JPWO2007061018A1 - ガラス基材の加工方法およびガラス部品 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2005年11月22日に出願された特願2005―336757号について優先権を主張し、その内容をここに援用する。
具体的には、透明な被加工材料に、エネルギ密度5〜50J/cm2のパルスレーザ光を被加工材料の表面を含めて照射し、その被加工材料に対して、比較的濃度の高い5.4重量%のフッ酸溶液を使用してエッチングを行い、レーザ光を照射された部分を除去することによって孔を形成する(例えば、特開2002−210730号公報を参照)。同公報には、被加工材料がシリカ硝子である場合には、加工に必要な構造変化を生じさせるためのエネルギ密度の閾値が、5J/cm2であることが記載されている。
また、石英基板にパルスレーザ光を照射することによって石英基板の内部にエッチングレートの高い変質領域を形成し、その変質領域に対して10%のフッ酸溶液にグリセリンを14%添加した温度30℃のエッチャントを使用してエッチングを行い、それによって凹部を形成することが知られている(例えば、特開2004−359475号公報を参照)。同公報には、フッ酸溶液にグリセリンを添加しない場合は、凹部の形成に必要なフッ酸濃度、およびエッチングの温度がさらに高くなることが示唆されている。
さらに、ガラス基材上に一層以上積層された無機材料からなる薄層にレーザ光を照射した場合は、上述と同様の作用により、薄層の表面に凸部が形成される。
また、前記ガラス基材に対する前記エッチングのエッチングレートは、前記薄層に対する前記エッチングのエッチングレートよりも高くてもよい。
SiO2:55〜72モル%、
Al2O3:1〜15モル%、
(MgO+CaO+SrO+BaO):2〜16モル%、
Li2O:5〜20モル%、
Na2O:12モル%以下
このようなガラス組成であれば、Al2O3が、フッ酸を含む酸性のエッチング液に溶出しやすいので、エッチングが促進される。
本発明における凸部形成のメカニズムを確認するために、以下のような実験を行った。まず、加工対象として、下記の表1に示す組成Aのガラス基材を用いた。このガラス基材に、下記の照射条件を満たすレーザ光を、ガラス基材の表面から深さ15μm付近を中心として照射した。レーザ光の照射前、および照射後に、三次元形状測定機(三鷹光器社製NH−3)を使ってガラス基材の表面プロファイルを測定して両者を比較したところ、どちらも平坦であり、レーザ光照射による変化は認められなかった。
レーザ光の照射条件:
波長:800nm、
パルス幅:150fs、
周波数:1000Hz、
エネルギ強度:217J/cm2
このガラス基材に対し、さらにエッチングを行ったところ、表面に形成された凸部は認められなくなり、逆に深さ約2μmの凹部が形成されていることが確認された。その凹部が形成されたガラス基材の表面プロファイルを図6に示す。
なお、図5、図6において、縦軸は、ガラス基材のエッチングされた表面からの高さ方向の距離を表し、横軸はガラス基材の表面における水平方向の位置を表す。いずれの図においても、縦軸の値が+(プラス)の場合はガラス基材の表面に凸部が形成されていることを表し、−(マイナス)の場合はガラス基材の表面に凹部が形成されていることを表す。
以下、本発明のガラス基材の加工方法の第1実施形態について、図1を参照して説明する。
本実施形態のガラス基材の加工方法は、板状のガラス基材1の表面1aに凸部2を形成する方法であって、レーザ光照射工程と、凸部形成工程とを備えている。
本実施形態のレーザ光照射工程は、ガラス基材1に、パルスレーザ光(レーザ光)Lを、ガラス基材1の内部に集光するように照射する。これにより、パルスレーザ光Lが集光された部分の周囲に、パルスレーザ光Lを照射されない通常領域よりも密度の高い高密度領域3が形成される。
本実施形態の凸部形成工程は、レーザ光照射工程の後に行われ、高密度領域3の少なくとも一部が残留するように、酸性のフッ酸(HF)溶液(エッチング液)を使用してガラス基材1に化学的エッチングを行う。これにより、ガラス基材1の表面1aに凸部2が形成される。
