JPWO2008026700A1 - 切削工具及びその製造方法並びに切削方法 - Google Patents

切削工具及びその製造方法並びに切削方法 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2008026700A1
JPWO2008026700A1 JP2008532123A JP2008532123A JPWO2008026700A1 JP WO2008026700 A1 JPWO2008026700 A1 JP WO2008026700A1 JP 2008532123 A JP2008532123 A JP 2008532123A JP 2008532123 A JP2008532123 A JP 2008532123A JP WO2008026700 A1 JPWO2008026700 A1 JP WO2008026700A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
phase
cutting tool
tin layer
cutting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008532123A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5111379B2 (ja
Inventor
栄仁 谷渕
栄仁 谷渕
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2008532123A priority Critical patent/JP5111379B2/ja
Publication of JPWO2008026700A1 publication Critical patent/JPWO2008026700A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5111379B2 publication Critical patent/JP5111379B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/141—Specially shaped plate-like cutting inserts, i.e. length greater or equal to width, width greater than or equal to thickness
    • B23B27/145—Specially shaped plate-like cutting inserts, i.e. length greater or equal to width, width greater than or equal to thickness characterised by having a special shape
    • B23B27/146—Means to improve the adhesion between the substrate and the coating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F7/00—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression
    • B22F7/06—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite workpieces or articles from parts, e.g. to form tipped tools
    • B22F7/08—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite workpieces or articles from parts, e.g. to form tipped tools with one or more parts not made from powder
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C29/00—Alloys based on carbides, oxides, nitrides, borides, or silicides, e.g. cermets, or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides
    • C22C29/02—Alloys based on carbides, oxides, nitrides, borides, or silicides, e.g. cermets, or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides based on carbides or carbonitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/34—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F5/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the special shape of the product
    • B22F2005/001—Cutting tools, earth boring or grinding tool other than table ware
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2999/00—Aspects linked to processes or compositions used in powder metallurgy
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2224/00—Materials of tools or workpieces composed of a compound including a metal
    • B23B2224/36—Titanium nitride
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/10—Coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C2204/00—End product comprising different layers, coatings or parts of cermet
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/268—Monolayer with structurally defined element
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31678—Of metal
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T83/00—Cutting
    • Y10T83/04—Processes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)

Abstract

【課題】 硬質相を結合金属にて結合した超硬合金からなる基体と、基体の表面上に形成されるＴｉＮ層との密着性を改善した硬質材からなる切削工具及びその製造方法を提供する。【解決手段】 硬質材からなる切削工具であって、 前記硬質材は、硬質相と結合金属とを含む基体と、該基体の表面に形成されたＴｉＮ層とを備えており、 前記基体は、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒの少なくとも１種と、Ｗとを含む炭化物、窒化物、炭窒化物の少なくとも１種の固溶体からなるβ相を有しており、前記β相は、少なくとも一部が前記基体の表面に存在しており、前記ＴｉＮ層は、前記基体表面のβ相の直上に、該β相の結晶と同じ方位関係を持った結晶を有することを特徴とする【選択図】 図１

