JPWO2007069713A1 - 静圧スライダ - Google Patents
静圧スライダ Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2007069713A1 JPWO2007069713A1 JP2007550232A JP2007550232A JPWO2007069713A1 JP WO2007069713 A1 JPWO2007069713 A1 JP WO2007069713A1 JP 2007550232 A JP2007550232 A JP 2007550232A JP 2007550232 A JP2007550232 A JP 2007550232A JP WO2007069713 A1 JPWO2007069713 A1 JP WO2007069713A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable body
- static pressure
- conductor layers
- pressure slider
- motion guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/72—Sealings
- F16C33/74—Sealings of sliding-contact bearings
- F16C33/741—Sealings of sliding-contact bearings by means of a fluid
- F16C33/748—Sealings of sliding-contact bearings by means of a fluid flowing to or from the sealing gap, e.g. vacuum seals with differential exhaust
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2300/00—Application independent of particular apparatuses
- F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
- F16C2300/62—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions low pressure, e.g. elements operating under vacuum conditions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Description
2 固定体
21〜24 運動案内面
25〜28, 25′〜28′(固定体の)第1導体層
25A′〜28A′ 個別電極
3,3′ 可動体
30 本体部(可動体本体)
31〜34,31′〜34′ 変位体
31B′〜34B′ (変位体の)伝達部材
31Ba′〜34Ba′ (伝達部材の)厚肉部
31Bb′〜34Bb′ (伝達部材の)薄肉部
31C′〜34C′ (変位体の)圧電素子
31D′〜34D′ (変位体の)保護樹脂
31A〜34A (変位体の)第2導体層
31b〜34b (変位体の)下方端面
61 圧電素子
63 パッキン(シール部材)
70 測定部(測定手段)
72 制御部(制御手段)
Claims (19)
- 運動案内面を有する固定体と、
前記運動案内面との間に加圧流体により形成される静圧流体層を介在させた状態で、前記運動案内面に沿って前記固定体に対して相対移動可能とされた可動体と、
を備えた静圧スライダにおいて、
前記運動案内面と、前記可動体の端部における前記運動案内面に対する対向面との間の距離を直接測定するための測定手段をさらに備えている、静圧スライダ。 - 前記測定手段は、前記運動案内面と前記対向面との間の静電容量を測定するように構成されている、請求項1に記載の静圧スライダ。
- 前記測定手段は、前記運動案内面に形成された第1導体層と、前記対向面に形成された第2導体層と、を含んでおり、前記第1および第2導体層を利用して、これらの導体層の間の静電容量を測定するように構成されている、請求項2に記載の静圧スライダ。
- 前記第1および第2導体層の表面は、最大高さRzが1μm以下の滑面に形成されている、請求項3に記載の静圧スライダ。
- 前記第1および第2導体層は、金属または単結晶により形成されている、請求項3に記載の静圧スライダ。
- 前記第1および第2導体層は、金属により厚膜に形成されている、請求項5に記載の静圧スライダ。
- 前記第1および第2導体層の厚みは、0.1μm以上0.1mm以下である、請求項3に記載の静圧スライダ。
- 前記第1および第2の導体層は、非磁性材料により形成されている、請求項3に記載の静圧スライダ。
- 前記可動体は、可動体本体と、前記可動体の移動方向に直交する方向に、前記可動体本体に対して相対的に変位可能であり、かつ、その端面が前記対向面を構成する変位体と、を備えており、
前記測定手段での測定結果に基づいて、前記運動案内面と前記対向面との間の距離を調整するために、前記変位体の位置を制御する制御手段をさらに備えている、請求項1に記載の静圧スライダ。 - 前記可動体は、かつ前記変位体を位置変位させるための圧電素子をさらに備えており、
前記圧電素子は、前記制御手段により伸縮状態が制御される、請求項9に記載の静圧スライダ。 - 前記変位体は、前記運動案内面から離間する方向に付勢された状態で前記可動体本体に支持されている、請求項9に記載の静圧スライダ。
- 前記可動体本体と前記変位体との間を封止するためのシール部材をさらに備えている、請求項9に記載の静圧スライダ。
- 前記シール部材は、前記変位体により付勢された状態で配置されている、請求項12に記載の静圧スライダ。
- 前記可動体本体は、前記加圧流体を外部に排気するための排気溝を備えており、
前記変位体は、前記排気溝に隣接する端部側に備えられている、請求項9に記載の静圧スライダ。 - 前記変位体は、前記可動体の移動方向に直交する方向に並んだ複数の圧電素子を備えている、請求項9に記載の静圧スライダ。
- 前記変位体は、弾性変形可能とされた伝達部材を備えており、
前記複数の圧電素子は、前記伝達部材に固定されている、請求項15に記載の静圧スライダ。 - 前記伝達部材は、前記圧電素子が固定される複数の厚肉部と、隣接する厚肉部の間に設けられた薄肉部と、を有している、請求項16に記載の静圧スライダ。
- 前記変位体は、前記複数の圧電素子の周囲を囲む保護樹脂をさらに備えている、請求項15に記載の静圧スライダ。
- 前記測定手段は、前記運動案内面に形成された第1導体層と、前記対向面に形成された第2導体層と、を含んでおり、