なお、高密度領域3は、一様に高密度なのではない。高密度領域3の内部、即ちパルスレーザ光Lが集光された部分の密度は、パルスレーザ光Lを照射されない通常領域よりも低く、高密度領域3の外殻部、即ちパルスレーザ光Lが集光された部分の周囲の領域の密度は、パルスレーザ光Lを照射されない通常領域よりも高い。ただし、本実施形態においては、外殻部と内部とを合わせた領域を高密度領域と呼ぶ。
本実施形態において、加工対象としてのガラス基材1には、酸性溶液による化学的エッチングを行うことによってその表面1aに凸部2を効果的に形成するのに有利な物質であるSiO2および1モル%以上のAl2O3を含み、かつSiO2含有率とAl2O3含有率との差(SiO2含有率−Al2O3含有率)が40モル%以上67モル%以下であるガラス母材(アルミノケイ酸塩ガラス)が用いられる。
このガラス母材は、多成分系ガラスであって、SiO2を主成分とし、かつ1モル%以上のAl2O3が含有されている。このようなガラス母材においては、Al2O3が酸性溶液に溶出し易いので、エッチングが促進される。また、このようなガラス母材においては、前記SiO2含有率とAl2O3含有率との差(SiO2含有率−Al2O3含有率)が小さくなるに伴って、即ち、耐酸性の弱いAl2O3が相対的に多くなるのに伴ってAl2O3の溶出が促進されるので、エッチングレートが飛躍的に大きくなる。
また、レーザ光照射工程を行う際にパルスレーザ光Lを使用するので、比較的微細な高密度領域3を容易に形成することができる。また、パルスレーザ光Lの焦点をガラス基材1の内部に合わせるので、高密度領域3をガラス基材1内部の深さ方向に容易に形成することができる。さらに、集光レンズ4の開口数や倍率を変えることにより、パルスレーザ光Lが集光される部分の形状を容易に変化させることも可能なので、複雑な形状の高密度領域3を形成することが容易である。したがって、比較的複雑な形状の凸部2を精度良く形成することができる。
一方、ガラス基材1中にAl2O3を多量に添加することによって生じる耐酸性の低下を抑制するとともに、ガラス基材1の溶融温度の上昇を抑制し、それによって溶融温度を比較的低くし、組成均質性を高めるという観点から、前記SiO2含有率とAl2O3含有率との差を67モル%以下とするのが好ましい。また、比較的少ないエッチング量であっても効率よく高い凸部2が形成できるようにする観点から、前記SiO2含有率とAl2O3含有率との差を57モル%以下とするのが好ましい。
このようなガラス基材1の種類としては、上記したアルミノケイ酸塩ガラスの他に、アルミノホウケイ酸塩ガラス、ホウケイ酸塩ガラス等を選択することができる。
また、パルスレーザ光Lを使用する場合、パルス幅、周波数、照射時間、およびエネルギ強度を、パルスレーザ光Lの焦点位置や高密度領域3の所望の形状に応じて任意に設定してもよい。特に、パルス幅および照射時間を制御することにより、ガラス基材1に損傷の無い良好な高密度領域3を形成することができる。また、パルスレーザ光Lの焦点位置を、凸部2の所望の形状に応じて任意に設定してもよい。
次に、本発明のガラス基材の加工方法の第2実施形態について、図2を参照して説明する。なお、この第2実施形態においては、第1実施形態における構成要素と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。
第2実施形態が第1実施形態と異なるのは以下の点である。即ち、第1実施形態では、ガラス基材1の表面1aに凸部2を直接形成する。これに対し第2実施形態では、ガラス基材10上に薄層11を積層し、薄層11の表面11aに凸部12を形成する。その後、凸部12の形状をガラス基材10に反映させることにより、ガラス基材10の表面10aに凸部22を形成する。
本実施形態のガラス基材の加工方法は、加工対象としてのガラス基材10が、熱変形加工の困難なものである場合等に特に好適である。このようなガラス基材10としては、例えば、熱膨張し難くて透明性の高い結晶化ガラス、石英ガラス、アサーマルガラス等がある。
本実施形態のレーザ光照射工程は、板状のガラス基材10上に積層された無機材料からなる薄層11に、パルスレーザ光Lを薄層11の内部に集光するように照射する。これにより、パルスレーザ光Lが集光された部分の周囲に、パルスレーザ光Lを照射されない通常領域よりも密度の高い高密度領域13が形成される。
本実施形態の凸部形成工程は、レーザ光照射工程の後において、高密度領域13の少なくとも一部が残留するように、薄層11に化学的エッチングを行う。これにより、薄層11の表面11aに凸部12が形成される。
本実施形態の凸部反映工程は、凸部形成工程の後において、薄層11およびガラス基材10に対してエッチングを行い、凸部12をガラス基材10に反映させる。これにより、ガラス基材10の表面10aに新たな凸部22が形成される。
本実施形態において、最終的に表面11aに凸部22が形成される加工対象としてのガラス基材10には、板状の結晶化ガラスが用いられる(以下、結晶化ガラス10とする)。
結晶化ガラス10の表面10aに凸部22を形成するために、まず、図2の工程(A)に示すように、無機材料からなる厚さ50μm程度の薄板を、エッチングによって除去可能な接着剤(図示略)を用いて結晶化ガラス10の表面10aに接着し、これによって結晶化ガラス10上に加工層としての薄層11を形成する。薄層11は、例えば、上記第1実施形態における加工対象であるガラス基材1と同じ材質である。
また、レーザ光照射工程を行う際にパルスレーザ光Lを使用するので、比較的微細な高密度領域13を容易に形成することができる。そして、パルスレーザ光Lの焦点を薄層11の内部に合わせることができるので、薄層11内部の深さ方向に高密度領域13を容易に形成することができる。さらに、集光レンズ4の開口数や倍率を変えることにより、パルスレーザ光Lが集光される部分の形状を容易に変化させることも可能なので、複雑な形状の高密度領域13を形成することも容易である。したがって、比較的複雑な形状の凸部12を精度良く形成することができる。
なお、本実施形態においては、結晶化ガラス10の表面10aに無機材料からなる薄板を接着することにより、結晶化ガラス10上に加工層としての薄層11を形成したが、高密度領域13の形成および化学的エッチングに関して第1実施形態のガラス基材1と同等の特性が得られるのであれば、他の手法によって薄層11を形成しても構わない。また、本実施形態においては、結晶化ガラス10上に薄層11を一層だけ形成したが、結晶化ガラス10上に複数の薄層を形成し、これら複数の薄層のうちいずれかの内部に高密度領域を形成しても構わない。
本実施形態においても、第1実施形態と同様にパルスレーザ光Lを使用したが、良好な高密度領域13を形成できるのであれば、パルスレーザ光に限らず、その他のレーザ光を使用してもよい。
また、パルスレーザ光Lを使用する場合、パルス幅、周波数、照射時間、およびエネルギ強度を、パルスレーザ光Lの焦点位置や高密度領域13の所望の形状に応じて任意に設定してもよい。特に、パルス幅および照射時間を制御することにより、薄層11に損傷の無い良好な高密度領域13を形成することができる。また、パルスレーザ光Lの焦点位置を、凸部12または凸部22の所望の形状に応じて任意に設定してもよい。
その他、本実施形態のガラス基材の加工方法において、薄層11に照射されるレーザ光の特性および照射条件、エッチング液の成分およびエッチング条件は、第1実施形態と同じであってもよい。
次に、本発明のガラス基材の加工方法の第3実施形態について、図3および図4を参照して説明する。なお、この第3実施形態においては、第1実施形態における構成要素と同一の部分については、同一の符号を付しその説明を省略する。
第3実施形態が第1実施形態と異なるのは以下の点である。即ち、第1実施形態では、レーザ光照射工程の際、ガラス基材1にパルスレーザ光Lを単に照射するだけである。これに対し第3実施形態では、ガラス基材1に対してパルスレーザ光Lの焦点位置を走査する。
また、本実施形態では、ガラス基材1の表面1aに筋状の凸部32を直接形成したが、上記第2実施形態のように、ガラス基材1上に薄層11を積層し、その薄層11に筋状の凸部を形成しても構わない。
本発明の第1実施形態に係る具体例、および具体例との比較を行うための比較例を選定し、それらについて以下のような実験を行った。まず、具体例および比較例に用いたガラス基材の組成を表1に示す。なお、丸め誤差のため、各成分の合計は100%とはなっていない。
(表1)
レーザ光の照射条件:
波長:800nm、
パルス幅:150fs、
周波数:1000Hz、
レーザ走査速度:0.25mm/s、
焦点深さ:15μm
比較例2については、レーザ光のエネルギ強度が300J/cm2よりも大きく、本発明において規定したレーザ光のエネルギ強度の範囲に含まれていなかった。その結果、比較例2においても凸部が形成されなかった。
