JPWO2008007632A1 - 照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
射出する光束の光路を第1光路と第2光路との間で切り換える光路切り換え部材と、
前記第1光路と前記第2光路とを合成する光路合成部材と、
前記第1光路に配置されて、照明瞳に所定の光強度分布を形成する第1瞳分布形成部材と、
前記第2光路に配置されて、照明瞳に所定の光強度分布を形成する第2瞳分布形成部材とを備えていることを特徴とする照明光学装置を提供する。
入射光束を第1光路に沿って進む第1光束と第2光路に沿って進む第2光束とに分離する光束分離部材と、
前記第1光路と前記第2光路とを合成する光路合成部材と、
前記第1光路に配置されて、照明瞳に所定の光強度分布を形成する第1瞳分布形成部材と、
前記第2光路に配置されて、照明瞳に所定の光強度分布を形成する第2瞳分布形成部材と、
前記第1光束および前記第2光束のうちのいずれか一方の光束を必要に応じて遮るシャッター部材とを備えていることを特徴とする照明光学装置を提供する。
前記露光工程を経た前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。
3 1/2波長板
4,5 偏光ビームスプリッター
6 マイクロフライアイレンズ
7 偏向ユニット
11,21 シャッター部材
12,22 回折光学素子
15,25 円錐アキシコン系
16,26 ズームレンズ
MB マスクブラインド
M マスク
PL 投影光学系
W ウェハ
Claims (15)
- 被照射面を照明する照明光学装置において、
射出する光束の光路を第1光路と第2光路との間で切り換える光路切り換え部材と、
前記第1光路と前記第2光路とを合成する光路合成部材と、
前記第1光路に配置されて、照明瞳に所定の光強度分布を形成する第1瞳分布形成部材と、
前記第2光路に配置されて、照明瞳に所定の光強度分布を形成する第2瞳分布形成部材とを備えていることを特徴とする照明光学装置。 - 前記光路切り換え部材は、偏光ビームスプリッターと、該偏光ビームスプリッターに入射する光束の偏光状態を2つの直線偏光状態の間で切り換える偏光状態切り換え部材とを有し、
前記光路合成部材は、偏光ビームスプリッターを有することを特徴とする請求項1に記載の照明光学装置。 - 前記光路切り換え部材は、入射光束を前記第1光路に向かって反射する第1姿勢と入射光束を前記第2光路に向かって反射する第2姿勢との間で切り換え可能な反射鏡を有し、
前記光路合成部材は、偏光ビームスプリッターを有し、
前記第1光路および前記第2光路のうちの少なくとも一方の光路に配置されて、光束の偏光状態を変化させる偏光変化部材を有することを特徴とする請求項1に記載の照明光学装置。 - 前記光路切り換え部材は、入射光束を前記第1光路に向かって反射する第1姿勢と入射光束を前記第2光路に向かって反射する第2姿勢との間で切り換え可能な第1反射鏡を有し、
前記光路合成部材は、前記第1光路に沿って入射する光束を反射する第2反射鏡と、前記第2光路に沿って入射する光束を反射する第3反射鏡とを有し、
前記第1光路および前記第2光路のうちの少なくとも一方の光路に配置されて、光束の偏光状態を変化させる偏光変化部材を有することを特徴とする請求項1に記載の照明光学装置。 - 前記光路切り換え部材は、入射光束を反射して前記第1光路に沿って射出する第1反射面と、入射光束を反射して前記第2光路に沿って射出する第2反射面と、前記第1反射面および前記第2反射面のうちのいずれか一方の反射面だけを選択的に照明光路中に設定する設定部とを有することを特徴とする請求項1に記載の照明光学装置。
- 前記光路切り換え部材による前記第1光路と前記第2光路との切り換えに際して、光路中の光学部材は静止していることを特徴とする請求項1に記載の照明光学装置。
- 前記光路切り換え部材は、入射光束を前記第1光路に沿って進む第1光束と前記第2光路に沿って進む第2光束とに分離する光束分離部材と、前記第1光束および前記第2光束のうちのいずれか一方の光束を必要に応じて遮るシャッター部材とを備えていることを特徴とする請求項1または6に記載の照明光学装置。
- 前記光路切り換え部材に対して照明光を供給する光源をさらに備えていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の照明光学装置。
- 被照射面を照明する照明光学装置において、
入射光束を第1光路に沿って進む第1光束と第2光路に沿って進む第2光束とに分離する光束分離部材と、
前記第1光路と前記第2光路とを合成する光路合成部材と、
前記第1光路に配置されて、照明瞳に所定の光強度分布を形成する第1瞳分布形成部材と、
前記第2光路に配置されて、照明瞳に所定の光強度分布を形成する第2瞳分布形成部材と、
前記第1光束および前記第2光束のうちのいずれか一方の光束を必要に応じて遮るシャッター部材とを備えていることを特徴とする照明光学装置。 - 前記光束分離部材および前記光路合成部材は、偏光ビームスプリッターをそれぞれ有し、
前記シャッター部材は、前記第1光束を必要に応じて遮る第1シャッター部材と、前記第2光束を必要に応じて遮る第2シャッター部材とを有することを特徴とする請求項9に記載の照明光学装置。 - 前記第1光路および前記第2光路のうちのいずれか一方の光路は、遅延光路を有することを特徴とする請求項9または10に記載の照明光学装置。
- 前記第1瞳分布形成部材は、前記照明瞳に形成される光強度分布の形状または大きさを変化させる第1変更部材を有し、
前記第2瞳分布形成部材は、前記照明瞳に形成される光強度分布の形状または大きさを変化させる第2変更部材を有することを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の照明光学装置。 - 前記光路合成部材の後側に配置されたオプティカルインテグレータと、
前記第1光路および前記オプティカルインテグレータを通過した第1光束および前記第2光路および前記オプティカルインテグレータを通過した第2光束を前記被照射面上の同じ照明領域へ導く共通の導光光学系とを備えていることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の照明光学装置。 - 請求項1乃至13のいずれか1項に記載の照明光学装置を備え、該照明光学装置により照明された所定のパターンを感光性基板に露光することを特徴とする露光装置。
- 請求項14に記載の露光装置を用いて、前記所定のパターンを前記感光性基板に露光する露光工程と、
前記露光工程を経た前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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