前記第1および第2導体層のうちの少なくとも一方は、前記複数の圧電素子に対応した位置に形成された複数の個別電極を含んでおり、
前記測定手段は、複数の個別電極を利用して、第1および第2導体層の間の静電容量を測定するように構成されている、請求項15に記載の静圧スライダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007550232A JP5149627B2 (ja) | 2005-12-15 | 2006-12-15 | 静圧スライダ |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005362396 | 2005-12-15 | ||
JP2005362396 | 2005-12-15 | ||
PCT/JP2006/325020 WO2007069713A1 (ja) | 2005-12-15 | 2006-12-15 | 静圧スライダ |
JP2007550232A JP5149627B2 (ja) | 2005-12-15 | 2006-12-15 | 静圧スライダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007069713A1 true JPWO2007069713A1 (ja) | 2009-05-28 |
JP5149627B2 JP5149627B2 (ja) | 2013-02-20 |
Family
ID=38163015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007550232A Expired - Fee Related JP5149627B2 (ja) | 2005-12-15 | 2006-12-15 | 静圧スライダ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090297075A1 (ja) |
EP (1) | EP1975431A4 (ja) |
JP (1) | JP5149627B2 (ja) |
KR (1) | KR100976994B1 (ja) |
WO (1) | WO2007069713A1 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101769336B (zh) * | 2009-01-05 | 2013-02-13 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 空气导轨 |
EP2249378B1 (en) * | 2009-03-23 | 2015-09-30 | Advantest Corporation | Method for cleaning stage |
DE102009041801A1 (de) * | 2009-09-18 | 2011-03-24 | Festo Ag & Co. Kg | Luftlagereinrichtung |
WO2011111100A1 (ja) * | 2010-03-10 | 2011-09-15 | 黒田精工株式会社 | 空気圧リニアガイド方式の並列スライダ装置およびその制御方法および測定装置 |
TWI458586B (zh) * | 2012-08-21 | 2014-11-01 | Ind Tech Res Inst | 複合式可變流阻液靜壓滑塊模組 |
FR2996737B1 (fr) * | 2012-10-12 | 2015-08-07 | Commissariat Energie Atomique | Recipient pour le stockage d'un fluide destine a interagir avec un utilisateur |
DE102013102924B3 (de) * | 2013-03-21 | 2014-04-24 | AeroLas GmbH Aerostatische Lager- Lasertechnik | Gasdrucklagerelement und Verfahren zur Herstellung eines Gasdrucklagerelements sowie Gasdrucklager mit einem solchen Gasdrucklagerelement |
DE102013216175A1 (de) * | 2013-08-14 | 2015-02-19 | Hyprostatik Schönfeld Gmbh | Führung und Führungselement |
CN104806633B (zh) * | 2015-04-13 | 2017-12-15 | 河南科技大学 | 一种分体式静压滑动轴承滑移装置 |
US10364842B2 (en) | 2016-10-04 | 2019-07-30 | New Way Machine Components, Inc. | Long travel air bearing linear stage |
TWI642858B (zh) * | 2017-09-06 | 2018-12-01 | 友達光電股份有限公司 | 氣浮軸承模組 |
CN108907749A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-11-30 | 机械科学研究总院海西(福建)分院有限公司 | 一种四腔薄膜反馈式静压导轨滑块 |
CN111486176B (zh) * | 2019-01-25 | 2021-08-31 | 上银科技股份有限公司 | 液静压线性滑轨 |
US10704598B1 (en) * | 2019-03-05 | 2020-07-07 | Hiwin Technologies Corp. | Hydrostatic linear guideway |
CN111649067B (zh) * | 2020-05-29 | 2021-07-20 | 北京理工大学 | 一种气体轴承装配检测装置、方法和系统 |
JP7465243B2 (ja) * | 2021-06-28 | 2024-04-10 | 日本電子株式会社 | ステージ装置および電子ビーム描画装置 |
CN113944857B (zh) * | 2021-09-13 | 2023-09-12 | 深圳市乐其网络科技有限公司 | 摄影固定夹和摄影设备 |