比較例3については、エッチング液のフッ酸濃度が2重量%よりも大きく、本発明において規定したエッチング液の濃度の範囲に含まれていなかった。その結果、比較例3においても凸部が形成されなかった。
さらに、上記各実施形態では、パルスレーザ光を、ガラス基材の上方または薄層の上方から真下に向けて照射したが、パルスレーザ光を照射することが可能であれば、どのような方向から照射しても構わない。
なお、ガラス基材の内部に集光されるレーザ光は、必ずしも単一のスポットに集光されなくてもよい。例えば、位相変調や空間変調により、集光位置に種々のパターンが形成されるようにレーザ光を照射してもよい。
Claims (15)
- ガラス基材の表面に凸部を形成するガラス基材の加工方法であって:
前記ガラス基材に、レーザ光を前記ガラス基材の内部に集光するように照射することにより、前記レーザ光が集光された部分の周囲に、前記レーザ光を照射されない領域よりも密度の高い高密度領域を形成する工程と;
前記高密度領域の少なくとも一部が残留するように、前記ガラス基材に対してエッチング液を用いて化学的エッチングを行うことにより、前記ガラス基材の表面に前記凸部を形成する工程と;
を備えるガラス基材の加工方法。 - 前記ガラス基材は、SiO2および1モル%以上のAl2O3を含み、かつSiO2含有率とAl2O3含有率との差(SiO2含有率−Al2O3含有率)が40モル%以上67モル%以下である請求項1に記載のガラス基材の加工方法。
- 前記SiO2含有率とAl2O3含有率との差(SiO2含有率−Al2O3含有率)が、47モル%以上57モル%以下である請求項2に記載のガラス基材の加工方法。
- ガラス基材上に一層以上積層された無機材料からなる薄層の表面に凸部を形成するガラス基材の加工方法であって:
前記薄層に、レーザ光を前記薄層の内部に集光するように照射することにより、前記レーザ光が集光された部分の周囲に、前記レーザ光を照射されない領域よりも密度の高い高密度領域を形成する工程と;
前記高密度領域の少なくとも一部が残留するように、前記薄層に対してエッチング液を用いて化学的エッチングを行うことにより、前記薄層の表面に前記凸部を形成する工程と;
を備えるガラス基材の加工方法。 - 前記薄層の表面に前記凸部を形成した後、前記薄層および前記ガラス基材に対してエッチングを行い、前記凸部を前記ガラス基材に反映させることにより、前記ガラス基材の表面に新たな凸部を形成する工程をさらに備える請求項4に記載のガラス基材の加工方法。
- 前記ガラス基材に対する前記エッチングのエッチングレートは、前記薄層に対する前記エッチングのエッチングレートよりも高い請求項5に記載のガラス基材の加工方法。
- 前記薄層は、SiO2を主成分とし少なくともAl2O3を含むガラス質からなる請求項4から6のいずれか一項に記載のガラス基材の加工方法。
- 前記レーザ光は、パルスレーザ光である請求項1から7のいずれか一項に記載のガラス基材の加工方法。
- 前記パルスレーザ光の焦点位置における、前記パルスレーザ光1パルスの単位面積当たりのエネルギ強度は、150J/cm2よりも小さい請求項8に記載のガラス基材の加工方法。
- 前記パルスレーザ光の焦点位置における、前記パルスレーザ光1パルスの単位面積当たりのエネルギ強度は、5J/cm2よりも大きい請求項9に記載のガラス基材の加工方法。
- 前記レーザ光は、パルスレーザ光であって、
前記パルスレーザ光の焦点位置における、前記パルスレーザ光1パルスの単位面積当たりのエネルギ強度は、5J/cm2よりも大きく、300J/cm2よりも小さい請求項2、3または7のいずれか一項に記載のガラス基材の加工方法。 - 前記エッチング液は、濃度2重量%以下のフッ酸溶液である請求項1から11のいずれか一項に記載のガラス基材の加工方法。
- 前記レーザ光を照射する際、前記レーザ光を、前記ガラス基材の表面に平行な方向または垂直な方向の少なくともいずれか一方に移動させる請求項1から12のいずれか一項に記載のガラス基材の加工方法。
- 前記レーザ光を照射する際、前記レーザ光のエネルギ強度を変化させる請求項1から13のいずれか一項に記載のガラス基材の加工方法。
- 請求項1から14のいずれか一項に記載のガラス基材の加工方法によって作製されるガラス部品。
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