Description

本発明は、金属等の切削加工に用いられる切削工具及びその製造方法並びに前記切削工具を用いた切削方法に関する。
従来から、超硬合金又はサーメット等からなる基体の表面にＴｉＣ、ＴｉＣＮ、ＴｉＮ、Ａｌ２Ｏ３等をＣＶＤ法（化学蒸着法）、ＰＶＤ法（物理蒸着法）により被覆してなる硬質材が、切削工具に用いられている。このような切削工具は、被覆層の耐摩耗性と、基体の強靭性とを兼ね備えており、例えば金属の切削加工等に幅広く利用されている。
しかしながら、上記のような切削工具において、基体と該基体の表面に形成された被覆層の密着性が劣る場合、切削加工中に被覆層が基体から剥離することにより急激に摩耗が進行し、切削工具の寿命が低下してしまうという問題があった。また、基体と該基体の表面に形成された被覆層との密着性が低いことにより、切削加工において刃先に大きな衝撃が加わる場合、被覆層が剥離し、欠損が発生するという問題がある。
このような問題点を解決するために、従来は、基体の表面を粗面化して表面積を増加させてアンカー効果を得ることにより、基体と被覆層の密着力を向上させる方法（例えば、特許文献１参照）が提案されている。また、基体の組成成分を被覆層に拡散させることにより、基体と被覆層との密着性を向上させる方法（例えば、特許文献２又は特許文献３参照）が提案されている。
具体的には、Ｃｏを含むＷＣ基超硬合金からなる基体の表面にＣＶＤ法により、ＴｉＣ又はＴｉＮの第１層、柱状晶結晶を含むＴｉＣＮの第２層、ＴｉＣ、ＴｉＣＯ等の第３層、Ａｌ２Ｏ３の第４層を順次被覆形成し、第１層と第２層又は第１〜３層までに基体中のＷ及びＣｏを拡散させた切削工具が開示されている。
特開平５−４４０１２号公報 特開平７−２４３０２３号公報 特開平８−１１８１０５号公報
しかしながら、基体の表面を粗面化してアンカー効果により基体と被覆層の密着力を向上させる方法では、粗面化された基体表面上に形成される被覆層の結晶状態にばらつきが発生し、十分に密着力を向上させることはできないという問題がある。
また、基体の組成成分を被覆層に拡散させることにより、基体と被覆層との密着性を向上させる方法では、基体表面において、被覆層中の拡散を詳細に観察すると、拡散層は著しく不均一になっている。具体的に説明すると、結合金属であるＣｏが基体表面に露出した部分においては拡散量が多くなる。しかし、炭化タングステン等の立方晶構造化合物の表面においては十分に拡散していない。そのため、基体と被覆層との密着性の改善が不十分であるという問題がある。
そこで本発明は、上記問題点に鑑み、硬質相を結合金属にて結合した超硬合金からなる基体と、基体の表面上に形成されるＴｉＮ層との密着性を改善した硬質材からなる切削工具及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明における切削工具は、硬質材からなり、前記硬質材は、硬質相と結合金属とを含む基体と、該基体の表面に形成されたＴｉＮ層とを備えており、前記基体は、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒの少なくとも１種と、Ｗとを含む炭化物、窒化物、炭窒化物の少なくとも１種の固溶体からなるβ相を有しており、前記β相は、少なくとも一部が前記基体の表面に存在しており、前記ＴｉＮ層は、前記基体表面のβ相の直上に、該β相の結晶と同じ方位関係を持った結晶を有することを特徴とする。
また、上記発明における切削工具の製造方法は、硬質材からなる切削工具の製造方法であって、硬質相と、結合金属と、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒの少なくとも１種と、Ｗとを含む炭化物、窒化物、炭窒化物の少なくとも１種の固溶体からなるβ相とを含む基体を研磨して、前記β相を前記基体の表面に露出させる研磨工程と、前記基体表面の酸化を還元するともに、該基体表面にＮの結合肢を発生させる前処理工程と、ＣＶＤ法により前記基体上に、前記基体表面に露出したβ相上でエピタキシャル成長した部分を有するＴｉＮ層を形成するＴｉＮ層成膜工程とを有することを特徴とする。
本発明を用いることにより、基体と被覆層との密着力を向上させることができる。これにより、切削加工時における膜剥離に起因する欠損を抑制できるとともに、耐欠損性に優れた切削工具を提供することができる。
本発明は、金属等の切削加工に用いられる切削工具に関するものである。具体的には硬質相を結合金属にて結合した超硬合金からなる基体の表面上に、少なくともＴｉＮ層が形成された硬質材を用いた切削工具に関するものである。
なお、上記切削工具としては、ソリッドタイプのドリル又はエンドミルや、ろう付けタイプ又はスローアウェイタイプの旋削バイトに用いられるチップ等、切削に寄与する切刃部分を有するものが該当する。
本発明に用いられる基体は、硬質相と結合金属とを含んでいる。本発明に用いられる硬質相は、周期表の４、５、６族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物から選ばれる少なくとも１種を含んでいるものが好ましい。具体的には主成分は炭化タングステン（ＷＣ）であり、副成分として炭化チタニウム、炭化タンタル、炭化ニオブ、炭化ジルコニウム等が用いられる。また、結合金属としては、従来から用いられているものであれば特に限定はなく、例えばＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ等の鉄族金属が使用可能である。
基体の表面には、被覆層が形成されており、該被覆層は１層または複数層を積層したものである。本発明において、被覆層の最も基体側にはＴｉＮ層が形成されている。ＴｉＮ層上には、例えば、柱状晶結晶を含むＴｉＣＮ層、ＴｉＣ層、ＴｉＣＯ層、Ａｌ２Ｏ３層等が適宜積層されていることが好ましい。
また、本発明に用いられる基体は、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒの少なくとも１種と、Ｗとを含む炭化物、窒化物、炭窒化物の少なくとも１種の固溶体からなるβ相を有している。
本発明の特徴として、前記ＴｉＮ層は、前記基体表面のβ相の直上に、該β相の結晶と同じ方位関係、すなわちエピタキシャル関係を持った結晶を有する。換言すると、ＴｉＮ層は、基体との界面においてβ相の直上でエピタキシャル成長した部分を有する。これにより、基体と被覆層との密着力を向上させることができる。
なお、エピタキシャル成長とは、基板結晶上に該基板結晶と同じ方位関係を持った結晶を成長させることをいう。
ここで、エピタキシャル成長した粒子は、透過型電子顕微鏡によって２００万倍でβ相とその直上のＴｉＮ層の粒子を確認した際に観察される結晶格子の縞模様（格子縞）がβ相からＴｉＮ粒子にかけて連続して見える状態にあると共に、制限視野電子線回折像において、β相とＴｉＮ粒子とが同じ格子構造を示す像であることの二点について分析することによって確認できる。
前記β相は、基体に対して１〜８ｗｔ％含まれていることが好ましい。この範囲内においては、ＴｉＮ膜と基体の密着力と基体自体の強度のバランスが良好となる。そのため、切削工具の耐摩耗性と耐欠損性が優れるものとなる。なお、β相が１ｗｔ％以上の場合は、β相上にエピタキシャル成長するＴｉＮ層の面積が増加するとともに、基体とＴｉＮ層との密着力が向上しやすい。β相が８ｗｔ％以下では、β相が適度に分散されており基体内で凝集し難い。これにより、破壊の起点となりやすいβ相の凝集部分が発生しにくく、さらなる耐欠損性を得ることができる。
また、前記基体のＴｉＮ層との界面は、基準長さ１０μｍに対する最大高さＲｍａｘが０．０５〜０．３５μｍであることが好ましい。特に最大高さＲｍａｘが０．１〜０．２μｍであることが好ましい。
前記Ｒｍａｘが０．０５μｍ以上の場合は、加工された表面が適度に活性な面となっており、加工後に基体の表面が過度に酸化するのを抑制することができるため、ＴｉＮ層がβ相上においてエピタキシャル成長しやすくなる。また、前記Ｒｍａｘが０．３５μｍ以下であれば、表面が平滑に保たれており、ＴｉＮ層がβ相上においてエピタキシャル成長しやすい。
また、前記ＴｉＮ膜におけるＴｉＮ結晶の膜厚方向に対して垂直な方向の平均結晶幅が１０〜５０ｎｍの場合に最も付着力が向上し、エピタキシャル成長しやすくなる。特に、前記平均結晶幅が１０〜３０ｎｍであることが好ましい。
前記ＴｉＮ膜におけるＴｉＮ結晶の膜厚方向に対して垂直な方向の平均結晶幅が１０ｎｍ以上の場合は、単位面積あたりの粒界が多くなりすぎず、エピタキシャル成長する領域を確保することができる。また、前記平均結晶幅が５０ｎｍ以下の場合は、ＴｉＮ粒子自体の強度が維持されているため、強い衝撃が加わった場合であっても、ＴｉＮ層が破壊されにくく、欠損しにくくなる。
（製造方法）
上記本発明の切削工具を構成する超硬合金の製造方法の一例について説明する。
まず、炭化タングステン（ＷＣ）粉末に対して、金属コバルト（Ｃｏ）粉末を５．０〜１５．０ｖｏｌ％と、β相を形成するための化合物粉末として、炭化チタン粉末を０．８〜４．５ｖｏｌ％、炭化タンタル粉末を０．５〜７．０ｖｏｌ％の比率で調合する。
上記のように調合した粉末に加えて、所定時間混合・粉砕してスラリー状にした後、当該スラリーにバインダを添加し、スプレードライヤー等を用いて乾燥しながら混合粉末の造粒を行なう。次に、造粒された粉末を用いてプレス成形により切削工具形状に成形を行なう。その後、焼成炉にて脱脂を行なった後、焼成炉の温度を１４２０〜１５５０℃に上げて、１〜１．５時間焼成して超硬合金を作製することができる。
次に、研磨工程として、前記超硬合金からなる基体の表面を♯４００〜１０００程度の砥粒を用いてブラシで研磨する。これにより、前記基体の表面にＴｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒの少なくとも１種と、Ｗとを含む炭化物、窒化物、炭窒化物の少なくとも１種の固溶体からなるβ相を露出させるとともに、その上に形成されるＴｉＮ層が、前記β相とエピタキシャル成長しやすい状態に整えることができる。具体的には、基体のＴｉＮ層との界面は、基準長さ１０μｍに対する最大高さＲmaxが０．０５〜０．３５μｍとなるように、前記研磨工程におけるブラシの回転数及び圧力等を適宜調整する。