KR102651827B1 (ko) * | 2023-09-26 | 2024-03-27 | 주식회사 태경정반 | 양압영역과 음압영역이 구비된 에어베어링 방식의 리니어 스테이지 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS609621A (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-18 | Miyoutoku:Kk | エア−スライド及び静止用支持台 |
JPH04145220A (ja) * | 1990-10-08 | 1992-05-19 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 移動体支持装置 |
JP2554794B2 (ja) * | 1991-06-03 | 1996-11-13 | 株式会社東芝 | 静圧流体支持装置 |
JP3082991B2 (ja) * | 1992-04-13 | 2000-09-04 | 株式会社東京精密 | 直動式エアベアリングのロック機構 |
US5238308A (en) * | 1992-05-04 | 1993-08-24 | Rockwell International Corporation | Adjustable gap hydrostatic element |
JP2886054B2 (ja) * | 1993-10-01 | 1999-04-26 | 光洋精工株式会社 | 静圧軸受装置 |
JPH07305724A (ja) * | 1994-05-10 | 1995-11-21 | Canon Inc | 能動静圧軸受装置 |
JP2002349569A (ja) * | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Canon Inc | 静圧軸受装置及びそれを用いたステージ装置 |
-
2006
- 2006-12-15 WO PCT/JP2006/325020 patent/WO2007069713A1/ja active Application Filing
- 2006-12-15 US US12/097,499 patent/US20090297075A1/en not_active Abandoned
- 2006-12-15 KR KR1020087016955A patent/KR100976994B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-12-15 JP JP2007550232A patent/JP5149627B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-15 EP EP06834763A patent/EP1975431A4/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100976994B1 (ko) | 2010-08-19 |
WO2007069713A1 (ja) | 2007-06-21 |
JP5149627B2 (ja) | 2013-02-20 |
EP1975431A1 (en) | 2008-10-01 |
KR20080078061A (ko) | 2008-08-26 |
US20090297075A1 (en) | 2009-12-03 |
EP1975431A4 (en) | 2010-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5149627B2 (ja) | 静圧スライダ | |
JP5178507B2 (ja) | 静圧スライダ、これを備えた搬送装置および処理装置 | |
JP3825737B2 (ja) | 精密位置決め装置及びこれを用いた加工機 | |
KR101267442B1 (ko) | 정압 베어링 장치 및 정압 베어링 장치를 구비한 스테이지 | |
US8530857B2 (en) | Stage device | |
JP5084580B2 (ja) | 移動装置 | |
US20180023624A1 (en) | Static pressure gas bearing | |
CN109211171B (zh) | 门式移动装置和三维测量仪 | |
JP2021036223A (ja) | 厚さ測定装置 | |
US10663273B2 (en) | Profile measuring machine and movement mechanism | |
US20220074737A1 (en) | Positioning system for positioning an object | |
TWI522543B (zh) | Platform device and platform control system | |
JP2007146995A (ja) | 静圧スライダ | |
US10962053B2 (en) | Air bearing | |
KR102004015B1 (ko) | 직동 부상 장치 | |
JP2005221305A (ja) | スロットダイ測定装置 | |
WO2023042741A1 (ja) | 基板塗布装置および基板塗布方法 | |
WO2023042740A1 (ja) | 基板塗布装置および基板塗布方法 | |
Arnold et al. | Piezoelectric positioning | |
JP2002110523A (ja) | 露光装置 | |
KR100269776B1 (ko) | 유정압 베어링용 가변 모세관 장치 및 그를 이용한 운동 오차보정 방법 | |
JP2003343561A (ja) | 直線案内装置 | |
JPS61278913A (ja) | 磁気浮上式位置決め装置 | |
JP2003163256A (ja) | 真空対応型ステージ装置 | |
Heywang et al. | Piezoelectric Positioning |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20090612 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090617 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090701 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5149627 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151207 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |