JPWO2008018545A1 - 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
200 ウエハ
209 マニホールド
210 反応容器
219 シールキャップ
221a 第1のOリング
221b 第2のOリング
230a 第1の供給ポート
230b 第2の供給ポート
255 回転軸
270 溝
272 第1のガス流路
288a 第1垂直部
288b 第2垂直部
290 第2のガス流路
292 流出口
図2,図3に示すように、上述した複数のOリング221は、第1のシール部材としての第1のOリング221a及び第2のシール部材としての第2のOリング221bとからなる。すなわち、シールキャップ219は、反応容器210(マニホールド209)の開口部側の一端に第1のOリング221aと第2のOリング221bとを介して当接することで、反応容器210の開口部を気密に閉塞するようになっている。
(トリクロロシラン;SiHCl3)及びHCD(ヘキサクロロジシラン;Si2Cl6)等が蓄積されており、このクロル系シランガスが第2のガス供給ライン232bに設けられた第3のバルブ276c、第2のMFC241b、第4のバルブ276dを介して第2の供給ポート230bに供給されるようになっている。
ング221bを介してマニホールド209の下端をシールした状態となる。すなわち、反応容器210の開口部の一端に第1のOリング221aと第2のOリング221bとを介してシールキャップ219を当接させることで反応容器210の開口部を気密に閉塞するとともに、反応容器210とシールキャップ219と第1のOリング221aと第2のOリング221bとで囲まれる部分の少なくとも一部に第1のガス流路272を形成する。
ジ)。
[実施例1]
本発明の基板処理装置100を用いて、ウエハに対し熱CVD法によるSi3N4膜の成膜処理を実施した。クロル系シランガスにはDCS、添加ガスにはNH3を用い、処理温度は550℃〜900℃、処理室内圧力は1〜100Paとした。DCSとNH3との流量比を1:3として成膜処理を行なったところ、ウエハ面内膜厚均一性は±0.7%、ウエハ面間膜厚均一性は±1.8%と、良好な結果を得た。また、成膜処理後に回転機構254をシールキャップ219から取り外し、回転機構254内部を確認したところ、シールキャップ219より下方の回転軸255及び回転機構254内部に副生成物であるNH4Clの付着がないことが確認された。
本発明の基板処理装置100を用いて、ウエハに対し熱CVD法によるSi3N4膜の成膜処理を実施した。クロル系シランガスにはDCS、添加ガスにはNH3を用い、処理温度は550℃〜900℃、処理室内圧力は1〜100Paとした。DCSとNH3との流量比を1:1.5として成膜処理を行なったところ、ウエハ面内膜厚均一性、ウエハ面間膜厚均一性ともに実施例1と同等の良好な結果を得た。また、成膜後に回転機構254をシールキャップ219から取り外し、回転機構254内部を確認したところ、シールキャップ219より下方の回転軸255及び回転機構254内部に副生成物であるNH4Clの付着がないことが確認された。
本発明の一態様によれば、基板を処理する反応容器と、前記反応容器の開口部側の一端に第1シール部材と第2シール部材とを介して当接することで前記反応容器の開口部を気密に閉塞するシールキャップと、前記反応容器に前記シールキャップが当接することで前記第1シール部材と前記第2シール部材との間の領域に形成される第1ガス流路と、前記シールキャップに設けられ前記第1ガス流路と前記反応容器内とを連通させる第2ガス流路と、前記反応容器に設けられ前記第1ガス流路に第1ガスを供給する第1ガス供給ポートと、前記反応容器に設けられ前記反応容器内に第2ガスを供給する第2ガス供給ポートと、を有し、前記第1ガス供給ポートの前記第1ガス流路との連通部にある先端開口と、前記第2ガス流路の前記第1ガス流路との連通部にある基端開口とが、前記反応容器に前記シールキャップが当接した状態において、互いに離れた位置にある基板処理装置が提供される。
Claims (14)
- 基板を処理する反応容器と、
前記反応容器の開口部側の一端に第1シール部材と第2シール部材とを介して当接することで前記反応容器の開口部を気密に閉塞するシールキャップと、
前記反応容器に前記シールキャップが当接することで前記第1シール部材と前記第2シール部材との間の領域に形成される第1ガス流路と、
前記シールキャップに設けられ前記第1ガス流路と前記反応容器内とを連通させる第2ガス流路と、
前記反応容器に設けられ前記第1ガス流路に第1ガスを供給する第1ガス供給ポートと、
前記反応容器に設けられ前記反応容器内に第2ガスを供給する第2ガス供給ポートと、
を有し、
前記第1ガス供給ポートの前記第1ガス流路との連通部にある先端開口と、前記第2ガス流路の前記第1ガス流路との連通部にある基端開口とが、前記反応容器に前記シールキャップが当接した状態において、互いに離れた位置にある基板処理装置。 - 前記反応容器に前記シールキャップが当接した状態における前記第1シール部材と前記第2シール部材との間の領域の前記反応容器と前記シールキャップのうちの少なくともいずれか一方の少なくとも一部に、前記第1シール部材と前記第2シール部材とに沿うように溝が設けられ、前記第1ガス流路は前記溝により形成される請求項1記載の基板処理装置。
- 前記溝は弧状もしくは環状に設けられる請求項2記載の基板処理装置。
- 前記溝は前記第1シール部材と前記第2シール部材との間の領域の全周に設けられる請求項2記載の基板処理装置。
- 前記第1ガス供給ポートの前記先端開口と、前記第2ガス流路の前記基端開口とが、前記反応容器に前記シールキャップが当接した状態において、前記シールキャップの中心を挟んで互いに略対向する位置にある請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1ガス流路のうち、前記第1ガス供給ポートの前記先端開口の位置と、前記第2ガス流路の前記基端開口の位置との間に形成される弧状流路の中心角が90°〜270°である請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第2ガス流路の少なくとも一部は配管により構成され、前記配管には第1垂直部と第2垂直部とが設けられ、前記配管は、前記第1垂直部と前記第2垂直部において分離可能に構成される請求項1記載の基板処理装置。
- 基板を支持する支持具と、
前記シールキャップを貫通するように設けられ、前記支持具を支持して回転させる回転軸と、
前記シールキャップに取り付けられ前記回転軸を回転させる回転機構と、
をさらに有し、
前記回転機構の内部には前記回転軸と前記シールキャップとの間の隙間を介して前記反応容器内に連通する中空部が設けられ、前記第2ガス流路は、前記第1ガス流路と前記中空部とを連通させる配管と、前記中空部とにより構成される請求項1記載の基板処理装置。 - 前記第1ガスがNH3ガスまたは不活性ガスであり、前記第2ガスがクロル系シランガスである請求項1記載の基板処理装置。
- 基板を処理する反応管と、
前記反応管の開口部に一端が接続されたマニホールドと、
前記マニホールドの前記反応管に接続された側と反対側である他端に第1シール部材と第2シール部材とを介して当接することで前記マニホールドの他端開口部を気密に閉塞するシールキャップと、
前記マニホールドに前記シールキャップが当接した状態における前記第1シール部材と前記第2シール部材との間の領域の前記マニホールドと前記シールキャップのうちの少なくとも何れか一方の少なくとも一部に、前記第1シール部材と前記第2シール部材とに沿うように設けられた凹部により形成される前記第1ガス流路と、
前記シールキャップに設けられ前記第1ガス流路と前記反応管内とを連通させる第2ガス流路と、
前記マニホールドに設けられ前記第1ガス流路に第1ガスを供給する第1ガス供給ポートと、
前記マニホールドに設けられ前記反応管内に第2ガスを供給する第2ガス供給ポートと、
を有し、
前記第1ガス供給ポートの前記第1ガス流路との連通部と、前記第2ガス流路の前記第1ガス流路との連通部とが、前記マニホールドに前記シールキャップが当接した状態において、互いに重ならない位置にある基板処理装置。 - 基板を処理する反応容器と、
前記反応容器の開口部側の一端に第1シール部材と第2シール部材とを介して当接することで前記反応容器の開口部を気密に閉塞するシールキャップと、
前記反応容器に前記シールキャップが当接した状態における前記第1シール部材と前記第2シール部材との間の領域の前記反応容器と前記シールキャップのうちの少なくともいずれか一方に、環状に設けられた凹部により形成される前記第1ガス流路と、
前記シールキャップに設けられ前記第1ガス流路と前記反応容器内とを連通させる第2ガス流路と、
前記反応容器に設けられ前記第1ガス流路に第1ガスを供給する第1ガス供給ポートと、
前記反応容器に設けられ前記反応容器内に第2ガスを供給する第2ガス供給ポートと、を有し、
前記第1ガス供給ポートの前記第1ガス流路との連通部と、前記第2ガス流路の前記第1ガス流路との連通部とが、前記反応容器に前記シールキャップが当接した状態において、互いに離れた位置にある基板処理装置。 - 基板を処理する反応容器と、
前記反応容器の開口部側の一端に、第1シール部材と第2シール部材とを介して当接することで前記反応容器の開口部を気密に閉塞するシールキャップと、
前記反応容器に前記シールキャップが当接することで前記第1シール部材と前記第2シール部材との間の領域に形成される第1ガス流路と、
前記シールキャップに設けられ前記第1ガス流路と前記反応容器内とを連通させる第2ガス流路と、
前記反応容器に設けられ前記第1ガス流路にガスを供給するガス供給ポートと、
を有し、
前記第1ガス供給ポートの前記第1ガス流路との連通部と、前記第2ガス流路の前記第1ガス流路との連通部とが、前記反応容器に前記シールキャップが当接した状態において互いに離れた位置にある基板処理装置。 - 基板を反応容器内に搬入する工程と、
前記反応容器の開口部側の一端に第1シール部材と第2シール部材とを介してシールキャップを当接させることで、前記反応容器の開口部を気密に閉塞しつつ、前記第1シール部材と前記第2シール部材との間の領域に第1ガス流路を形成する工程と、
前記反応容器に設けられた第1ガス供給ポートから前記第1ガス流路に第1ガスを供給し、前記第1ガス流路に供給された前記第1ガスを前記シールキャップに設けられ前記第1ガス流路と前記反応容器内とを連通させる第2ガス流路を介して前記反応容器内に供給すると共に、前記反応容器に設けられた第2ガス供給ポートから前記反応容器内に第2ガスを供給して基板を処理する工程と、
処理後の基板を前記反応容器内から搬出する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 基板を反応容器内に搬入する工程と、
前記反応容器の開口部側の一端に第1シール部材と第2シール部材とを介してシールキャップを当接させることで、前記反応容器の開口部を気密に閉塞しつつ、前記第1シール部材と前記第2シール部材との間の領域に第1ガス流路を形成する工程と、
前記反応容器に設けられた第1ガス供給ポートから前記第1ガス流路にガスを供給し、前記第1ガス流路に供給された前記ガスを前記シールキャップに設けられ前記第1ガス流路と前記反応容器内とを連通させる第2ガス流路を介して前記反応容器内に供給して基板を処理する工程と、
処理後の基板を前記反応容器内から搬出する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。
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