なお、ブラシによる研磨は、サンドブラストやエッチング等の表面粗さが大きくなりやすい研磨方法に比べて、表面粗さを上記範囲に調整しやすいため好ましい。
次に、前処理工程として、ＣＶＤ炉内において、Ｈ２を５０〜７５ｖｏｌ％、Ｎ２を２５〜５０ｖｏｌ％の範囲内でそれぞれ含み合計が１００ｖｏｌ％になるように混合したガスを導入し、前記導入するガスの常温常圧での体積をＶｇ（Ｌ／ｍｉｎ）、前記ＣＶＤ炉内の体積をＶｒ（Ｌ）としたときのＶｇ／Ｖｒ（１／ｍｉｎ）が０．１〜０．３になるように制御し、前記基体を前記ＣＶＤ炉内に保持する。この前処理工程は、前記基体表面の酸化を還元するともに、該基体表面にＮの結合肢を発生させることを目的とするものである。これにより、基体表面に形成されるＴｉＮ層が、基体の表面におけるβ相の結晶と同じ方位関係を持った結晶となりやすくなる。換言すると、ＴｉＮ層が基体の表面におけるβ相とエピタキシャル成長しやすい状態にすることができる。
なお、前記処理時間は１０〜６０分程度、ＣＶＤ炉内の圧力は１０〜３０ｋＰａ、処理温度は８５０〜９５０℃で行なうことが好ましい。当該範囲においては、基体表面にエピタキシャル成長が起こりやすい表面状態となる。
次に、ＴｉＮ層成膜工程として、前記ＣＶＤ炉内において、ＴｉＣｌ４が０．３〜１．２ｖｏｌ％、Ｈ２が３５〜６５ｖｏｌ％、Ｎ２が３５〜６５ｖｏｌ％の範囲内でそれぞれ含み合計が１００ｖｏｌ％になるように混合したガスを導入し、一定の圧力で前記Ｖｇ／Ｖｒ（１／ｍｉｎ）が０．７〜１．１になるように制御し、ＣＶＤ法により前記基体上に、前記基体表面に露出したβ相上でエピタキシャル成長した部分を有するＴｉＮ層を形成する。
このＴｉＮ層成膜工程においては、Ｖｇ（Ｌ／ｍｉｎ）の数値が大きくなる、即ち導入するガス量が前記前処理工程よりも大きく増加している。この状態で、一定の圧力雰囲気下であればＣＶＤ炉でフローしているガスの流速が速くなる。これにより、ＣＶＤ法によって成膜されるＴｉＮ層にエピタキシャル成長に必要なエネルギーを運動エネルギーとして供給することができる。
なお、前記圧力としては、７〜２０ｋＰａ、処理温度は、８６０〜１０００℃で行なうことが好ましい。当該範囲においては、基体表面にＴｉＮ層がエピタキシャル成長しやすくなる。
上記製造方法のように、所定の研磨工程、所定の前処理工程を基体に施した後に所定のＴｉＮ層成膜工程を行なうことにより、基体表面に露出したβ相上にＴｉＮ層がエピタキシャル成長しやすくなり、基体とＴｉＮ層を含む被覆層との密着性を向上させることができる。
即ち、従来技術のように基体の表面を粗面化すると、その表面ではエピタキシャル成長が起こり難くなってしまう。しかし、基体表面に研磨を施すと、表面の酸化が進み、基体表面のβ相上に形成するＴｉＮ層をエピタキシャル成長させることができる。なお、本発明における研磨工程としては、鏡面またはＲｍａｘが０．０５μｍ以下であることが好ましい。
また、基体の材料である超硬合金は、例えば炭化タングステン等の六方晶であるのに対して、ＴｉＮ層は立方晶であり結晶系が異なることから、不整合転位などを加える必要があるなど、基体の表面に形成するＴｉＮ層を、前記β相の結晶と同じ方位関係を持った結晶とすることは非常に困難であった。
さらに、基体の表面に形成するＴｉＮ層を、基体のβ相とエピタキシャル成長をさせるためには、基体の結晶の格子幅にＴｉＮ層の格子幅を一致させる必要があった。しかし、格子幅を一致されるためには大きなエネルギーが必要であり、ＣＶＤ法によってＴｉＮ層を形成する場合は、ＴｉＮ層成膜工程において十分なエネルギーを付与することはが困難であった。
そこで、出願人は実験を繰り返した結果、（１）基体の表面にＴｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒの少なくとも１種と、Ｗとを含む炭化物、窒化物、炭窒化物の少なくとも１種の固溶体からなるβ相を露出させるとともに、基体表面を平滑にする研磨工程、（２）前記基体表面の酸化を還元するともに、該基体表面にＮの結合肢を発生させる前処理工程、（３）所定の条件でＣＶＤ炉内にガス流を発生させて、ＴｉＮ層の成膜時にエピタキシャル成長に必要なエネルギーを供給するＴｉＮ層成膜工程、これらを順次行なうことにより、従来技術ではなしえなかった基体との界面においてＴｉＮ層をβ相の直上でエピタキシャル成長させることに成功した。
以下に本発明の実施例を、表を参照して説明する。
（実施例）
平均粒径１．４μｍの炭化タングステン（ＷＣ）粉末、平均粒径１．６μｍの金属コバルト（Ｃｏ）粉末、平均粒径１．５μｍの炭化チタン（ＴｉＣ）粉末、平均粒径１．４μｍのＴａＣ粉末、その他ＺｒＣ、ＮｂＣをそれぞれ表１に記載の配合組成で添加、混合して、プレス成形により切削工具形状（ＣＮＭＧ１２０４０８）に成形した後、脱バインダ処理を施し、表１に記載の方法で焼成して試料Ｎｏ．Ａ−Ｄの超硬合金を作製した。
