JP2005093522A - 照明光学系及びそれを用いた露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 露光装置において、光路を複数個にわけ、各光路にCGHと偏光ユニットを置いて、インテグレータの入射面で両者を再統合する照明光学系を備えた。
【選択図】 図1
Description
sinθ0=nPR sinθPR (1)
となり、角度がθ0より小さくなって直交条件を満たさなくなるからである。実際193nmの波長でのレジストの屈折率は1.7前後なので、θPRが45°になると、(1)式の右辺が1.7×sin45°=1.20となり、1を越えてしまうので、θPRが45°となって直交条件を満たすことはドライの場合には起こりえない。
2 ビーム整形光学系
3 ビームスプリッタ
4 ミラー
5 偏光ユニット
6 CGH
7 コリメータ
8 光路統合素子
9 ミラー
10 インテグレータ
11 コンデンサ
12 スリット
13 コンデンサ
14 ミラー
15 コリメータ
16 レチクル
17 ビームスプリッタ
18 フォトディテクタ
21 投影光学系
22 ウエハ
23 チャック
24 ステージ
25 光量検出系
28 虹彩絞り
Claims (18)
- 光源からの光束で被照明面を照明する照明光学系において、
前記光源からの光束を、第1の回折光学素子に入射する光束と第2の回折光学素子に入射する光束とに分割する分割光学系と、
前記第1の回折光学素子からの光束の偏光状態を調節する第1の偏光ユニットと、
前記第2の回折光学素子からの光束の偏光状態を調節する第2の偏光ユニットと、
前記第1の回折光学素子からの光束と前記第2の回折光学素子からの光束とを統合して前記被照射面へと導く統合光学系と、を有することを特徴とする照明光学系。 - 前記第1の回折光学素子からの光束の光量を調節する手段及び/又は前記第2の回折光学素子からの光束の光量を調節する手段を有することを特徴とする請求項1記載の照明光学系。
- 前記第1及び/又は第2の回折光学素子に入射する光束の光路に遮光手段が設けられていることを特徴とする請求項2記載の照明光学系。
- 前記第1の回折光学素子からの光束の光量と前記第2の回折光学素子からの光束の光量とを検出する検出器を有し、
前記第1の回折光学素子からの光束の光量と前記第2の回折光学素子からの光束の光量との比を前記手段により調整することを特徴とする請求項2記載の照明光学系。 - 前記光源からの光束で複数の2次光源を形成するインテグレータを有し、
前記統合光学系は、該インテグレータの入射面で前記第1,第2の回折光学素子からの光束を統合することを特徴とする請求項1記載の照明光学系。 - 前記統合光学系はズーム光学系を有することを特徴とする請求項1記載の照明光学系。
- 前記第1又は第2の偏光ユニットは、回転可能なλ/2板を有することを特徴とする請求項1記載の照明光学系。
- 前記第1又は前記第2の回折光学素子は、回転可能であることを特徴とする請求項1記載の照明光学系。
- 光源からの光束で被照明面を照明する照明光学系において、
前記光源からの光束が入射する第1,第2の回折光学素子を有し、
前記被照射面と実質的にフーリエ変換の関係となる所定面における照度分布のうち第1の部分を前記第1の回折光学素子からの光束が形成し、該照度分布のうち第2の部分を前記第2の回折光学素子からの光束が形成することを特徴とする照明光学系。 - 前記光源からの光束が入射する第3,第4の回折光学素子を有し、
前記照度分布のうち第3の部分を前記第3の回折光学素子からの光束が形成し、前記照度分布のうち第4の部分を前記第4の回折光学素子からの光束が形成することを特徴とする請求項9記載の照明光学系。 - 前記第1の部分を照明する光束の偏光状態と、前記第2の部分を照明する光束の偏光状態とは互いに直交する直線偏光であることを特徴とする請求項13記載の照明光学系。
- 複数の光源からの光束で被照明面を照明する照明光学系において、
前記複数の光源のうち第1の光源からの光束が入射する第1の回折光学素子と、
前記複数の光源のうち第2の光源からの光束が入射する第2の回折光学素子と、
前記第1の回折光学素子からの光束の偏光状態を調節する第1の偏光ユニットと、
前記第2の回折光学素子からの光束の偏光状態を調節する第2の偏光ユニットと、
前記第1の回折光学素子からの光束と前記第2の回折光学素子からの光束とを統合して前記被照射面へと導く統合光学系と、を有することを特徴とする照明光学系。 - 光源からの光束で被照明面を照明する照明光学系において、
回折光学素子と偏光ユニットを有する第1,第2の光学系と、
前記第1の光学系からの光束と前記第2の光学系からの光束とを統合して前記被照射面へと導く統合光学系と、を有することを特徴とする照明光学系。 - レチクルを照明する請求項1〜13のいずれか一項記載の照明光学系と、該レチクルのパターンを基板に投影する投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。
- 前記第1の回折光学素子からの光束の光量と前記第2の回折光学素子からの光束の光量とを検出する検出器を有し、
前記第1の回折光学素子からの光束の光量と前記第2の回折光学素子からの光束の光量との比を調整することを特徴とする請求項14記載の露光装置。 - 前記照明光学系は、前記レチクル面に相当する位置における光量をモニタするモニタ部を有し、
前記バランスの調整に応じて、該モニタのキャリブレーションを行うことを特徴とする請求項15記載の露光装置。 - 前記検出器は、前記レチクル面又は前記基板面に相当する位置における光量を検出することを特徴とする請求項15記載の露光装置。
- 請求項14〜17のいずれか一項記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、該基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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