリスを塗布しておくと良い。この代わりに、金メッキまたはニッケル金メッキを無電解メッキ法により施すこともできる。接点グリスの塗布、又は、メッキをしておくと、端面６０Ｔの酸化が防止され、後にコイルスプリング３０との接触抵抗が増大することがなくなる。
【００４２】
なお、図７に示す状態では、配線固定板５８の表面に導線６０が密集して配置され、これらを接着剤６４が覆っている。接着剤６４が配線固定板５８を補強する役割を果たし、配線固定板５８に上下方向の高い強度を持たせることができる。
【００４３】
ここで、前面板５２、中間板５４Ａ、５４Ｂ、コンタクトピン２０、コイルスプリング３０、バックピン４０、背面板５６の組立を行う。このため、前面板５２の穴５３に裏面側からコンタクトピン２０の軸部２１を差し込む。そして、前面板５２の裏面に中間板５４Ａ、５４Ｂを重ね合わせる。このとき、コンタクトピン２０の鍔部２２が中間板５４Ａの穴５５Ａの中に入るようにする。さらに、中間板５４Ａ、５４Ｂの穴５５Ａ、５５Ｂに裏面側からコイルスプリング３０を差し込む。一方、背面板５６の穴５７に、表面側からバックピン４０の軸部４１を差し込む。そして、上述したコイルスプリング３０を差し込んだ中間板５４Ｂに、穴５５Ｂにバックピン４０の鍔部４２が入るように、中間板５４Ｂに背面板５６を重ね合わせる。これにより図８に示す積層体が得られる。なお、この状態で、バックピン４０の先端４３が、背面板５６の穴５７から僅かながら突出している。
【００４４】
この組立作業は、作業者にとってやりやすい順序で行えばよい。例えば、前面板５２と中間板５４Ａ、５４Ｂとを先に位置合わせしておき、これにコンタクトピン２０とコイルスプリング３０とを差し込んでもよい。あるいは、コンタクトピン２０を差し込んだ前面板５２に中間板５４Ａ、５４Ｂを重ね合わせるとき、あらかじめ中間板５４Ａ、５４Ｂの穴５５Ａ、５５Ｂにコイルスプリング３０、バックピン４０を挿入しておいてもよい。
【００４５】
そして、図７のものの上に図８のものを重ね合わせ（このときコイルスプリング３０は圧縮される）、背面板５６と配線固定板５８とを位置合わせし位置決めピンでネジ止めすると、図１に示すチェッカーヘッド１０が出来上がる。この製造方法には、導線をバネの内側に差し込む作業が含まれていないので、比較的簡単であり失敗しにくく、高い良品率が期待できる。
【００４６】
以上詳細に説明したように本実施の形態では、配線固定板５８の２つの穴５９に１本の導線６０を挿通して、導線６０を配線固定板５８に仮固定する。このため、いちいち接着しなくても、他の導線６０の差込や配線等の作業を行うことができる。その後配線固定板５８と導線６０とを接着するので、コイルスプリング３０の弾力に耐える接着強度が得られる。これにより、導線をバネの内側に差し込む作業なくしてチェッカーヘッド１０を容易に製造できる。また、配線固定板５８と導線６０とを接着した後で突出部分を除去して平坦化するので、前面板５２や中間板５４Ａ、５４Ｂの組立体との接合が容易であるとともに、チェッカーヘッド１０において各コンタクトピン２０に対し均一な押圧力が掛かることとなる。さらに、大径の導線６０を使用できるので、前面板５２および中間板５４Ａ、５４Ｂと、背面板５６との位置合わせ精度をさほど厳格にしなくてもコイルスプリング３０と導線６０との導通が得られる。また、大電流にも対応できる。また、板材の枚数は５枚で済み、バネの種類も１種類で済むので、部品点数が少なく工程管理がしやすい。
【００４７】
また、導線６０を配線固定板５８に接着剤で固定する方式を採用するため、スリーブ等の部品が不要であり、接続端子（スリーブ）を用いる方式に対して、数分の１の価格で配線固定板５８を製造することができる。
【００４８】
また、前面板５２の穴５３に裏面側からコンタクトピン２０を差し込む作業と、中間板５４Ａ、５４Ｂの穴にコイルスプリング３０を装填する作業と、背面板５６にバックピン４０を差し込む作業と、配線固定板５８に導線６０を固定する作業とを別々の作業員が行うことができるため、短期間で製造することが可能である。
【００４９】
上述した例では、前面板５２、中間板５４Ａ、５４Ｂ、背面板５６、配線固定板５８を位置決めピンにより固定した。このため、位置決めピンを抜くことで、分解ができ、容易にコンタクトピン２０、コイルスプリング３０，バックピン４０の交換が行え、廉価にメンテナンスすることができる。なお、この代わりに、前面板５２、中間板５４Ａ、５４Ｂ、背面板５６、配線固定板５８を接着することもできる。この場合、廉価に製造することができる。
【００５０】
更に、コンタクトピン２０とコイルスプリング３０とバックピン４０とを接続していないため、前面板５２および中間板５４Ａ、５４Ｂと、背面板５６との位置合わせ精度に依らず、各コンタクトピン２０に対し均一な押圧力を加えさせることができる。この理由を図１１の模式図を参照して説明する。本実施形態を示す図１１（Ａ）では、前面板５２と背面板５６との位置決めがずれ、コンタクトピン２０の中心線２０Ｘと、バックピン４０の中心線４０Ｘとが偏位していても、コイルスプリング３０に垂直方向以外の横方向の力を加えることがなく、コイルスプリング３０によって、コンタクトピン２０に対し均一な押圧力を加えさせることができる。一方、図１１（Ｂ）に示すように、コンタクトピン２０とコイルスプリング３０とバックピン４０とが接続されていると、前面板５２と背面板５６との位置決めがずれ、コンタクトピン２０の中心線２０Ｘと、バックピン４０の中心線４０Ｘとが偏位すると、コイルスプリング３０に垂直方向以外の横方向の力が加わり、コイルスプリング３０によって、コンタクトピン２０に対し均一な押圧力を加えさせることができなくなる。
【００５１】
なお、前述の実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能である。例えば、各部品等の寸法として示した数値は、０．２５ｍｍピッチを前提とする場合の一具体例であり、他の寸法でもかまわない。
【００５２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明によれば、簡単な作業で製造でき、大電流にも対応でき、コンタクトピンの押しつけ圧の不均一が出にくく、部品点数も少ないチェッカーヘッドおよびその製造方法が提供されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】チェッカーヘッドの全体構成を示す断面図である。
【図２】（Ａ）はコンタクトピンを示す図であり、（Ｂ）はバックピンを示す図である。
【図３】配線固定板と導線との接合部分を拡大して示す図である。
【図４】背面板と配線固定板との接合部分を拡大して示す図である。
【図５】配線固定板の穴に導線を挿通した状態を示す図である。
【図６】配線固定板と導線とを接着した状態を示す拡大図である。
【図７】導線の配線固定板から突出している部分を除去した状態を示す図である。
【図８】コンタクトピン、バネ及びバックピンを前面板、中間板および背面板に組み付けた状態を示す図である。
【図９】特許文献１のチェッカーヘッドを示す図である。
【図１０】（Ａ）、（Ｂ）は、特許文献１のチェッカーヘッドの製造のために導線配線固定板に固定する工程を示す図である。
【図１１】（Ａ）は、本実施形態のチェッカーヘッドでのコイルスプリング動作を示す模式図であり、（Ｂ）は、比較例でのコイルスプリング動作を示す模式図である。
【符号の説明】
１０　チェッカーヘッド
２０　コンタクトピン
２２　鍔部
３０　コイルスプリング
４０　バックピン
４２　鍔部
５２　前面板
５３　穴
５４Ａ、５４Ｂ　中間板
５５Ａ、５５Ｂ　穴
５６　背面板
５７　穴
５８　配線固定板
５９　穴
６０　導線
６４　接着剤
８０　回路テスタ
９０　印刷回路
９２　テストパッド

Claims

穴が形成された前板と、前記前板の穴から先端が突出するとともに前記前板より後方の位置に前記穴より大径の鍔部が形成された導電性のコンタクトピンとを有し、このコンタクトピンの先端で被検査体に接触するチェッカーヘッドにおいて：
前記鍔部より後方に位置するとともに前記前板に対して固定され、前記前板の穴の位置に対応する位置に穴が形成された導線固定板と；
前記導線固定板の穴を貫通して設けられるとともに前記導線固定板に接着された導線と；
穴が形成された背面板と；
前記背面板の穴から先端が突出して前記導線に接触するとともに前記背面板より前方の位置に前記穴より大径の鍔部が形成された導電性のバックピンと；
前記コンタクトピンと前記バックピンとの間に圧縮状態で設けられた導電性のバネと；を有し、
前記コンタクトピンが前記背面板に向けて押圧されている状態では前記コンタクトピンと前記導線とが前記バネ及び前記バックピンを介して導通することを特徴とするチェッカーヘッド。
前記前板と前記背面板との間に挟持されるとともに前記前板および前記導線固定板の穴の位置に対応する位置に穴が形成された中板を有し、前記コンタクトピンの鍔部、前記バネおよび前記バックピンの鍔部が前記中板の穴の中に位置し、前記導線における前記バックピンと接する側の端面が、前記導線固定板における前記前板側の面と同一面であることを特徴とする請求項１に記載のチェッカーヘッド。
少なくとも（ａ）〜（ｅ）工程を備えることを特徴とするチェッカーヘッドの製造方法：
（ａ）導線固定板に形成されている２つの穴に１本の導線を差し込み；
（ｂ）前記導線と前記導線固定板とを接着し；
（ｃ）前記導線における前記導線固定板の前面から突出している部分を除去し；
（ｄ）中板に形成されている穴に導電性のバネを挿入し、前板に形成されている穴に、その穴より大径かつ前記中板の穴より小径の鍔部を有する導電性のコンタクトピンを後方から挿通してその先端を前方に突出させ、背面板に形成されている穴に、その穴より大径かつ前記中板の穴より小径の鍔部を有する導電性のバックピンを前方から挿通してその先端を後方に突出させ；
（ｅ）前記導線固定板と前記背面板と前記中板と前記前板とを重ね合わせて、前記導線と前記コンタクトピンとにより前記バネが圧縮された状態とする；ことを特徴とするチェッカーヘッドの製造方法。
前記（ｃ）工程では、前記導線の端面を前記導線固定板の前面に対して平坦にすることを特徴とする請求項３のチェッカーヘッドの製造方法。