Figure 2008026700
前記試料Ａ−Ｄの超硬合金内に含まれるβ相の量を蛍光Ｘ線回折分析（ＸＲＦ）により測定し、炭化物換算計算および体積換算計算したところ試料Ｎｏ．Ａは１．４ｖｏｌ％、試料Ｎｏ．Ｂは８ｖｏｌ％、試料Ｎｏ．Ｃは１ｖｏｌ％、試料Ｎｏ．Ｄは０ｖｏｌ％であった。
上記試料Ｎｏ．Ａ−Ｄの超硬合金を基体として、Ｎｏ．１から１５までの試料をそれぞれ準備して、基材の表面に表２に記載の各研磨工程を施した。なお、表２における層厚は、基体と被覆層との界面、又は被覆層の各層の界面を含む任意破断面５ヵ所について、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真を撮り、それぞれの層厚を数点測定し平均値を算出したものである。
Figure 2008026700
さらに、前処理工程を表２及び表３に記載の各条件に設定して行なった。次いで、成膜工程として、表２に記載の各層を表３の条件でＣＶＤ法により試料Ｎｏ．１から１５の切削工具を作製した。
Figure 2008026700
なお、ＴｉＮ層が、基体表面のβ相の直上に、該βの結晶と同じ方位関係の結晶を含むか否か、即ちエピタキシャル成長しているか否かの確認については、制限視野電子線解析像で確認するともに、高分解能透過型電子顕微鏡（ＨＲ−ＴＥＭ）により、各資料の基材とＴｉＮ層との界面近傍の断面を観察し、多波干渉像にＴｉＮ層において基体のβ相部分から格子縞が連続である領域が確認されたものを、該β相と同じ方位関係を有しているものと判断した。それに対して、ＴｉＮ層において基体のβ相部分から格子縞が不連続であり、それぞれの粒子の方位は異なっているものについては、β相の直上において、該β相と同じ方位関係を有していないと判断した。なお、図１に、基材と被覆層との界面付近のエピタキシャル成長が確認できる断面の概略図を示す。
表２の結果から分かるように、本発明の製造方法を用いた試料Ｎｏ．１−１０については、ＴｉＮ層において基体のβ相部分から格子縞が連続である領域、即ち、β相の直上において、前記β相と同じ方位関係を有している箇所が確認された。それに対して、試料Ｎｏ．１１−１５については、ＴｉＮ層は、β相の直上において、該β相と格子縞が不連続であり、前記β相と同じ方位関係を有している箇所は確認できなかった。
上記試料Ｎｏ．１から１５を用いて下記条件により、切削試験を行い、耐摩耗性（逃げ面摩耗、境界摩耗）、耐欠損性、刃先状態をそれぞれ測定した。その結果を以下の表４に示す。
（切削条件）
（１）耐摩耗性試験
被削材 ：ＳＵＳ３０４ 円柱材
工具形状：ＣＮＭＧ１２０４０８
切込速度：２００ｍ／分
送り速度：０．２ｍｍ／ｒｅｖ
切り込み：１．５ｍｍ
切削時間：２０分
切削状態：湿式切削
（２）耐欠損性試験
被削材 ：ＳＵＳ３０４ 円柱材（溝付き）
工具形状：ＣＮＭＧ１２０４０８
切込速度：１７０ｍ／分
送り速度：０．３ｍｍ／ｒｅｖ
切り込み：１．５ｍｍ
切削状態：湿式切削
Figure 2008026700
表４から分かるように、ＴｉＮ層が、基体表面のβ相の直上に、該βの結晶と同じ方位関係の結晶を含む試料Ｎｏ．１−１０については、エピタキシャル成長した部分が確認できなかった試料Ｎｏ．１１−１５に比べて、逃げ面摩耗、境界摩耗、耐欠損試験、刃先状態のすべてにおいて優れた結果を得ることができた。
これは、ＴｉＮ層が基体表面のβ相の結晶と同じ方位関係の結晶ことにより、当該箇所において基体と被覆層との密着力を向上し、その結果、切削加工時における欠損を抑制できたものと考えられる。また、基体と被覆層との界面において、圧力が集中する部分を低減することができ、切削工具の耐久性を向上させることができたものと考えられる。
次に、本発明の切削工具を用いた切削方法について図面を参照して説明する。
図２から図４に本発明の切削方法における概略図を示す。まず、図２に示すように、切削工具１５と被削材２０とを準備し、被削材２０を回転させて切削工具１５を被削材２０に近づける。なお、切削工具１５と被削材２０とは、相対的に近づけば良く、例えば、被削材１０を切削工具１５に近づけても良い。
次いで、図３に示すように、切削工具１５を被削材２０に接触させて切削する。その後、図４に示すように被削材２０から切削工具１５を離間させる。なお、切削加工を継続する場合は、被削材２０を回転させた状態を保持して、被削材２０の異なる箇所に切削工具１５を接触させる工程を繰り返す。
上記切削方法としては、外径加工、具体的には横引き加工を例に説明したが、内径加工等その他の切削加工にも用いることができる。
基材と被覆層との界面付近のを含む断面の概略図である。 本発明の切削方法の工程を示す概略図である。 本発明の切削方法の工程を示す概略図である。 本発明の切削方法の工程を示す概略図である。
符号の説明
１ 基材
２ ＴｉＮ層
３ 界面
４ β相
Ａ ＴｉＮ層のエピタキシャル成長箇所（β相の結晶と同じ方位関係を有する箇所）

Claims (10)

  1. 硬質材からなる切削工具であって、
    前記硬質材は、硬質相と結合金属とを含む基体と、該基体の表面に形成されたＴｉＮ層とを備えており、
    前記基体は、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒの少なくとも１種と、Ｗとを含む炭化物、窒化物、炭窒化物の少なくとも１種の固溶体からなるβ相を有しており、
    前記β相は、少なくとも一部が前記基体の表面に存在しており、
    前記ＴｉＮ層は、前記基体表面のβ相の直上に、該β相の結晶と同じ方位関係を持った結晶を有することを特徴とする切削工具。
  2. 硬質材からなる切削工具であって、
    前記硬質材は、硬質相と結合金属とを備える基体と、該基体の表面に形成されたＴｉＮ層とを備えており、
    前記基体は、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒの少なくとも１種と、Ｗとを含む炭化物、窒化物、炭窒化物の少なくとも１種の固溶体からなるβ相を有しており、
    前記β相は、少なくとも一部が前記基体の表面に存在しており、
    前記ＴｉＮ層は、前記基体との界面において前記基体の表面のβ相上でエピタキシャル成長した部分を有することを特徴とする切削工具。
  3. 前記基体は、前記β相を１〜８ｗｔ％含有していることを特徴とする請求項１に記載の切削工具。
  4. 前記基体のＴｉＮ層との界面における基準長さ１０μｍに対する最大高さＲmaxが０．０５〜０．３５μｍであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の切削工具。
  5. 前記ＴｉＮ膜におけるＴｉＮ結晶の膜厚方向に対して垂直な方向の平均結晶幅が１０〜５０ｎｍであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の切削工具。
  6. 硬質材からなる切削工具の製造方法であって、
    硬質相と、結合金属と、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒの少なくとも１種及びＷを含む炭化物、窒化物、炭窒化物の少なくとも１種の固溶体からなるβ相と、を含む基体を研磨して、前記β相を前記基体の表面に露出させる研磨工程と、
    前記基体表面の酸化を還元するともに、該基体表面にＮの結合肢を発生させる前処理工程と、
    ＣＶＤ法により前記基体上に、前記基体表面に露出したβ相の直上でエピタキシャル成長した部分を有するＴｉＮ層を形成するＴｉＮ層成膜工程とを有する切削工具の製造方法。
  7. 前記前処理工程は、ＣＶＤ炉内において、Ｈ２を５０〜７５ｖｏｌ％、Ｎ２を２５〜５０ｖｏｌ％の範囲内でそれぞれ含み合計が１００ｖｏｌ％になるように混合したガスを導入し、
    前記基体を前記ＣＶＤ炉において、前記導入するガスの常温常圧での流量をＶｇ（Ｌ／ｍｉｎ）、前記ＣＶＤ炉内の体積をＶｒ（Ｌ）としたときのＶｇ／Ｖｒ（１／ｍｉｎ）が０．１〜０．３になるように制御した状態で保持することを特徴とする請求項６に記載の切削工具の製造方法。
  8. 前記ＴｉＮ層成膜工程は、前記ＣＶＤ炉内に、ＴｉＣｌ４が０．３〜１．２ｖｏｌ％、Ｈ２が３５〜６５ｖｏｌ％、Ｎ２が３５〜６５ｖｏｌ％の範囲内でそれぞれ含み合計が１００ｖｏｌ％になるように混合したガスを導入し、一定の圧力で前記Ｖｇ／Ｖｒが０．７〜１．１（１／ｍｉｎ）になるように制御することにより、ＣＶＤ法により前記基体上に、前記基体表面に露出したβ相上でエピタキシャル成長した部分を有するＴｉＮ層を形成することを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の切削工具の製造方法。
  9. 前記前処理工程における前記基体を前記ＣＶＤ炉に保持する時間が１０〜６０分であることを特徴とする請求項７又は８に記載の切削工具の製造方法。
  10. 請求項１乃至５のいずれかの切削工具を用いて被削材を切削する切削方法であって、
    前記被削材に切削工具を相対的に近づける近接工程と、
    前記被削材又は切削工具の少なくとも一方を回転させ、前記切削工具を被削材に接触させて切削する切削工程と、
    前記被削材と前記切削工具とを相対的に遠ざける離間工程とを、備えることを特徴とする切削方法。
JP2008532123A 2006-08-31 2007-08-30 切削工具及びその製造方法並びに切削方法 Active JP5111379B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008532123A JP5111379B2 (ja) 2006-08-31 2007-08-30 切削工具及びその製造方法並びに切削方法

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006234916 2006-08-31
JP2006234916 2006-08-31
PCT/JP2007/066922 WO2008026700A1 (fr) 2006-08-31 2007-08-30 Outil de coupe, procédé pour sa fabrication et procédé de coupe
JP2008532123A JP5111379B2 (ja) 2006-08-31 2007-08-30 切削工具及びその製造方法並びに切削方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2008026700A1 true JPWO2008026700A1 (ja) 2010-01-21
JP5111379B2 JP5111379B2 (ja) 2013-01-09

Family

ID=39135982

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008532123A Active JP5111379B2 (ja) 2006-08-31 2007-08-30 切削工具及びその製造方法並びに切削方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8252435B2 (ja)
EP (1) EP2058070B1 (ja)
JP (1) JP5111379B2 (ja)
WO (1) WO2008026700A1 (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5229487B2 (ja) * 2009-03-06 2013-07-03 三菱マテリアル株式会社 すぐれた切屑排出性を示す表面被覆切削工具
BR112015020524B1 (pt) * 2013-02-27 2021-03-16 Kyocera Corporation ferramenta de corte
WO2016052479A1 (ja) * 2014-09-30 2016-04-07 三菱マテリアル株式会社 耐チッピング性にすぐれた表面被覆切削工具
JP6620482B2 (ja) * 2014-09-30 2019-12-18 三菱マテリアル株式会社 耐チッピング性にすぐれた表面被覆切削工具
KR102178426B1 (ko) * 2016-04-13 2020-11-13 교세라 가부시키가이샤 절삭 인서트 및 절삭 공구
JP7105299B2 (ja) 2018-03-20 2022-07-22 京セラ株式会社 被覆工具及びこれを備えた切削工具
WO2019181792A1 (ja) * 2018-03-20 2019-09-26 京セラ株式会社 インサート及びこれを備えた切削工具
CN111886096A (zh) * 2018-03-20 2020-11-03 京瓷株式会社 刀片和具备它的切削刀具
JP7092867B2 (ja) * 2018-03-20 2022-06-28 京セラ株式会社 工具及びこれを備えた切削工具
WO2019181794A1 (ja) * 2018-03-20 2019-09-26 京セラ株式会社 インサート及びこれを備えた切削工具
EP3769881A4 (en) * 2018-03-20 2021-12-22 Kyocera Corporation INSERT AND CUTTING TOOL INCLUDING IT
WO2024018889A1 (ja) * 2022-07-21 2024-01-25 京セラ株式会社 被覆工具および切削工具

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2717842C2 (de) * 1977-04-22 1983-09-01 Fried. Krupp Gmbh, 4300 Essen Verfahren zur Oberflächenbehandlung von gesinterten Hartmetallkörpern
JPS575860A (en) * 1980-06-11 1982-01-12 Ngk Spark Plug Co Ltd Preparation of coating tip for cutting
JPS5716161A (en) * 1980-07-02 1982-01-27 Ngk Spark Plug Co Ltd Preparation of coating tip for cutting
JPS5867859A (ja) * 1981-10-19 1983-04-22 Hitachi Metals Ltd 被覆超硬合金および製造法
JPS60108253A (ja) * 1983-11-15 1985-06-13 Matsushita Electric Works Ltd 木目形成用プレス成形型の製造装置
US4649084A (en) * 1985-05-06 1987-03-10 General Electric Company Process for adhering an oxide coating on a cobalt-enriched zone, and articles made from said process
DE4037480A1 (de) * 1990-11-24 1992-05-27 Krupp Widia Gmbh Verfahren zur herstellung eines beschichteten hartmetallschneidkoerpers
KR0170453B1 (ko) * 1993-08-16 1999-02-18 쿠라우찌 노리타카 절삭공구용초경합금 및 피복초경합금
JP3170993B2 (ja) 1994-02-28 2001-05-28 三菱マテリアル株式会社 耐欠損性のすぐれた表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
JP2861832B2 (ja) 1994-10-20 1999-02-24 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた層間密着性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
US6017488A (en) * 1998-05-11 2000-01-25 Sandvik Ab Method for nitriding a titanium-based carbonitride alloy
SE9701859D0 (sv) * 1997-05-15 1997-05-15 Sandvik Ab Titanium based carbonitride alloy with nitrogen enriched surface zone
US20010016273A1 (en) * 1998-05-08 2001-08-23 Krishnan Narasimhan Multilayer cvd coated article and process for producing same
US6251508B1 (en) * 1998-12-09 2001-06-26 Seco Tools Ab Grade for cast iron
US6221469B1 (en) * 1998-12-09 2001-04-24 Seco Tools Ab Grade for steel
JP2000297342A (ja) * 1999-04-12 2000-10-24 Toshiba Tungaloy Co Ltd 表面調質超硬合金、被覆表面調質超硬合金およびその製法
JP2001179507A (ja) * 1999-12-24 2001-07-03 Kyocera Corp 切削工具
JP2003094207A (ja) * 2001-09-26 2003-04-03 Kyocera Corp 切削工具
US6797369B2 (en) * 2001-09-26 2004-09-28 Kyocera Corporation Cemented carbide and cutting tool
JP4077739B2 (ja) 2003-02-18 2008-04-23 京セラ株式会社 表面被覆Ｔｉ基サーメット製切削工具およびその製造方法
JP2005036565A (ja) * 2003-07-17 2005-02-10 Sekisui Chem Co Ltd 更生管のマンホール更生工法
JP4083102B2 (ja) * 2003-10-03 2008-04-30 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆工具及びその被覆方法
JP2005271193A (ja) 2004-02-23 2005-10-06 Hitachi Tool Engineering Ltd 表面被覆超硬合金切削工具
JP5031182B2 (ja) 2004-05-27 2012-09-19 京セラ株式会社 超硬合金

Also Published As

Publication number Publication date
JP5111379B2 (ja) 2013-01-09
US8252435B2 (en) 2012-08-28
WO2008026700A1 (fr) 2008-03-06
US20090223333A1 (en) 2009-09-10
EP2058070A1 (en) 2009-05-13
EP2058070B1 (en) 2014-02-26
EP2058070A4 (en) 2010-07-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5111379B2 (ja) 切削工具及びその製造方法並びに切削方法
KR102033188B1 (ko) 경질 피복층이 우수한 내치핑성과 내마모성을 발휘하는 표면 피복 절삭 공구
JP4854359B2 (ja) 表面被覆切削工具
WO2006046498A1 (ja) 表面被覆切削工具
KR102056206B1 (ko) 경질 피막 피복 공구 및 그 제조 방법
JPWO2007122859A1 (ja) 切削工具及びその製造方法、並びに切削方法
JP2006281363A (ja) 表面被覆部材および表面被覆切削工具
JP2006272515A (ja) 表面被覆切削工具
JPWO2013105348A1 (ja) ダイヤモンド被覆工具
JP2017221992A (ja) 表面被覆切削工具
EP1253124B1 (en) Highly adhesive surface-coated cemented carbide and method for producing the same
JP2006281361A (ja) 表面被覆部材および表面被覆切削工具
JP2012144766A (ja) 被覆部材
KR20090037345A (ko) 밀링을 위한 코팅 절삭 공구 인서트
JP4375691B2 (ja) 複合高硬度材料
JP2004216488A (ja) 表面被覆切削工具
JP2008264988A (ja) 切削工具の製造方法
JP2008238392A (ja) 切削工具
JP2014231116A (ja) 表面被覆部材
JP5402155B2 (ja) 表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具
JP4936742B2 (ja) 表面被覆工具および切削工具
JP2009034766A (ja) 硬質被覆層がすぐれた耐欠損性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
JP4663248B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP2018164950A (ja) 表面被覆切削工具
KR100576318B1 (ko) 절삭공구용 다이아몬드 코팅막의 표면조도 개선방법

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100413

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120619

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120723

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120911

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121009

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5111379

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150